專利名稱：用于防止晶片掉片的真空控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶片安裝設(shè)備，具體是一種用在晶片安裝工序中，防止晶片掉片的真空控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
晶片固定工序主要是吸取晶片并將晶片粘貼到基板上的過程。在晶片的吸取過程中因?yàn)檎婵臻y的所產(chǎn)生的一系列問題可能會(huì)使晶片飛走，從而產(chǎn)生晶片掉片的現(xiàn)象。這樣不僅對(duì)產(chǎn)品的良率有一定的影響，而且在不斷出現(xiàn)錯(cuò)誤并處理錯(cuò)誤的過程中，對(duì)產(chǎn)量有很大影響，同時(shí)也導(dǎo)致操作人員的工作強(qiáng)度過大、效率不高，影響工作積極性。鑒于此，需要要對(duì)真空閥控制器改善工作。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種用于防止晶片掉片的真空控制系統(tǒng)，該真空控制系統(tǒng)主要穩(wěn)定了吸取晶片時(shí)的真空值，減少了設(shè)備運(yùn)行過程中晶片掉片的現(xiàn)象，同時(shí)也降低了操作人員的工作強(qiáng)度，提高了生產(chǎn)效率。按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案用于防止晶片掉片的真空控制系統(tǒng)，其特征在于包括粘合工作臺(tái)、放氣閥、真空發(fā)生閥、固體繼電器、直流電源和真空信號(hào)發(fā)生器，粘合工作臺(tái)通過導(dǎo)管分別連接放氣閥的充氣口和真空發(fā)生閥的吸氣口，放氣閥和真空發(fā)生閥分別與固體繼電器電氣連接，通過固體繼電器控制；固定繼電器分別通過導(dǎo)線連接電源和真空信號(hào)發(fā)生器。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述放氣閥和真空發(fā)生閥安裝在一個(gè)閥本體過濾器上，在閥本體過濾器上連接有一個(gè)進(jìn)氣管；所述導(dǎo)管直接連接在閥本體過濾器上，放氣閥的充氣口、真空發(fā)生閥的吸氣口經(jīng)由閥本體過濾器后通過導(dǎo)管與粘合工作臺(tái)相連。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述固定繼電器的電源采用24V直流電源。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，優(yōu)點(diǎn)在于(1)該真空控制系統(tǒng)可以穩(wěn)定吸取晶片時(shí)的真空值，減少了設(shè)備運(yùn)行過程中晶片掉片的現(xiàn)象；(2)該真空控制系統(tǒng)可以大大降低操作人員的工作強(qiáng)度，提高了生產(chǎn)效率；(3)該真空控制系統(tǒng)的使用壽命大大增長(zhǎng)，減少了備件購(gòu)買費(fèi)用，節(jié)約了生產(chǎn)成本。

圖1為本實(shí)用新型的部件連接示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。如圖1所示，所述真空控制系統(tǒng)用在晶片固定工序中，用于防止晶片掉片。其主要由粘合工作臺(tái)1、導(dǎo)管2、進(jìn)氣管3、閥本體過濾器4、放氣閥5、真空發(fā)生閥6、固體繼電器7、直流電源8和真空信號(hào)發(fā)生器9等部件組成。如圖1所示，粘合工作臺(tái)1是用于將晶片固定在基板上的操作平臺(tái)，其內(nèi)部為空心結(jié)構(gòu)；粘合工作臺(tái)ι通過導(dǎo)管2分別連接放氣閥5的充氣口和真空發(fā)生閥6的吸氣口，放氣閥5和真空發(fā)生閥6分別與固體繼電器7電氣連接，通過固體繼電器7控制；固定繼電器7 分別通過導(dǎo)線連接電源8和真空信號(hào)發(fā)生器9。所述固定繼電器7的電源優(yōu)選采用24V直流電源。如圖1所示，考慮到外界空氣中有粉塵雜質(zhì)，如果直接被放氣閥5和真空發(fā)生閥6 送到粘合工作臺(tái)1內(nèi)，會(huì)對(duì)產(chǎn)品的粘結(jié)固定產(chǎn)生不利影響，所以本實(shí)用新型還設(shè)置了一個(gè)用于過濾空氣中污染物的閥本體過濾器4，所述放氣閥5和真空發(fā)生閥6安裝在閥本體過濾器4上，閥本體過濾器4上連接有一個(gè)進(jìn)氣管3 ；所述導(dǎo)管2直接連接在閥本體過濾器4 上，放氣閥5的充氣口、真空發(fā)生閥6的吸氣口經(jīng)由閥本體過濾器4后通過導(dǎo)管2與粘合工作臺(tái)1相連；這樣就可以保證進(jìn)入到粘合工作臺(tái)1內(nèi)部的空氣清潔，提高產(chǎn)品粘合質(zhì)量。本實(shí)用新型的工作原理和工作過程如下具體應(yīng)用時(shí)，空氣經(jīng)由進(jìn)氣管3進(jìn)入至閥本體過濾器4中，通過閥本體過濾器4過濾清潔。電源8給固定繼電器7提供24V的直流電源，控制固定繼電器7的工作與停止；當(dāng)固定繼電器7工作時(shí)，真空信號(hào)發(fā)生器9發(fā)出“抽真空”信號(hào)并通過導(dǎo)線輸送到真空發(fā)生閥 6中，真空發(fā)生閥6啟動(dòng)，其吸氣口通過導(dǎo)管2對(duì)粘合工作臺(tái)1進(jìn)行抽真空操作，最終粘合工作臺(tái)1上出現(xiàn)真空，并將晶片吸在上面；當(dāng)固定繼電器7停止工作時(shí)，真空信號(hào)發(fā)生器9發(fā)出“釋放真空”信號(hào)并輸送到放氣閥5上，放氣閥5啟動(dòng)，其充氣口通過導(dǎo)管2對(duì)粘合工作臺(tái)1進(jìn)行充氣操作并釋放晶片。本實(shí)用新型可以嚴(yán)格控制真空值的大小，有效防止了因真空值沒有或不夠而引起的晶片掉片現(xiàn)象。
權(quán)利要求1.用于防止晶片掉片的真空控制系統(tǒng)，其特征在于包括粘合工作臺(tái)(1)、放氣閥(5)、 真空發(fā)生閥(6)、固體繼電器(7)、直流電源(8)和真空信號(hào)發(fā)生器(9)，粘合工作臺(tái)(1)通過導(dǎo)管(2)分別連接放氣閥(5)的充氣口和真空發(fā)生閥(6)的吸氣口，放氣閥(5)和真空發(fā)生閥(6)分別與固體繼電器(7)電氣連接，通過固體繼電器(7)控制；固定繼電器(7)分別通過導(dǎo)線連接電源(8)和真空信號(hào)發(fā)生器(9)。
2.如權(quán)利要求1所述的用于防止晶片掉片的真空控制系統(tǒng)，其特征在于所述放氣閥 (5)和真空發(fā)生閥(6)安裝在一個(gè)閥本體過濾器(4)上，在閥本體過濾器(4)上連接有一個(gè)進(jìn)氣管(3);所述導(dǎo)管(2)直接連接在閥本體過濾器(4)上，放氣閥(5)的充氣口、真空發(fā)生閥(6)的吸氣口經(jīng)由閥本體過濾器(4)后通過導(dǎo)管(2)與粘合工作臺(tái)(1)相連。
3.如權(quán)利要求1所述的用于防止晶片掉片的真空控制系統(tǒng)，其特征在于所述固定繼電器(7 )的電源采用24V直流電源。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于防止晶片掉片的真空控制系統(tǒng)。其包括粘合工作臺(tái)、放氣閥、真空發(fā)生閥、固體繼電器、直流電源和真空信號(hào)發(fā)生器，粘合工作臺(tái)通過導(dǎo)管分別連接放氣閥的充氣口和真空發(fā)生閥的吸氣口，放氣閥和真空發(fā)生閥分別與固體繼電器電氣連接，通過固體繼電器控制；固定繼電器分別通過導(dǎo)線連接電源和真空信號(hào)發(fā)生器。本實(shí)用新型可以穩(wěn)定吸取晶片時(shí)的真空值，減少了設(shè)備運(yùn)行過程中晶片掉片的現(xiàn)象；可以大大降低操作人員的工作強(qiáng)度，提高了生產(chǎn)效率；使用壽命大大增長(zhǎng)，減少了備件購(gòu)買費(fèi)用，節(jié)約了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)H01L21/683GK202025725SQ20112011517
公開日2011年11月2日 申請(qǐng)日期2011年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月18日
發(fā)明者鄭昌榮 申請(qǐng)人:海太半導(dǎo)體(無錫)有限公司