專利名稱：用于板式pecvd設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能硅片加工自動(dòng)化設(shè)備領(lǐng)域，其涉及減反射膜制備工序的自動(dòng)化設(shè)備領(lǐng)域，具體為用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的減反射膜制備工序中，需要人工將碳板上已經(jīng)處理過(guò)的硅片裝入片盒、 將未處理過(guò)的硅片裝進(jìn)碳板，其缺點(diǎn)在于人工操作易引起硅片的破碎使得生產(chǎn)成本高，同時(shí)，人工操作生產(chǎn)效率低、勞動(dòng)強(qiáng)度大。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其能解決現(xiàn)有手工操作存在的硅片破碎率高的問(wèn)題，從而能夠降低生產(chǎn)成本，并能夠提高勞動(dòng)生產(chǎn)率、降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度。其技術(shù)方案是這樣的，其包括主機(jī)架，所述主機(jī)架安裝于PECVD設(shè)備的進(jìn)料端側(cè)， 其特征在于其包括控制系統(tǒng)、待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)以及硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，所述待處理硅片送料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)沿縱向平行布置于所述主機(jī)架的橫向兩側(cè)，所述硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)沿縱向布置、并安裝于所述待處理硅片送料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)之間，所述硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)安裝于所述主機(jī)架上、并橫跨于所述待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)的上方，所述待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)與所述控制系統(tǒng)之間均電控連接。其進(jìn)一步特征在于
所述待處理硅片送料機(jī)構(gòu)包括硅片盒運(yùn)輸線一、進(jìn)料升降臺(tái)、排片輸送機(jī)、出片機(jī)構(gòu)， 所述硅片盒運(yùn)輸線一和所述排片輸送機(jī)分別沿縱向同軸安裝于進(jìn)料機(jī)架、所述主機(jī)架，所述進(jìn)料升降臺(tái)固定于所述進(jìn)料機(jī)架、位于所述硅片盒運(yùn)輸線一出料端與所述排片輸送機(jī)進(jìn)料端之間；所述出片機(jī)構(gòu)沿縱向安裝于所述排片輸送機(jī)的下方；所述排片輸送機(jī)的進(jìn)料端安裝有硅片定位裝置，所述硅片定位裝置固定于所述主機(jī)架；所述硅片定位裝置包括縱向定位裝置和橫向定位裝置；所述已處理硅片出料機(jī)構(gòu)包括硅片盒運(yùn)輸線二、出料升降臺(tái)、出片搬運(yùn)架、出片輸送機(jī)，所述硅片盒運(yùn)輸線二與所述出片輸送機(jī)沿縱向同軸布置，所述硅片盒運(yùn)輸線二、出片輸送機(jī)分別沿縱向安裝于出料機(jī)架和所述主機(jī)架，所述出料升降臺(tái)固定于所述出料機(jī)架、并位于所述出片輸送機(jī)的出料端與所述硅片盒運(yùn)輸線二的進(jìn)料端之間； 所述出片搬運(yùn)架沿縱向固定于所述主機(jī)架、所述出料升降臺(tái)的側(cè)面；所述出片輸送機(jī)的出料末端安裝有所述橫向定位裝置；所述硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)包括碳板輸送裝卸臺(tái)、碳板升降臺(tái)和底部機(jī)內(nèi)輸送線，所述碳板升降臺(tái)設(shè)置有兩組，其中一組安裝于所述主機(jī)架的外側(cè)且位于所述進(jìn)料機(jī)架與所述出料機(jī)架的橫向中間、另一組安裝于PECVD設(shè)備出料端側(cè)，所述碳板輸送裝卸臺(tái)固定于所述主機(jī)架、其橫向位置正對(duì)PECVD設(shè)備的進(jìn)料口，所述底部機(jī)內(nèi)輸送線沿縱向布置于所述兩組碳板升降臺(tái)之間，其包括主機(jī)架段輸送線與PECVD段輸送線，所述主機(jī)架段輸送線安裝于所述主機(jī)架內(nèi)、并位于所述碳板輸送裝卸臺(tái)的下方，所述PECVD 段輸送線安裝于所述PECVD的底部；所述硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)固定于所述主機(jī)架、并橫跨于所述排片輸送機(jī)、碳板輸送裝卸臺(tái)、出片輸送機(jī)上方。
其更進(jìn)一步特征在于
所述硅片盒運(yùn)輸線一和硅片盒運(yùn)輸線二均包括進(jìn)盒線與出盒線，所述進(jìn)盒線與出盒線均設(shè)置有輸送電機(jī)，所述輸送電機(jī)輸出端通過(guò)聯(lián)軸器連接轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸兩端固定有同步帶輪，所述同步帶輪通過(guò)同步帶連接輸送同步帶輪；所述進(jìn)盒線的輸送電機(jī)與出盒線的輸送電機(jī)旋轉(zhuǎn)方向相反；所述進(jìn)盒線與出盒線層疊安裝；所述硅片盒運(yùn)輸線一的進(jìn)盒線一與出盒線一沿縱向?qū)盈B安裝于所述進(jìn)料機(jī)架上，所述出盒線一位于所述進(jìn)盒線一的上方；所述硅片盒運(yùn)輸線二的進(jìn)盒線二與出盒線二沿縱向?qū)盈B安裝于所述出料機(jī)架，所述進(jìn)盒線二位于所述出盒線二的上方；
所述進(jìn)料升降臺(tái)包括安裝支架、豎向升降機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)一，所述水平輸送機(jī)一固定于升降底板，所述升降底板通過(guò)連接板一固定于所述豎向升降機(jī)構(gòu)，所述豎向升降機(jī)構(gòu)通過(guò)所述安裝支架固定于所述進(jìn)料機(jī)架；所述豎向升降機(jī)構(gòu)包括豎向直線模組和伺服電機(jī)一，所述豎向直線模組固定于所述安裝支架、并通過(guò)聯(lián)軸器連接伺服電機(jī)一，所述水平輸送機(jī)一安裝于升降底板，所述升降底板通過(guò)連接板一安裝于所述豎向直線模組；所述水平輸送機(jī)一包括電機(jī)，電機(jī)安裝于升降底板底部，電機(jī)輸出軸連接傳動(dòng)同步帶輪，傳動(dòng)同步帶輪通過(guò)傳動(dòng)同步帶與輸送同步帶輪連接，輸送同步帶輪通過(guò)輸送同步帶與輸送從動(dòng)帶輪連接；所述連接板一上端固定有壓緊氣動(dòng)滑臺(tái)，所述壓緊氣動(dòng)滑臺(tái)外側(cè)端安裝有壓裝裝置； 所述定位擋塊安裝于所述升降底板的硅片出片側(cè)端；所述出料升降臺(tái)包括無(wú)桿氣缸、絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)二，所述無(wú)桿氣缸通過(guò)支撐架豎向安裝于所述出料機(jī)架，所述水平輸送機(jī)二固定于水平安裝板，所述絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的上頂板固定于所述水平安裝板的底面， 所述水平輸送機(jī)二與所述絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)均通過(guò)連接板安裝于移動(dòng)滑塊，所述移動(dòng)滑塊連接無(wú)桿氣缸輸出端，所述支撐架上與所述無(wú)桿氣缸平行安裝有直線導(dǎo)軌，所述移動(dòng)滑塊嵌裝于所述直線導(dǎo)軌上；所述絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)五、滾珠絲桿，所述伺服電機(jī)五的輸出端連接同步帶輪，所述滾珠絲桿上端通過(guò)軸承座一固定于所述水平安裝板、其下端連接有傳動(dòng)帶輪，所述同步帶輪與傳動(dòng)帶輪之間通過(guò)同步帶連接，所述滾珠絲桿上安裝有絲桿螺母，所述絲桿螺母與導(dǎo)桿連接，所述導(dǎo)桿上端穿過(guò)所述水平安裝板、且其上端部安裝有托板；所述水平輸送機(jī)二與水平輸送機(jī)一結(jié)構(gòu)相同；
所述排片輸送機(jī)與出片輸送機(jī)結(jié)構(gòu)相同，均包括底板、傳送帶、傳送帶輪、伺服電機(jī)八， 所述底板固定于所述主機(jī)架，所述傳送帶輪包括主動(dòng)帶輪與從動(dòng)帶輪，所述主動(dòng)帶輪與從動(dòng)帶輪分別通過(guò)帶輪安裝板固定于傳送帶托架的兩端，所述傳送帶托架通過(guò)支架沿縱向固定于所述底板，所述伺服電機(jī)八通過(guò)支架安裝于所述底板的一側(cè)，所述伺服電機(jī)八的輸出端安裝有驅(qū)動(dòng)帶輪，所述驅(qū)動(dòng)帶輪與主動(dòng)帶輪通過(guò)同步帶連接，所述主動(dòng)帶輪與從動(dòng)帶輪之間通過(guò)所述傳送帶連接，所述傳送帶繞裝于所述主動(dòng)帶輪、傳送帶托架以及從動(dòng)帶輪外部；
所述出片機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)二、縱向直線模組一、豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一、出片板，所述出片板通過(guò)縱向連接板二裝于所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)支架安裝于底板，所述底板安裝于所述縱向直線模組一，所述縱向直線模組一通過(guò)聯(lián)軸器與所述伺服電機(jī)二連接；
所述縱向定位裝置安裝于所述排片輸送機(jī)的進(jìn)料端，其包括定位塊、移動(dòng)塊一、伺服電機(jī)三、減速器一，所述伺服電機(jī)三與所述減速器一軸接，所述減速器一固定于固定板一下端、其輸出軸穿過(guò)所述固定板一，所述減速器輸出軸端安裝有齒輪一，所述固定板一的橫向兩端安裝有縱向直線導(dǎo)軌，所述移動(dòng)塊一下部橫向兩端設(shè)置有滑塊一，所述滑塊一卡裝于所述縱向直線導(dǎo)軌，所述移動(dòng)塊一下部還固定有齒條一，所述齒輪一與齒條一嚙合，所述定位塊設(shè)置有兩塊、分別對(duì)稱安裝于連接板三的橫向兩端部，所述連接板三固定于所述移動(dòng)塊一上部；所述縱向定位裝置的伺服電機(jī)三、減速器一穿過(guò)所述主機(jī)架、并通過(guò)所述固定板一固定于所述主機(jī)架，所述兩塊定位塊分別位于所述排片輸送機(jī)的橫向兩側(cè)；
所述橫向定位裝置沿所述排片輸送機(jī)的進(jìn)料方向、安裝于所述縱向定位裝置的后端， 其包括定位輪一、移動(dòng)塊二、減速器二、伺服電機(jī)四，所述伺服電機(jī)四與減速器二軸接，所述減速器二固定于固定板二下端、其輸出軸穿過(guò)所述固定板二，所述減速器輸出端安裝有齒輪二，所述移動(dòng)塊二設(shè)置有兩塊，所述兩塊移動(dòng)塊二均為L(zhǎng)形，所述兩塊移動(dòng)塊相互嵌合， 所述兩塊移動(dòng)塊的縱向下端均安裝有滑塊二，所述固定板二的縱向兩端安裝有橫向直線導(dǎo)軌，所述滑塊二嵌裝于所述橫向直線導(dǎo)軌上，所述兩塊移動(dòng)塊動(dòng)上均安裝有橫向齒條，所述橫向齒條與所述齒輪嚙合連接，所述兩塊移動(dòng)塊的橫向外側(cè)端安裝有連接板四，所述連接板四上部安裝有定位輪一安裝板，所述定位輪一安裝板的縱向兩端分別安裝有所述定位輪一；所述橫向定位裝置的減速器二和伺服電機(jī)四穿過(guò)所述主機(jī)架、并通過(guò)所述固定板二固定于所述主機(jī)架，所述兩塊移動(dòng)塊二的的定位輪一分別位于所述排片輸送機(jī)的橫向兩側(cè)；
所述出片搬運(yùn)架包括縱向直線模組二、伺服電機(jī)六，所述縱向直線模組二通過(guò)兩端的支架一和支架二支承，所述支架一固定于所述主機(jī)架、所述出片輸送機(jī)的出料末端的一側(cè)， 所述支架二固定于所述硅片盒運(yùn)輸線二的進(jìn)盒線二平臺(tái)上，所述縱向直線模組二通過(guò)聯(lián)軸器與所述伺服電機(jī)六軸接，所述縱向直線模組二上通過(guò)連接板五安裝有豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二， 所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二下部通過(guò)吸盤安裝板連接有氣旋吸盤；
所述碳板輸送裝卸臺(tái)包括支架二、水平輸送機(jī)一、壓緊定位機(jī)構(gòu)、頂升機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)，所述支架二橫向安裝于所述主機(jī)架，所述輸送機(jī)通過(guò)輸送機(jī)機(jī)架安裝于所述支架二，所述壓緊定位機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)分別安裝于所述輸送機(jī)的縱向兩端，所述頂升機(jī)構(gòu)通過(guò)固定板三安裝于所述支架二；所述水平輸送機(jī)三包括電機(jī)、傳動(dòng)軸、主動(dòng)輸送輪和從動(dòng)輸送輪，所述電機(jī)通過(guò)電機(jī)支架固定于所述輸送機(jī)機(jī)架下部，所述傳動(dòng)軸的橫向兩端通過(guò)軸承座二固定于所述輸送機(jī)機(jī)架的縱向支架，所述電機(jī)與所述傳動(dòng)軸通過(guò)同步帶輪傳動(dòng)連接，所述傳動(dòng)軸的橫向兩端均通過(guò)所述軸承座二安裝有一個(gè)所述主動(dòng)輸送輪，所述兩側(cè)縱向支架上均分別通過(guò)軸承座三安裝有兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪與兩個(gè)從動(dòng)輸送輪，所述主動(dòng)輸送輪與從動(dòng)輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述縱向支架，單側(cè)所述縱向支架上、相鄰兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪之間通過(guò)傳送帶傳動(dòng)連接；所述壓緊定位機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板一安裝于所述輸送機(jī)機(jī)架進(jìn)料側(cè)的橫向支架兩端；所述安裝板二下部固定有縱向氣動(dòng)滑臺(tái)一，所述縱向氣動(dòng)滑臺(tái)通過(guò)連接板六連接豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三的上端固定有壓緊座，所述壓緊座通過(guò)導(dǎo)桿一連接壓緊塊，所述導(dǎo)桿一外部套裝有彈簧，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三通過(guò)橫向連接板七安裝有調(diào)節(jié)板一，所述調(diào)節(jié)板一的縱向前端安裝有定位輪二 ；所述頂升機(jī)構(gòu)包括頂升板，所述頂升板上部安裝有載片柱，所述頂升板下部通過(guò)連接板八固定于豎向氣動(dòng)滑臺(tái)四，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)四固定于所述固定板三，所述固定板三固定于所述支架二，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)四側(cè)面安裝有直線軸承導(dǎo)軌，所述直線軸承導(dǎo)軌上安裝有導(dǎo)桿二，所述導(dǎo)桿二上端頂緊所述連接板下部；所述定位機(jī)構(gòu)包括設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板二固定于所述輸送機(jī)機(jī)架出料側(cè)的橫向支架兩端；所述安裝板二下部固定有縱向氣動(dòng)滑臺(tái)二， 所述縱向氣動(dòng)滑臺(tái)二通過(guò)連接板八與豎向氣動(dòng)滑臺(tái)五連接，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)五上端通過(guò)連接塊與調(diào)節(jié)板二，所述調(diào)節(jié)板二的前端固定有定位輪三；
所述碳板升降臺(tái)包括機(jī)架，所述機(jī)架的縱向一側(cè)安裝有豎向平移機(jī)構(gòu)、其橫向安裝有水平輸送機(jī)四，所述水平輸送機(jī)四通過(guò)連接板九安裝于所述豎向平移機(jī)構(gòu)；所述豎向平移機(jī)構(gòu)包括固定板四、直線模組，所述直線模組通過(guò)所述固定板固定于所述機(jī)架的縱向一側(cè)的豎向支架上，所述直線模組通過(guò)聯(lián)軸器與伺服電機(jī)七連接，所述固定板的縱向兩端安裝有豎向?qū)к?，所述水平輸送機(jī)四安裝于輸送機(jī)機(jī)架，所述輸送機(jī)機(jī)架固定于所述連接板九， 所述連接板九背面的縱向兩側(cè)安裝有滑塊，所述滑塊卡裝于所述豎向?qū)к?；所述水平輸送機(jī)四的結(jié)構(gòu)與所述水平輸送機(jī)三的結(jié)構(gòu)相同；
所述橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括直線導(dǎo)軌支架、直線模組支架、上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)， 所述直線導(dǎo)軌支架與直線模組支架等高、并沿橫向平行固定于所述主機(jī)架，所述直線導(dǎo)軌支架上安裝有直線導(dǎo)軌，所述上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)均包括直線模組與搬運(yùn)橫梁， 所述直線模組均軸接安裝有伺服電機(jī)九，所述上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的直線模組與下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的直線模組交錯(cuò)安裝于所述直線模組支架，所述搬運(yùn)橫梁一端通過(guò)滑塊安裝于所述直線導(dǎo)軌、另一端通過(guò)直線模組連接板安裝于對(duì)應(yīng)的直線模組；所述上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)橫梁與下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)橫梁背向安裝，所述搬運(yùn)橫梁外側(cè)面安裝有氣動(dòng)滑臺(tái)，所述氣動(dòng)滑臺(tái)通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)安裝板連接吸盤安裝橫梁，所述吸盤安裝橫梁上通過(guò)吸盤安裝板固定有所述氣旋吸盤；所述吸盤安裝橫梁上安裝有六個(gè)所述氣旋吸盤，所述六個(gè)氣旋吸盤均勻分布于所述吸盤安裝橫梁上；
所述碳板輸送裝卸臺(tái)的下方安裝有廢料收集機(jī)構(gòu)，所述廢料收集機(jī)構(gòu)固定于所述主機(jī)架；所述待處理硅片進(jìn)料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)均設(shè)置有兩套；所述兩套待處理硅片進(jìn)料機(jī)構(gòu)、兩套已處理硅片出料機(jī)構(gòu)均沿縱向平行安裝。采用本發(fā)明的用于板式PECVD設(shè)備的自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其有益效果在于其解決了其實(shí)現(xiàn)硅片的全自動(dòng)上下料操作，大大提高了生產(chǎn)效率，降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度，同時(shí)避免了以往因人工手動(dòng)上下料而引起的硅片碎片率高的問(wèn)題，降低了生產(chǎn)成本。


圖1為本發(fā)明一種用于板式PECVD設(shè)備的的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)俯視結(jié)構(gòu)示意圖2為本發(fā)明一種用于板式PECVD設(shè)備的的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)左視結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為圖1的右視結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4為圖1的左視結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5為本發(fā)明中硅片盒運(yùn)輸線一的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6為本發(fā)明中硅片盒運(yùn)輸線二的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明中進(jìn)料升降臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖8為本發(fā)明中出料升降臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖9為圖8的左視結(jié)構(gòu)示意圖10為圖8的俯視結(jié)構(gòu)示意圖11為本發(fā)明中排片輸送機(jī)(出片輸送機(jī))結(jié)構(gòu)示意圖12為本發(fā)明中出片機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖13為本發(fā)明中縱向定位裝置結(jié)構(gòu)示意圖14為本發(fā)明中橫向定位裝置主視結(jié)構(gòu)示意圖15為圖14的俯視結(jié)構(gòu)示意圖16為本發(fā)明中出片搬運(yùn)架的結(jié)構(gòu)示意圖17為圖16的左視結(jié)構(gòu)示意圖18為本發(fā)明中碳板輸送裝卸臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖19為本發(fā)明中碳板輸送裝卸臺(tái)的水平輸送機(jī)三結(jié)構(gòu)示意圖20為本發(fā)明中碳板輸送裝卸臺(tái)的壓緊定位機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖21為本發(fā)明中碳板輸送裝卸臺(tái)的頂升機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖22為本發(fā)明中碳板輸送裝卸臺(tái)的定位機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖
圖23為本發(fā)明中碳板升降臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖M為本發(fā)明中橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
見(jiàn)圖1、圖2、圖3和圖4，本發(fā)明一種用于板式PECVD設(shè)備的的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)其包括主機(jī)架1，主機(jī)架1安裝于PECVD的進(jìn)料口側(cè)，其還包括待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)以及硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)8，待處理硅片送料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)沿縱向平行布置于主機(jī)架1的橫向兩側(cè)，硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)沿縱向布置、并安裝于待處理硅片送料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)之間，硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)8安裝于所述主機(jī)架1上、并橫跨于待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)的上方。待處理硅片送料機(jī)構(gòu)包括硅片盒運(yùn)輸線一、進(jìn)料升降臺(tái)16、排片輸送機(jī)7、出片機(jī)構(gòu)6，硅片盒運(yùn)輸線一與排片輸送機(jī)7縱向布置分別沿縱向同軸安裝于進(jìn)料機(jī)架2、所述主機(jī)架1，進(jìn)料升降臺(tái)16固定于進(jìn)料機(jī)架2、并位于硅片盒運(yùn)輸線一出料端與排片輸送機(jī)7進(jìn)料端之間； 出片機(jī)構(gòu)6沿縱向安裝于排片輸送機(jī)7的下方；排片輸送機(jī)7的進(jìn)料端安裝有硅片定位裝置，硅片定位裝置固定于主機(jī)架1 ；硅片定位裝置包括縱向定位裝置4和橫向定位裝置5 ； 已處理硅片出料機(jī)構(gòu)包括硅片盒運(yùn)輸線二、出料升降臺(tái)12、出片搬運(yùn)架13、出片輸送機(jī)14， 硅片盒運(yùn)輸線二與出片輸送機(jī)14沿縱向同軸安裝于出料機(jī)架3和主機(jī)架1，出料升降臺(tái)12 固定于出料機(jī)架3、并位于出片輸送機(jī)14的出料端與硅片盒運(yùn)輸線二的進(jìn)料端之間；出片搬運(yùn)架13沿縱向固定于主機(jī)架1、出料升降臺(tái)12的側(cè)面；出片輸送機(jī)14的出料末端安裝有橫向定位裝置5 ；硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)包括碳板輸送裝卸臺(tái)9、碳板升降臺(tái)和底部機(jī)內(nèi)輸送線， 碳板升降臺(tái)設(shè)置有兩組分別為IOa和10b，其中碳板升降臺(tái)IOa安裝于主機(jī)架1的外側(cè)且位于進(jìn)料機(jī)架2與出料機(jī)架3的橫向中間、另一組碳板升降臺(tái)IOb安裝于PECVD設(shè)備出料端側(cè)，碳板輸送裝卸臺(tái)9固定于主機(jī)架1、其橫向位置正對(duì)PECVD設(shè)備的進(jìn)料口，底部機(jī)內(nèi)輸送線沿縱向布置于碳板升降臺(tái)IOa與碳板升降臺(tái)IOb之間，其包括主機(jī)架段輸送線15a與 PECVD段輸送線15b，主機(jī)架段輸送線1 安裝于主機(jī)架1內(nèi)、并位于碳板輸送裝卸臺(tái)9的下方，PECVD段輸送線1 安裝于PECVD的底部，硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)8固定于主機(jī)架1、并橫跨于排片輸送機(jī)7、碳板輸送裝卸臺(tái)9、出片輸送機(jī)14上方。 硅片盒運(yùn)輸線一包括沿進(jìn)料機(jī)架2縱向?qū)盈B安裝的進(jìn)盒線一 17和出盒線一 18，見(jiàn)圖5，進(jìn)盒線一 17與出盒線一 18分別設(shè)置有輸送電機(jī)17-1和18-1，輸送電機(jī)17_1輸出端通過(guò)聯(lián)軸器17-2連接轉(zhuǎn)動(dòng)軸17-3，轉(zhuǎn)動(dòng)軸17-3兩端固定有同步帶輪17_4，同步帶輪17_4 通過(guò)同步帶17-5連接輸送同步帶輪17-6 ；輸送電機(jī)17-1與輸送電機(jī)18_1旋轉(zhuǎn)方向相反； 出盒線一 18位于進(jìn)盒線一 17的上方；出盒線一 18結(jié)構(gòu)與進(jìn)盒線一 17相同；硅片盒運(yùn)輸線二包括沿出料機(jī)架3縱向?qū)盈B安裝的進(jìn)盒線二 20與出盒線二 19，見(jiàn)圖6，進(jìn)盒線二 20位于所述出盒線二 19的上方；硅片盒運(yùn)輸線二的結(jié)構(gòu)與硅片盒運(yùn)輸線一的結(jié)構(gòu)相同；工作時(shí)， 進(jìn)盒線一 17的輸送電機(jī)17-1通過(guò)聯(lián)軸器17-2帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸17-3轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)軸17_3帶動(dòng)兩端的同步帶輪17-4轉(zhuǎn)動(dòng)、從而帶動(dòng)同步帶17-5水平移動(dòng)將裝滿未經(jīng)PECVD處理硅片的硅片盒輸送至進(jìn)料升降臺(tái)16上，待硅片盒中的硅片全部取出后進(jìn)料升降臺(tái)16將空硅片盒舉升至出盒線一 18的高度，進(jìn)料升降臺(tái)16的水平輸送裝置將空硅片盒輸送至出盒線一 18的水平同步帶18-5上，出盒線一 18的輸送電機(jī)18-1通過(guò)聯(lián)軸器18-2帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸18_3轉(zhuǎn)動(dòng)， 輸送電機(jī)18-1的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與輸送電機(jī)17-1的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反，轉(zhuǎn)動(dòng)軸18-3帶動(dòng)兩端的同步帶輪18-4轉(zhuǎn)動(dòng)、從而帶動(dòng)同步帶18-5水平移動(dòng)、既而將空硅片盒帶離；硅片盒運(yùn)輸線二其進(jìn)盒線二 20位于出盒線二 19的上方，其工作流程與硅片盒運(yùn)輸線一相反；
進(jìn)料升降臺(tái)16包括安裝支架16-3、豎向升降機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)一，見(jiàn)圖7，水平輸送機(jī)一固定于豎向升降機(jī)構(gòu)，豎向升降機(jī)構(gòu)通過(guò)安裝支架16-3固定于進(jìn)料機(jī)架2 ；豎向升降機(jī)構(gòu)包括豎向直線模組16-2和伺服電機(jī)一 16-1，豎向直線模組16-2固定于安裝支架16_3、 并通過(guò)聯(lián)軸器連接伺服電機(jī)一 16-1，水平輸送機(jī)一安裝于升降底板16-5，升降底板16-5 通過(guò)連接板一 16-4安裝于豎向直線模組16-2 ；連接板一 16-4上端固定有壓緊氣動(dòng)滑臺(tái) 16-8，壓緊氣動(dòng)滑臺(tái)16-8外側(cè)端安裝有壓裝裝置16-7 ；水平輸送機(jī)一包括電機(jī)46，電機(jī)46 安裝于升降底板底部16-5，電機(jī)46輸出軸連接傳動(dòng)同步帶輪47，傳動(dòng)同步帶輪47通過(guò)傳動(dòng)同步帶48與輸送同步帶輪49連接，輸送同步帶輪49通過(guò)輸送同步帶50與輸送從動(dòng)帶輪51連接；升降底板16-5的硅片出片側(cè)端安裝有定位擋塊16-6 ；進(jìn)料升降臺(tái)16工作時(shí) 伺服電機(jī)一 16-1轉(zhuǎn)動(dòng)，連接板一 16-4在豎向直線模組16-2的作用下帶動(dòng)安裝于其上的壓緊裝置16-7、升降底板16-5、升降底板16-5上的水平輸送機(jī)一起下降、直至升降底板16_5 上的水平輸送機(jī)一與進(jìn)盒線一 17的同步帶17-5處于同一水平位置伺服電機(jī)一 16-1停止工作，水平輸送機(jī)一的電機(jī)16-8轉(zhuǎn)動(dòng)通過(guò)傳動(dòng)同步帶16-6帶動(dòng)輸送同步帶輪16-9轉(zhuǎn)動(dòng)， 從而實(shí)現(xiàn)輸送同步帶16-10的水平移動(dòng)，裝滿未經(jīng)PECVD處理硅片的硅片盒即由進(jìn)盒線一 17輸送至進(jìn)料升降臺(tái)16上，電機(jī)16-8停止工作，硅片盒受定位擋塊16-6的阻擋停留在輸送同步帶16-10表面，隨后壓緊氣動(dòng)滑臺(tái)16-8動(dòng)作帶動(dòng)壓緊裝置16-7向下壓緊硅片盒，伺服電機(jī)一 16-1與豎向直線模組16-2工作、將硅片盒向上提升，直到硅片盒中最下層的硅片的高度到達(dá)預(yù)定出片位置，出片機(jī)構(gòu)6將硅片盒中的硅片自下往上一一取出，每取出一張硅片，伺服電機(jī)16-1控制豎向直線模組16-2帶動(dòng)硅片盒下降一層硅片高度，直到硅片盒中的硅片被取空后，伺服電機(jī)16-1控制豎向直線模組16-2帶動(dòng)空硅片盒下降至出盒線一 18的高度，空硅片盒由水平輸送機(jī)送入出盒線一 18 ；
所述出料升降臺(tái)12包括無(wú)桿氣缸12-1、絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和水平傳動(dòng)輸送機(jī)二，見(jiàn)圖8、圖 9和圖10，無(wú)桿氣缸12-1通過(guò)支撐架12-2豎向安裝于出料機(jī)架3，水平輸送機(jī)二 12-17固定于水平安裝板12-3，絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的上頂板12-4固定于水平安裝板12-3的底面，水平輸送機(jī)二 12-17與絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)均通過(guò)連接板12-5安裝于移動(dòng)滑塊12-6，移動(dòng)滑塊12_6連接無(wú)桿氣缸輸出端，支撐架12-2上安裝有與無(wú)桿氣缸12-1平行的直線導(dǎo)軌12-7，移動(dòng)滑塊 12-6嵌裝于直線導(dǎo)軌12-7上；絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)五12-8、滾珠絲桿12_9，伺服電機(jī)五12-8的輸出端連接同步帶輪12-10，滾珠絲桿12-9上端通過(guò)軸承座一 12-11固定于水平安裝板12-3、下端連接有傳動(dòng)帶輪12-12，同步帶輪12-10與傳動(dòng)帶輪12-12之間通過(guò)同步帶12-16連接，滾珠絲桿12-9上安裝有絲桿螺母12-13，絲桿螺母12-13與導(dǎo)桿12-14 連接，導(dǎo)桿12-14上端穿過(guò)水平安裝板12-3、且其上端部安裝有托板12-15 ；水平輸送機(jī)二 12-17與水平輸送機(jī)一結(jié)構(gòu)相同；
排片輸送機(jī)7與出片輸送機(jī)14結(jié)構(gòu)相同，見(jiàn)圖11，均包括底板22、傳送帶23、傳送帶輪、伺服電機(jī)八對(duì)，底板22固定于主機(jī)架1，傳送帶輪包括主動(dòng)帶輪25與從動(dòng)帶輪沈，主動(dòng)帶輪25與從動(dòng)帶輪沈分別通過(guò)帶輪安裝板27J8固定于傳送帶托架四的兩端，傳送帶托架四通過(guò)支架30沿縱向固定于底板22，伺服電機(jī)八M通過(guò)支撐31安裝于底板22的一側(cè)，伺服電機(jī)八M的輸出端安裝有驅(qū)動(dòng)帶輪32，驅(qū)動(dòng)帶輪32與主動(dòng)帶輪25通過(guò)同步帶33 連接，主動(dòng)帶輪25與從動(dòng)帶輪沈之間通過(guò)傳送帶23連接，傳送帶23繞裝于主動(dòng)帶輪25、 傳送帶托架四以及從動(dòng)帶帶輪26外部；
出片機(jī)構(gòu)6包括伺服電機(jī)二 6-1、縱向直線模組一 6-2、豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一 6-4、出片板 6-7，見(jiàn)圖12，出片板6-7通過(guò)縱向連接板二 6-6裝于豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一 6_4，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一 6-4通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)支架6-3安裝于底板6-5，底板6-5安裝于縱向直線模組一 6_2，縱向直線模組一 6-2通過(guò)聯(lián)軸器與伺服電機(jī)二 6-1連接；出片機(jī)構(gòu)工作時(shí)伺服電機(jī)二 6-1、縱向直線模組一 6-2動(dòng)作，推動(dòng)安裝于縱向直線模組一 6-2上的出片板6-7向前伸出至定位于進(jìn)料升降臺(tái)上的硅片盒中最下層的硅片下方，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一 6-4向上伸出使出片板6-7與硅片接觸，伺服電機(jī)二 6-1、縱向直線模組一 6-2繼續(xù)動(dòng)作帶動(dòng)出片板6-7以及其上的硅片向后運(yùn)動(dòng)到達(dá)排片輸送機(jī)的上方后停止動(dòng)作，然后豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一 6-4向下回縮、硅片被放置于排片輸送機(jī)7上后與出片板6-7分離，一個(gè)出片過(guò)程結(jié)束；
縱向定位裝置4安裝于排片輸送機(jī)7的進(jìn)料端，其結(jié)構(gòu)見(jiàn)圖13，其包括定位塊4-9、移動(dòng)塊一 4-7、伺服電機(jī)三4-1、減速器一 4-2，伺服電機(jī)三4-1與減速器一 4_2軸接，減速器一 4-2固定于固定板一 4-10下端、其輸出軸穿過(guò)固定板一 4-10，減速器4-2輸出軸端安裝有齒輪一 4-5，固定板一 4-10的橫向兩端安裝有縱向直線導(dǎo)軌4-3，移動(dòng)塊一 4-7下部橫向兩端設(shè)置有滑塊一 4-4，滑塊一 4-4卡裝于縱向直線導(dǎo)軌4-3，移動(dòng)塊一 4-7下部還固定有齒條一 4-6，齒輪一 4-5與齒條一 4-6嚙合，定位塊4-9設(shè)置有兩塊、分別對(duì)稱安裝于連接板三4-8的橫向兩端部，連接板三4-8固定于移動(dòng)塊一 4-7上部；縱向定位裝置4的伺服電機(jī)三4-1、減速器一 4-2穿過(guò)主機(jī)架1、并通過(guò)固定板一 4-10固定于主機(jī)架1，兩塊定位塊4-9 分別位于排片輸送機(jī)7的橫向兩側(cè)；當(dāng)排片輸送機(jī)表面的硅片經(jīng)過(guò)縱向定位裝置時(shí)，齒輪一 4-5在伺服電機(jī)三4-1、減速器4-2的驅(qū)動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)齒輪一 4-5與齒條一 4_6的嚙合傳動(dòng)、移動(dòng)塊一 4-7沿著縱向直線導(dǎo)軌4-3作水平的縱向移動(dòng)，硅片由固定于移動(dòng)塊一 4-7橫向兩端的定位塊4-9進(jìn)行縱向定位；
橫向定位裝置5沿排片輸送機(jī)7的進(jìn)料方向、安裝于縱向定位裝置4的后端，其結(jié)構(gòu)見(jiàn)圖14、圖15，其包括定位輪一 5-10、移動(dòng)塊二 5-7、減速器二 5_2、伺服電機(jī)四5_1，伺服電機(jī)四5-1與減速器二 5-2軸接，減速器二 5-2固定于固定板二 5-11下端、其輸出軸穿過(guò)固定板二 5-11，減速器5-2輸出端安裝有齒輪二 5-5，移動(dòng)塊二 5-7設(shè)置有兩塊，兩塊移動(dòng)塊二 5-7均為L(zhǎng)形，兩塊移動(dòng)塊5-7相互嵌合，兩塊移動(dòng)塊5-7的縱向下端均安裝有滑塊二 5_4， 固定板二 5-11的縱向兩端安裝有橫向直線導(dǎo)軌5-3，滑塊二 5-4嵌裝于橫向直線導(dǎo)軌5-3 上，兩塊移動(dòng)塊5-7上均安裝有橫向齒條5-6，橫向齒條5-6與齒輪二 5-5嚙合連接，兩塊移動(dòng)塊5-7的橫向外側(cè)端安裝有連接板四5-8，連接板四5-8上部安裝有定位輪一安裝板 5-9，定位輪一安裝板5-9的縱向兩端分別安裝有定位輪一 5-10 ；橫向定位裝置5的減速器二 5-2和伺服電機(jī)四5-1穿過(guò)主機(jī)架1、并通過(guò)固定板二 5-11固定于主機(jī)架1，兩塊移動(dòng)塊二 5-7的的定位輪一 5-10分別位于排片輸送機(jī)7的橫向兩側(cè)；對(duì)硅片進(jìn)行橫向定位時(shí)，齒輪二 5-5在伺服電機(jī)四5-1、減速器二 5-2的驅(qū)動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，分別安裝于兩塊移動(dòng)塊二 5-7上的齒條5-6與齒輪二 5-5嚙合傳動(dòng)，兩塊移動(dòng)塊二 5-7在對(duì)應(yīng)的齒條二 5-6的帶動(dòng)下沿橫向直線導(dǎo)軌5-3橫向移動(dòng)，從而使固定于兩塊移動(dòng)塊二 5-7上的定位輪5-10能夠?qū)⒐杵M(jìn)行橫向的水平微量移動(dòng)，完成橫向定位的操作；
出片搬運(yùn)架13包括縱向直線模組二 13-2、伺服電機(jī)六13-3，見(jiàn)圖16和圖17，縱向直線模組二 13-2通過(guò)兩端的支架一 13-1和支架二 13-8支承，支架一 13_1固定于主機(jī)架1、出片輸送機(jī)14的出料末端的一側(cè)，支架二 13-8固定于硅片盒運(yùn)輸線二的進(jìn)盒線二 20的平臺(tái)上，縱向直線模組二 13-2通過(guò)聯(lián)軸器與伺服電機(jī)六13-3軸接，縱向直線模組二 13-2上通過(guò)連接板五13-4安裝有豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二 13-5，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二 13-5下部通過(guò)吸盤安裝板 13-6連接有氣旋吸盤13-7 ；工作時(shí)，伺服電機(jī)六13-3、縱向直線模組二 13_2控制豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二 13-5沿縱向水平移動(dòng)，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)13-5控制氣旋吸盤13-7從出片輸送機(jī)14表面的硅片吸取后，沿縱向移動(dòng)至出料升降臺(tái)12上方，氣旋吸盤13-7將硅片放置于出料升降臺(tái)12的硅片盒中，即完成一個(gè)硅片的移動(dòng)過(guò)程；
碳板升降臺(tái)10a、10b均包括機(jī)架10-8，見(jiàn)圖23，機(jī)架10_8的縱向一側(cè)安裝有豎向平移機(jī)構(gòu)、其橫向安裝有水平輸送機(jī)四10-7，水平輸送機(jī)四10-7通過(guò)連接板九10-5安裝于豎向平移機(jī)構(gòu)；豎向平移機(jī)構(gòu)包括固定板四10-9、直線模組10-2，直線模組10-2通過(guò)固定板四 10-9固定于機(jī)架10-8的縱向一側(cè)的豎向支架上，直線模組10-2通過(guò)聯(lián)軸器與伺服電機(jī)七 10-1連接，固定板四10-9的縱向兩端安裝有豎向?qū)к?0-3，水平輸送機(jī)四10-7安裝于輸送機(jī)機(jī)架10-6，輸送機(jī)機(jī)架10-6固定于連接板九10-5，連接板九10-5背面的縱向兩側(cè)安裝有滑塊10-4，滑塊10-4卡裝于豎向?qū)к?0-3 ；水平輸送機(jī)四10-7的結(jié)構(gòu)與水平輸送機(jī)三9-2的結(jié)構(gòu)相同；工作時(shí)，伺服電機(jī)七10-1、直線模組10-2控制水平輸送機(jī)四10-7上下移動(dòng)，水平輸送機(jī)四10-7將放置于其表面的出片碳板進(jìn)行水平輸送；
碳板輸送裝卸臺(tái)9包括支架二 9-1、水平輸送機(jī)三9-2、壓緊定位機(jī)構(gòu)9-3、頂升機(jī)構(gòu) 9-4和定位機(jī)構(gòu)9-5，見(jiàn)圖18，支架二 9-1橫向安裝于主機(jī)架1，輸送機(jī)9_2通過(guò)輸送機(jī)機(jī)架 42安裝于支架二 9-1，壓緊定位機(jī)構(gòu)9-3和定位機(jī)構(gòu)9-5分別安裝于輸送機(jī)9_2的縱向兩端，頂升機(jī)構(gòu)9-4通過(guò)固定板三9-17安裝于支架二 9-1 ；水平輸送機(jī)三9-2包括電機(jī)34、傳動(dòng)軸37、主動(dòng)輸送輪39和從動(dòng)輸送輪40，見(jiàn)圖19，電機(jī)34通過(guò)電機(jī)支架35固定于輸送機(jī)機(jī)架42下部，傳動(dòng)軸37的橫向兩端通過(guò)軸承座二 41固定于輸送機(jī)機(jī)架42的縱向支架43 上，電機(jī)34與傳動(dòng)軸37通過(guò)同步帶輪36、38傳動(dòng)連接，傳動(dòng)軸37的橫向兩端均通過(guò)軸承座二安裝有一個(gè)主動(dòng)輸送輪39，兩側(cè)縱向支架43上通過(guò)軸承座三45安裝有兩個(gè)主動(dòng)輸送輪39與兩個(gè)從動(dòng)輸送輪40，主動(dòng)輸送輪39與從動(dòng)輸送輪40均勻、間隔分布安裝于縱向支架37，單側(cè)縱向支架上37、相鄰兩個(gè)主動(dòng)輸送輪39之間通過(guò)傳送帶52傳動(dòng)連接；壓緊定位機(jī)構(gòu)9-3設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板一 9-7安裝于輸送機(jī)機(jī)架42進(jìn)料側(cè)的橫向支架44 兩端；見(jiàn)圖20，安裝板一 9-7下部固定有縱向氣動(dòng)滑臺(tái)一 9-6，縱向氣動(dòng)滑臺(tái)9-6通過(guò)連接板六9-8連接豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三9-9，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三9-9的上端固定有壓緊座9-10，壓緊座 9-10通過(guò)導(dǎo)桿一 9-14連接壓緊塊9-16，導(dǎo)桿一 9_14外部套裝有彈簧9_15，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三9-9通過(guò)橫向連接板七9-11安裝有調(diào)節(jié)板一 9-12，調(diào)節(jié)板一 9-12的縱向前端安裝有定位輪二 9-13 ；頂升機(jī)構(gòu)9-4包括頂升板9-22，見(jiàn)圖21，頂升板9_22上部安裝有載片柱9_23， 頂升板9-22下部通過(guò)連接板八9-21固定于豎向氣動(dòng)滑臺(tái)四9-20，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)四9_20 固定于固定板三9-17，固定板三9-17固定于支架二 9-1，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)四9-20側(cè)面安裝有直線軸承座9-19，直線軸承座9-19上安裝有導(dǎo)桿二 9-18，導(dǎo)桿二 9_18上端頂緊連接板八 9-21下部；定位機(jī)構(gòu)9-5包括設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板二 9-25固定于輸送機(jī)機(jī)架42出料側(cè)的橫向支架44兩端；見(jiàn)圖22，安裝板二 9-25下部固定有縱向氣動(dòng)滑臺(tái)二 9- ，縱向氣動(dòng)滑臺(tái)二 9- 通過(guò)連接板八9- 與豎向氣動(dòng)滑臺(tái)五9-27連接，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)五9-27上端通過(guò)連接塊9- 與調(diào)節(jié)板二 9- 連接，調(diào)節(jié)板二 9- 的前端固定有定位輪三9-30 ；在工作過(guò)程中，裝滿已處理硅片的出片碳板由碳板升降臺(tái)IOa的水平輸送機(jī)10-7水平輸送至碳板輸送裝卸臺(tái)的頂升機(jī)構(gòu)9-22的正上方，同時(shí)壓緊定位機(jī)構(gòu)9-3和定位機(jī)構(gòu)9-5動(dòng)作， 將出片碳板夾緊定位后，然后頂升機(jī)構(gòu)9-22的豎向氣動(dòng)滑臺(tái)四9-20向上動(dòng)作，載片柱9-23 支承住硅片，橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)動(dòng)作進(jìn)行硅片的裝卸，硅片裝卸完后，頂升機(jī)構(gòu)9-22動(dòng)作將硅片落入碳板的定位槽中，壓緊定位機(jī)構(gòu)9-3與定位機(jī)構(gòu)9-5動(dòng)作松開(kāi)出片碳板，水平輸送機(jī)三9-2動(dòng)作將出片碳板水平輸送至PECVD進(jìn)料端口 ；
橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括直線導(dǎo)軌支架8-12、直線模組支架8-13、上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，見(jiàn)圖24，直線導(dǎo)軌支架8-12與直線模組支架8-13等高、并沿橫向平行固定于主機(jī)架 1，直線導(dǎo)軌支架8-12上安裝有直線導(dǎo)軌8-11，上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括直線模組8-la和搬運(yùn)橫梁8-14a，下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括直線模組8-lb與搬運(yùn)橫梁8-214b，直線模組8-la、8_lb均軸接安裝有伺服電機(jī)九8-4，直線模組8-la與直線模組8-lb交錯(cuò)安裝于直線模組支架8_13， 搬運(yùn)橫梁8-14a、8-14b的一端分別通過(guò)滑塊8-10a、8_10b安裝于直線導(dǎo)軌8_11、另一端通過(guò)直線模組連接板8-3a(圖23中未標(biāo)注)、8-北安裝于對(duì)應(yīng)的直線模組8-la、8_lb ；搬運(yùn)橫梁8-1 與搬運(yùn)橫梁8-14b背向安裝，搬運(yùn)橫梁8-14a、8-14b的外側(cè)面分別安裝有氣動(dòng)滑臺(tái)8-9a(圖23中未標(biāo)注)、8-9b，氣動(dòng)滑臺(tái)8-9a、8_9b分別通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)連接板8_8a(圖23 中未標(biāo)注)、8_8b連接吸盤安裝橫梁8-7a (圖23中未標(biāo)注)、8_7b，吸盤安裝橫梁8-7a、8_7b 上分別通過(guò)吸盤安裝板8-fe、8-5b固定有氣旋吸盤8-6a、8-6b ；吸盤安裝橫梁8-7a、8_7b 上均對(duì)應(yīng)安裝有六個(gè)氣旋吸盤8-6a、8-6b，六個(gè)氣旋吸盤8-6均勻分布于吸盤安裝橫梁8_7 上；進(jìn)行上料搬運(yùn)時(shí)，上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)橫梁8-1 在伺服電機(jī)九8-4、直線模組8-la的作用下沿直線導(dǎo)軌8-11水平移動(dòng)至排片輸送機(jī)7上方，氣動(dòng)滑臺(tái)8-9a動(dòng)作、驅(qū)動(dòng)與其連接安裝的氣旋吸盤8_6a向下運(yùn)動(dòng)使氣旋吸盤8_6a與硅片接近，氣旋吸盤8_6a通氣、吸取排片輸送架7表面的硅片，然后伺服電機(jī)九8-4、直線模組8-la驅(qū)動(dòng)搬運(yùn)橫梁8-1 水平移動(dòng)至碳板輸送裝卸臺(tái)9的正上方，氣動(dòng)滑臺(tái)8-9a帶動(dòng)氣旋吸盤8-6a向下使硅片與碳板接近， 氣旋吸盤8-6a斷氣，硅片即被放置于載片柱9-23上；出料搬運(yùn)過(guò)程與上料搬運(yùn)過(guò)程相反； 碳板輸送裝卸臺(tái)9的正下方安裝有廢料收集機(jī)構(gòu)21，廢料收集機(jī)構(gòu)21固定于主機(jī)架 1 ；待處理硅片進(jìn)料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)均設(shè)置有兩套；兩套待處理硅片進(jìn)料機(jī)構(gòu)、 兩套已處理硅片出料機(jī)構(gòu)均沿縱向平行安裝。 下面結(jié)合附圖具體描述一下采用本發(fā)明實(shí)現(xiàn)硅片自動(dòng)上下料的過(guò)程見(jiàn)圖1和圖 2，首先，裝滿未經(jīng)PECVD處理硅片的硅片盒由進(jìn)盒線一 17輸送至進(jìn)料升降臺(tái)16，進(jìn)料升降臺(tái)16將硅片盒向上舉升至預(yù)設(shè)的出片位置高度，出片機(jī)構(gòu)6動(dòng)作、向進(jìn)料升降臺(tái)16方向伸出將硅片盒中硅片取出放置于排片輸送機(jī)7傳送帶表面，每取出一片硅片進(jìn)料升降臺(tái)16 向下移動(dòng)一層高度、排片輸送機(jī)7帶動(dòng)傳送帶表面的硅片向前移動(dòng)一格距離，待硅片盒中的硅片全部取出后進(jìn)料升降臺(tái)16帶動(dòng)空硅片盒上升至出盒線一 18的高度，由出盒線一將空硅片盒運(yùn)出，而當(dāng)排片輸送機(jī)7的輸送帶表面排滿硅片后，橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)8的上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)整體沿直線導(dǎo)軌8-11向排片輸送機(jī)7 —側(cè)移動(dòng)，上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的氣旋吸盤8-6a將排片輸送機(jī)7傳送帶表面排列的硅片吸取后、上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)整體平移至碳板輸送裝卸臺(tái)9上方， 氣旋吸盤8-6a將硅片放置于碳板輸送裝卸臺(tái)9上的出片碳板上，直至出片碳板上排滿硅片后碳板輸送裝卸臺(tái)9將表面放滿未處理硅片的出片碳板輸送入PECVD進(jìn)料口進(jìn)行PECVD處理；而經(jīng)PECVD處理后的硅片隨出片碳板由PECVD機(jī)的出料口水平輸出至碳板升降臺(tái)10_b 內(nèi)的水平輸送機(jī)，碳板升降臺(tái)10-b帶動(dòng)出片碳板以及碳板上已處理過(guò)的硅片下降至PECVD 段輸送線1 高度，碳板升降臺(tái)10-b的水平輸送機(jī)將出片碳板及其上的硅片輸送入PECVD 段輸送線15b，出片碳板及其上的硅片由PECVD段輸送線1 傳送至主機(jī)架輸送線15a，然后由主機(jī)架輸送線1 輸送入碳板升降臺(tái)IOa內(nèi)，碳板升降臺(tái)IOa帶動(dòng)出片碳板與硅片上升至碳板輸送裝卸臺(tái)9的相同高度，碳板升降臺(tái)IOa的水平輸送機(jī)將碳板與硅片傳送至碳板輸送裝卸臺(tái)9，而后橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)8的出料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)至碳板輸送裝卸臺(tái)9上方并吸取出片碳板上已處理的硅片、然后將已處理的硅片放置于出片輸送機(jī)14的水平傳送帶表面，出片搬運(yùn)架13動(dòng)作將放置于出片輸送機(jī)14的水平傳送帶表面的硅片逐一吸取后放入出料升降臺(tái)12的空硅片盒中，出料升降臺(tái)12的空硅片盒由進(jìn)盒線二 20輸送入出料升降臺(tái)12，待空硅片盒中放滿硅片后，出料升降臺(tái)12驅(qū)動(dòng)裝滿已處理硅片的硅片盒豎直下降、 由出盒線二 19將硅片盒運(yùn)出；出料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)每吸取一列出片碳板上已經(jīng)PECVD處理過(guò)的硅片，進(jìn)料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)即從排片輸送機(jī)7的傳送帶表面吸取一列未經(jīng)PECVD處理的硅片放置于出片碳板上，待出片碳板上所有的已處理硅片被出料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)輸送完、出片碳板上已放置滿未經(jīng)PECVD處理的硅片，此后碳板輸送裝卸臺(tái)9再將出片碳板及放置于出片碳板上未處理的硅片向PECVD的進(jìn)料口輸送。
權(quán)利要求
1.用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其包括主機(jī)架，所述主機(jī)架安裝于 PECVD設(shè)備的進(jìn)料端側(cè)，其特征在于其包括控制系統(tǒng)、待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)以及硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，所述待處理硅片送料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)沿縱向平行布置于所述主機(jī)架的橫向兩側(cè)，所述硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)沿縱向布置、并安裝于所述待處理硅片送料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)之間，所述硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)安裝于所述主機(jī)架上、并橫跨于所述待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)的上方，所述待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)與所述控制系統(tǒng)之間均電控連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述待處理硅片送料機(jī)構(gòu)包括硅片盒運(yùn)輸線一、進(jìn)料升降臺(tái)、排片輸送機(jī)、出片機(jī)構(gòu)，所述硅片盒運(yùn)輸線一和所述排片輸送機(jī)分別沿縱向同軸安裝于進(jìn)料機(jī)架、所述主機(jī)架，所述進(jìn)料升降臺(tái)固定于所述進(jìn)料機(jī)架、位于所述硅片盒運(yùn)輸線一出料端與所述排片輸送機(jī)進(jìn)料端之間；所述出片機(jī)構(gòu)沿縱向安裝于所述排片輸送機(jī)的下方；所述排片輸送機(jī)的進(jìn)料端安裝有硅片定位裝置，所述硅片定位裝置固定于所述主機(jī)架；所述硅片定位裝置包括縱向定位裝置和橫向定位裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述已處理硅片出料機(jī)構(gòu)包括硅片盒運(yùn)輸線二、出料升降臺(tái)、出片搬運(yùn)架、出片輸送機(jī)，所述硅片盒運(yùn)輸線二與所述出片輸送機(jī)沿縱向同軸布置，所述硅片盒運(yùn)輸線二、出片輸送機(jī)分別沿縱向安裝于出料機(jī)架和所述主機(jī)架，所述出料升降臺(tái)固定于所述出料機(jī)架、并位于所述出片輸送機(jī)的出料端與所述硅片盒運(yùn)輸線二的進(jìn)料端之間；所述出片搬運(yùn)架沿縱向固定于所述主機(jī)架、所述出料升降臺(tái)的側(cè)面；所述出片輸送機(jī)的出料末端安裝有所述橫向定位裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)包括碳板輸送裝卸臺(tái)、碳板升降臺(tái)和底部機(jī)內(nèi)輸送線，所述碳板升降臺(tái)設(shè)置有兩組，其中一組安裝于所述主機(jī)架的外側(cè)且位于所述進(jìn)料機(jī)架與所述出料機(jī)架的橫向中間、另一組安裝于PECVD設(shè)備出料端側(cè)，所述碳板輸送裝卸臺(tái)固定于所述主機(jī)架、其橫向位置正對(duì)PECVD設(shè)備的進(jìn)料口，所述底部機(jī)內(nèi)輸送線沿縱向布置于所述兩組碳板升降臺(tái)之間，其包括主機(jī)架段輸送線與PECVD段輸送線，所述主機(jī)架段輸送線安裝于所述主機(jī)架內(nèi)、并位于所述碳板輸送裝卸臺(tái)的下方，所述PECVD段輸送線安裝于所述PECVD的底部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)固定于所述主機(jī)架、并橫跨于所述排片輸送機(jī)、碳板輸送裝卸臺(tái)、 出片輸送機(jī)上方。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述硅片盒運(yùn)輸線一和硅片盒運(yùn)輸線二均包括進(jìn)盒線與出盒線，所述進(jìn)盒線與出盒線均設(shè)置有輸送電機(jī)，所述輸送電機(jī)輸出端通過(guò)聯(lián)軸器連接轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸兩端固定有同步帶輪，所述同步帶輪通過(guò)同步帶連接輸送同步帶輪；所述進(jìn)盒線的輸送電機(jī)與出盒線的輸送電機(jī)旋轉(zhuǎn)方向相反；所述進(jìn)盒線與出盒線層疊安裝；所述硅片盒運(yùn)輸線一的進(jìn)盒線一與出盒線一沿縱向?qū)盈B安裝于所述進(jìn)料機(jī)架上、且所述出盒線一位于所述進(jìn)盒線一的上方； 所述硅片盒運(yùn)輸線二的進(jìn)盒線二與出盒線二沿縱向?qū)盈B安裝于所述出料機(jī)架，所述進(jìn)盒線二位于所述出盒線二的上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述進(jìn)料升降臺(tái)包括安裝支架、豎向升降機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)一，所述水平輸送機(jī)一固定于升降底板，所述升降底板通過(guò)連接板一固定于所述豎向升降機(jī)構(gòu)，所述豎向升降機(jī)構(gòu)通過(guò)所述安裝支架固定于所述進(jìn)料機(jī)架；所述豎向升降機(jī)構(gòu)包括豎向直線模組和伺服電機(jī)一， 所述豎向直線模組固定于所述安裝支架、并通過(guò)聯(lián)軸器連接伺服電機(jī)一，所述水平輸送機(jī)一安裝于升降底板，所述升降底板通過(guò)連接板一安裝于所述豎向直線模組；所述水平輸送機(jī)一包括電機(jī)，電機(jī)安裝于升降底板底部，電機(jī)輸出軸連接傳動(dòng)同步帶輪，傳動(dòng)同步帶輪通過(guò)傳動(dòng)同步帶與輸送同步帶輪連接，輸送同步帶輪通過(guò)輸送同步帶與輸送從動(dòng)帶輪連接； 所述連接板一上端固定有壓緊氣動(dòng)滑臺(tái)，所述壓緊氣動(dòng)滑臺(tái)外側(cè)端安裝有壓裝裝置；所述定位擋塊安裝于所述升降底板的硅片出片側(cè)端；所述出料升降臺(tái)包括無(wú)桿氣缸、絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)二，所述無(wú)桿氣缸通過(guò)支撐架豎向安裝于所述出料機(jī)架，所述水平輸送機(jī)二固定于水平安裝板，所述絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的上頂板固定于所述水平安裝板的底面，所述水平輸送機(jī)二與所述絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)均通過(guò)連接板安裝于移動(dòng)滑塊，所述移動(dòng)滑塊連接無(wú)桿氣缸輸出端，所述支撐架上與所述無(wú)桿氣缸平行安裝有直線導(dǎo)軌，所述移動(dòng)滑塊嵌裝于所述直線導(dǎo)軌上；所述絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)五、滾珠絲桿，所述伺服電機(jī)五的輸出端連接同步帶輪，所述滾珠絲桿上端通過(guò)軸承座一固定于所述水平安裝板、其下端連接有傳動(dòng)帶輪，所述同步帶輪與傳動(dòng)帶輪之間通過(guò)同步帶連接，所述滾珠絲桿上安裝有絲桿螺母，所述絲桿螺母與導(dǎo)桿連接，所述導(dǎo)桿上端穿過(guò)所述水平安裝板、且其上端部安裝有托板；所述水平輸送機(jī)二與水平輸送機(jī)一結(jié)構(gòu)相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述排片輸送機(jī)與出片輸送機(jī)結(jié)構(gòu)相同，均包括底板、傳送帶、傳送帶輪、伺服電機(jī)八，所述底板固定于所述主機(jī)架，所述傳送帶輪包括主動(dòng)帶輪與從動(dòng)帶輪，所述主動(dòng)帶輪與從動(dòng)帶輪分別通過(guò)帶輪安裝板固定于傳送帶托架的兩端，所述傳送帶托架通過(guò)支架沿縱向固定于所述底板，所述伺服電機(jī)八通過(guò)支架安裝于所述底板的一側(cè)，所述伺服電機(jī)八的輸出端安裝有驅(qū)動(dòng)帶輪，所述驅(qū)動(dòng)帶輪與主動(dòng)帶輪通過(guò)同步帶連接，所述主動(dòng)帶輪與從動(dòng)帶輪之間通過(guò)所述傳送帶連接，所述傳送帶繞裝于所述主動(dòng)帶輪、傳送帶托架以及從動(dòng)帶輪外部。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述出片機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)二、縱向直線模組一、豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一、出片板，所述出片板通過(guò)縱向連接板二裝于所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)支架安裝于底板，所述底板安裝于所述縱向直線模組一，所述縱向直線模組一通過(guò)聯(lián)軸器與所述伺服電機(jī)二連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述縱向定位裝置安裝于所述排片輸送機(jī)的進(jìn)料端，其包括定位塊、移動(dòng)塊一、伺服電機(jī)三、減速器一，所述伺服電機(jī)三與所述減速器一軸接，所述減速器一固定于固定板一下端、 其輸出軸穿過(guò)所述固定板一，所述減速器輸出軸端安裝有齒輪一，所述固定板一的橫向兩端安裝有縱向直線導(dǎo)軌，所述移動(dòng)塊一下部橫向兩端設(shè)置有滑塊一，所述滑塊一卡裝于所述縱向直線導(dǎo)軌，所述移動(dòng)塊一下部還固定有齒條一，所述齒輪一與齒條一嚙合，所述定位塊設(shè)置有兩塊、分別對(duì)稱安裝于連接板三的橫向兩端部，所述連接板三固定于所述移動(dòng)塊一上部；所述縱向定位裝置的伺服電機(jī)三、減速器一穿過(guò)所述主機(jī)架、并通過(guò)所述固定板一固定于所述主機(jī)架，所述兩塊定位塊分別位于所述排片輸送機(jī)的橫向兩側(cè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述橫向定位裝置沿所述排片輸送機(jī)的進(jìn)料方向、安裝于所述縱向定位裝置的后端，其包括定位輪一、移動(dòng)塊二、減速器二、伺服電機(jī)四，所述伺服電機(jī)四與減速器二軸接，所述減速器二固定于固定板二下端、其輸出軸穿過(guò)所述固定板二，所述減速器輸出端安裝有齒輪二， 所述移動(dòng)塊二設(shè)置有兩塊，所述兩塊移動(dòng)塊二均為L(zhǎng)形，所述兩塊移動(dòng)塊相互嵌合，所述兩塊移動(dòng)塊的縱向下端均安裝有滑塊二，所述固定板二的縱向兩端安裝有橫向直線導(dǎo)軌，所述滑塊二嵌裝于所述橫向直線導(dǎo)軌上，所述兩塊移動(dòng)塊動(dòng)上均安裝有橫向齒條，所述橫向齒條與所述齒輪嚙合連接，所述兩塊移動(dòng)塊的橫向外側(cè)端安裝有連接板四，所述連接板四上部安裝有定位輪一安裝板，所述定位輪一安裝板的縱向兩端分別安裝有所述定位輪一； 所述橫向定位裝置的減速器二和伺服電機(jī)四穿過(guò)所述主機(jī)架、并通過(guò)所述固定板二固定于所述主機(jī)架，所述兩塊移動(dòng)塊二的的定位輪一分別位于所述排片輸送機(jī)的橫向兩側(cè)。
12.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述出片搬運(yùn)架包括縱向直線模組二、伺服電機(jī)六，所述縱向直線模組二通過(guò)兩端的支架一和支架二支承，所述支架一固定于所述主機(jī)架、所述出片輸送機(jī)的出料末端的一側(cè)，所述支架二固定于所述硅片盒運(yùn)輸線二的進(jìn)盒線二平臺(tái)上，所述縱向直線模組二通過(guò)聯(lián)軸器與所述伺服電機(jī)六軸接，所述縱向直線模組二上通過(guò)連接板五安裝有豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二下部通過(guò)吸盤安裝板連接有氣旋吸盤。
13.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述碳板輸送裝卸臺(tái)包括支架二、水平輸送機(jī)一、壓緊定位機(jī)構(gòu)、頂升機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)，所述支架二橫向安裝于所述主機(jī)架，所述輸送機(jī)通過(guò)輸送機(jī)機(jī)架安裝于所述支架二，所述壓緊定位機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)分別安裝于所述輸送機(jī)的縱向兩端，所述頂升機(jī)構(gòu)通過(guò)固定板三安裝于所述支架二；所述水平輸送機(jī)三包括電機(jī)、傳動(dòng)軸、主動(dòng)輸送輪和從動(dòng)輸送輪，所述電機(jī)通過(guò)電機(jī)支架固定于所述輸送機(jī)機(jī)架下部，所述傳動(dòng)軸的橫向兩端通過(guò)軸承座二固定于所述輸送機(jī)機(jī)架的縱向支架，所述電機(jī)與所述傳動(dòng)軸通過(guò)同步帶輪傳動(dòng)連接，所述傳動(dòng)軸的橫向兩端均通過(guò)所述軸承座二安裝有一個(gè)所述主動(dòng)輸送輪，所述兩側(cè)縱向支架上均分別通過(guò)軸承座三安裝有兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪與兩個(gè)從動(dòng)輸送輪，所述主動(dòng)輸送輪與從動(dòng)輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述縱向支架，單側(cè)所述縱向支架上、相鄰兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪之間通過(guò)傳送帶傳動(dòng)連接；所述壓緊定位機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板一安裝于所述輸送機(jī)機(jī)架進(jìn)料側(cè)的橫向支架兩端；所述安裝板二下部固定有縱向氣動(dòng)滑臺(tái)一，所述縱向氣動(dòng)滑臺(tái)通過(guò)連接板六連接豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三的上端固定有壓緊座，所述壓緊座通過(guò)導(dǎo)桿一連接壓緊塊，所述導(dǎo)桿一外部套裝有彈簧，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三通過(guò)橫向連接板七安裝有調(diào)節(jié)板一，所述調(diào)節(jié)板一的縱向前端安裝有定位輪二；所述頂升機(jī)構(gòu)包括頂升板，所述頂升板上部安裝有載片柱，所述頂升板下部通過(guò)連接板八固定于豎向氣動(dòng)滑臺(tái)四，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)四固定于所述固定板三，所述固定板三固定于所述支架二，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)四側(cè)面安裝有直線軸承導(dǎo)軌，所述直線軸承導(dǎo)軌上安裝有導(dǎo)桿二，所述導(dǎo)桿二上端頂緊所述連接板下部；所述定位機(jī)構(gòu)包括設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板二固定于所述輸送機(jī)機(jī)架出料側(cè)的橫向支架兩端；所述安裝板二下部固定有縱向氣動(dòng)滑臺(tái)二，所述縱向氣動(dòng)滑臺(tái)二通過(guò)連接板八與豎向氣動(dòng)滑臺(tái)五連接，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)五上端通過(guò)連接塊與調(diào)節(jié)板二，所述調(diào)節(jié)板二的前端固定有定位輪三。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述碳板升降臺(tái)包括機(jī)架，所述機(jī)架的縱向一側(cè)安裝有豎向平移機(jī)構(gòu)、其橫向安裝有水平輸送機(jī)四，所述水平輸送機(jī)四通過(guò)連接板九安裝于所述豎向平移機(jī)構(gòu)；所述豎向平移機(jī)構(gòu)包括固定板四、直線模組，所述直線模組通過(guò)所述固定板固定于所述機(jī)架的縱向一側(cè)的豎向支架上，所述直線模組通過(guò)聯(lián)軸器與伺服電機(jī)七連接，所述固定板的縱向兩端安裝有豎向?qū)к?，所述水平輸送機(jī)四安裝于輸送機(jī)機(jī)架，所述輸送機(jī)機(jī)架固定于所述連接板九，所述連接板九背面的縱向兩側(cè)安裝有滑塊，所述滑塊卡裝于所述豎向?qū)к?；所述水平輸送機(jī)四的結(jié)構(gòu)與所述水平輸送機(jī)三的結(jié)構(gòu)相同。
15.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包括直線導(dǎo)軌支架、直線模組支架、上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，所述直線導(dǎo)軌支架與直線模組支架等高、并沿橫向平行固定于所述主機(jī)架，所述直線導(dǎo)軌支架上安裝有直線導(dǎo)軌，所述上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)和下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)均包括直線模組與搬運(yùn)橫梁，所述直線模組均軸接安裝有伺服電機(jī)九，所述上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的直線模組與下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的直線模組交錯(cuò)安裝于所述直線模組支架，所述搬運(yùn)橫梁一端通過(guò)滑塊安裝于所述直線導(dǎo)軌、另一端通過(guò)直線模組連接板安裝于對(duì)應(yīng)的直線模組；所述上料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)橫梁與下料搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)橫梁背向安裝，所述搬運(yùn)橫梁外側(cè)面安裝有氣動(dòng)滑臺(tái)，所述氣動(dòng)滑臺(tái)通過(guò)氣動(dòng)滑臺(tái)安裝板連接吸盤安裝橫梁，所述吸盤安裝橫梁上通過(guò)吸盤安裝板固定有所述氣旋吸盤；所述吸盤安裝橫梁上安裝有六個(gè)所述氣旋吸盤，所述六個(gè)氣旋吸盤均勻分布于所述吸盤安裝橫梁上。
16.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述碳板輸送裝卸臺(tái)的下方安裝有廢料收集機(jī)構(gòu)，所述廢料收集機(jī)構(gòu)固定于所述主機(jī)架。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其特征在于 所述待處理硅片進(jìn)料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)均設(shè)置有兩套；所述兩套待處理硅片進(jìn)料機(jī)構(gòu)、兩套已處理硅片出料機(jī)構(gòu)均沿縱向平行安裝。
全文摘要
本發(fā)明提供了用于板式PECVD設(shè)備的硅片自動(dòng)上下料系統(tǒng)，其能解決現(xiàn)有手工操作存在的硅片破碎率高的問(wèn)題，能降低生產(chǎn)成本、提高勞動(dòng)生產(chǎn)率、降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度。其包括安裝于PECVD設(shè)備的進(jìn)料端側(cè)的主機(jī)架、控制系統(tǒng)、待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)以及硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，待處理硅片送料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)沿縱向平行布置于主機(jī)架的橫向兩側(cè)，硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)沿縱向布置、并安裝于待處理硅片送料機(jī)構(gòu)與已處理硅片出料機(jī)構(gòu)之間，硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)安裝于主機(jī)架上、并橫跨于待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)的上方，待處理硅片送料機(jī)構(gòu)、已處理硅片出料機(jī)構(gòu)、硅片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、硅片的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)與控制系統(tǒng)之間均電控連接。
文檔編號(hào)H01L31/18GK102437251SQ20111045886
公開(kāi)日2012年5月2日 申請(qǐng)日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者劉曉平, 胡文全, 陳世強(qiáng), 陳平, 陶凌 申請(qǐng)人:無(wú)錫市奧曼特科技有限公司