技術編號：7170415
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及太陽能硅片加工自動化設備領域，其涉及減反射膜制備工序的自動化設備領域，具體為用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統(tǒng)。背景技術在現(xiàn)有的減反射膜制備工序中，需要人工將碳板上已經(jīng)處理過的硅片裝入片盒、 將未處理過的硅片裝進碳板，其缺點在于人工操作易引起硅片的破碎使得生產(chǎn)成本高，同時，人工操作生產(chǎn)效率低、勞動強度大。發(fā)明內(nèi)容針對上述問題，本發(fā)明提供了用于板式PECVD設備的硅片自動上下料系統(tǒng)，其能解決現(xiàn)有手工操作存在的硅片破碎率高的問題，從而能夠降低...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。