一種硅片盒自動傳送系統(tǒng)及傳送方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體集成電路物料輸送機臺技術領域，尤其涉及一種的硅片盒自動傳送系統(tǒng)及傳送方法。
【背景技術】
[0002]隨著半導體技術的發(fā)展，300mm硅片已經(jīng)逐步取代200mm硅片成為主流，每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導體制造對于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來越嚴茍S自動化物料傳輸系統(tǒng)(Automated MaterialHandlingSystems，簡稱AMHS)作為連接各個制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日?凸顯出來。
[0003]現(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)均采用懸掛于天花板上的多條軌道結構與軌道上行駛的OHT輸送車，往返于各個機臺之間(tool to tool輸送模式)，或往返于機臺與暫存區(qū)Stocker之間。如圖1所示，現(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)包括在輸送車101以及工藝設備103，輸送車101抓取硅片盒102在軌道(圖中未示出)上行駛，工藝設備103具有用于裝載硅片盒的裝載臺104，當抓取有硅片盒102的輸送車101沿著軌道到達工藝設備103上方時，輸送車101下降，將硅片盒102放置在裝載臺104上。
[0004]通常在300mm半導體廠房建設中，先安裝AMHS系統(tǒng)軌道，然后工藝設備才就位，工藝設備上的裝載臺根據(jù)軌道上投射的對準線對準，通常對準要求非常高，誤差要求〈+/-lcm，而300mm工藝設備通常都非常重，從兩三噸重量至十幾噸重量不等，目前仍然需要通過人力搬運工藝設備，使工藝設備的裝載臺與軌道投射的對準線對準，在這樣高的對準精度要求下，需要耗費大量時間和人力。如果工藝設備與輸送車輸送車的位置偏差較大，則無法完成硅片盒的取放工作。
[0005]由此可見，本領域技術人員亟需提供一種可自動識別位置偏差的硅片盒自動傳送系統(tǒng)及傳送方法，從而降低工藝設備的裝載臺與輸送車之間的對準時間和人力消耗，保證硅片盒的正常取放。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明目的是提供一種的硅片盒自動傳送系統(tǒng)及傳送方法，通過在輸送車在裝載臺上進行硅片盒取放時，裝載臺可自動修正其自身位置，保證硅片盒的正常取放，減少前期工藝設備與軌道對準的工作量。
[0007]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種硅片盒自動傳送系統(tǒng)，包括輸送車以及工藝設備，所述輸送車用于抓取硅片盒并沿著軌道行駛，所述工藝設備具有用于放置所述硅片盒的裝載臺；所述輸送車上具有用于發(fā)出鐳射光的鐳射發(fā)射器；所述裝載臺可相對于所述工藝設備做水平方向上的運動，所述裝載臺上設有感光傳感器面板、控制單元以及驅動單元；其中，所述感光傳感器面板用于接收所述鐳射發(fā)射器發(fā)出的鐳射光，并確認所述裝載臺的位置和輸送車的位置；所述控制單元將所述裝載臺的位置與輸送車的位置進行對比，并確認待修正的距離，所述驅動單元用于接收所述控制單元反饋的待修正距離的信息，并調(diào)整所述裝載臺的位置，直至所述裝載臺的位置移動至輸送車位置的正下方。
[0008]優(yōu)選的，所述工藝設備上具有供所述裝載臺移動的滑軌，所述裝載臺的下方具有與所述滑軌配合的滾輪。
[0009]優(yōu)選的，所述感光傳感器面板覆蓋整個裝載臺，或所述感光傳感器面板覆蓋所述裝載臺的局部。
[0010]優(yōu)選的，所述鐳射發(fā)射器發(fā)出至少一束鐳射光。
[0011 ] 優(yōu)選的，所述裝載臺的中心位置處設有十字形的中心線。
[0012]優(yōu)選的，所述裝載臺上設有多個信息腳位。
[0013]優(yōu)選的，所述控制單元與控制電腦連接，所述控制電腦用于存儲所述裝載臺待修正距離的信息。
[0014]本發(fā)明還提供一種硅片盒自動傳送方法，包括以下步驟:
[0015]步驟S01、所述輸送車抓取硅片盒行駛至所述工藝設備的裝載臺上方；
[0016]步驟S02、所述輸送車的鐳射發(fā)射器向所述裝載臺的感光傳感器面板發(fā)出至少一束鐳射光，并確認所述裝載臺的位置和輸送車的位置；
[0017]步驟S03、所述控制單元將所述裝載臺的位置與輸送車的位置進行對比，并確認待修正的距離；
[0018]步驟S04、所述驅動單元接收所述控制單元發(fā)送的待修正距離的信息，并調(diào)整所述裝載臺的位置，直至所述裝載臺移動至輸送車位置的正下方；
[0019]步驟S05、所述輸送車的抓取裝置將硅片盒下降并放置在所述裝載臺上后，輸送車離開。
[0020]優(yōu)選的，所述步驟S03中，所述控制單元同時將待修正距離的信息發(fā)送至控制電腦，所述控制電腦存儲所述裝載臺待修正距離的信息。
[0021]優(yōu)選的，所述裝載臺上具有十字形的中心線圖像和/或多個信息腳位圖像。
[0022]本發(fā)明提供了一種硅片盒自動傳送系統(tǒng)及方法，通過增設鐳射發(fā)射器、感光傳感器面板、控制單元以及驅動單元，使裝載臺具備位置自動修正功能，保證裝載臺位于輸送車的正下方時進行硅片盒取放動作，由于裝載臺具備位置修正功能，因此工藝設備在前期安裝的過程中，與軌道位置對準時的偏差容許量得以增加，從而大大減少工藝設備就位時耗費的人力和時間；此外，本發(fā)明還可同時將位置修正的信息發(fā)送至控制電腦，避免后續(xù)輸送車行駛至裝載臺上方時，裝載臺重復的確認待修正距離的信息，簡化了傳送步驟；本發(fā)明結構簡單、使用方便、操作安全，大大提高了傳送效率。
【附圖說明】
[0023]圖1為現(xiàn)有的硅片盒自動傳送系統(tǒng)優(yōu)選實施方式的結構示意圖；
[0024]圖2為本發(fā)明提供的硅片盒自動傳送系統(tǒng)優(yōu)選實施方式的結構示意圖；
[0025]圖3為圖2中硅片盒自動傳送系統(tǒng)中裝載臺的對準位置示意圖。
[0026]其中，圖1?圖3中:
[0027]101、輸送車；102、硅片盒；103、工藝設備；104、裝載臺；105、鐳射發(fā)射器；106、感光傳感器面板；107、控制單元；108、驅動單元；109、儀射光；110、中心線；111、信息腳位。
【具體實施方式】
[0028]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容作進一步說明。當然本發(fā)明并不局限于該具體實施例，本領域內(nèi)的技術人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。其次，本發(fā)明利用示意圖進行了詳細的表述，在詳述本發(fā)明實例時，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應以此作為對本發(fā)明的限定。
[0029]需要說明的是，在下述的實施例中，利用圖2?3的結構示意圖對按本發(fā)明硅片盒自動傳送系統(tǒng)進行了詳細的表述。在詳述本發(fā)明的實施方式時，為了便于說明，各示意圖不依照一般比例繪制并進行了局部放大及省略處理，因此，應避免以此作為對本發(fā)明的限定。
[0030]請參考圖2?圖3，圖2為本發(fā)明提供的硅片盒自動傳送系統(tǒng)優(yōu)選實施方式的結構示意圖；圖3為圖2中硅片盒自動傳送系統(tǒng)中裝載臺的對準位置示意圖。
[0031]如圖2所示，本發(fā)明提供了一種硅片盒自動傳送系統(tǒng)，包括輸送車101以及工藝設備103，輸送車101用于抓取硅片盒102并沿著軌道(圖中未示出)行駛，軌道安裝在天花板上，工藝設備103具有用于放置硅片盒102的裝載臺104，工藝設備103安裝在軌道的下方。
[0032]為了使裝載臺104具備位置自動修正功能，裝載臺104可相對于工藝設備103做水平方向上的運動，本實施例中，工藝設備103上具有供裝載臺104移動的滑軌，裝載臺104的下方具有與滑軌配合的滾輪，通過滾輪在滑軌上運動，實現(xiàn)裝載臺104水平方向的位移，裝載臺104上還可設置緊固件防止?jié)L輪滑動。值得說明的是，本發(fā)明不限于上述實施例，裝載