專利名稱：基板處理系統(tǒng)和基板輸送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)顯示面板用的基板進(jìn)行處理的基板處理系統(tǒng)和該基板處理系統(tǒng)的基板輸送方法。
背景技術(shù)：
對(duì)于用于平板顯示器等的玻璃基板，為了在該玻璃基板上構(gòu)成微細(xì)的配線等，而實(shí)施等離子蝕刻法處理。通常，對(duì)于玻璃基板的等離子蝕刻法處理在基板處理系統(tǒng)中實(shí)施。在用于第六代的平板顯示器的玻璃基板實(shí)施等離子蝕刻法處理的基板處理系統(tǒng)， 具備處理腔(處理室)和對(duì)該處理腔進(jìn)行玻璃基板的搬出搬入的負(fù)載鎖定模塊。在該基板處理系統(tǒng)中，在處理腔內(nèi)，采用使用了與在基板載置臺(tái)上使玻璃基板上升或者下降的第一升降銷不同的第二升降銷的基板更換方式，第二升降銷在多處保持玻璃基板的端部來使該玻璃基板上升或者下降，因此，能使實(shí)施玻璃基板的搬出搬入的負(fù)載鎖定模塊內(nèi)的輸送臂的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，具體而言可以是單臂型或上下無旋轉(zhuǎn)軸型的省空間且簡(jiǎn)易的結(jié)構(gòu)，由此，能兼顧裝置的制造成本和平板顯示器的生產(chǎn)性。可是，在對(duì)第七代以后的平板顯示器實(shí)施等離子蝕刻法處理的基板處理系統(tǒng)中， 由于玻璃基板的大小的大型化，在使用限制基板支承位置的第二升降銷的基板更換的時(shí)候，第二升降銷不能保持玻璃基板的適當(dāng)?shù)牡胤?，可能?huì)使玻璃基板的彎曲變得過大，并由于基板破裂而不能輸送。因此，與此對(duì)應(yīng)，現(xiàn)狀是廢除第二升降銷，而采用雙臂型的輸送臂作為負(fù)載鎖定模塊內(nèi)的輸送臂，通過由該輸送臂實(shí)施基板更換，來防止玻璃基板的彎曲的發(fā)生。圖11是概略表示在第七代以后的平板顯示器實(shí)施等離子蝕刻法處理的基板處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的立體圖。在圖11中，該基板處理系統(tǒng)110具備使收納于盒113的未處理的玻璃基板通過大氣系輸送臂114向轉(zhuǎn)移模塊112輸送的負(fù)載鎖定模塊115。該負(fù)載鎖定模塊115使處理完成的玻璃基板從轉(zhuǎn)移模塊112通過大氣系輸送臂114向盒116輸送。由于處理腔111和轉(zhuǎn)移模塊112的內(nèi)部狀態(tài)維持為大致真空，所以負(fù)載鎖定模塊115構(gòu)成為能使內(nèi)部狀態(tài)在大氣和真空之間切換(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。此外，在基板處理系統(tǒng)110的轉(zhuǎn)移模塊112的內(nèi)部配置有作為基板輸送單元的階梯(scalar)型或直動(dòng)型的輸送臂(未圖示)，該輸送臂在轉(zhuǎn)移模塊112的內(nèi)部以載置玻璃基板的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)。因而，需要使轉(zhuǎn)移模塊112的內(nèi)部容積較大。在開始制造的第十代的平板顯示器中使用的玻璃基板，由于呈一邊約不足!Μ的長(zhǎng)方形，所以需要進(jìn)一步使轉(zhuǎn)移模塊112的內(nèi)部容積變大，其結(jié)果是，使轉(zhuǎn)移模塊112巨大化。此外，在基板處理系統(tǒng)110中在轉(zhuǎn)移模塊112和負(fù)載鎖定模塊115之間配置有可斷絕真空的閘閥117，但是該閘閥117也隨著轉(zhuǎn)移模塊112的巨大化而巨大化，因此產(chǎn)生轉(zhuǎn)移模塊112和閘閥117的制造成本上升的問題。對(duì)于即將開始制造的第十一代的平板顯示器中使用的玻璃基板(呈一邊約超!Μ的長(zhǎng)方形)，上述的轉(zhuǎn)移模塊112等的制造成本的上升更加顯著。于是，為了削減轉(zhuǎn)移模塊 112等制造成本，研究出基板處理系統(tǒng)120，該基板處理系統(tǒng)120如圖12所示，具備一個(gè)處理腔121和與該處理腔121連接的一個(gè)負(fù)載鎖定模塊122，并具有與處理第六代的平板顯示器中使用的玻璃基板的基板處理系統(tǒng)相似的結(jié)構(gòu)?？墒牵逄幚硐到y(tǒng)120只具備一個(gè)處理腔121，所以在負(fù)載鎖定模塊122實(shí)施玻璃基板的搬出搬入時(shí)，不能在其他的玻璃基板上實(shí)施等離子蝕刻法處理。因而，為了提高平板顯示器的制造效率，需要通過負(fù)載鎖定模塊122在短時(shí)間實(shí)施玻璃基板的搬出搬入。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-208235號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題然而，在使用一般的階梯型或直動(dòng)式的雙臂型的輸送臂作為負(fù)載鎖定模塊122具備的基板輸送單元的時(shí)候，由于需要在負(fù)載鎖定模塊122的內(nèi)部確保該輸送臂的可動(dòng)作區(qū)域，所以需要使負(fù)載鎖定模塊122的內(nèi)部容積較大。另一方面，由于需要負(fù)載鎖定模塊122 構(gòu)成為內(nèi)部狀態(tài)可在大氣與真空之間切換，所以負(fù)載鎖定模塊122的內(nèi)部容積較大時(shí)，在玻璃基板的搬出搬入時(shí)的內(nèi)部狀態(tài)的大氣與真空的切換中需要時(shí)間，結(jié)果是，存在不能提高平板顯示器的制造效率的問題。本發(fā)明的目的是提供能提高基板的處理效率的基板處理系統(tǒng)和基板輸送方法。解決問題的方法為了達(dá)成上述目的，技術(shù)方案1記載的基板處理系統(tǒng)包括在真空狀態(tài)下在基板上實(shí)施處理的一個(gè)基板處理裝置；與該基板處理裝置連接并使內(nèi)部狀態(tài)在大氣與真空之間進(jìn)行切換的第一基板輸送裝置；和第二基板輸送裝置，其與該第一基板輸送裝置連接，按照隔著上述第一基板輸送裝置與上述基板處理裝置相對(duì)的方式配置，上述第二基板輸送裝置在大氣狀態(tài)下相對(duì)于上述第一基板輸送裝置進(jìn)行上述基板的搬出搬入，上述第一基板輸送裝置相對(duì)于上述基板處理裝置進(jìn)行上述基板的搬出搬入，該基板處理系統(tǒng)的特征在于，上述第一基板輸送裝置具有在該第一基板輸送裝置的內(nèi)部上下重疊地配置，且相互獨(dú)立地上下運(yùn)動(dòng)的上部基板輸送機(jī)構(gòu)和下部基板輸送裝置，上述上部基板輸送機(jī)構(gòu)具有第一基部， 其配置有相互平行且向上述基板處理裝置延伸的多個(gè)第一導(dǎo)向部；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第一中間滑動(dòng)部件，其與各上述第一導(dǎo)向部對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向上述基板處理裝置對(duì)于上述第一導(dǎo)向部相對(duì)地滑動(dòng)；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第一上部滑動(dòng)部件，其與各上述第一中間滑動(dòng)部件對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向上述基板處理裝置對(duì)于上述第一中間滑動(dòng)部件相對(duì)地滑動(dòng)，上述下部基板輸送機(jī)構(gòu)具有第二基部，其配置有相互平行且向上述基板處理裝置延伸的多個(gè)第二導(dǎo)向部；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第二中間滑動(dòng)部件，其與各上述第二導(dǎo)向部對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向上述基板處理裝置對(duì)于上述第二導(dǎo)向部相對(duì)地滑動(dòng)；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第二上部滑動(dòng)部件，其與各上述第二中間滑動(dòng)部件對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向上述基板處理裝置對(duì)于上述第二中間滑動(dòng)部件相對(duì)地滑動(dòng)， 多個(gè)上述第一上部滑動(dòng)部件和多個(gè)上述第二上部滑動(dòng)部件分別載置上述基板。技術(shù)方案2記載的基板處理系統(tǒng)，其特征是，在技術(shù)方案1記載的基板處理系統(tǒng)中，在所述第一基板輸送裝置的內(nèi)部具備從下方向上方自由突出的多個(gè)銷狀部件。技術(shù)方案3記載的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，在技術(shù)方案1或者2記載的基板處理系統(tǒng)中，上述基板呈矩形，一邊的長(zhǎng)度為1.8m以上。技術(shù)方案4記載的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，在技術(shù)方案1 3中任一項(xiàng)記載的基板處理系統(tǒng)中，在上述上部基板輸送機(jī)構(gòu)中各上述第一中間滑動(dòng)部件與各上述第一上部滑動(dòng)部件同步滑動(dòng)，在上述下部基板輸送機(jī)構(gòu)中各上述第二中間滑動(dòng)部件與上述述第二上部滑動(dòng)部件同步滑動(dòng)。技術(shù)方案5記載的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，在技術(shù)方案1 3中任一項(xiàng)記載的基板處理系統(tǒng)中，在上述上部基板輸送機(jī)構(gòu)中各上述第一中間滑動(dòng)部件相互不連結(jié)，在上述下部基板輸送機(jī)構(gòu)中各上述第二中間滑動(dòng)部件相互不連接。技術(shù)方案6記載的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，在技術(shù)方案1 3中任一項(xiàng)記載的基板處理系統(tǒng)中，在上述上部基板輸送機(jī)構(gòu)中各上述第一上部滑動(dòng)部件相互不連結(jié)，在上述下部基板輸送機(jī)構(gòu)中各上述第二上部滑動(dòng)部件相互不連結(jié)。為了達(dá)成上述目的，技術(shù)方案7記載的基板輸送方法，是一種基板處理系統(tǒng)的基板輸送方法，上述基板處理系統(tǒng)具備在真空狀態(tài)下在基板上實(shí)施處理的一個(gè)基板處理裝置；與該基板處理裝置連接并使內(nèi)部狀態(tài)在大氣與真空之間進(jìn)行切換的第一基板輸送裝置；和第二基板輸送裝置，其與該第一基板輸送裝置連接，按照隔著上述第一基板輸送裝置與上述基板處理裝置相對(duì)的方式配置，上述第二基板輸送裝置在大氣狀態(tài)下相對(duì)于上述第一基板輸送裝置進(jìn)行上述基板的搬出搬入，上述第一基板輸送裝置相對(duì)于上述基板處理裝置進(jìn)行上述基板的搬出搬入，上述第一基板輸送裝置具有在該第一基板輸送裝置的內(nèi)部上下重疊地配置，且相互獨(dú)立地上下運(yùn)動(dòng)的上部基板輸送機(jī)構(gòu)和下部基板輸送裝置，并具有在上述第一基板輸送裝置的內(nèi)部從下方向上方自由突出的多個(gè)銷狀部件，上述上部基板輸送機(jī)構(gòu)具有第一基部，其配置有相互平行且向上述基板處理裝置延伸的多個(gè)第一導(dǎo)向部；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第一中間滑動(dòng)部件，其與各上述第一導(dǎo)向部對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向上述基板處理裝置對(duì)于上述第一導(dǎo)向部相對(duì)地滑動(dòng)；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第一上部滑動(dòng)部件，其與各上述第一中間滑動(dòng)部件對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向上述基板處理裝置對(duì)于上述第一中間滑動(dòng)部件相對(duì)地滑動(dòng)，上述下部基板輸送機(jī)構(gòu)具有第二基部，其配置有相互平行且向上述基板處理裝置延伸的多個(gè)第二導(dǎo)向部；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第二中間滑動(dòng)部件，其與各上述第二導(dǎo)向部對(duì)應(yīng)地設(shè)置， 朝向上述基板處理裝置對(duì)于上述第二導(dǎo)向部相對(duì)地滑動(dòng)；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第二上部滑動(dòng)部件，其與各上述第二中間滑動(dòng)部件對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向上述基板處理裝置對(duì)于上述第二中間滑動(dòng)部件相對(duì)地滑動(dòng)，多個(gè)上述第一上部滑動(dòng)部件和多個(gè)上述第二上部滑動(dòng)部件分別載置上述基板，該基板輸送方法的特征在于，具有上述上部基板輸送機(jī)構(gòu)接收上述第二基板輸送裝置搬入的未處理的基板的第一接取步驟；使上述上部基板輸送機(jī)構(gòu)和上述下部基板輸送機(jī)構(gòu)上升的第一上升步驟；上述下部基板輸送機(jī)構(gòu)使上述第二中間滑動(dòng)部件和上述第二上部滑動(dòng)部件滑動(dòng)，將處理完成的基板從上述基板處理裝置搬出的搬出步驟；使上述上部基板輸送機(jī)構(gòu)和上述下部基板輸送機(jī)構(gòu)下降的下降步驟；上述上部基板輸送機(jī)構(gòu)使上述第一中間滑動(dòng)部件和上述第一上部滑動(dòng)部件滑動(dòng)，將上述未處理的基板搬入上述基板處理裝置的搬入步驟；僅上述上部基板輸送機(jī)構(gòu)上升的第二上升步驟；上述多個(gè)銷狀部件突出， 使上述處理完成的基板從上述下部基板輸送機(jī)構(gòu)離開并上升的第三上升步驟；上述第二基板輸送裝置接收上升的上述處理完成的基板的第二接取步驟。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，第一基板輸送裝置的上部基板輸送機(jī)構(gòu)具有對(duì)于第一導(dǎo)向部相對(duì)地滑動(dòng)的多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第一中間滑動(dòng)部件和對(duì)于第一中間滑動(dòng)部件相對(duì)地滑動(dòng)的多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第一上部滑動(dòng)部件，所以在相對(duì)于基板處理裝置搬出搬入基板的時(shí)候以外，通過將第一導(dǎo)向部、第一中間滑動(dòng)部件和第一上部滑動(dòng)部件重疊能使上部基板輸送機(jī)構(gòu)變小。此外， 第一基板輸送裝置的下部基板輸送機(jī)構(gòu)具有對(duì)于第二導(dǎo)向部相對(duì)地滑動(dòng)的多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第二中間滑動(dòng)部件和對(duì)于第二中間滑動(dòng)部件相對(duì)地滑動(dòng)的多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第二上部滑動(dòng)部件，所以在相對(duì)于基板處理裝置搬出搬入基板的時(shí)候以外，通過將第二導(dǎo)向部、第二中間滑動(dòng)部件和第二上部滑動(dòng)部件重疊能使下部基板輸送機(jī)構(gòu)變小。并且，由于第一基板輸送裝置僅連接一個(gè)基板處理裝置，所以第一基板輸送裝置可以相對(duì)于一個(gè)基板處理裝置進(jìn)行基板的搬出搬入。此外，通過上部基板輸送機(jī)構(gòu)上升不會(huì)妨礙下部基板輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行的基板的搬出搬入和交接，通過下部基板輸送機(jī)構(gòu)下降不會(huì)妨礙上部基板輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行的基板的搬出搬入和交接。因而，不需要使上部基板輸送機(jī)構(gòu)和下部基板輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，能使上部基板輸送機(jī)構(gòu)和下部基板輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化， 能進(jìn)一步使上部基板輸送機(jī)構(gòu)和下部基板輸送機(jī)構(gòu)縮小。其結(jié)果是，能使第一基板輸送裝置的內(nèi)部容積較小，因而，在第一基板輸送裝置的內(nèi)部狀態(tài)的大氣與真空的切換上不需要花時(shí)間。由此，能提高基板的處理效率。


圖1是概略表示本發(fā)明的實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2是概略表示在現(xiàn)有的基板處理系統(tǒng)使用的基板輸送單元的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖3是在圖1的線A-A的截面圖。圖4是概略表示圖3的上部基板輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖，圖4(A)是用于說明上部基板輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作的截面圖，圖4(B)是在圖4(A)的線B-B的截面圖。圖5是用于說明導(dǎo)向部、導(dǎo)向臂和拾取器的位置關(guān)系的擴(kuò)大截面圖。圖6是概略表示圖3的下部基板輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖，圖6(A)是用于說明下部基板輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作的截面圖，圖6(B)是在圖6(A)的線C-C的截面圖。圖7是用于說明作為本實(shí)施方式的基板輸送方法的輸送順序的工序圖。圖8是用于說明作為本實(shí)施方式的基板輸送方法的輸送順序的工序圖。圖9是表示上部基板輸送機(jī)構(gòu)和下部基板輸送機(jī)構(gòu)的變形例的圖，圖9 (A)是水平截面圖，圖9(B)是縱截面圖。圖10是表示上部基板輸送機(jī)構(gòu)和下部基板輸送機(jī)構(gòu)的拾取器的變形例的擴(kuò)大截面圖。圖11是概略地表示在第七代以后的平板顯示器實(shí)施等離子蝕刻法處理的基板處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖12是概略地表示在第十一代的平板顯示器實(shí)施等離子蝕刻法處理的基板處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的立體圖。符號(hào)說明
G玻璃基板10基板處理系統(tǒng)11處理腔13負(fù)載鎖定模塊22上部基板輸送機(jī)構(gòu)23下部基板輸送機(jī)構(gòu)24緩沖銷25、四導(dǎo)向部26、30升降基座27、31 導(dǎo)向臂28、32 拾取器
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的說明。圖1是概略表示本發(fā)明的實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的俯視圖。該基板處理系統(tǒng)，以單片的方式對(duì)一邊的長(zhǎng)度為1. 8m以上的矩形玻璃基板，特別是對(duì)用于第十一代以后的平板顯示器的玻璃基板實(shí)施等離子蝕刻法處理。另外，在圖1中，為了容易理解基板處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，使用水平截面圖表示后述的負(fù)載鎖定模塊13和處理腔11。在圖1中，基板處理系統(tǒng)10具備筐體狀的處理腔11 (基板處理裝置)；通過閘閥 12與該處理腔11連接的筐體狀的負(fù)載鎖定模塊13 (第一基板輸送裝置)；大氣系輸送裝置 14 (第二基板輸送裝置)，其與該負(fù)載鎖定模塊13連接，并以隔著負(fù)載鎖定模塊13與處理腔11相對(duì)的方式配置；盒15 (基板供給裝置)和盒16 (基板収容裝置)，它們與該大氣系輸送裝置14連接，配置于關(guān)于該大氣系輸送裝置14從負(fù)載鎖定模塊13向圖中順時(shí)針和逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)移動(dòng)約90°的位置。此外，在負(fù)載鎖定模塊13的與大氣系輸送裝置14相對(duì)的側(cè)面設(shè)置閘閥17。處理腔11在維持為真空的內(nèi)部收納玻璃基板G，利用在其內(nèi)部產(chǎn)生的等離子體在玻璃基板G實(shí)施等離子蝕刻法處理。此外，處理腔11在內(nèi)部具有載置玻璃基板G的基板載置臺(tái)18。負(fù)載鎖定模塊13構(gòu)成為，在內(nèi)部具有后述的上部基板輸送機(jī)構(gòu)22和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23，通過未圖示的排氣裝置和壓力控制閥能使內(nèi)部狀態(tài)能夠在大氣和真空之間進(jìn)行切換。盒15由存儲(chǔ)多個(gè)未處理的玻璃基板G的框體組成，在盒15中多個(gè)未處理的玻璃基板G相互平行且保持規(guī)定的間隔地進(jìn)行重疊。此外，盒16由存儲(chǔ)多個(gè)處理完成的玻璃基板G的框體組成，在盒16中多個(gè)處理完成的玻璃基板G相互平行且保持規(guī)定的間隔地進(jìn)行重疊。大氣系輸送裝置14具有輸送臂機(jī)構(gòu)19。該輸送臂機(jī)構(gòu)19暴露在大氣中，并具有 載置玻璃基板G的梳狀的拾取器20 ；支承該拾取器20且伸縮自由的階梯臂(未圖示)；支承該階梯臂且旋轉(zhuǎn)自由的旋轉(zhuǎn)基座21。輸送臂機(jī)構(gòu)19通過伸縮階梯臂、使旋轉(zhuǎn)基座21旋轉(zhuǎn)，來將未處理的玻璃基板G從盒15搬出并交向負(fù)載鎖定模塊13的上部基板輸送機(jī)構(gòu)22，從負(fù)載鎖定模塊13的下部基板輸送機(jī)構(gòu)23收取處理完成的玻璃基板G并收納到盒16。閘閥12在處理腔11進(jìn)行玻璃基板G的等離子蝕刻法處理時(shí)關(guān)閉而將處理腔11的內(nèi)部和負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部隔開，在由上部基板輸送機(jī)構(gòu)22向處理腔11搬入未處理的玻璃基板G的時(shí)候、或由下部基板輸送機(jī)構(gòu)23從處理腔11搬出處理完成的玻璃基板G的時(shí)候打開而使處理腔11的內(nèi)部和負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部連通。此外，閘閥17在負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部狀態(tài)為大氣的情況下打開，以使輸送臂機(jī)構(gòu)19的拾取器20能進(jìn)入該內(nèi)部的方式在負(fù)載鎖定模塊13的側(cè)面形成開口部，在負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部狀態(tài)為真空的情況下關(guān)閉，將負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部與外部隔開?？墒?，如圖2所示，在現(xiàn)有的基板處理系統(tǒng)中使用的基板輸送單元200具備由旋轉(zhuǎn)軸(未圖示)支承的大致呈長(zhǎng)方體的滑動(dòng)基座201 ；安裝于該滑動(dòng)基座201并在滑動(dòng)基座201的長(zhǎng)度方向(以下簡(jiǎn)稱“長(zhǎng)度方向”)能滑動(dòng)的下部拾取器基座202 ；和安裝于滑動(dòng)基座201并在滑動(dòng)基座201的長(zhǎng)度方向能滑動(dòng)的上部拾取器基座203。分別從下部拾取器基座202和上部拾取器基座203沿長(zhǎng)度方向延伸出四個(gè)長(zhǎng)棒狀的拾取器204、205，通過下部拾取器基座202和上部拾取器基座203滑動(dòng)，各拾取器204、205進(jìn)入處理腔的內(nèi)部來輸送玻璃基板G。在該基板輸送單元200中，下部拾取器基座202和上部拾取器基座203為了確保各拾取器204、205的相對(duì)滑動(dòng)基座201的安裝剛性，而構(gòu)成為上下方向較厚。在現(xiàn)有的基板處理系統(tǒng)中在負(fù)載鎖定模塊配置基板輸送單元200的時(shí)候，即使閘閥在處理腔的側(cè)面形成開口部來使處理腔的內(nèi)部和負(fù)載鎖定模塊的內(nèi)部連通，因?yàn)榛遢斔蛦卧?00的下部拾取器基座202和上部拾取器基座203較厚，所以該下部拾取器基座202 和上部拾取器基座203也不能通過開口部，不能進(jìn)入處理腔的內(nèi)部。因而，需要通過使各拾取器204、205的長(zhǎng)度盡可能長(zhǎng)，而取得玻璃基板G的可輸送距離。使各拾取器204、205的長(zhǎng)度越長(zhǎng)，在玻璃基板G的輸送時(shí)各拾取器204、205的振動(dòng)越大，且各拾取器204、205的重量也越重。因而，為了能防止各拾取器204、205的振動(dòng)、 穩(wěn)定地支承各拾取器204、205，需要各拾取器204、205的相對(duì)滑動(dòng)基座201的安裝剛性更高。為了使各拾取器204、205的安裝剛性更高，不僅需要提高下部拾取器基座202和上部拾取器基座203的靜態(tài)剛性還要提高滑動(dòng)基座201的靜態(tài)剛性，因此也需要增大滑動(dòng)基座 201的厚度。此外，在基板輸送單元200中，通過使滑動(dòng)基座201旋轉(zhuǎn)，而使該基板輸送單元200 整體旋轉(zhuǎn)，為了防止在旋轉(zhuǎn)時(shí)由慣性力引起的滑動(dòng)基座201彎曲，需要進(jìn)一步提高滑動(dòng)基座201的靜態(tài)剛性，其結(jié)果是，需要進(jìn)一步增大滑動(dòng)基座201的厚度?？墒?，如果使滑動(dòng)基座201的厚度增大，則使基板輸送單元200大型化。此外，如上所述，在基板輸送單元200中因?yàn)槭垢魇叭∑?04、205盡可能長(zhǎng)地構(gòu)成，所以收納各拾取器204、205的時(shí)候，也就是即使使各拾取器204、205向滑動(dòng)基座201重疊的時(shí)候，基板輸送單元200并不變那么小。因而，結(jié)果是基板輸送單元200大型化。由此，需要增大負(fù)載鎖定模塊的內(nèi)部容積。而且，為了基板輸送單元200旋轉(zhuǎn)，需要在負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部確?？尚D(zhuǎn)的區(qū)域，需要進(jìn)一步增大負(fù)載鎖定模塊的內(nèi)部容積。如果負(fù)載鎖定模塊的內(nèi)部容積增大，則在內(nèi)部狀態(tài)的大氣與真空的切換時(shí)需要花費(fèi)時(shí)間，不能提高平板顯示器的制造效率。在本實(shí)施方式中，對(duì)應(yīng)于此，能使基板輸送單元小型化，且不需要基板輸送單元的旋轉(zhuǎn)。具體而言，使上部基板輸送機(jī)構(gòu)和下部基板輸送機(jī)構(gòu)小型化，進(jìn)而，按照僅通過使上部基板輸送機(jī)構(gòu)和下部基板輸送機(jī)構(gòu)只在一個(gè)方向輸送玻璃基板G，而能實(shí)行負(fù)載鎖定模塊和處理腔之間的玻璃基板G的交換的方式構(gòu)成基板輸送單元。圖3是在圖1的線A-A的截面圖，概略表示本實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)的采用第一基板輸送裝置的負(fù)載鎖定模塊的結(jié)構(gòu)的截面圖。在圖3中，負(fù)載鎖定模塊13具備在該負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部以在圖中上下重疊的方式配置的上部基板輸送機(jī)構(gòu)22和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23，并且，具備在負(fù)載鎖定模塊 13的內(nèi)部S(以下簡(jiǎn)稱“內(nèi)部S”)從底部向圖中上方突出、且自由上下運(yùn)動(dòng)的多個(gè)緩沖銷 24 (銷狀部件)，和使負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部的狀態(tài)在大氣與真空之間切換的排氣裝置和壓力控制閥(未圖示)。上部基板輸送機(jī)構(gòu)22和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23相互獨(dú)立并上下運(yùn)動(dòng)。具體而言， 上部基板輸送機(jī)構(gòu)22在基板交接位置與上部退避位置之間升降，所述基板交接位置是從輸送臂機(jī)構(gòu)19的拾取器20接收未處理的玻璃基板G的位置，或者，將未處理的玻璃基板G 向處理腔11搬入的位置，所述上部退避位置是在下部基板輸送機(jī)構(gòu)23實(shí)施玻璃基板G的交接時(shí)為了確保下部基板輸送機(jī)構(gòu)23的作業(yè)空間而使上部基板輸送機(jī)構(gòu)22進(jìn)行退避的退避位置。在內(nèi)部S中上部退避位置比基板交接位置更位于上方。此外，下部基板輸送機(jī)構(gòu)23在基板交接位置與下部退避空間之間升降，所述基板交接位置是將處理完成的玻璃基板G從處理腔11搬出的位置，或者向輸送臂機(jī)構(gòu)19的拾取器20交出處理完成的玻璃基板G的位置，所述部退避空間是在上部基板輸送機(jī)構(gòu)22實(shí)施玻璃基板G的交接的時(shí)候?yàn)榱舜_保上部基板輸送機(jī)構(gòu)22的作業(yè)空間而使下部基板輸送機(jī)構(gòu)23進(jìn)行退避的退避位置。在內(nèi)部S中下部退避位置比基板交接位置更位于下方。而且，上部基板輸送機(jī)構(gòu)22的基板交接位置與下部基板輸送機(jī)構(gòu)23的基板交接位置相同。圖4是概略表示圖3的上部基板輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖，圖4(A)是用于說明上部基板輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作的截面圖，圖4(B)是在圖4(A)的線B-B的截面圖。在圖4(A)和圖4(B)中，上部基板輸送機(jī)構(gòu)22具有配置有相互平行且向處理腔 11(向圖中右方)延伸的四個(gè)導(dǎo)向部25(第一導(dǎo)向部)的板狀升降基座沈(第一基部)；對(duì)應(yīng)各導(dǎo)向部25設(shè)置的呈細(xì)長(zhǎng)的棱柱狀的導(dǎo)向臂27 (第一中間滑動(dòng)部件)；和對(duì)應(yīng)各導(dǎo)向臂 27設(shè)置的、由細(xì)長(zhǎng)的薄板體形成的拾取器觀(第一上部滑動(dòng)部件)。在上部基板輸送機(jī)構(gòu) 22中，四個(gè)拾取器觀合作載置一枚未處理的玻璃基板G。如圖5所示，在上部基板輸送機(jī)構(gòu)22中，在升降基座沈上，從下方器按照導(dǎo)向部 25、導(dǎo)向臂27和拾取器觀的順序重疊。導(dǎo)向臂27具有沿著全長(zhǎng)設(shè)置于下表面的導(dǎo)向部槽 27a，并借助該導(dǎo)向部槽27a而與導(dǎo)向部25遊隙嵌合。此外，拾取器觀是將薄板體折彎成截面為U字狀而形成的，通過在以U字形成的內(nèi)部空間收納導(dǎo)向臂27而與導(dǎo)向臂27遊隙嵌合。上部基板輸送機(jī)構(gòu)22具有未圖示的驅(qū)動(dòng)源，利用該驅(qū)動(dòng)源賦予的驅(qū)動(dòng)力，導(dǎo)向臂 27朝向處理腔11相對(duì)于導(dǎo)向部25進(jìn)行相對(duì)地滑動(dòng)，且拾取器28朝向處理腔11相對(duì)于導(dǎo)向臂27進(jìn)行相對(duì)地滑動(dòng)。這時(shí)，四個(gè)導(dǎo)向臂27邊維持相互的相對(duì)位置關(guān)系邊滑動(dòng)，四個(gè)拾取器觀也邊維持相互的相對(duì)位置關(guān)系邊滑動(dòng)。此外，因?yàn)楦鲗?dǎo)向臂27與各拾取器觀同步滑動(dòng)，所以能防止在導(dǎo)向臂27和拾取器觀中的任一方的滑動(dòng)中另一方停止而在上部基板輸送機(jī)構(gòu)22中產(chǎn)生沖擊。由此，能防止載置于拾取器觀的未處理的玻璃基板G發(fā)生位置偏移，能將未處理的玻璃基板G正確地載置于處理腔11的基板載置臺(tái)18的規(guī)定的位置。在上部基板輸送機(jī)構(gòu)22中，按照在導(dǎo)向臂27和拾取器觀向處理腔11 一側(cè)進(jìn)行了最大限滑動(dòng)時(shí)(圖4(A)和圖4(B)所示的狀態(tài))，載置于拾取器觀的未處理的玻璃基板 G到達(dá)基板載置臺(tái)18的上方的方式，設(shè)定導(dǎo)向臂27和拾取器觀的長(zhǎng)度和可滑動(dòng)范圍。此外，在上部基板輸送機(jī)構(gòu)22中，向處理腔11 一側(cè)最大限滑動(dòng)的導(dǎo)向臂27和拾取器觀，利用驅(qū)動(dòng)源賦予的驅(qū)動(dòng)力，向大氣系輸送裝置14滑動(dòng)，與升降基座沈重疊(圖3 所示的狀態(tài))。以下，將導(dǎo)向臂27和拾取器觀向處理腔11 一側(cè)進(jìn)行了最大限滑動(dòng)時(shí)(圖4㈧ 和圖4(B)所示的狀態(tài))稱為“伸長(zhǎng)狀態(tài)”，將導(dǎo)向臂27和拾取器觀向大氣系輸送裝置14 一側(cè)進(jìn)行了最大限滑動(dòng)時(shí)(圖3所示的狀態(tài))稱為“縮短狀態(tài)”。而且，僅在上部基板輸送機(jī)構(gòu)22位于基板交接位置時(shí)，能從縮短狀態(tài)向伸長(zhǎng)狀態(tài)、和從伸長(zhǎng)狀態(tài)向縮短狀態(tài)進(jìn)行遷移，位于上部退避位置時(shí)保持縮短狀態(tài)。圖6是概略表示圖3的下部基板輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖，圖6(A)是用于說明下部基板輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作的截面圖，圖6(B)是在圖6(A)的線C-C的截面圖。在圖6(A)和圖6(B)中，下部基板輸送機(jī)構(gòu)23具有配置了相互平行且向處理腔 11(向圖中右方)延伸的四個(gè)導(dǎo)向部四(第二導(dǎo)向部)的板狀升降基座30 (第二基部)；對(duì)應(yīng)各導(dǎo)向部四設(shè)置的呈細(xì)長(zhǎng)棱柱狀的導(dǎo)向臂31 (第二中間滑動(dòng)部件)；和對(duì)應(yīng)各導(dǎo)向臂31 設(shè)置的、由細(xì)長(zhǎng)的薄板體形成的拾取器32 (第二上部滑動(dòng)部件)。在下部基板輸送機(jī)構(gòu)23 中，四個(gè)拾取器32合作載置一枚處理完成的玻璃基板G。在下部基板輸送機(jī)構(gòu)23中，如圖5所示，在升降基座30上，從下方起按照導(dǎo)向部四、導(dǎo)向臂31和拾取器32的順序重疊。導(dǎo)向臂31具有沿著全長(zhǎng)設(shè)置于下表面的導(dǎo)向部槽 31a，并借助該導(dǎo)向部槽31a而與導(dǎo)向部四遊隙嵌合。此外，拾取器32是將薄板體折彎成截面為U字狀而形成的，通過在以U字形成的內(nèi)部空間收納導(dǎo)向臂31而與導(dǎo)向臂31遊隙嵌合。下部基板輸送機(jī)構(gòu)23具有未圖示的驅(qū)動(dòng)源，利用該驅(qū)動(dòng)源賦予的驅(qū)動(dòng)力，導(dǎo)向臂 31朝向處理腔11相對(duì)于導(dǎo)向部四進(jìn)行相對(duì)滑動(dòng)，且拾取器32朝向處理腔11相對(duì)于導(dǎo)向臂31進(jìn)行相對(duì)滑動(dòng)。這時(shí)，四個(gè)導(dǎo)向臂31邊維持相互的相對(duì)位置關(guān)系邊滑動(dòng)，四個(gè)拾取器 32也邊維持相互的相對(duì)位置關(guān)系邊滑動(dòng)。此外，因?yàn)楦鲗?dǎo)向臂31與各拾取器32同步滑動(dòng)， 所以能防止在導(dǎo)向臂31和拾取器32中任一方的滑動(dòng)中另一方停止而在下部基板輸送機(jī)構(gòu) 23產(chǎn)生沖擊。由此，能防止載置于拾取器32的處理完成的玻璃基板G發(fā)生位置偏移。在下部基板輸送機(jī)構(gòu)23中，按照在導(dǎo)向臂31和拾取器32向處理腔11 一側(cè)進(jìn)行了最大限滑動(dòng)時(shí)(圖6 (A)和圖6 (B)所示的狀態(tài))，拾取器32到達(dá)基板載置臺(tái)18的上方的方式，來設(shè)定導(dǎo)向臂31與拾取器32的長(zhǎng)度和可滑動(dòng)范圍。此外，在下部基板輸送機(jī)構(gòu)23中，向處理腔11 一側(cè)進(jìn)行了最大限滑動(dòng)的導(dǎo)向臂 31和拾取器32，利用驅(qū)動(dòng)源賦予的驅(qū)動(dòng)力，向大氣系輸送裝置14滑動(dòng)，與升降基座30重疊 (圖3所示的狀態(tài))。
以下，將導(dǎo)向臂31和拾取器32向處理腔11 一側(cè)進(jìn)行了最大限滑動(dòng)時(shí)(圖6㈧ 和圖6(B)所示的狀態(tài))稱為“伸長(zhǎng)狀態(tài)”，將導(dǎo)向臂31和拾取器32向大氣系輸送裝置14 一側(cè)進(jìn)行了最大限滑動(dòng)時(shí)(圖3所示的狀態(tài))稱為“縮短狀態(tài)”。而且，僅在下部基板輸送機(jī)構(gòu)23位于基板交接位置時(shí)，能從縮短狀態(tài)向伸長(zhǎng)狀態(tài)、和從伸長(zhǎng)狀態(tài)向縮短狀態(tài)進(jìn)行遷移，在位于下部退避位置時(shí)保持縮短狀態(tài)。在上部基板輸送機(jī)構(gòu)22中，在升降基座沈上，在對(duì)應(yīng)多個(gè)緩沖銷M的位置上設(shè)置有貫通孔(未圖示)，各緩沖銷M與各貫通孔遊隙嵌合。此外，在下部基板輸送機(jī)構(gòu)23 中，在升降基座30上，在對(duì)應(yīng)多個(gè)緩沖銷M的位置上設(shè)置有貫通孔(未圖示)，各緩沖銷 24與各貫通孔遊隙嵌合。因而，與上部基板輸送機(jī)構(gòu)22的位置和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23的位置無關(guān)，多個(gè)緩沖銷M能自由地上下運(yùn)動(dòng)。此外，多個(gè)緩沖銷M通過來自驅(qū)動(dòng)源(未圖示)的驅(qū)動(dòng)力，同步地上下運(yùn)動(dòng)，所以多個(gè)緩沖銷M合作地支承玻璃基板G并且上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，被支承的玻璃基板G不會(huì)傾斜。其結(jié)果是，能防止發(fā)生玻璃基板G的位置偏移。此外，上部基板輸送機(jī)構(gòu)22和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23不需要如后述那樣旋轉(zhuǎn)，所以不會(huì)在各構(gòu)成部件上作用因旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的慣性力，不需要為了防止彎曲而將各構(gòu)成部件的安裝剛性確保為現(xiàn)有的基板輸送單元200的上部基板輸送機(jī)構(gòu)203和下部基板輸送機(jī)構(gòu) 204的各構(gòu)成部件那樣的安裝剛性。因而，在上部基板輸送機(jī)構(gòu)22和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23 中，各導(dǎo)向臂27不需要相互連結(jié)，各導(dǎo)向臂31也不需要相互連結(jié)。進(jìn)而，各拾取器觀不需要相互連結(jié)，各拾取器32也不需要相互連結(jié)。因而，不需要現(xiàn)有的基板輸送單元200的拾取器基座207那樣的連結(jié)部件。根據(jù)本實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)10，負(fù)載鎖定模塊13的上部基板輸送機(jī)構(gòu)22具有相對(duì)于升降基座26的導(dǎo)向部25進(jìn)行滑動(dòng)的四個(gè)導(dǎo)向臂27和相對(duì)于導(dǎo)向臂27進(jìn)行滑動(dòng)的四個(gè)拾取器觀，所以在縮短狀態(tài)通過使升降基座26、導(dǎo)向臂27和拾取器觀重疊能使上部基板輸送機(jī)構(gòu)22變小。此外，負(fù)載鎖定模塊13的下部基板輸送機(jī)構(gòu)23具有相對(duì)于升降基座30的導(dǎo)向部四進(jìn)行滑動(dòng)的四個(gè)導(dǎo)向臂31和相對(duì)于導(dǎo)向臂31進(jìn)行滑動(dòng)的四個(gè)拾取器 32，所以在縮短狀態(tài)通過使升降基座30、導(dǎo)向臂31和拾取器32重疊能使下部基板輸送機(jī)構(gòu) 23變小。其結(jié)果是，能使負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部容積變小，因此，在負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部狀態(tài)的大氣與真空的切換上不需要花時(shí)間。由此，能提高玻璃基板G的處理效率。在上述的基板處理系統(tǒng)10中，在上部基板輸送機(jī)構(gòu)22中各導(dǎo)向臂27相互不連結(jié)，且各拾取器觀也不相互連結(jié)。此外，在下部基板輸送機(jī)構(gòu)23中各導(dǎo)向臂31不相互連結(jié)，且各拾取器32也不相互連結(jié)。由此，不需要導(dǎo)向臂27、拾取器28、導(dǎo)向臂31和拾取器 32的連結(jié)部件，能使上部基板輸送機(jī)構(gòu)22和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23進(jìn)一步減小。在上述的實(shí)施方式中，對(duì)基板處理系統(tǒng)的基板輸送單元分別具備四個(gè)導(dǎo)向部、導(dǎo)向臂和拾取器的情況進(jìn)行了說明，但是導(dǎo)向部、導(dǎo)向臂和拾取器的數(shù)量，只要是可支承和輸送玻璃基板G的數(shù)目，不特別限定。接著，對(duì)本實(shí)施方式的基板輸送方法進(jìn)行說明。圖7和圖8是用于說明作為本實(shí)施方式的基板輸送方法的輸送順序的工序圖。本輸送順序主要由基板處理系統(tǒng)10的負(fù)載鎖定模塊13實(shí)行。而且，圖7 (A)、圖7 (C)、圖7 (E)、 圖7(G)、圖8(A)、圖8(C)、圖8(E)和圖8(G)是在圖1的線A-A的截面圖，圖7 (B)、圖7 (D)、 圖7(F)、圖7(H)、圖8(B)、圖8(D)、圖8(F)和圖8(H)是在圖1的線A-A的截面圖。
首先，上部基板輸送機(jī)構(gòu)22位于基板交接位置，下部基板輸送機(jī)構(gòu)23位于下部退避位置。此外，多個(gè)緩沖銷M通過升降基座30的各貫通孔上升，在規(guī)定的位置等待。之后， 閘閥17 (未圖示)打開，載置未處理的玻璃基板G的拾取器20進(jìn)入內(nèi)部S將玻璃基板G輸送到上部基板輸送機(jī)構(gòu)22的正上方(圖7 (A)、圖7 (B))。接著，拾取器20下降使玻璃基板G的下表面接觸各緩沖銷M，之后，拾取器20進(jìn)一步下降。由此，玻璃基板G從拾取器20離開，各緩沖銷M支承玻璃基板G(圖7 (C)、圖 7(D)) 0接著，拾取器20從內(nèi)部S退出，閘閥17關(guān)閉，排氣裝置和壓力控制閥使負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部狀態(tài)向真空切換。并且，通過兩個(gè)定位器(pisitioner) 33抵接未處理的玻璃基板G的邊緣來調(diào)整未處理的玻璃基板G的位置(圖7 (E)、圖7 (F))。另外，對(duì)關(guān)于導(dǎo)向臂27、31和拾取器觀、32的滑動(dòng)方向(玻璃基板G的輸送方向) 的玻璃基板G的位置補(bǔ)正，例如，在玻璃基板G被輸送臂機(jī)構(gòu)19的拾取器20保持的狀態(tài)下通過另行設(shè)置的偏移量傳感器(未圖示)檢出玻璃基板G的伸縮方向的偏移，并根據(jù)該檢出的偏移在支承拾取器20的階梯臂進(jìn)行位置補(bǔ)正，由此，能使定位器33不接觸玻璃基板G 地實(shí)施位置補(bǔ)正。接著，上部基板輸送機(jī)構(gòu)22上升，拾取器觀抵接玻璃基板G的下表面之后上部基板輸送機(jī)構(gòu)22上升到上部退避位置(第一上升步驟)。由此，上部基板輸送機(jī)構(gòu)22接收未處理的玻璃基板G。之后，多個(gè)緩沖銷M下降，下部基板輸送機(jī)構(gòu)23上升到基板交接位置 (第一上升步驟)，閘閥12打開。接著，下部基板輸送機(jī)構(gòu)23使導(dǎo)向臂31和拾取器32向處理腔11 一側(cè)進(jìn)行最大限滑動(dòng)，將由多個(gè)推進(jìn)式銷(未圖示)舉起的處理完成的玻璃基板G從處理腔11的基板載置臺(tái)18向拾取器32收取(圖7 (G)、圖7 (H))，進(jìn)而，使導(dǎo)向臂31和拾取器32向大氣系輸送裝置14 一側(cè)進(jìn)行最大限滑動(dòng)，將處理完成的玻璃基板G從處理腔11搬出，輸送到下部基板輸送機(jī)構(gòu)23的正上方(搬出步驟)。接著，載置有處理完成的玻璃基板G的下部基板輸送機(jī)構(gòu)23下降到下部退避位置，上部基板輸送機(jī)構(gòu)22下降到基板交接位置(下降步驟)。之后上部基板輸送機(jī)構(gòu)22使導(dǎo)向臂27和拾取器觀向處理腔11 一側(cè)進(jìn)行最大限滑動(dòng)，向從處理腔11的基板載置臺(tái)18 突出的多個(gè)推進(jìn)式銷(未圖示)交接未處理的玻璃基板G (圖8 (A)、圖8 (B))(搬入步驟)。接著，上部基板輸送機(jī)構(gòu)22使導(dǎo)向臂27和拾取器觀向大氣系輸送裝置14 一側(cè)進(jìn)行最大限滑動(dòng)，向縮短狀態(tài)遷移，并上升到上部退避位置(第二上升步驟)。之后，多個(gè)緩沖銷M上升，使載置于下部基板輸送機(jī)構(gòu)23的拾取器32的處理完成的玻璃基板G從拾取器32離開之后也繼續(xù)上升，使處理完成的玻璃基板G上升到規(guī)定的位置(第三上升步驟)。 進(jìn)而，通過兩個(gè)定位器33抵接處理完成的玻璃基板G的邊緣來調(diào)整處理完成的玻璃基板G 的位置(圖8(C)、圖8(D))。另外，對(duì)關(guān)于玻璃基板G的輸送方向的位置補(bǔ)正，與從上述的大氣系輸送裝置14 向負(fù)載鎖定模塊13搬入玻璃基板G的時(shí)候(圖7(A) 圖7(F))相同，例如，通過在支承拾取器20的階梯臂實(shí)施位置補(bǔ)正，也能使定位器33不接觸玻璃基板G地實(shí)施位置補(bǔ)正。接著，閘閥12關(guān)閉，排氣裝置和壓力控制閥使負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部狀態(tài)向大氣切換。之后，閘閥17打開，拾取器20向內(nèi)部S進(jìn)入并位于處理完成的玻璃基板G的正下方(圖 8(E)、圖 8(F))。接著，拾取器20上升，在抵接處理完成的玻璃基板G的下表面之后也上升到規(guī)定的位置使處理完成的玻璃基板G從多個(gè)緩沖銷M離開。由此，拾取器20接取處理完成的玻璃基板G (圖8 (G)、圖8 (H))(第二接取步驟)。接著，載置了處理完成的玻璃基板G的拾取器20從內(nèi)部S退出，結(jié)束本輸送順序。根據(jù)作為本實(shí)施方式的基板輸送方法的輸送順序，負(fù)載鎖定模塊13僅與一個(gè)處理腔11連接，所以負(fù)載鎖定模塊13可以對(duì)一個(gè)處理腔11實(shí)行玻璃基板G的搬入搬出。此外，通過使上部基板輸送機(jī)構(gòu)22上升，不會(huì)妨礙利用下部基板輸送機(jī)構(gòu)23的玻璃基板G的搬出搬入和交接，通過使下部基板輸送機(jī)構(gòu)23下降，不會(huì)妨礙利用上部基板輸送機(jī)構(gòu)22的玻璃基板G的搬出搬入和交接。因而，上部基板輸送機(jī)構(gòu)22和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23不需要旋轉(zhuǎn)。若上部基板輸送機(jī)構(gòu)22和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23不旋轉(zhuǎn)，則在上部基板輸送機(jī)構(gòu) 22和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23的各構(gòu)成部件不會(huì)作用由旋轉(zhuǎn)引起的慣性力，不需要為了防止由慣性力引起的彎曲，而使各構(gòu)成部件的靜態(tài)剛性提高到現(xiàn)有的基板輸送單元200的上部基板輸送機(jī)構(gòu)203和下部基板輸送機(jī)構(gòu)204的各構(gòu)成部件的靜態(tài)剛性的程度。其結(jié)果是， 使升降基座沈、30、導(dǎo)向臂27、31和拾取器觀、32較薄地構(gòu)成，例如，能構(gòu)成為厚度IOOmm以下，能使上部基板輸送機(jī)構(gòu)22和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23更小。此外，因?yàn)槟苁箤?dǎo)向臂27、31較薄地構(gòu)成，所以在伸長(zhǎng)狀態(tài)下導(dǎo)向臂27、31能通過處理腔11的側(cè)面的開口部。其結(jié)果是，不使拾取器觀、32太長(zhǎng)地構(gòu)成，也能將玻璃基板G 的可輸送距離確保在期望值以上。即，因?yàn)槭故叭∑饔^、32較短地構(gòu)成，所以不需要為了防止拾取器觀、32的振動(dòng)而提高拾取器觀、32的安裝剛性。其結(jié)果是，不需要提高安裝拾取器觀、32的導(dǎo)向臂27、31和安裝該導(dǎo)向臂27、31的升降基座沈、30的靜態(tài)剛性，由此，能使導(dǎo)向臂27、31和升降基座沈、30更薄地構(gòu)成。其結(jié)果是，能進(jìn)一步縮小上部基板輸送機(jī)構(gòu) 22和下部基板輸送機(jī)構(gòu)23。因此，能使負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部容積縮小，在負(fù)載鎖定模塊13的內(nèi)部狀態(tài)的大氣與真空的切換中不需要花時(shí)間。由此，能提高玻璃基板G的處理效率。在上述的基板處理系統(tǒng)10中，各導(dǎo)向臂27、各拾取器洲、各導(dǎo)向臂31和各拾取器 32分別相互不連結(jié)，但是也可以由連結(jié)部件相互連結(jié)。例如，如圖9(A)和圖9(B)所示，各導(dǎo)向臂27通過作為連結(jié)部件的臂基座34相互連結(jié)，各導(dǎo)向臂31也可以通過臂基座35連結(jié)。在上述的基板處理系統(tǒng)10中，拾取器觀和拾取器32是將薄板體折彎成截面為U 字狀而形成的，但是如圖10所示，也可以由簡(jiǎn)單的細(xì)長(zhǎng)薄板來形成。這時(shí)，在導(dǎo)向臂27、31 的上表面設(shè)置切口，在拾取器觀、32的下表面設(shè)置銷等引導(dǎo)件，優(yōu)選使銷與切口遊隙嵌合。此外，在上述的基板處理系統(tǒng)10中，上部基板輸送機(jī)構(gòu)22輸送未處理的玻璃基板 G，下部基板輸送機(jī)構(gòu)23輸送處理完成的玻璃基板G，但是也可以上部基板輸送機(jī)構(gòu)22輸送處理完成的玻璃基板G，下部基板輸送機(jī)構(gòu)23輸送未處理的玻璃基板G。此外，在上述的基板處理系統(tǒng)10中，在緩沖銷M和拾取器20之間實(shí)施玻璃基板 G的交接的時(shí)候，使拾取器20升降地進(jìn)行交接，但是也可以使緩沖銷M升降而進(jìn)行交接。以上，使用上述實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明不限定于上述實(shí)施方式。
權(quán)利要求
1.一種基板處理系統(tǒng)，其包括在真空狀態(tài)下在基板上實(shí)施處理的一個(gè)基板處理裝置；與該基板處理裝置連接并使內(nèi)部狀態(tài)在大氣與真空之間切換的第一基板輸送裝置；和第二基板輸送裝置，其與該第一基板輸送裝置連接，并按照隔著所述第一基板輸送裝置與所述基板處理裝置相對(duì)的方式配置，其中，所述第二基板輸送裝置在大氣狀態(tài)下相對(duì)于所述第一基板輸送裝置進(jìn)行所述基板的搬出搬入，所述第一基板輸送裝置相對(duì)于所述基板處理裝置進(jìn)行所述基板的搬出搬入，該基板處理系統(tǒng)的特征在于所述第一基板輸送裝置具有在該第一基板輸送裝置的內(nèi)部以上下重疊的方式配置，且相互獨(dú)立地上下運(yùn)動(dòng)的上部基板輸送機(jī)構(gòu)和下部基板輸送裝置，所述上部基板輸送機(jī)構(gòu)具有第一基部，其配置有相互平行且向所述基板處理裝置延伸的多個(gè)第一導(dǎo)向部；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第一中間滑動(dòng)部件，其與各所述第一導(dǎo)向部對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向所述基板處理裝置對(duì)于所述第一導(dǎo)向部相對(duì)地滑動(dòng)；和多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第一上部滑動(dòng)部件，其與各所述第一中間滑動(dòng)部件對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向所述基板處理裝置對(duì)于所述第一中間滑動(dòng)部件相對(duì)地滑動(dòng)，所述下部基板輸送機(jī)構(gòu)具有第二基部，其配置有相互平行且向所述基板處理裝置延伸的多個(gè)第二導(dǎo)向部；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第二中間滑動(dòng)部件，其與各所述第二導(dǎo)向部對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向所述基板處理裝置對(duì)于所述第二導(dǎo)向部相對(duì)地滑動(dòng)；和多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第二上部滑動(dòng)部件，其與各所述第二中間滑動(dòng)部件對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向所述基板處理裝置對(duì)于所述第二中間滑動(dòng)部件相對(duì)地滑動(dòng)，多個(gè)所述第一上部滑動(dòng)部件和多個(gè)所述第二上部滑動(dòng)部件分別載置所述基板。
2.如權(quán)利要求1所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于具備在所述第一基板輸送裝置的內(nèi)部從下方向上方突出自如的多個(gè)銷狀部件。
3.如權(quán)利要求1所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于所述基板呈矩形，一邊的長(zhǎng)度為1. 8m以上。
4.如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于在所述上部基板輸送機(jī)構(gòu)中各所述第一中間滑動(dòng)部件與各所述第一上部滑動(dòng)部件同步滑動(dòng)，在所述下部基板輸送機(jī)構(gòu)中各所述第二中間滑動(dòng)部件與各所述第二上部滑動(dòng)部件同步滑動(dòng)。
5.如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于在所述上部基板輸送機(jī)構(gòu)中各所述第一中間滑動(dòng)部件相互未連結(jié)，在所述下部基板輸送機(jī)構(gòu)中各所述第二中間滑動(dòng)部件相互未連接。
6.如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于在所述上部基板輸送機(jī)構(gòu)中各所述第一上部滑動(dòng)部件相互未連結(jié)，在所述下部基板輸送機(jī)構(gòu)中各所述第二上部滑動(dòng)部件相互未連結(jié)。
7.一種基板輸送方法，其是基板處理系統(tǒng)的基板輸送方法，所述基板處理系統(tǒng)包括 在真空狀態(tài)下在基板上實(shí)施處理的一個(gè)基板處理裝置；與該基板處理裝置連接并使內(nèi)部狀態(tài)在大氣與真空之間切換的第一基板輸送裝置；和第二基板輸送裝置，其與該第一基板輸送裝置連接，按照隔著所述第一基板輸送裝置與所述基板處理裝置相對(duì)的方式配置，其中， 所述第二基板輸送裝置在大氣狀態(tài)下相對(duì)于所述第一基板輸送裝置進(jìn)行所述基板的搬出搬入，所述第一基板輸送裝置相對(duì)于所述基板處理裝置進(jìn)行所述基板的搬出搬入，所述第一基板輸送裝置具有在該第一基板輸送裝置的內(nèi)部以上下重疊的方式配置，且相互獨(dú)立地上下運(yùn)動(dòng)的上部基板輸送機(jī)構(gòu)和下部基板輸送裝置，并具有在所述第一基板輸送裝置的內(nèi)部從下方向上方突出自如的多個(gè)銷狀部件，所述上部基板輸送機(jī)構(gòu)具有第一基部，其配置有相互平行且向所述基板處理裝置延伸的多個(gè)第一導(dǎo)向部；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第一中間滑動(dòng)部件，其與各所述第一導(dǎo)向部對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向所述基板處理裝置對(duì)于所述第一導(dǎo)向部相對(duì)地滑動(dòng)；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第一上部滑動(dòng)部件，其與各所述第一中間滑動(dòng)部件對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向所述基板處理裝置對(duì)于所述第一中間滑動(dòng)部件相對(duì)地滑動(dòng)，所述下部基板輸送機(jī)構(gòu)具有第二基部，其配置有相互平行且向所述基板處理裝置延伸的多個(gè)第二導(dǎo)向部；多個(gè)細(xì)長(zhǎng)狀的第二中間滑動(dòng)部件，其與各所述第二導(dǎo)向部對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向所述基板處理裝置對(duì)于所述第二導(dǎo)向部相對(duì)地滑動(dòng)；多細(xì)個(gè)長(zhǎng)狀的第二上部滑動(dòng)部件，其與各所述第二中間滑動(dòng)部件對(duì)應(yīng)地設(shè)置，朝向所述基板處理裝置對(duì)于所述第二中間滑動(dòng)部件相對(duì)地滑動(dòng)，多個(gè)所述第一上部滑動(dòng)部件和多個(gè)所述第二上部滑動(dòng)部件分別載置所述基板， 該基板輸送方法的特征在于，包括所述上部基板輸送機(jī)構(gòu)接收所述第二基板輸送裝置搬入的未處理的基板的第一接收步驟；使所述上部基板輸送機(jī)構(gòu)和所述下部基板輸送機(jī)構(gòu)上升的第一上升步驟； 所述下部基板輸送機(jī)構(gòu)使所述第二中間滑動(dòng)部件和所述第二上部滑動(dòng)部件滑動(dòng)，將處理完成的基板從所述基板處理裝置搬出的搬出步驟；使所述上部基板輸送機(jī)構(gòu)和所述下部基板輸送機(jī)構(gòu)下降的下降步驟； 所述上部基板輸送機(jī)構(gòu)使所述第一中間滑動(dòng)部件和所述第一上部滑動(dòng)部件滑動(dòng)，將所述未處理的基板搬入所述基板處理裝置的搬入步驟； 僅所述上部基板輸送機(jī)構(gòu)上升的第二上升步驟；所述多個(gè)銷狀部件突出，使所述處理完成的基板從所述下部基板輸送機(jī)構(gòu)離開并上升的第三上升步驟；所述第二基板輸送裝置接收上升的所述處理完成的基板的第二接收步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能使基板的處理效率提高的基板處理系統(tǒng)。在基板處理系統(tǒng)(10)的負(fù)載鎖定模塊(13)中，在該負(fù)載鎖定模塊(13)的內(nèi)部，上部基板輸送機(jī)構(gòu)(22)和下部基板輸送機(jī)構(gòu)(23)相互獨(dú)立地上下運(yùn)動(dòng)，在上部基板輸送機(jī)構(gòu)(22)中，相對(duì)于配置于升降基座(26)的四個(gè)導(dǎo)向部(25)，四個(gè)導(dǎo)向臂(27)朝向處理腔(11)相對(duì)地滑動(dòng)，相對(duì)于各導(dǎo)向臂(27)，四個(gè)拾取器(28)朝向處理腔(11)相對(duì)地滑動(dòng)，在下部基板輸送機(jī)構(gòu)(23)中，相對(duì)于配置于升降基座(30)的四個(gè)導(dǎo)向部(29)，四個(gè)導(dǎo)向臂(31)朝向處理腔(11)相對(duì)地滑動(dòng)，相對(duì)于各導(dǎo)向臂(31)，四個(gè)拾取器(32)朝向處理腔(11)相對(duì)地滑動(dòng)。
文檔編號(hào)H01L21/67GK102446792SQ201110319489
公開日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2011年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月13日
發(fā)明者天野健次, 遠(yuǎn)藤健一 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社