專利名稱：Oled基片線性傳輸設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種傳輸設(shè)備，尤其涉及一種對(duì)OLED生產(chǎn)工藝中不同工序之間的基片進(jìn)行水平方向和豎直方向的線性傳輸?shù)腛LED基片線性傳輸設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展及自然資源的日益緊缺，使得越來越多的企業(yè)在追求經(jīng)濟(jì)效益的同時(shí)，更重視自然資源的利用效率以求能進(jìn)一步地降低企業(yè)的生產(chǎn)成本以適應(yīng)于中國新型的工業(yè)化道路的要求，而OLED的出現(xiàn)大大地節(jié)省了能源，從為企業(yè)提高經(jīng)濟(jì)效率和降低生產(chǎn)成本創(chuàng)造了良好的條件。OLED (英文全稱為0rganic Light-Emitting Diode，中文名稱為有機(jī)發(fā)光二極管)由于具備輕薄、省電等特性，因此在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了廣泛應(yīng)用，并且具有較大的市場潛力，目前世界上對(duì)OLED的應(yīng)用都聚焦在平板顯示器上，因?yàn)镺LED是唯一在應(yīng)用上能和TFT-LCD相提并論的技術(shù)，且是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、 高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以做成和紙張一樣的厚度。因此，OLED的顯示技術(shù)是將來的顯示技術(shù)的發(fā)展方向。其中，在OLED器件的生產(chǎn)線上，安裝在生產(chǎn)線上的傳輸設(shè)備要使基片在傳送過程中還要完成多種工序，如基片的上載、對(duì)位、燒烤、洗邊、旋涂及卸載等等工序，而對(duì)基片的上載、對(duì)位、燒烤、洗邊、旋涂及卸載等等工序并不在由一臺(tái)設(shè)備完成，且不同設(shè)備對(duì)基片操作存在不同的高度，相應(yīng)的增加中轉(zhuǎn)設(shè)備以確保被現(xiàn)有的傳輸設(shè)備所傳送的基片在傳送過程中還能完成多種工序，而中轉(zhuǎn)設(shè)備的設(shè)置一方面使得現(xiàn)有的傳輸設(shè)備的結(jié)構(gòu)變得非常復(fù)雜，從而增加了傳輸設(shè)備的生產(chǎn)成本及維護(hù)成本；另一方面增加了基片在不同工序中的對(duì)位次數(shù)，從而影響到現(xiàn)有的傳輸設(shè)備的工作效率。因此，急需要一種結(jié)構(gòu)緊湊以降低生產(chǎn)和維護(hù)成本且能提高基片傳輸效率的OLED 基片線性傳輸設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)緊湊以降低生產(chǎn)和維護(hù)成本且能提高基片傳輸效率的OLED基片線性傳輸設(shè)備。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種OLED基片線性傳輸設(shè)備，用于對(duì)OLED生產(chǎn)工藝中不同工序之間的基片進(jìn)行水平方向和豎直方向的線性傳輸，其中，所述OLED基片線性傳輸設(shè)備包括機(jī)架、水平輸送裝置及若干升降裝置。所述機(jī)架包括水平底板及沿所述水平底板彎折形成的側(cè)板；所述升降裝置沿所述水平底板的縱向呈等隔的設(shè)置于所述水平底板上，所述升降裝置包括升降驅(qū)動(dòng)器及托架，所述托架的底端與所述升降驅(qū)動(dòng)器的輸出軸連接，所述托架的頂端具有供托起基片用的托起部；所述水平輸送裝置包括水平驅(qū)動(dòng)組件及若個(gè)基片承載架，所述基片承載架沿水平方向呈等間隔的設(shè)置于所述側(cè)板上，所述基片承載架的一端可沿水平方向滑動(dòng)的與所述側(cè)板連接，所述基片承載架的另一端遠(yuǎn)離所述側(cè)板
3并朝所述托架處凸伸出兩對(duì)應(yīng)設(shè)置的承載部，所述承載部沿所述水平底板的縱向位于所述托起部的兩側(cè)外，且兩所述承載部朝對(duì)方彎折形成位于所述托起部正上方的基片承載區(qū)， 相鄰所述基片承載架之間固定連接，所述水平驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)使所述基片承載架沿水平方向移動(dòng)，移動(dòng)的基片承載架使基片承載區(qū)正對(duì)托起部，升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)使托起部伸入基片承載區(qū)進(jìn)而托起承載于基片承載區(qū)內(nèi)的基片。較佳地，所述OLED基片線性傳輸設(shè)備還包括控制器及與所述控制器電性連接的傳感器組件，所述控制器控制所述升降驅(qū)動(dòng)器和水平驅(qū)動(dòng)組件，所述傳感器組件包括傳感器擋塊、第一傳感器及第二傳感器，所述傳感器擋塊安裝在一個(gè)所述基片承載架上，所述第一傳動(dòng)器分別設(shè)置所述傳感器擋塊的兩側(cè)并固定在所述側(cè)板上，所述第二傳感器安裝在所述托架上并正對(duì)所述托起部托起的基片。通過傳感器擋塊、第一傳感器、第二傳感器及控制器，使得本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備形成一個(gè)全動(dòng)自化的生產(chǎn)系統(tǒng)，進(jìn)一步進(jìn)提高本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備的工作效率。更具體地，所述第一傳感器及第二傳感器均為光電傳感器，使得第一傳感器及第二傳感器的感應(yīng)更精準(zhǔn)，從而為本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備的精準(zhǔn)控制創(chuàng)造良好的條件。較佳地，所述水平底板與所述側(cè)板呈垂直設(shè)置，便于基片承載架在側(cè)板上的安裝及滑動(dòng)。較佳地，所述水平驅(qū)動(dòng)組件包括絲桿、螺母及與所述控制器電性連接的水平驅(qū)動(dòng)器，所述絲桿沿水平方向呈樞接的安裝在所述側(cè)板上并與所述水平驅(qū)動(dòng)器的輸出軸連接， 所述螺母呈嚙合的套于所述絲桿上并與安裝有所述傳感器擋塊的所述基片承載架固定。通過絲桿及螺母的配合，提高了傳動(dòng)精度，從而為與螺母固定的基片承載架在側(cè)板上的精準(zhǔn)和平穩(wěn)滑動(dòng)創(chuàng)造良好條件。更具體地，所述水平驅(qū)動(dòng)器為伺服電機(jī)，使得基片承載架的滑動(dòng)更精準(zhǔn)，從而使得基片的傳送更精準(zhǔn)和更平穩(wěn)。較佳地，所述側(cè)板沿水平方向設(shè)置有導(dǎo)軌，每一所述基片承載架固定設(shè)有與所述導(dǎo)軌滑動(dòng)配合的滑塊，所述滑塊呈滑動(dòng)的卡于所述導(dǎo)軌上，為基片承載架的精準(zhǔn)和平穩(wěn)滑動(dòng)提供極其優(yōu)異的條件。較佳地，所述托架上設(shè)置有若干柔性的呈平面設(shè)置的頂柱，所述頂柱形成所述托起部，使得托起部具有柔性，防止托起部在托起基片承載區(qū)內(nèi)的基片時(shí)劃花或損壞基片，從而確保傳送中的基片的安全。較佳地，所述承載部的位于所述基片承載區(qū)內(nèi)的部位處設(shè)置有沿豎直方向向上伸出的柔性的支撐柱，使得承載部具有柔性，防止承載部在承接托起部輸送來的基片時(shí)劃花或損壞基片，從而確保傳送中的基片的安全。較佳地，所述升降驅(qū)動(dòng)器為氣缸，使得升降驅(qū)動(dòng)器不用經(jīng)過中間機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)化就能輸出直線的移動(dòng)，從而簡化升降驅(qū)動(dòng)器的結(jié)構(gòu)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明的升降裝置的托架沿水平底板的縱向呈等隔的設(shè)置于水平底板上，水平輸送裝置的基片承載架沿水平方向呈等間隔的設(shè)置于側(cè)板上，該基片承載架的一端可沿水平方向滑動(dòng)的與側(cè)板連接，基片承載架的另一端遠(yuǎn)離側(cè)板并朝托架處凸伸出兩對(duì)應(yīng)設(shè)置的承載部，承載部沿水平底板的縱向位于托起部的兩側(cè)外，且兩承載部朝對(duì)方彎折形成位于托起部正上方的基片承載區(qū)，相鄰基片承載架之間固定連接，從而使得本發(fā)明的升降裝置的托架與基片承載架的承載部之間的基片傳輸具有連貫性，并在水平
4驅(qū)動(dòng)組件的作用下，使得承載于承載部上的基片被輸送到升降裝置的托架的托起部正上方，完成基片的一次水平方向傳輸，此時(shí)升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)使托架往基片處移動(dòng)，移動(dòng)的托架使托起部托起承載在承載部上的基片，從而完成基片一次豎直方向傳輸，因此，使得本發(fā)明 OLED基片線性傳輸設(shè)備能承擔(dān)著基片在水平方向的操作工序與基片在豎直方向的操作工序之間的傳輸，一方面提高了本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備對(duì)基片的傳輸效率，另一方面克服了現(xiàn)有的傳輸設(shè)備存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜的缺陷，從而簡化了本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備的結(jié)構(gòu)以降低生產(chǎn)和維護(hù)成本。


圖1是本發(fā)明OLED基片線性傳輸設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1所示OLED基片線性傳輸設(shè)備拆卸基片承載架后的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本發(fā)明的基片承載架的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為了詳細(xì)說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征，以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖作進(jìn)
一步說明。請(qǐng)參閱圖1至圖3，本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備用于對(duì)OLED生產(chǎn)工藝中不同工序之間的基片進(jìn)行水平方向和豎直方向的線性傳輸，該OLED基片線性傳輸設(shè)備100包括機(jī)架10、水平輸送裝置30及若干升降裝置20，該升降裝置20的數(shù)量是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)實(shí)際的需要所熟知的，故在此不對(duì)其數(shù)量進(jìn)行限定。其中，該機(jī)架10包括水平底板11及沿所述水平底板11彎折形成的側(cè)板12，具體是水平底板11與側(cè)板12呈垂直設(shè)置以便于機(jī)架10的加工和部件在側(cè)板12上的安裝。所述升降裝置20沿所述水平底板11的縱向(即是圖1中箭頭A所指的方向)呈等隔的設(shè)置于所述水平底板11上，所述升降裝置 20包括升降驅(qū)動(dòng)器21及托架22，所述托架22呈H型且其底端與所述升降驅(qū)動(dòng)器21的輸出軸連接，所述托架22的頂端具有供托起基片用的托起部23，具體地，該托起部23是由若干呈平面設(shè)置于在托架22上的柔性的頂柱M組成，在本實(shí)施例中，該頂柱M選擇為四個(gè)， 通過柔性的頂柱M形成托起部23，能防止托起部23在托起基片承載區(qū)34內(nèi)的基片時(shí)劃花或損壞基片，從而確保傳輸中的基片的安全。而所述水平輸送裝置30包括水平驅(qū)動(dòng)組件 31及若個(gè)基片承載架32，該基片承載架32沿水平方向呈等間隔的設(shè)置于所述側(cè)板12上， 所述基片承載架32的一端可沿水平方向滑動(dòng)的與所述側(cè)板12連接，具體是，在側(cè)板12上沿水平方向設(shè)置有導(dǎo)軌13，每一基片承載架32固定設(shè)有與導(dǎo)軌13滑動(dòng)配合的滑塊39，通過滑塊39呈滑動(dòng)的卡于導(dǎo)軌13上以實(shí)現(xiàn)基片承載架32與側(cè)板12的滑動(dòng)連接，目的為基片承載架32能在側(cè)板12上做精準(zhǔn)和平穩(wěn)的滑動(dòng)創(chuàng)造優(yōu)越的條件；而基片承載架32的另一端遠(yuǎn)離所述側(cè)板12并朝所述托架22處凸伸出兩對(duì)應(yīng)設(shè)置的承載部33，所述承載部33沿所述水平底板11的縱向(即是圖1中箭頭B所指的方向)位于所述托起部23的兩側(cè)外，且兩承載部33朝對(duì)方彎折形成位于所述托起部23正上方的基片承載區(qū)34，相鄰所述基片承載架32之間通過連桿60固定連接，所述水平驅(qū)動(dòng)組件31驅(qū)使所述基片承載架32沿水平方向移動(dòng)，移動(dòng)的基片承載架32使基片承載區(qū)34正對(duì)托起部23，升降驅(qū)動(dòng)器21驅(qū)使托起部23伸入基片承載區(qū)34進(jìn)而托起承載于基片承載區(qū)34內(nèi)的基片。其中，為了使得升降驅(qū)
5動(dòng)器21不用經(jīng)過中間機(jī)構(gòu)進(jìn)行轉(zhuǎn)化就能輸出直線的移動(dòng)以簡化升降驅(qū)動(dòng)器21的結(jié)構(gòu)，故升降驅(qū)動(dòng)器21選擇為氣缸；而上述的基片承載架32的數(shù)量，以及基片承載架32與托架22 之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)實(shí)際的需要所熟知的，故在此不再贅述。更具體地，如下較優(yōu)者，本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備100還包括控制器(圖中未示)及與所述控制器電性連接的傳感器組件40，所述控制器控制所述升降驅(qū)動(dòng)器21和水平驅(qū)動(dòng)組件 31，所述傳感器組件40包括傳感器擋塊41、第一傳感器42及第二傳感器43，所述傳感器擋塊41安裝在一個(gè)所述基片承載架32上，所述第一傳動(dòng)器42分別設(shè)置所述傳感器擋塊41 的兩側(cè)并固定在所述側(cè)板12上，所述第二傳感器43安裝在所述托架22上并正對(duì)所述托起部23托起的基片，具體地，所述第一傳感器42及第二傳感器43均為光電傳感器。其中，通過傳感器擋塊41、第一傳感器42、第二傳感器43及控制器，使得本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備100形成一個(gè)全動(dòng)自化的生產(chǎn)系統(tǒng)，進(jìn)一步進(jìn)提高本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備 100的工作效率；通過第一傳感器42和第二傳感器43為電光傳感器，為本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備100的精準(zhǔn)控制創(chuàng)造良好的條件。同時(shí)，上述提到的水平驅(qū)動(dòng)組件31包括絲桿36、螺母37及與所述控制器電性連接的水平驅(qū)動(dòng)器，在本實(shí)施例中，該水平驅(qū)動(dòng)器選擇為伺服電機(jī)35以使得基片承載架32滑動(dòng)的更精準(zhǔn)，從而確保基片的精準(zhǔn)和平穩(wěn)的傳輸；而所述絲桿36沿水平方向呈樞接的安裝在所述側(cè)板12上，而所述伺服電機(jī)35通過固定座50安裝在側(cè)板12上且其輸出軸與絲桿36 連接，所述螺母37呈嚙合的套于所述絲桿36上并與安裝有所述傳感器擋塊41的所述基片承載架32固定，當(dāng)然，螺母37還可以與其它的基片承載架32固定，同樣能實(shí)現(xiàn)水平驅(qū)動(dòng)組件31驅(qū)使所有的基片承載架32沿水平方向移動(dòng)的目的。其中，通過絲桿36及螺母37的配合，提高了傳動(dòng)精度，從而為與螺母37固定的基片承載架32在側(cè)板12上的精準(zhǔn)和平穩(wěn)滑動(dòng)創(chuàng)造良好條件。而上述提到的承載部33的位于上述提到的基片承載區(qū)34內(nèi)的部位處設(shè)置有沿豎直方向向上伸出的柔性的支撐柱38，使得承載部33具有柔性，防止承載部33在承接托起部 23輸送來的基片時(shí)劃花或損壞基片，從而確保傳送中的基片的安全。結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備100的工作原理作詳細(xì)的說明伺服電機(jī)35作動(dòng)，驅(qū)使與其連接的絲桿36在側(cè)板12上轉(zhuǎn)動(dòng)，由于螺母37呈嚙合的套于絲桿 36上，故轉(zhuǎn)動(dòng)的絲桿36驅(qū)使螺母37在絲桿36上沿圖1中箭頭A所指的方向滑動(dòng)，又由于基片承載架32與螺母37固定連接，且基片承載架32通過滑塊39與側(cè)板12上的導(dǎo)軌13 配合滑動(dòng)，使得基片承載架32跟隨螺母37 —起沿圖1中箭頭A所指的方向滑動(dòng)，從而使得承載于基片承載區(qū)34內(nèi)的基片被輸送到升降裝置20的托架22的托起部23的正上方，從而完成基片一次水平方向的輸送；此時(shí)驅(qū)使升降驅(qū)動(dòng)器21作動(dòng)，作動(dòng)的升降驅(qū)動(dòng)器21沿豎直方向朝基片承載區(qū)34處伸出，由于托架22與升降驅(qū)動(dòng)器21連接，故使得托架22跟隨升降驅(qū)動(dòng)器21 —起往基片承載區(qū)34處移動(dòng)，移動(dòng)的托架22使得托起部23伸入基片承載區(qū) 34內(nèi)進(jìn)而托起承載于基片承載區(qū)34內(nèi)的基片，從而完成基片一次豎直方向的輸送，此時(shí)再驅(qū)使伺服電機(jī)35做與原來相反的方向作動(dòng)，作動(dòng)的伺服電機(jī)35通過螺母37驅(qū)使基片承載架32沿圖1中箭頭A所指的相反方向滑動(dòng)，滑動(dòng)的基片承載架32復(fù)位，為下一次基片的水平方向輸送做好準(zhǔn)備，從而完成本發(fā)明OLED基片線性傳輸設(shè)備100對(duì)水平方向的操作工序
6和豎直方向的操作工序之間的基片的線性輸送。本發(fā)明的升降裝置20的托架22沿水平底板11的縱向呈等隔的設(shè)置于水平底板 11上，水平輸送裝置30的基片承載架32沿水平方向呈等間隔的設(shè)置于側(cè)板12上，該基片承載架32的一端可沿水平方向滑動(dòng)的與側(cè)板12連接，基片承載架32的另一端遠(yuǎn)離側(cè)板12 并朝托架22處凸伸出兩對(duì)應(yīng)設(shè)置的承載部33，承載部33沿水平底板11的縱向位于托起部23的兩側(cè)外，且兩承載部33朝對(duì)方彎折形成位于托起部23正上方的基片承載區(qū)34，相鄰基片承載架32之間固定連接，從而使得本發(fā)明的升降裝置20的托架22與基片承載架32 的承載部33之間的基片傳輸具有連貫性，并在水平驅(qū)動(dòng)組件31的作用下，使得承載于承載部33上的基片被輸送到升降裝置20的托架22的托起部23正上方，完成基片的一次水平方向傳輸，此時(shí)升降驅(qū)動(dòng)器21驅(qū)使托架22往基片處移動(dòng)，移動(dòng)的托架22使托起部23托起承載在承載部33上的基片，從而完成基片一次豎直方向傳輸，因此，使得本發(fā)明OLED基片線性傳輸設(shè)備100能承擔(dān)著基片在水平方向的操作工序與基片在豎直方向的操作工序之間的傳輸，一方面提高了本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備100對(duì)基片的傳輸?shù)男?，另一方面克服了現(xiàn)有的傳輸設(shè)備存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜的缺陷，從而簡化了本發(fā)明的OLED基片線性傳輸設(shè)備100的結(jié)構(gòu)以降低生產(chǎn)和維護(hù)成本。值得注意者，相鄰的基片承載架32之間的距離與相鄰的托架22之間距離關(guān)系，只要滿足相鄰的基片承載架32之間的距離大于相鄰的托架22之間距離即可。以上所揭露的僅為本發(fā)明的較佳實(shí)例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，因此依本發(fā)明權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬于本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種OLED基片線性傳輸設(shè)備，用于對(duì)OLED生產(chǎn)工藝中不同工序之間的基片進(jìn)行水平方向和豎直方向的線性傳輸，其特征在于，所述OLED基片線性傳輸設(shè)備包括機(jī)架，所述機(jī)架包括水平底板及沿所述水平底板彎折延伸形成的側(cè)板；若干升降裝置，所述升降裝置沿所述水平底板的縱向呈等隔的設(shè)置于所述水平底板上，所述升降裝置包括升降驅(qū)動(dòng)器及托架，所述托架的底端與所述升降驅(qū)動(dòng)器的輸出軸連接，所述托架的頂端具有供托起基片用的托起部；以及水平輸送裝置，所述水平輸送裝置包括水平驅(qū)動(dòng)組件及若個(gè)基片承載架，所述基片承載架沿水平方向呈等間隔的設(shè)置于所述側(cè)板上，所述基片承載架的一端可沿水平方向滑動(dòng)的與所述側(cè)板連接，所述基片承載架的另一端遠(yuǎn)離所述側(cè)板并朝所述托架處凸伸出兩對(duì)應(yīng)設(shè)置的承載部，所述承載部沿所述水平底板的縱向位于所述托起部的兩側(cè)外，且兩所述承載部朝對(duì)方彎折形成位于所述托起部正上方的基片承載區(qū)，相鄰所述基片承載架之間固定連接，所述水平驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)使所述基片承載架沿水平方向移動(dòng)，移動(dòng)的基片承載架使基片承載區(qū)正對(duì)托起部，升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)使托起部伸入基片承載區(qū)進(jìn)而托起承載于基片承載區(qū)內(nèi)的基片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備，其特征在于，還包括控制器及與所述控制器電性連接的傳感器組件，所述控制器控制所述升降驅(qū)動(dòng)器和水平驅(qū)動(dòng)組件，所述傳感器組件包括傳感器擋塊、第一傳感器及第二傳感器，所述傳感器擋塊安裝在一個(gè)所述基片承載架上，所述第一傳動(dòng)器分別設(shè)置所述傳感器擋塊的兩側(cè)并固定在所述側(cè)板上，所述第二傳感器安裝在所述托架上并正對(duì)所述托起部托起的基片。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備，其特征在于，所述第一傳感器及第二傳感器均為光電傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備，其特征在于，所述水平驅(qū)動(dòng)組件包括絲桿、螺母及與所述控制器電性連接的水平驅(qū)動(dòng)器，所述絲桿沿水平方向呈樞接的安裝在所述側(cè)板上并與所述水平驅(qū)動(dòng)器的輸出軸連接，所述螺母呈嚙合的套于所述絲桿上并與安裝有所述傳感器擋塊的所述基片承載架固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備，其特征在于，所述水平驅(qū)動(dòng)器為伺服電機(jī)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備，其特征在于，所述水平底板與所述側(cè)板呈垂直設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備，其特征在于，所述側(cè)板沿水平方向設(shè)置有導(dǎo)軌，每一所述基片承載架固定設(shè)有與所述導(dǎo)軌滑動(dòng)配合的滑塊，所述滑塊呈滑動(dòng)的卡于所述導(dǎo)軌上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備，其特征在于，所述托架上設(shè)置有若干柔性的呈平面設(shè)置的頂柱，所述頂柱形成所述托起部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備，其特征在于，所述承載部的位于所述基片承載區(qū)內(nèi)的部位處設(shè)置有沿豎直方向向上伸出的柔性的支撐柱。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備，其特征在于，所述升降驅(qū)動(dòng)器為氣缸。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種OLED基片線性傳輸設(shè)備，包括機(jī)架、水平輸送裝置及若干升降裝置，機(jī)架包括水平底板和側(cè)板；升降裝置沿水平底板的縱向在水平底板上呈等隔的設(shè)置并包括升降驅(qū)動(dòng)器和托架，托架的底端與升降驅(qū)動(dòng)器的輸出軸連接且頂端具有托起部；水平輸送裝置包括水平驅(qū)動(dòng)組件及若干基片承載架，基片承載架沿水平方向在側(cè)板上呈等間隔的設(shè)置且一端與側(cè)板滑動(dòng)連接，另一端遠(yuǎn)離側(cè)板并朝托架處凸伸出兩對(duì)應(yīng)設(shè)置的承載部，承載部沿水平底板的縱向位于托起部的兩側(cè)外并朝對(duì)方彎折形成位于托起部正上方的基片承載區(qū)，相鄰基片承載架之間固定連接，水平驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)使基片承載架沿水平方向移動(dòng)。本發(fā)明能承擔(dān)著不同工序之間的基片傳送且具有結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102437077SQ201110319479
公開日2012年5月2日 申請(qǐng)日期2011年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月19日
發(fā)明者劉惠森, 范繼良, 郭業(yè)祥 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司