專利名稱：基板搬運(yùn)手和基板搬運(yùn)機(jī)器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板搬運(yùn)手和基板搬運(yùn)機(jī)器人，更具體地，涉及分別包括能夠在其上載置基板的多個(gè)載置部的基板搬運(yùn)手和基板搬運(yùn)機(jī)器人。
背景技術(shù)：
包括能夠在其上載置基板的多個(gè)載置部的基板搬運(yùn)手是很常見(jiàn)的。日本專利特許公開(kāi)2001-274232公開(kāi)了一種基板搬運(yùn)手，其包括一對(duì)臂部(手主體部)和設(shè)置在所述一對(duì)臂部中的每個(gè)臂部上的多個(gè)晶片支撐部件。該基板搬運(yùn)手形成為使得該一對(duì)臂部能夠在相互靠近和遠(yuǎn)離的方向上移動(dòng)。各個(gè)晶片支撐部件被形成為臺(tái)階狀，使得能夠在分別設(shè)置于其上下臺(tái)階處的第一把持部和第二把持部(載置部)上載置基板。為了在設(shè)置于上臺(tái)階處的第一把持部上載置相應(yīng)的基板，基板搬運(yùn)手通過(guò)移動(dòng)該一對(duì)臂部來(lái)控制臂部之間的間隔，而調(diào)整晶片支撐部件的位置，以使基板的一端與第一把持部接觸。為了在設(shè)置于下臺(tái)階處的第二把持部上載置相應(yīng)的基板，基板搬運(yùn)手通過(guò)移動(dòng)該一對(duì)臂部來(lái)控制臂部之間的間隔，而進(jìn)一步調(diào)整晶片支撐部件的位置，以使基板的一端與第二把持部接觸。這樣，基板搬運(yùn)手利用兩個(gè)不同的把持部(載置部)能夠?qū)⒒逯卧诓煌奈恢?。盡管日本專利特許公開(kāi)2001-274232中描述的基板搬運(yùn)手能夠利用兩個(gè)不同的把持部(載置部)來(lái)支撐基板，但是為了利用不同的把持部來(lái)支撐基板，必須通過(guò)移動(dòng)一對(duì)臂部(手主體部)來(lái)控制臂部之間的間隔。因此，其不利之處在于為了恰當(dāng)?shù)厥褂貌煌陌殉植?載置部)來(lái)支撐基板，基板搬運(yùn)手需要采用大型的結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在解決上述問(wèn)題，并且本發(fā)明的目的是提供一種能夠通過(guò)恰當(dāng)?shù)厥褂貌煌妮d置部來(lái)支撐基板的基板搬運(yùn)手，以及包括該基板搬運(yùn)手的基板搬運(yùn)機(jī)器人。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板搬運(yùn)手包括手主體部；第一載置部和第二載置部，所述第一載置部和所述第二載置部能夠分別在其上載置第一基板和第二基板；第三載置部，其與所述第一載置部一起支撐在所述第一載置部上載置的所述第一基板；以及可移動(dòng)地設(shè)置在所述手主體部上的第四載置部，其在移動(dòng)到所述手主體部的第一位置時(shí)，與所述第二載置部一起支撐在所述第二載置部上載置的所述第二基板。在根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板搬運(yùn)手中，如上所述，第三載置部用于與第一載置部一起支撐在第一載置部上載置的第一基板，同時(shí)第四載置部可移動(dòng)地設(shè)置在手主體部上，當(dāng)其移動(dòng)到手主體部的第一位置時(shí)，與第二載置部一起支撐在第二載置部上載置的第二基板，從而基板搬運(yùn)手能夠利用在不移動(dòng)手主體部本身而僅相對(duì)于手主體部移動(dòng)設(shè)置在其上的第四載置部的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)中的不同的載置部來(lái)支撐基板。因此，根據(jù)該簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)，基板搬運(yùn)手能夠通過(guò)恰當(dāng)?shù)厥褂貌煌d置部來(lái)支撐基板。根據(jù)本發(fā)明第二方面的基板搬運(yùn)機(jī)器人包括基板搬運(yùn)手；以及控制部，其控制所述基板搬運(yùn)手，其中所述基板搬運(yùn)手包括手主體部；第一載置部和第二載置部，所述第一載置部和所述第二載置部能夠分別在其上載置第一基板和第二基板；第三載置部，其與所述第一載置部一起支撐在所述第一載置部上載置的所述第一基板；以及可移動(dòng)地設(shè)置在所述手主體部上的第四載置部，其在移動(dòng)到所述手主體部的第一位置時(shí)，與所述第二載置部一起支撐在所述第二載置部上載置的所述第二基板。在根據(jù)本發(fā)明第二方面的基板搬運(yùn)機(jī)器人中，如上所述，第三載置部用于與第一載置部一起支撐在第一載置部上載置的第一基板，同時(shí)第四載置部可移動(dòng)地設(shè)置在手主體部上，當(dāng)其移動(dòng)到手主體部的第一位置時(shí)，與第二載置部一起支撐在第二載置部上載置的第二基板，從而基板搬運(yùn)手能夠利用在不移動(dòng)手主體部本身而僅相對(duì)于手主體部移動(dòng)設(shè)置在其上的第四載置部的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)中的不同的載置部來(lái)支撐基板。因此，根據(jù)該簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)， 基板搬運(yùn)手能夠通過(guò)恰當(dāng)?shù)厥褂貌煌d置部來(lái)支撐基板。在被用于將基板導(dǎo)入/導(dǎo)出處理裝置時(shí)，基板搬運(yùn)機(jī)器人例如能夠搬運(yùn)尚未經(jīng)處理裝置處理的未處理基板以及經(jīng)過(guò)處理裝置處理的處理后基板，并利用共用基板搬運(yùn)手的不同載置部來(lái)支撐未處理基板和處理后基板，即使有異物附著到處理后基板或未處理基板也是如此。因此，采用共用基板搬運(yùn)手的基板搬運(yùn)機(jī)器人能夠防止異物附著到未處理基板或處理后基板。通過(guò)以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行的詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述和其它目的、特征、方面和優(yōu)點(diǎn)將更加明確。


圖1是示出了包括根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手的基板搬運(yùn)機(jī)器人的整體結(jié)構(gòu)的立體圖；圖2是示出了采用根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的包括基板搬運(yùn)手的基板搬運(yùn)機(jī)器人的裝置的整體結(jié)構(gòu)的平面圖；圖3是示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手的立體圖；圖4是示出了將根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的兩個(gè)基板搬運(yùn)手設(shè)置為平面地伸展?fàn)顟B(tài)的情況的立體圖；圖5是示出了利用根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的各個(gè)基板搬運(yùn)手的下載置部來(lái)載置基板的狀態(tài)的平面圖；圖6是示出了利用根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的各個(gè)基板搬運(yùn)手的上載置部來(lái)支撐另一基板的狀態(tài)的平面圖；圖7是示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的各個(gè)基板搬運(yùn)手的上載置部和下載置部的側(cè)視圖；圖8是示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的各個(gè)基板搬運(yùn)手的后方可移動(dòng)支撐部的載置部處于第二位置時(shí)的狀態(tài)的側(cè)視圖；圖9是示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的各個(gè)基板搬運(yùn)手的后方可移動(dòng)支撐部的載置部處于第一位置時(shí)的狀態(tài)的側(cè)視圖；圖10是示出了根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手的立體圖；圖11是示出了根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手的后方可移動(dòng)支撐部的載置部處于第二位置時(shí)的狀態(tài)的側(cè)視圖；圖12是示出了根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手的后方可移動(dòng)支撐部的載置部處于第一位置時(shí)的狀態(tài)的側(cè)視圖；圖13是示出了根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手的上載置部和下載置部的截面圖；圖14是示出了根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手的后方可移動(dòng)支撐部的載置部處于第二位置時(shí)的狀態(tài)的截面圖；圖15是示出了根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手的后方可移動(dòng)支撐部的載置部處于第一位置時(shí)的狀態(tài)的截面圖。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。(第一實(shí)施方式)首先，參照?qǐng)D1至9對(duì)包括根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手5的基板搬運(yùn)機(jī)器人100的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如圖1所示，基板搬運(yùn)機(jī)器人100是關(guān)節(jié)型機(jī)器人。更具體地說(shuō)，基板搬運(yùn)機(jī)器人 100包括基座部件1、支撐軸2、第一臂部3、第二臂部4、根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的兩個(gè)基板搬運(yùn)手5以及控制基板搬運(yùn)機(jī)器人100的各個(gè)部分的控制部6。基板搬運(yùn)機(jī)器人100被形成為能夠在半導(dǎo)體裝置的制造過(guò)程中所采用的處理裝置20和對(duì)應(yīng)于根據(jù)SEMI (國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì))標(biāo)準(zhǔn)的FOUP (前開(kāi)式標(biāo)準(zhǔn)晶圓盒)的基板收納盒30之間搬運(yùn)基板 10。更詳細(xì)地，基板搬運(yùn)機(jī)器人100被形成為將經(jīng)處理裝置20處理后的處理后基板IOa從處理裝置20搬運(yùn)到基板收納盒30，并且將尚未經(jīng)處理裝置20處理的未處理基板IOb從基板收納盒30搬運(yùn)到處理裝置20。第二臂部4是本發(fā)明中“臂部”的一個(gè)示例。處理后基板 IOa和未處理基板IOb分別是本發(fā)明中“第一基板”和“第二基板”的示例。支撐軸2由基座部件1支撐。支撐軸2被形成為相對(duì)于基座部件1的上表面垂直地延伸。第一臂部3的第一端與支撐軸2的上端連接。第一臂部3被形成為可以在水平面內(nèi)、在作為旋轉(zhuǎn)軸的支撐軸2上轉(zhuǎn)動(dòng)。第二臂部4的第一端與第一臂部3的第二端連接。第二臂部4被形成為可以在水平面內(nèi)、在作為旋轉(zhuǎn)中心并與第一臂部3連接的第一端上轉(zhuǎn)動(dòng)。 兩個(gè)基板搬運(yùn)手5與第二臂部4的第二端連接。兩個(gè)基板搬運(yùn)手5被形成為可以在相互獨(dú)立的水平面內(nèi)、在作為旋轉(zhuǎn)中心并與第二臂部4連接的部分上轉(zhuǎn)動(dòng)。兩個(gè)基板搬運(yùn)手5的基座側(cè)由蓋fe覆蓋。如圖3和4所示，兩個(gè)基板搬運(yùn)手5的結(jié)構(gòu)類似，并且被設(shè)置為在垂直方向上相互交疊。兩個(gè)基板搬運(yùn)手5與SEMI標(biāo)準(zhǔn)的FOUP對(duì)應(yīng)。每個(gè)基板搬運(yùn)手5被形成為能夠?qū)蓚€(gè)堆疊基板10導(dǎo)入基板收納盒30中、并且能夠從基板收納盒30中導(dǎo)出兩個(gè)堆疊基板10。 如圖3和4所示，基板搬運(yùn)手5主要由手主體部51、一對(duì)前支撐部52、一對(duì)后方固定支撐部 53以及一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M構(gòu)成。手主體部51為平板的形式，并且大致水平地設(shè)置。手主體部51的前端大致為V 形(叉形)。該一對(duì)前支撐部52被設(shè)置為在手主體部51的前端側(cè)(沿圖5和6中的箭頭XI) 支撐基板10。此外，該一對(duì)前支撐部52固定地設(shè)置在手主體部51的上表面上，并且設(shè)置在手主體部51的大致V形前端。此外，該一對(duì)前支撐部52的結(jié)構(gòu)互相類似。
根據(jù)第一實(shí)施方式，如圖7所示，每個(gè)前支撐部52被形成為臺(tái)階狀。更具體地，前支撐部52具有分別設(shè)置在下臺(tái)階和上臺(tái)階處的不同垂直位置上的下載置部521和上載置部522。下載置部521和上載置部522在俯視圖(plan view)上(從上方觀察)設(shè)置在相互錯(cuò)開(kāi)的位置。此外，下載置部521和上載置部522被形成為能夠在不同的垂直位置、并且在俯視圖內(nèi)相互錯(cuò)開(kāi)的位置上載置基板10 (IOa和IOb)。更具體地，下載置部521和上載置部522分別載置處理后基板IOa和未處理基板10b。此外，下載置部521和上載置部 522分別具有載置表面521a、52h和壁部521b、522b。載置表面521a (522a)呈弧形地彎曲 (circularly bent)并傾斜從而朝著在其上載置的基板10的中心逐漸降低，使得大致被水平支撐的基板10與載置表面521a(522a)彼此線接觸。壁部521b(522b)形成在大致垂直的面內(nèi)。下載置部521和上載置部522分別是本發(fā)明中“第一載置部”和“第二載置部”的示例。壁部521b和522b分別是本發(fā)明中“第一壁部”和“第二壁部”的示例。如圖3至6所示，該一對(duì)后方固定支撐部53固定地設(shè)置在手主體部51的上表面上。此外，該一對(duì)后方固定支撐部53設(shè)置在手主體部51的基部側(cè)(沿圖5和6中的箭頭 X2)。此外，該一對(duì)后方固定支撐部53分別設(shè)置在手主體部51在寬度方向(沿圖5和6中的箭頭Y)上的兩端附近。該一對(duì)后方固定支撐部53的結(jié)構(gòu)互相類似。如圖8所示，每個(gè)后方固定支撐部53均具有能夠在其上載置相應(yīng)基板10的載置部531。載置部531被形成為與前支撐部52的下載置部521 —起支撐在下載置部521上載置的處理后基板10a。此外，載置部531設(shè)置在與前支撐部52的下載置部521的垂直位置相對(duì)應(yīng)的垂直位置上。更具體地，載置部531形成為在大致水平狀態(tài)下支撐在前支撐部52 的下載置部521上載置的處理后基板10a。此外，載置部531被形成為在與載置在前支撐部 52的上載置部522上的未處理基板IOb的垂直位置不同、并且在俯視圖上與之錯(cuò)開(kāi)的位置上支撐處理后基板10a。此外，載置部531被形成為在上述一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M移動(dòng)到手主體部51的第二位置時(shí)支撐處理后基板10a，使得該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M不與處理后基板IOa接觸(以下描述)。載置部531是本發(fā)明中“第三載置部”的示例。載置部531具有載置表面531a和壁部531b。載置表面531a呈弧形地彎曲并傾斜以朝著在其上載置的處理后基板IOa的中心逐漸降低，使得大致被水平支撐的處理后基板 IOa與載置表面531a互相線接觸。壁部531b形成在大致垂直的面內(nèi)。如圖3至6所示，該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M可移動(dòng)地設(shè)置在手主體部51的上表面上。此外，該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M與上述一對(duì)后方固定支撐部53獨(dú)立地設(shè)置，并且設(shè)置在手主體部51的基部側(cè)(沿圖5和6中的箭頭X2)。此外，該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M分別設(shè)置在手主體部51在寬度方向(沿圖5和6中的箭頭Y)上的兩端附近。該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M在手主體部51的寬度方向上設(shè)置在該一對(duì)后方固定支撐部53的內(nèi)側(cè)附近。該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M的結(jié)構(gòu)互相類似。以下描述用于相對(duì)于手主體部51移動(dòng)該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M的結(jié)構(gòu)。如圖 3至6所示，該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M上安裝有一對(duì)安裝部Ma，其從后方可移動(dòng)支撐部 M向手主體部51的基部側(cè)(沿圖5和6中的箭頭似)延伸。該一對(duì)安裝部5 相互平行地設(shè)置。在該一對(duì)安裝部5 的、與安裝在該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M上的側(cè)相對(duì)的(更靠近手主體部51基部側(cè)的)端部上安裝有聯(lián)結(jié)部Mb，以使得安裝部5 相互聯(lián)結(jié)。聯(lián)結(jié)部54b大致為U形。換句話說(shuō)，聯(lián)結(jié)部54b分別通過(guò)安裝部5 來(lái)聯(lián)結(jié)設(shè)置在該一對(duì)后方
8可移動(dòng)支撐部討上的載置部541 (以下描述)。此外，聯(lián)結(jié)部54b被形成為可通過(guò)氣缸5 在前后方向(沿圖5和6中的箭頭X1、X2)上移動(dòng)。由此，該一對(duì)安裝部5 在其延伸方向 (前后方向)上可以直線地移動(dòng)。該一對(duì)安裝部5 在前后方向上直線地移動(dòng)，從而將該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M移動(dòng)到手主體部51上的第二位置和第一位置。氣缸5 設(shè)置在被大致U形的聯(lián)結(jié)部54b包圍的位置(內(nèi)部位置)上。如圖9所示，每個(gè)后方可移動(dòng)支撐部M都具有能夠在其上載置相應(yīng)基板10的載置部Ml。載置部541被形成為與前支撐部52的上載置部522 —起支撐在上載置部522上載置的未處理基板10b。此外，載置部541設(shè)置在與前支撐部52的上載置部522的垂直位置相對(duì)應(yīng)的垂直位置上。更具體地，載置部541形成為在大致水平狀態(tài)下支撐在前支撐部 52的上載置部522上載置的未處理基板10b。此外，載置部541被形成為在與前支撐部52 的下載置部521上載置的處理后基板IOa的垂直位置不同、并且在俯視圖上與之錯(cuò)開(kāi)的位置上支撐未處理基板10b。此外，后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541被形成為在移動(dòng)到手主體部51上的第一位置時(shí)支撐未處理基板10b。與手主體部51上的后方可移動(dòng)支撐部M 不與處理后基板IOa接觸的第二位置(見(jiàn)圖8)相比，手主體部51上的第一位置更靠近前支撐部52的上載置部522。載置部541是本發(fā)明中“第四載置部”的示例。載置部541具有載置表面Mia、前壁部Mlb和后壁部Mlc。載置表面Mla呈弧形地彎曲并傾斜以朝著在其上載置的未處理基板IOb的中心降低，使得大致被水平支撐的未處理基板IOb與載置表面Mla彼此線接觸。前壁部Mlb被連續(xù)形成為從載置表面Mla 的前端(更靠近前端側(cè)的端部)向下延伸。后壁部Mlc被連續(xù)地形成為從載置表面Mla 的后端(更靠近基部側(cè))向上延伸。前壁部Mlb和后壁部Mlc形成在大致垂直的面內(nèi)。手主體部51上設(shè)置有按壓部55，用于將支撐部52、53和M所支撐的基板10 (10a、 10b)向前端部側(cè)(沿圖5和6中的箭頭XI)按壓。按壓部55設(shè)置在該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M之間。而且，按壓部55被形成為可通過(guò)氣缸551在前后方向(沿箭頭Xl和X2)上移動(dòng)。預(yù)先向控制部6教示(teach)搬運(yùn)位置，以利用相應(yīng)的基板搬運(yùn)手5來(lái)搬運(yùn)各個(gè)基板10。更具體地，預(yù)先向控制部6教示由前支撐部52的上載置部522和后支撐部M的載置部541支撐的未處理基板IOb的搬運(yùn)位置。換句話說(shuō)，預(yù)先向控制部6教示在其上載置未處理基板IOb的基板搬運(yùn)手5的位置以及將未處理基板IOb從基板搬運(yùn)手5移動(dòng)到另一地方的位置。此外，控制部6被形成為用于根據(jù)未處理基板IOb的搬運(yùn)位置，確定由前支撐部52的下載置部521和后方固定支撐部53的載置部531支撐的處理后基板IOa的搬運(yùn)位置。換句話說(shuō)，控制部6根據(jù)未處理基板IOb的搬運(yùn)位置，確定用于在與未處理基板IOb 的位置不同的位置上所支撐的處理后基板IOa的基板搬運(yùn)手5相對(duì)于手主體部51的搬運(yùn)位置。下面描述根據(jù)第一實(shí)施方式的基板搬運(yùn)機(jī)器人100的各個(gè)基板搬運(yùn)手5的用于支撐各個(gè)基板10的操作過(guò)程。為了利用基板搬運(yùn)手5來(lái)支撐處理后基板10a，如圖5和圖8所示，將后方可移動(dòng)支撐部M移動(dòng)到手主體部51的后側(cè)(沿圖5中的箭頭\1、上的第二位置。然后，向上移動(dòng)設(shè)置在處理后基板IOa下方的手主體部51，從而使處理后基板IOa與前支撐部52的下載置部521以及后方固定支撐部53的載置部531接觸。然后，按壓部55將處理后基板IOa壓向前端部側(cè)，從而將處理后基板IOa壓靠(press against)在下載置部521的壁部521b 上。換句話說(shuō)，處理后基板IOa在被壓靠在壁部521b上的狀態(tài)下由前支撐部52的下載置部521以及后方固定支撐部53的載置部531支撐。為了利用基板搬運(yùn)手5來(lái)支撐未處理基板10b，如圖6和圖9所示，將后方可移動(dòng)支撐部M移動(dòng)到手主體部51的前側(cè)(沿圖6中的箭頭XI)上的第一位置。然后，向上移動(dòng)設(shè)置在未處理基板IOb下方的手主體部51，從而使未處理基板IOb與前支撐部52的上載置部522以及后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541接觸。然后，按壓部55將未處理基板IOb 壓向前端部側(cè)，從而將未處理基板IOb壓靠在上載置部522的壁部522b上。換句話說(shuō)，未處理基板IOb在被壓靠在壁部522b上的狀態(tài)下由前支撐部52的上載置部522以及后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541支撐。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，后方固定支撐部53的載置部531用于與下載置部 521 一起支撐在下載置部521上載置的處理后基板IOa ；而后方可移動(dòng)支撐部M的載置部 541可移動(dòng)地設(shè)置在手主體部51上，用于在被移動(dòng)到在手主體部51的前側(cè)(沿圖6中的箭頭XI)的第一位置時(shí)，與上載置部522 —起支撐在上載置部522上載置的未處理基板10b。 由此，以不移動(dòng)手主體部51自身而僅相對(duì)于手主體部51移動(dòng)設(shè)置在其上的載置部Ml的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)，基板搬運(yùn)手5能夠利用不同的載置部531和541來(lái)支撐基板10。因此，具有上述簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的基板搬運(yùn)手5能夠通過(guò)恰當(dāng)?shù)厥褂貌煌妮d置部531和541來(lái)支撐基板10。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，在移動(dòng)到手主體部51的后側(cè)(沿圖5中的箭頭X2) 上的與第一位置不同的第二位置時(shí)，后方固定支撐部53的載置部531被形成為與下載置部 521 一起在與未處理基板IOb的位置不同的位置上支撐處理后基板10a。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可將后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541移動(dòng)到第二位置，使之不與處理后基板IOa接觸，從而可防止處理后基板IOa和未處理基板IOb與相同的載置部接觸。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，上載置部522和后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541 被形成為在后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541移動(dòng)到與第二位置相比載置部541更接近上載置部522的第一位置時(shí)，支撐未處理基板IOb ；而下載置部521和后方固定支撐部53的載置部531被形成為在后方可移動(dòng)支撐部M移動(dòng)到與第一位置相比其載置部541更加遠(yuǎn)離上載置部522的第二位置時(shí)，支撐處理后基板10a。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)使后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541接近上載置部522，基板搬運(yùn)手5能夠使用上載置部522和后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541容易地支撐未處理基板10b。此外，基板搬運(yùn)手5能夠利用下載置部521和后方固定支撐部53的載置部531支撐處理后基板10a，同時(shí)通過(guò)使后方固定支撐部53的載置部531遠(yuǎn)離上載置部522，防止后方固定支撐部53的載置部531與處理后基板 IOa接觸。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，下載置部521和上載置部522設(shè)置在彼此不同的垂直位置上，而后方固定支撐部53的載置部531和后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541分別設(shè)置在與下載置部521和上載置部522的垂直位置對(duì)應(yīng)的垂直位置上。此外，上載置部522 和后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541形成為在后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541移動(dòng)到手主體部51上的第一位置時(shí)，在與由下載置部521和后方固定支撐部53的載置部531所支撐的處理后基板IOa的垂直位置不同的垂直位置上支撐未處理基板10b。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于分別設(shè)置了支撐處理后基板IOa和未處理基板IOb的不同垂直位置，基板搬運(yùn)手5能夠容易地防止處理后基板IOa和未處理基板IOb與相同的載置部接觸。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，下載置部521和上載置部522設(shè)置在俯視圖內(nèi)相互錯(cuò)開(kāi)的位置上。因此，由于分別設(shè)置了支撐處理后基板IOa和未處理基板IOb的不同平面位置，基板搬運(yùn)手5能夠容易地防止處理后基板IOa和未處理基板IOb與相同的載置部接觸。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，下載置部521、上載置部522和后方固定支撐部53 的載置部531固定地設(shè)置在手主體部51上，而上載置部522和后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541被形成為當(dāng)后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541移動(dòng)到手主體部51上的第一位置時(shí)，在與處理后基板IOa的位置不同的位置上支撐未處理基板10b。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，基板搬運(yùn)手5通過(guò)恰當(dāng)?shù)厥褂煤?jiǎn)單結(jié)構(gòu)(在該簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)中，僅使下載置部521、上載置部522、后方固定支撐部53的載置部531、后方可移動(dòng)支撐部M的載置部Ml中的后方可移動(dòng)支撐部M 的載置部541相對(duì)于手主體部51可移動(dòng))中的不同載置部能夠容易地在不同位置上支撐基板10。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，下載置部521和上載置部522 —體地設(shè)置在手主體部51的前端部側(cè)(前側(cè))，而后方固定支撐部53的載置部531和后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541相互獨(dú)立地設(shè)置在手主體部51的基部側(cè)(后側(cè))。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，與相互獨(dú)立地設(shè)置下載置部521和上載置部522的情況相比，能夠減少部件的數(shù)量。此外，載置部531和載置部541相互獨(dú)立地設(shè)置在手主體部51的基部側(cè)(后側(cè))，由此能夠在將載置部531保持固定的狀態(tài)下容易地移動(dòng)載置部討1。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，下載置部521和上載置部522形成在臺(tái)階狀的前支撐部52上。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，下載置部521和上載置部522能夠設(shè)置在一體地形成的下載置部 521和上載置部522的結(jié)構(gòu)中互不相同的垂直位置上，從而使基板搬運(yùn)手5能夠通過(guò)恰當(dāng)?shù)厥褂貌煌妮d置部而容易地在不同位置上支撐基板10。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，下載置部521和后方固定支撐部53的載置部531 被形成為支撐處于由按壓部陽(yáng)壓靠在壁部521b的狀態(tài)下的處理后基板10a，而上載置部 522和后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541被形成為支撐處于由按壓部55壓靠在壁部522b 的狀態(tài)下的未處理基板10b。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，基板搬運(yùn)手5能夠支撐處于由按壓部55壓靠在壁部521b和522b上的穩(wěn)定狀態(tài)下的基板10 (IOa和IOb)，從而穩(wěn)定地搬運(yùn)基板10。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，基板搬運(yùn)手5具有多個(gè)下載置部521、多個(gè)上載置部522、后方固定支撐部53的多個(gè)載置部531以及后方可移動(dòng)支撐部M的多個(gè)載置部Ml。 根據(jù)該結(jié)構(gòu)，基板搬運(yùn)手5能夠在大量載置部上支撐基板10 (IOa和IOb)，從而更加穩(wěn)定地支撐基板10。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，基板搬運(yùn)手5具有使具有載置部541的該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M相互聯(lián)結(jié)的聯(lián)結(jié)部Mb以及使聯(lián)結(jié)部54b移動(dòng)的氣缸Mc，并且被形成為通過(guò)利用氣缸5 移動(dòng)聯(lián)結(jié)部54b從而移動(dòng)該一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部M的載置部Ml。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，基板搬運(yùn)手5能夠使用共用的氣缸5 來(lái)移動(dòng)該一對(duì)載置部M1，從而無(wú)需針對(duì)載置部541分別設(shè)置不同氣缸。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，基板搬運(yùn)手5被形成為在不同的載置部上分別支撐處理后基板IOa和未處理基板10b，即使有異物附著到處理后基板IOa或未處理基板IOb也是如此。因此，采用共用的基板搬運(yùn)手5的基板搬運(yùn)機(jī)器人100能夠防止異物附著到未處理基板IOb或處理后基板10a。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，控制部6被形成為在被教示了針對(duì)由上載置部522 和后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541支撐的未處理基板IOb的基板搬運(yùn)手5的搬運(yùn)位置時(shí)，根據(jù)被教示的針對(duì)未處理基板IOb的基板搬運(yùn)手5的搬運(yùn)位置來(lái)確定針對(duì)處理后基板 IOa的基板搬運(yùn)手5的搬運(yùn)位置。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，用戶僅需在控制部6中教示針對(duì)未處理基板 IOb的基板搬運(yùn)手5的搬運(yùn)位置，不必教示針對(duì)處理后基板IOa (支撐在相對(duì)于手主體部51 與未處理基板IOb的位置不同的位置上)的搬運(yùn)位置，從而能夠減輕用戶的負(fù)擔(dān)。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，在前端部安裝有基板搬運(yùn)手5的第二臂部4被設(shè)置成使得基板搬運(yùn)機(jī)器人100能夠在第二臂部4的長(zhǎng)度的較大的范圍內(nèi)搬運(yùn)基板10。根據(jù)第一實(shí)施方式，如上所述，包括下載置部521、上載置部522、后方固定支撐部 53的載置部531以及后方可移動(dòng)支撐部M的載置部Ml的兩個(gè)基板搬運(yùn)手5以互相垂直交疊的狀態(tài)安裝在第二臂部4上，從而使得與基板搬運(yùn)機(jī)器人100僅設(shè)置有一個(gè)基板搬運(yùn)手5的情況相比，基板搬運(yùn)機(jī)器人100能夠同時(shí)搬運(yùn)大量的基板10。(第二實(shí)施方式)下面參照?qǐng)D10描述根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手205。根據(jù)第二實(shí)施方式，基板搬運(yùn)手205與上述第一實(shí)施方式的不同之處在于沒(méi)有設(shè)置按壓部。對(duì)于根據(jù)第二實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手205，采用相同的附圖標(biāo)記來(lái)表示其與上述第一實(shí)施方式相同的部件，此處不再進(jìn)行重復(fù)描述。根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手205沒(méi)有設(shè)置將基板10 (IOa和IOb)向前端部側(cè)按壓的按壓部。換句話說(shuō)，基板搬運(yùn)手205被形成為支撐只是載置在支撐部52、53 和M上、而并未被壓靠在壁部521b、522b上的基板10 (IOa和IOb)。第二實(shí)施方式的其余結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式類似。根據(jù)第二實(shí)施方式，基板搬運(yùn)手205能夠通過(guò)恰當(dāng)?shù)厥褂迷谂c上述第一實(shí)施方式類似的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)中的不同的載置部來(lái)支撐基板10，并且沒(méi)有設(shè)置用于按壓基板10的按壓部，以防止基板10在載置表面521a (522a)上移動(dòng)，從而避免基板10受到刮擦。第二實(shí)施方式的其余效果與上述第一實(shí)施方式類似。(第三實(shí)施方式)下面參照?qǐng)D11和12描述根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手5。與根據(jù)上述第一實(shí)施方式的利用按壓部陽(yáng)將基板10壓靠在壁部521b (522b)上的基板搬運(yùn)手5不同，根據(jù)第三實(shí)施方式，基板搬運(yùn)手5具有利用后方可移動(dòng)支撐部M將基板10壓靠在壁部 521b (522b)上的結(jié)構(gòu)。對(duì)于根據(jù)第三實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手5，采用相同的附圖標(biāo)記來(lái)表示其與上述第一實(shí)施方式相同的部件，此處不再進(jìn)行重復(fù)描述。根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式，基板搬運(yùn)手5被形成為利用后方可移動(dòng)支撐部M將基板10壓向前端部側(cè)(沿圖5和6中的箭頭XI)。更具體地，每個(gè)后方可移動(dòng)支撐部M被形成為當(dāng)基板搬運(yùn)手5利用每個(gè)前支撐部52的下載置部521和每個(gè)后方固定支撐部53的載置部531來(lái)支撐處理后基板IOa時(shí)，利用在第二位置上的前壁部Mlb將處理后基板IOa壓向前端部側(cè)。由此，處理后基板IOa被壓靠在每個(gè)下載置部521的壁部521b上。此外，后方可移動(dòng)支撐部M被形成為在基板搬運(yùn)手5利用每個(gè)前支撐部52的上載置部522和后方可移動(dòng)支撐部M的載置部541來(lái)支撐未處理基板IOb時(shí)，利用后壁部 541c將未處理基板IOb壓向前端部側(cè)，并在第一位置處的載置表面Mla上載置未處理基板 IOb0由此，未處理基板IOb被壓靠在上載置部522的壁部52 上。第三實(shí)施方式的其余結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式類似。根據(jù)第三實(shí)施方式，基板搬運(yùn)手5能夠通過(guò)恰當(dāng)?shù)厥褂迷谂c上述第一實(shí)施方式類似的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)中的不同的載置部來(lái)支撐基板10，并且形成為如上所述地利用后方可移動(dòng)支撐部M將基板10壓靠在壁部521b (522b)上，使基板搬運(yùn)手5能夠不采用用于按壓基板10 的專用按壓部、而支撐在被壓靠在壁部521b (522b)上的穩(wěn)定狀態(tài)下的基板10，從而基板搬運(yùn)手5能夠穩(wěn)定地搬運(yùn)基板10，同時(shí)抑制部件數(shù)量的增加。第三實(shí)施方式的其余效果與上述第一實(shí)施方式類似。(第四實(shí)施方式)下面參照?qǐng)D13至15描述根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手5。與根據(jù)上述第一實(shí)施方式的在壓靠狀態(tài)下支撐基板10的基板搬運(yùn)手5不同，根據(jù)第四實(shí)施方式，基板搬運(yùn)手5具有在吸引狀態(tài)下支撐基板10的結(jié)構(gòu)。對(duì)于根據(jù)第四實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手5， 采用相同的附圖標(biāo)記來(lái)表示其與上述第一實(shí)施方式相同的部件，此處不再進(jìn)行重復(fù)描述。根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式，基板搬運(yùn)手5形成為在支撐基板10時(shí)吸住基板10。更具體地，根據(jù)第四實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手5主要由手主體部451、一對(duì)前支撐部452、一對(duì)后方固定支撐部453以及一對(duì)后方可移動(dòng)支撐部妨4構(gòu)成。手主體部451、前支撐部452、后方固定支撐部453以及后方可移動(dòng)支撐部妨4分別對(duì)應(yīng)于根據(jù)上述第一實(shí)施方式的基板搬運(yùn)手5的手主體部5、前支撐部52、后方固定支撐部53以及后方可移動(dòng)支撐部M。如圖13所示，每個(gè)前支撐部452被形成為臺(tái)階狀，并且包括下載置部45 和上載置部452b。下載置部45 和上載置部452b被形成為能夠在不同的垂直位置、并且在俯視圖內(nèi)相互錯(cuò)開(kāi)的位置上載置基板10 (IOa和IOb)。下載置部45 和上載置部45 分別具有載置表面452c和452d。載置表面452c和452d分別設(shè)置在水平面內(nèi)。下載置部45 和上載置部452b分別是本發(fā)明中“第一載置部”和“第二載置部”的示例。前支撐部452具有連接到手主體部451的吸引孔401和402。吸引孔401和402 的第一端分別暴露在載置表面452c和452d上。吸引孔401和402設(shè)置成在俯視圖內(nèi)分別與載置表面452c和452d上載置的處理后基板IOa和未處理基板IOb交疊。第二端連接到吸引部(未示出)的吸引孔401(402)用于利用負(fù)壓朝著載置表面452c G52d)吸住處理后基板IOa (未處理基板10b)。如圖14所示，每個(gè)后方固定支撐部453均以平板的方式設(shè)置。后方固定支撐部 453包括具有載置表面45 的載置部453a。載置表面45 設(shè)置在水平面內(nèi)。后方固定支撐部453具有連接到手主體部451的吸引孔403。吸引孔403的第一端暴露在載置表面 453b上。吸引孔403被設(shè)置為在俯視圖中與載置表面45 上所載置的處理后基板IOa交疊。第二端連接到吸引部(未示出)的吸引孔403用于利用負(fù)壓朝著載置表面45 吸住處理后基板10a。載置部453a是本發(fā)明中“第三載置部”的示例。每個(gè)后方可移動(dòng)支撐部妨4包括具有載置表面454b的載置部45如。載置表面 454b設(shè)置在水平面內(nèi)。后方可移動(dòng)支撐部妨4具有吸引孔404。吸引孔404的第一端暴露在載置表面454b上。吸引孔404的第二端連接到吸引部(未示出)。吸引孔404被設(shè)置為在俯視圖中與載置表面454b上所載置的未處理基板IOb交疊。吸引孔404用于利用來(lái)自吸引部的負(fù)壓朝著載置表面454b吸住未處理基板10b。載置部45 是本發(fā)明中“第四載置部”的示例。第四實(shí)施方式的其余結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方式類似。根據(jù)第四實(shí)施方式，基板搬運(yùn)手5能夠通過(guò)恰當(dāng)?shù)厥褂迷谂c上述第一實(shí)施方式類似的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)中的不同的載置部來(lái)支撐基板10，而下載置部45 和后方固定支撐部453的載置部453a被形成為支撐在通過(guò)吸引而得以調(diào)節(jié)運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)下的處理后基板10a，并且上載置部452b和后方可移動(dòng)支撐部妨4的載置表面454b形成為支撐在通過(guò)吸引而得以調(diào)節(jié)運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)下的未處理基板10b，從而使基板搬運(yùn)手5能夠在利用負(fù)壓朝著載置表面吸引基板10的穩(wěn)定狀態(tài)下支撐基板10 (IOa和IOb)，以穩(wěn)定地搬運(yùn)基板10。此外，阻止了基板 10在載置表面上運(yùn)動(dòng)，這與基板搬運(yùn)手5使用按壓部按壓基板10以使基板10穩(wěn)定的情況不同，因此能避免基板10受到刮擦。第四實(shí)施方式的其余效果與上述第一實(shí)施方式類似。盡管對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的描述和例示，但是應(yīng)當(dāng)清楚，上述內(nèi)容僅僅是說(shuō)明和舉例，本發(fā)明并不限于此。本發(fā)明的精神和范圍只受所附權(quán)利要求的限定。例如，盡管在上述第一至第四各個(gè)實(shí)施方式中根據(jù)本發(fā)明的基板搬運(yùn)手被應(yīng)用于關(guān)節(jié)型機(jī)器人，但本發(fā)明并不限于此。根據(jù)本發(fā)明的基板搬運(yùn)手可以另選地被應(yīng)用于關(guān)節(jié)型機(jī)器人以外的其它機(jī)器人。盡管在上述第一至第四各個(gè)實(shí)施方式中，只有作為第四載置部的示例的各個(gè)后方可移動(dòng)支撐部的載置部可移動(dòng)地設(shè)置在手主體部上，但本發(fā)明并不限于此。根據(jù)本發(fā)明， 除第四載置部之外，第一至第三載置部中的任何一個(gè)或多個(gè)也能可移動(dòng)地設(shè)置在手主體部上。盡管在上述第一至第四各個(gè)實(shí)施方式中，基板搬運(yùn)手分別在不同的垂直位置上支撐作為第一和第二基板示例的處理后基板和未處理基板，但本發(fā)明并不限于此。根據(jù)本發(fā)明，基板搬運(yùn)手可另外地在相同位置，或者在垂直位置相同、俯視圖中位置不同的位置上支
撐第一和第二基板。盡管在上述第一至第四各個(gè)實(shí)施方式中分別將處理后基板作為第一基板的示例、 將未處理基板作為第二基板的示例，但本發(fā)明并不限于此。根據(jù)本發(fā)明，可以另選地將未處理基板作為第一基板的示例、將處理后基板作為第二基板的示例。換句話說(shuō)，可以分別在下載置部上載置未處理基板、在上載置部上載置處理后基板。盡管在上述第一至第四各個(gè)實(shí)施方式中，控制部根據(jù)針對(duì)未處理基板(第二基板)的搬運(yùn)位置來(lái)確定基板搬運(yùn)手針對(duì)支撐在與未處理基板的位置不同的位置上的處理后基板(第一基板)的搬運(yùn)位置，但本發(fā)明并不限于此。根據(jù)本發(fā)明，控制部可以另選地根據(jù)針對(duì)處理后基板(第一基板)的搬運(yùn)位置來(lái)確定基板搬運(yùn)手針對(duì)支撐在與處理后基板的位置不同的位置上的未處理基板(第二基板)的搬運(yùn)位置。盡管在上述第一至第四各個(gè)實(shí)施方式中，基板搬運(yùn)機(jī)器人具有兩個(gè)基板搬運(yùn)手， 但本發(fā)明并不限于此。根據(jù)本發(fā)明，基板搬運(yùn)機(jī)器人可以另選地具有一個(gè)基板搬運(yùn)手或至少三個(gè)基板搬運(yùn)手。盡管在上述第四實(shí)施方式中，用于吸引基板的吸引孔分別設(shè)置在下載置部(第一
14載置部)、上載置部(第二載置部)、后方固定支撐部的載置部(第三載置部)以及后方可移動(dòng)支撐部的載置部(第四載置部)上，但本發(fā)明并不限于此。根據(jù)本發(fā)明，吸引孔可以僅設(shè)置在第一、第二、第三、第四載置部的至少任意一個(gè)上。
權(quán)利要求
1.一種基板搬運(yùn)手，其包括 手主體部；第一載置部和第二載置部，所述第一載置部和所述第二載置部能夠分別在其上載置第一基板和第二基板；第三載置部，其與所述第一載置部一起支撐在所述第一載置部上載置的所述第一基板；以及可移動(dòng)地設(shè)置在所述手主體部上的第四載置部，其用于在移動(dòng)到所述手主體部的第一位置時(shí)，與所述第二載置部一起支撐在所述第二載置部上載置的所述第二基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)手，其中所述第三載置部被形成為在所述第四載置部移動(dòng)到與所述手主體部的所述第一位置不同的第二位置時(shí)，在與所述第二基板的位置不同的位置上與所述第一載置部一起支撐所述第一基板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板搬運(yùn)手，其中當(dāng)所述第四載置部移動(dòng)到比其在所述第二位置時(shí)更接近所述第二載置部的所述第一位置時(shí)，所述第二載置部和所述第四載置部支撐所述第二基板，并且所述第一載置部和所述第三載置部被形成為當(dāng)所述第四載置部移動(dòng)到比其在所述第一位置時(shí)更遠(yuǎn)離所述第二載置部的所述第二位置時(shí)，支撐所述第一基板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)手，其中所述第一載置部和所述第二載置部設(shè)置在互不相同的垂直位置上， 所述第三載置部和所述第四載置部設(shè)置在與所述第一載置部和所述第二載置部的垂直位置分別對(duì)應(yīng)的垂直位置上，并且所述第二載置部和所述第四載置部被形成為當(dāng)所述第四載置部移動(dòng)到所述手主體部的所述第一位置時(shí)，在與由所述第一載置部和所述第三載置部支撐的所述第一基板的垂直位置不同的垂直位置上支撐所述第二基板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)手，其中所述第一載置部和所述第二載置部設(shè)置在俯視圖中相互錯(cuò)開(kāi)的位置上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)手，其中所述第一載置部、所述第二載置部和所述第三載置部固定地設(shè)置在所述手主體部上， 所述第一載置部和所述第三載置部支撐所述第一基板，并且所述第二載置部和所述第四載置部被形成為當(dāng)所述第四載置部移動(dòng)到所述手主體部的所述第一位置時(shí)，在與所述第一基板的位置不同的位置上支撐所述第二基板。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)手，其中所述第一載置部和所述第二載置部一體地設(shè)置在所述手主體部的前端部側(cè)，并且所述第三載置部和所述第四載置部相互獨(dú)立地設(shè)置在所述手主體部的基部側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板搬運(yùn)手，其中所述第一載置部和所述第二載置部形成在臺(tái)階狀的前支撐部上， 所述第一載置部設(shè)置在所述臺(tái)階狀的前支撐部的第一臺(tái)階上，并且所述第二載置部設(shè)置在所述臺(tái)階狀的前支撐部的第二臺(tái)階上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)手，其還包括按壓部，所述按壓部能夠按壓所述第一基板和所述第二基板，其中所述第一載置部和所述第二載置部分別具有第一壁部和第二壁部， 所述第一載置部和所述第三載置部支撐處于由所述按壓部壓靠在所述第一壁部上的狀態(tài)下的所述第一基板，并且所述第二載置部和所述第四載置部被形成為支撐處于由所述按壓部壓靠在所述第二壁部上的狀態(tài)下的所述第二基板。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)手，其中所述第四載置部被形成為能夠按壓所述第一基板和所述第二基板， 所述第一載置部和所述第二載置部分別具有第一壁部和第二壁部， 所述第一載置部和所述第三載置部支撐處于由所述第四載置部壓靠在所述第一壁部上的狀態(tài)下的所述第一基板，并且所述第二載置部和所述第四載置部被形成為支撐在處于所述第四載置部壓靠在所述第二壁部上的狀態(tài)下的所述第二基板。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)手，其中在所述第一載置部、所述第二載置部、所述第三載置部和所述第四載置部中的至少一個(gè)上設(shè)置有用于吸引基板的吸引孔。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的基板搬運(yùn)手，其中所述第一載置部和所述第三載置部分別具有用于吸引所述第一基板的吸引孔， 所述第二載置部和所述第四載置部分別具有用于吸引所述第二基板的吸引孔， 所述第一載置部和所述第三載置部支撐在通過(guò)所述吸引孔吸引而得以限制移動(dòng)的狀態(tài)下的所述第一基板，以及所述第二載置部和所述第四載置部被形成為支撐在通過(guò)所述吸引孔吸引而得以限制移動(dòng)的狀態(tài)下的所述第二基板。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)手，其分別具有多個(gè)所述第一載置部、多個(gè)所述第二載置部、多個(gè)所述第三載置部和多個(gè)所述第四載置部。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的基板搬運(yùn)手，其還包括 聯(lián)結(jié)部，其使得所述多個(gè)第四載置部相互聯(lián)結(jié)，以及驅(qū)動(dòng)部，其移動(dòng)所述聯(lián)結(jié)部，其中所述驅(qū)動(dòng)部被形成為通過(guò)移動(dòng)所述聯(lián)結(jié)部而將所述多個(gè)第四載置部移動(dòng)到所述第一位置。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)手，其中所述第一基板或所述第二基板是經(jīng)處理裝置處理的處理后基板，并且所述第二基板或所述第一基板是尚未經(jīng)所述處理裝置處理的未處理基板。
16.一種基板搬運(yùn)機(jī)器人，其包括 基板搬運(yùn)手；以及控制部，其控制所述基板搬運(yùn)手，其中所述基板搬運(yùn)手包括 手主體部；第一載置部和第二載置部，所述第一載置部和所述第二載置部能夠分別在其上載置第一基板和第二基板；第三載置部，其與所述第一載置部一起支撐在所述第一載置部上載置的所述第一基板；以及可移動(dòng)地設(shè)置在所述手主體部上的第四載置部，其在移動(dòng)到所述手主體部的第一位置時(shí)，與所述第二載置部一起支撐在所述第二載置部上載置的所述第二基板。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其中所述第一基板和所述第二基板被支撐在相對(duì)于所述手主體部互不相同的位置上，并且所述控制部被形成為當(dāng)針對(duì)由所述第一載置部和所述第三載置部支撐的所述第一基板、或由所述第二載置部和所述第四載置部支撐的所述第二基板被教示了搬運(yùn)位置時(shí)，根據(jù)被教示的針對(duì)所述第一基板或所述第二基板的搬運(yùn)位置來(lái)確定針對(duì)所述第二基板或所述第一基板的搬運(yùn)位置。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其還包括在前端部安裝有所述基板搬運(yùn)手的臂部。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其具有多個(gè)所述基板搬運(yùn)手，每個(gè)所述基板搬運(yùn)手均包括所述第一載置部、所述第二載置部、所述第三載置部和可移動(dòng)的所述第四載置部，其中所述多個(gè)基板搬運(yùn)手在互相垂直交疊的狀態(tài)下安裝在所述臂部上。
20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的基板搬運(yùn)機(jī)器人，其中所述第三載置部被形成為當(dāng)所述第四載置部移動(dòng)到所述手主體部的與所述第一位置不同的第二位置時(shí)，與所述第一載置部一起在與所述第二基板的位置不同的位置上支撐所述第一基板。
全文摘要
基板搬運(yùn)手和基板搬運(yùn)機(jī)器人。在根據(jù)本發(fā)明的基板搬運(yùn)手中，第三載置部用于與第一載置部一起支撐在第一載置部上載置的第一基板，同時(shí)第四載置部可移動(dòng)地設(shè)置在手主體部上，當(dāng)其移動(dòng)到手主體部的第一位置時(shí)，與第二載置部一起支撐在第二載置部上載置的第二基板，從而基板搬運(yùn)手能夠利用在不移動(dòng)手主體部本身而僅相對(duì)于手主體部移動(dòng)設(shè)置在其上的第四載置部的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)中的不同的載置部支撐基板。因此，根據(jù)該簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)，基板搬運(yùn)手能夠通過(guò)恰當(dāng)?shù)厥褂貌煌妮d置部來(lái)支撐基板。
文檔編號(hào)H01L21/683GK102205540SQ201110076710
公開(kāi)日2011年10月5日 申請(qǐng)日期2011年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月31日
發(fā)明者古市昌稔 申請(qǐng)人:株式會(huì)社安川電機(jī)