技術編號：6997815
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種基板搬運手和基板搬運機器人，更具體地，涉及分別包括能夠在其上載置基板的多個載置部的基板搬運手和基板搬運機器人。背景技術包括能夠在其上載置基板的多個載置部的基板搬運手是很常見的。日本專利特許公開2001-274232公開了一種基板搬運手，其包括一對臂部(手主體部)和設置在所述一對臂部中的每個臂部上的多個晶片支撐部件。該基板搬運手形成為使得該一對臂部能夠在相互靠近和遠離的方向上移動。各個晶片支撐部件被形成為臺階狀，使得能夠在分別設置于其上下臺階處...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。