專利名稱：：檢查裝置和檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體晶片等被檢查體進(jìn)行低溫檢查的檢查裝置和檢查方法，更詳細(xì)地說涉及能夠使檢查室內(nèi)的露點(diǎn)穩(wěn)定化，并能夠進(jìn)行可靠性高的低溫檢查的檢查裝置和檢查方法。
背景技術(shù)：
：現(xiàn)有的檢查裝置具備彼此鄰接的裝載室和探針室，在探針室內(nèi)對來自裝載室的被檢查體(例如半導(dǎo)體晶片)進(jìn)行電特性檢查。裝載室包括以盒單位收納多個(gè)被檢查體(例如半導(dǎo)體晶片)的收納部、從盒內(nèi)一片一片地搬進(jìn)搬出晶片w的晶片輸送機(jī)構(gòu)、和對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)的預(yù)對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)。探針室的構(gòu)成為包括具有載置半導(dǎo)體晶片并將半導(dǎo)體晶片調(diào)節(jié)至希望的溫度的溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的載置臺、配置在載置臺的上方且具有多個(gè)探針的探針卡、和進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的多個(gè)電極焊盤和多個(gè)探針的對準(zhǔn)的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，在控制裝置的控制下，利用溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)將載置臺上的半導(dǎo)體晶片調(diào)節(jié)至希望的溫度，且使半導(dǎo)體晶片的多個(gè)電極焊盤和多個(gè)探針電接觸，進(jìn)行由半導(dǎo)體晶片形成的多個(gè)裝置的電特性檢查。特別是在負(fù)低溫區(qū)域內(nèi)對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行檢查時(shí)，將探針室進(jìn)行密閉，并將室內(nèi)的空氣維持在規(guī)定的露點(diǎn)，防止半導(dǎo)體晶片的結(jié)霜、凍冰。而且，由于在裝載室和探針室具有輸送機(jī)構(gòu)、載置臺等的驅(qū)動設(shè)備，所以從驅(qū)動設(shè)備的驅(qū)動部往往會產(chǎn)生顆粒、油霧等塵埃，成為檢查不良的原因。因此，一般地情況下，在檢查裝置上安裝FFU(FanFilterUnit(風(fēng)扇過濾單元))，使檢查裝置內(nèi)的空氣循環(huán)，去除顆粒。例如，在專利文獻(xiàn)1中記載有可以適用于檢查裝置的微型環(huán)境裝置。在該微型環(huán)境裝置中，在收納有輸送機(jī)構(gòu)等的殼體的上部安裝FFU，利用FFU向殼體內(nèi)直流式地供給清潔的空氣，并自底面進(jìn)行排氣。另外，在專利文獻(xiàn)2中記載有具備FFU的基板處理裝置。在該基板處理裝置中具備處理室和環(huán)繞其的罩室的雙層結(jié)構(gòu)的壁面，自安裝在罩室的室頂?shù)腇FU向壁面間的空間供給清潔的空氣，從在處理室的四個(gè)壁面上形成的孔向處理室內(nèi)供給清潔的空氣，在處理室內(nèi)形成螺旋氣流，自底面?zhèn)冗M(jìn)行排氣。專利文獻(xiàn)1:日本特開2007-220773號公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開2008-034648號公報(bào)但是，例如在進(jìn)行半導(dǎo)體晶片的低溫檢查時(shí)，由于將探針室密閉，所以不能采用如現(xiàn)有的FFU那樣使清潔的空氣直流式地通過探針室內(nèi)的形式。因此，采用使用FFU使清潔的空氣在探針室內(nèi)循環(huán)的形式。但是，F(xiàn)FU必需有大的設(shè)置空間，而且風(fēng)量大，所以存在探針室內(nèi)的露點(diǎn)不穩(wěn)定這種問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為了解決上述問題而開發(fā)的，其目的在于，提供一種檢查裝置和檢查方法，其能夠使空氣的循環(huán)裝置緊湊化，同時(shí)使探針室內(nèi)的露點(diǎn)穩(wěn)定化，并能夠進(jìn)行可靠性高的低溫檢查。本發(fā)明第一方面提供一種檢查裝置，其包括探針室，其將載置于載置臺上的被檢查體調(diào)節(jié)至低溫區(qū)域的規(guī)定溫度來進(jìn)行所述被檢查體的電特性檢查；循環(huán)裝置，其沿所述探針室的側(cè)面配置，并且使所述探針室內(nèi)的干燥空氣循環(huán)；和控制裝置，其對包含所述循環(huán)裝置以及所述探針室內(nèi)的載置臺的設(shè)備進(jìn)行控制，該檢查裝置的特征在于，所述循環(huán)裝置包括送風(fēng)單元，其使所述探針室內(nèi)的干燥空氣循環(huán)；和過濾單元，其從經(jīng)由所述送風(fēng)單元循環(huán)的干燥空氣中去除塵埃。另外，本發(fā)明第二方面在第一方面的基礎(chǔ)上，提供一種檢查裝置，其特征在于該檢查裝置設(shè)置有向所述探針室內(nèi)供給干燥空氣的裝置。另外，本發(fā)明第三方面在第一或第二方面的基礎(chǔ)上，提供一種檢查裝置，其特征在于所述送風(fēng)單元具有第一過濾器和送風(fēng)機(jī)，所述過濾單元具有第二過濾器。另外，本發(fā)明第四方面在第一第三方面中任一方面的基礎(chǔ)上，提供一種檢查裝置，其特征在于所述循環(huán)裝置具有散熱設(shè)備。另外，本發(fā)明第五方面提供一種檢查方法，其使用檢查裝置，將所述被檢查體冷卻至所述低溫區(qū)域，進(jìn)行電特性檢查，所述檢查裝置包括探針室，其將載置于載置臺上的被檢查體調(diào)節(jié)至低溫區(qū)域的規(guī)定溫度來進(jìn)行所述被檢查體的電特性檢查；循環(huán)裝置，其沿所述探針室的側(cè)面配置，并且對所述探針室內(nèi)的干燥空氣進(jìn)行除塵并且使之循環(huán)；和控制裝置，其對包含所述循環(huán)裝置及所述探針室內(nèi)的載置臺的設(shè)備進(jìn)行控制，該檢查方法的特征在于，包括使用所述載置臺，將所述被檢查體冷卻至低溫區(qū)域的工序；使用所述循環(huán)裝置，在所述探針室內(nèi)使干燥空氣循環(huán)的工序；在所述干燥空氣循環(huán)時(shí)，去除所述干燥空氣中的塵埃的工序；和使用所述控制裝置，對所述循環(huán)裝置的風(fēng)量進(jìn)行控制的工序。另外，本發(fā)明第六方面在第五方面的基礎(chǔ)上，提供一種檢查方法，其特征在于將向所述探針室內(nèi)供氣的所述循環(huán)裝置的噴出風(fēng)量設(shè)定為146172L/分鐘。另外，本發(fā)明第七方面在第五或第六方面的基礎(chǔ)上，提供一種檢查方法，其特征在于該檢查方法具備向所述探針室內(nèi)供給干燥空氣的工序。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種檢查裝置及檢查方法，其能夠使空氣循環(huán)裝置緊湊化，同時(shí)使探針室內(nèi)的露點(diǎn)穩(wěn)定化，并能夠進(jìn)行可靠性高的低溫檢查。圖1是表示本發(fā)明的檢查裝置的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖2是剖開圖1所示的檢查裝置的正面的一部分表示的正視圖。圖3是表示圖1所示的送風(fēng)單元的立體圖。圖4是表示圖3所示的送風(fēng)單元的風(fēng)扇的立體圖。圖5是表示分解圖1所示的檢查裝置的過濾單元的立體圖。符號說明10檢查裝置12探針室13循環(huán)裝置14控制裝置15供給干燥空氣的裝置121載置臺131送風(fēng)單元132過濾單元134預(yù)過濾器(第一過濾器)139主過濾器(第二過濾器)W半導(dǎo)體晶片(被檢查體)具體實(shí)施例方式下面，根據(jù)圖1圖5所示的實(shí)施方式對本發(fā)明進(jìn)行說明。另外，各圖中，圖1是表示本發(fā)明的檢查裝置的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)圖，圖2是剖開圖1所示的檢查裝置的正面的一部分表示的主視圖，圖3是表示圖1所示的送風(fēng)單元的立體圖，圖4是表示圖3所示的送風(fēng)單元的風(fēng)扇的立體圖，圖5是將圖1所示的檢查裝置的過濾單元分解表示的立體圖。例如圖1所示，本實(shí)施方式的檢查裝置IO包括裝載室11、探針室12和循環(huán)裝置13，在控制裝置14的控制下，利用循環(huán)裝置13使探針室12內(nèi)的干燥空氣循環(huán)，并且，在負(fù)區(qū)域的溫度氛圍下對半導(dǎo)體晶片W進(jìn)行電特性檢查。因此，將供給干燥空氣的配管15與探針室12連接，在進(jìn)行低溫檢查時(shí)，向探針室12內(nèi)供給干燥空氣，確保規(guī)定的露點(diǎn)。在探針室12內(nèi)由規(guī)定的干燥空氣充滿后，在控制裝置14的控制下驅(qū)動循環(huán)裝置13，以使探針室12內(nèi)的露點(diǎn)保持一定。另外，在圖1中，15A是將探針室12內(nèi)的空氣排出的配管。如圖1、圖2所示，裝載室11包括盒收納部，其收納例如收納有25片半導(dǎo)體晶片W的盒C;晶片輸送機(jī)構(gòu)lll，其將盒C內(nèi)的半導(dǎo)體晶片W—片一片地進(jìn)行輸送；和預(yù)對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)112，其在利用晶片輸送機(jī)構(gòu)111輸送半導(dǎo)體晶片W時(shí)，進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的預(yù)對準(zhǔn)。如圖1、圖2所示，探針室12其構(gòu)成為，包括載置半導(dǎo)體晶片W的載置臺121、配置在載置臺121的上方且具有多個(gè)探針122A的探針卡122、和進(jìn)行載置臺121上的半導(dǎo)體晶片W的多個(gè)電極焊盤和多個(gè)探針122A的對準(zhǔn)的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)123，在控制裝置14的控制下，載置臺121和對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)123協(xié)動，在進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的器件的多個(gè)電極焊盤和探針卡122的多個(gè)探針122A的對準(zhǔn)后，進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的各器件的電特性檢查。該探針室12為保持氣密的結(jié)構(gòu)。載置臺121如圖2所示，經(jīng)由XY工作臺124將半導(dǎo)體晶片W向X、Y方向移動，并且經(jīng)由升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)(未圖示)和e機(jī)構(gòu)將半導(dǎo)體晶片w向z方向以及e方向移動。該載置臺121內(nèi)置有溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(未圖示)，在低溫檢查時(shí)，利用溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可以對半導(dǎo)體晶片W進(jìn)行冷卻，并設(shè)定在負(fù)區(qū)域的規(guī)定溫度。另外，在高溫檢查時(shí)，利用溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)對半導(dǎo)體晶片W進(jìn)行加熱，并設(shè)定在高溫區(qū)域的規(guī)定溫度。如圖2所示，對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)123包括在載置臺121和探針卡122之間移動的第一照相機(jī)123A、附設(shè)在載置臺11的側(cè)方的第二照相機(jī)123B、固定著第一照相機(jī)123A的對準(zhǔn)橋123C、和在對準(zhǔn)橋123C上在探針室12的背面?zhèn)群吞结樦行?位于探針卡的中心延長線上)之間移動導(dǎo)向的左右一對導(dǎo)軌123D。第一照相機(jī)123A經(jīng)由對準(zhǔn)橋123C和導(dǎo)軌123D，自探針室的背面?zhèn)仍诤吞结樦行闹g進(jìn)行移動，在探針中心，對向X、Y方向移動的載置臺121上的半導(dǎo)體晶片W進(jìn)行拍攝。第二照相機(jī)123B經(jīng)由載置臺121向探針卡122的探針122A的正下方移動，在該位置對探針122A進(jìn)行拍攝。另外，控制裝置14其主體結(jié)構(gòu)為具備例如驅(qū)動循環(huán)裝置13的程序及其他的程序，更具體地是具備存儲各種數(shù)據(jù)的存儲部(未圖示)、和對各種數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算處理的中央運(yùn)算處理部(未圖示)的計(jì)算機(jī)。而且，如圖1所示，循環(huán)裝置13包括送風(fēng)單元131，其從探針室12的背面形成的吸引口12A對探針室12內(nèi)的干燥空氣進(jìn)行吸引并使之循環(huán)；和過濾單元132，其介于送風(fēng)單元131和在探針室12的背面形成的噴出口12B之間，在干燥空氣循環(huán)時(shí)從干燥空氣中去除塵埃，循環(huán)裝置13被緊湊化為能夠沿探針室12的背面外側(cè)設(shè)置的大小。探針室12的吸引口12A和送風(fēng)單元131、送風(fēng)單元131和過濾單元132、以及過濾單元132和探針室12的噴出口12B都經(jīng)由配管133連接。如圖1圖3所示，送風(fēng)單元131包括第一過濾器(下面稱為預(yù)過濾器)134、送風(fēng)機(jī)(風(fēng)扇)135和收納它們的第一罩室136，送風(fēng)單元131安裝在探針室12的背面。預(yù)過濾器134是用于從風(fēng)扇135自探側(cè)室12吸引的空氣中去除粒子直徑比較大的顆粒、油霧等塵埃并減輕過濾單元132的負(fù)荷的過濾器。作為預(yù)過濾器134例如使用粗塵埃用空氣過濾器等。如圖3、圖4所示，第一罩室136由收納兩臺風(fēng)扇(鼓風(fēng)機(jī))135并且呈矩形狀的上面開口的主體136A、和對主體136A的上面開口進(jìn)行密閉且對安裝在兩臺風(fēng)扇135的吸引側(cè)的預(yù)過濾器134進(jìn)行覆蓋的蓋體136B構(gòu)成，形成為保持內(nèi)部氣密的結(jié)構(gòu)。如圖3所示，主體136A具有矩形狀的框體136C、和在除框體136C的上面開口以外的5處開口上可拆卸地安裝的板部件136D。在形成主體136A的一側(cè)面的板部件136D上安裝有風(fēng)扇135的噴出側(cè)的配管連接部件133A。另外，如圖3所示，蓋體136B在與主體136A連接的連接側(cè)具有收納預(yù)過濾器134的矩形狀部136E、自矩形狀部136E的上面向上方突出連設(shè)的四棱臺部136F。在四棱臺部136F上安裝有風(fēng)扇135的吸引側(cè)的配管連接部件133B。兩臺風(fēng)扇135如圖4所示，利用安裝部件136G并列配置并固定在主體136A的底面的板部件136D上。另外，在圖3中，為了部分地表示主體136A的內(nèi)部，省略了一側(cè)面的板部件136D。如圖1所示，電源電路138經(jīng)由開關(guān)電路137與風(fēng)扇135連接。開關(guān)電路137和電源電路138處于控制裝置14的控制下。而且，控制裝置14通過控制電源電路138的電壓，對風(fēng)扇135的風(fēng)量進(jìn)行控制。風(fēng)扇135使用小型的風(fēng)扇。由于小型的風(fēng)扇135的風(fēng)量小，所以一臺風(fēng)扇135難以穩(wěn)定地保持探針室12內(nèi)的負(fù)的溫度區(qū)域的干燥空氣的露點(diǎn)(例如-7(TC)，因此，在本實(shí)施方式中使用兩臺風(fēng)扇135。風(fēng)扇135的風(fēng)量增大時(shí)，探針室12內(nèi)的循環(huán)空氣量增加，難以確保穩(wěn)定的露點(diǎn)。送風(fēng)單元131的預(yù)過濾器134是用于從探針室12的吸引口12A吸引的空氣中去除粒子直徑較大的顆粒及油霧等塵埃，而減輕過濾單元132的負(fù)荷的過濾器。作為這種過濾器使用例如粗塵埃用空氣過濾器等。過濾單元132如圖1、圖5所示，具備第二過濾器(主過濾器)139和收納主過濾器139的第二罩室140，例如，配置在送風(fēng)單元131的下方并安裝在探針室12的背面。主過濾器139為將通過送風(fēng)單元131的干燥空氣中的殘余的粒子直徑小的顆粒及油霧去除的過濾器。作為主過濾器139例如使用HEPA過濾器等。第二罩室140如圖5所示，其結(jié)構(gòu)為，將形成為矩形漏斗狀的上下部件140A、140B與各自擴(kuò)徑的開口側(cè)嵌合而形成，保持內(nèi)部氣密。在第二罩室140的中間部形成有扁平的矩形狀的空間，在該空間收納有主過濾器139。上側(cè)的漏斗部件140A在四棱臺上形成漏斗部，且在其上面安裝有用于連接與兩臺風(fēng)扇135連通的配管133的連接部件133C。下側(cè)的漏斗狀部件140B在比上側(cè)更深的四棱臺上形成漏斗部，在其下面安裝有用于連接與探針室12的噴出口12B連通的配管133連接的連接部件133D。另外，送風(fēng)單元131和過濾單元132之間可以設(shè)置散熱器(未圖示)。通過這樣設(shè)置散熱器，即使干燥空氣通過送風(fēng)單元131時(shí)溫度上升，利用散熱器也可以使干燥空氣的溫度下降，能夠使探針室12內(nèi)的干燥空氣的溫度穩(wěn)定化。另外，雖然未圖示，但在探針室12內(nèi)設(shè)置有處于控制裝置14的控制的露點(diǎn)計(jì)，該露點(diǎn)計(jì)監(jiān)視探針室12內(nèi)的露點(diǎn)，并通過控制裝置14將探針室12內(nèi)的露點(diǎn)控制在大致一定。由于循環(huán)裝置13具有以上的結(jié)構(gòu)，因此即使在探針室12內(nèi)產(chǎn)生顆粒、油霧等塵埃，也可以通過處于控制裝置14的控制之下的風(fēng)扇135使探針室12內(nèi)的干燥空氣循環(huán)，在干燥空氣循環(huán)時(shí)，預(yù)過濾器134和主過濾器139經(jīng)兩次去除這些塵埃，從而能夠持續(xù)凈化探針室12內(nèi)的干燥空氣，并且能夠保持探針室12內(nèi)的干燥空氣的露點(diǎn)大致一定，能夠提高檢查的可靠性。下面，對采用了上述檢查裝置10的本發(fā)明的檢查方法的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。首先，在控制裝置14的控制下驅(qū)動裝載室11內(nèi)的晶片輸送機(jī)構(gòu)111，自盒C中輸出一片半導(dǎo)體晶片W，經(jīng)由預(yù)對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)112進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)后，將其輸送至探針室12內(nèi)，并放置在載置臺121上。此時(shí)，在探針室12內(nèi)，經(jīng)由配管15、15A置換為干燥空氣。將該干燥空氣的露點(diǎn)調(diào)節(jié)為例如_70°C。將半導(dǎo)體晶片W放置于載置臺121上時(shí)，載置臺121的溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)將載置臺121上的半導(dǎo)體晶片W冷卻，例如設(shè)定為-6(TC。其間，驅(qū)動循環(huán)裝置13，通過兩臺風(fēng)扇135以表1所示的風(fēng)量使探針室12內(nèi)的干燥空氣循環(huán)。該風(fēng)量優(yōu)選吸引側(cè)為128150L/分鐘的范圍，噴出側(cè)為146172L/分鐘的范圍。噴出側(cè)的風(fēng)量和吸引側(cè)的風(fēng)量差是預(yù)過濾器134等的壓力損失造成的。由于以上述風(fēng)量使干燥空氣循環(huán)，從而能夠防止探針室12內(nèi)的干燥空氣的露點(diǎn)惡化，能夠以希望的露點(diǎn)穩(wěn)定化。兩臺風(fēng)扇135的風(fēng)量偏離上述范圍時(shí)，可能使探針室12內(nèi)的干燥空氣的露點(diǎn)變得不穩(wěn)定，因此不優(yōu)選。干燥空氣的循環(huán)風(fēng)量通過探針室12內(nèi)的容積進(jìn)行適宜地調(diào)節(jié)。另外，上述風(fēng)量是探針室12的容量為400L的情況。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage7</column></row><table>通過以上述風(fēng)量使干燥空氣循環(huán)，同時(shí)進(jìn)行半導(dǎo)體晶片W的電特性檢查，能夠在具有穩(wěn)定的露點(diǎn)的清潔的干燥空氣氛圍下持續(xù)進(jìn)行檢查，能夠進(jìn)行可靠性高的檢查。另外，通過在送風(fēng)單元131和過濾單元132之間設(shè)置散熱器，能夠使探針室12內(nèi)的露點(diǎn)進(jìn)一步穩(wěn)定化。如上述說明，根據(jù)本實(shí)施方式，在使用具備探針室12、沿探針室12的背面配置且使探針室12內(nèi)的干燥空氣循環(huán)的循環(huán)裝置13、對包含循環(huán)裝置13和探針室12內(nèi)的載置臺121的設(shè)備進(jìn)行控制的控制裝置14的檢查裝置IO，將半導(dǎo)體晶片W冷卻至低溫區(qū)域進(jìn)行電特性檢查時(shí)，包括使用載置臺121的溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)將半導(dǎo)體晶片W冷卻至低溫區(qū)域的工序；使用循環(huán)裝置13使探針室12內(nèi)的干燥空氣循環(huán)的工序；在干燥空氣循環(huán)時(shí)去除干燥空氣中的塵埃的工序；和使用控制裝置14對循環(huán)裝置13的風(fēng)量進(jìn)行控制的工序，因此，通過將循環(huán)裝置13緊湊化，并且防止探針室12內(nèi)的干燥空氣的露點(diǎn)惡化，能夠使露點(diǎn)穩(wěn)定化，能夠在清潔的干燥空氣氛圍下進(jìn)行可靠性高的檢查。另外，根據(jù)本實(shí)施方式，由于具有向探針室12內(nèi)供給干燥空氣的配管15，因此在短時(shí)間內(nèi)能夠形成具有探針室12內(nèi)規(guī)定的露點(diǎn)的干燥空氣氛圍。另外，由于循環(huán)裝置13具備散熱器，從而能夠使探針室12內(nèi)的干燥空氣的露點(diǎn)進(jìn)一步穩(wěn)定化。另外，在上述實(shí)施方式中，對具備兩臺風(fēng)扇135的送風(fēng)單元131進(jìn)行了說明，但根據(jù)探針室12的容量，可以適宜地變更鼓風(fēng)面135的設(shè)置臺數(shù)。另外，在上述實(shí)施方式中，對具備預(yù)過濾器134的送風(fēng)單元131進(jìn)行了說明，但對于在探針室12內(nèi)難以產(chǎn)生塵埃的情況等，也可以不設(shè)置預(yù)過濾器134。另外，在上述實(shí)施方式中，對于使探針室的空氣循環(huán)的情況進(jìn)行了說明，但也可以使裝載室的空氣也同時(shí)地循環(huán)。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明可以適用于檢查半導(dǎo)體晶片等的被檢查體的檢查裝置及檢查方法。權(quán)利要求一種檢查裝置，包括探針室，其將載置于載置臺上的被檢查體調(diào)節(jié)至低溫區(qū)域的規(guī)定溫度來進(jìn)行所述被檢查體的電特性檢查；循環(huán)裝置，其沿所述探針室的側(cè)面配置，并且使所述探針室內(nèi)的干燥空氣循環(huán)；和控制裝置，其對包含所述循環(huán)裝置以及所述探針室內(nèi)的載置臺的設(shè)備進(jìn)行控制，該檢查裝置的特征在于所述循環(huán)裝置包括送風(fēng)單元，其使所述探針室內(nèi)的干燥空氣循環(huán)；和過濾單元，其從經(jīng)由所述送風(fēng)單元循環(huán)的干燥空氣中去除塵埃。2.如權(quán)利要求l所述的檢查裝置，其特征在于該檢查裝置設(shè)置有向所述探針室內(nèi)供給干燥空氣的裝置。3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的檢查裝置，其特征在于所述送風(fēng)單元具有第一過濾器和送風(fēng)機(jī)，所述過濾單元具有第二過濾器。4.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的檢查裝置，其特征在于所述循環(huán)裝置具有散熱設(shè)備。5.—種檢查方法，其使用檢查裝置，將被檢查體冷卻至低溫區(qū)域，進(jìn)行電特性檢查，所述檢查裝置包括探針室，其將載置于載置臺上的所述被檢查體調(diào)節(jié)至所述低溫區(qū)域的規(guī)定溫度來進(jìn)行所述被檢查體的電特性檢查；循環(huán)裝置，其沿所述探針室的側(cè)面配置，并且對所述探針室內(nèi)的干燥空氣進(jìn)行除塵并且使之循環(huán)；和控制裝置，其對包含所述循環(huán)裝置及所述探針室內(nèi)的載置臺的設(shè)備進(jìn)行控制，該檢查方法的特征在于，包括使用所述載置臺，將所述被檢查體冷卻至低溫區(qū)域的工序；使用所述循環(huán)裝置，在所述探針室內(nèi)使干燥空氣循環(huán)的工序；在所述干燥空氣循環(huán)時(shí)，去除所述干燥空氣中的塵埃的工序；和使用所述控制裝置，對所述循環(huán)裝置的風(fēng)量進(jìn)行控制的工序。6.如權(quán)利要求5所述的檢查方法，其特征在于將向所述探針室內(nèi)供氣的所述循環(huán)裝置的噴出風(fēng)量設(shè)定為146172L/分鐘。7.如權(quán)利要求5或權(quán)利要求6所述的檢查方法，其特征在于該檢查方法包括向所述探針室內(nèi)供給干燥空氣的工序。全文摘要本發(fā)明提供一種檢查裝置和檢查方法，能夠?qū)⒖諝獾难h(huán)裝置緊湊化，同時(shí)將探針室內(nèi)的露點(diǎn)穩(wěn)定化，并能夠進(jìn)行可靠性高的低溫檢查。本發(fā)明的檢查裝置(10)包括探針室(12)、沿探針室(12)的背面配置且使探針室(12)內(nèi)的干燥空氣循環(huán)的循環(huán)裝置(13)、和對包含循環(huán)裝置(13)與探針室(12)內(nèi)的載置臺的設(shè)備進(jìn)行控制的控制裝置(14)，循環(huán)裝置(13)具備使探針室(12)內(nèi)的干燥空氣循環(huán)的送風(fēng)單元(131)、和從經(jīng)由送風(fēng)單元(131)循環(huán)的干燥空氣中去除塵埃的過濾單元(132)。文檔編號H01L21/66GK101714517SQ200910173379公開日2010年5月26日申請日期2009年9月21日優(yōu)先權(quán)日2008年9月30日發(fā)明者大塚哲,淵上慎司,片桐浩文,雨宮浩申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社