專利名稱：用于輸送曝光裝置的中間掩模的機(jī)器人夾持器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種輸送設(shè)置在曝光裝置的中間掩模的自動機(jī)械，具體地說，涉及一 種輸送曝光裝置的中間掩模的機(jī)器人夾持器(robot gripper)，該夾持器即使沒有物理性 接觸也可正確檢測夾持器上是否放著中間掩模(reticle,或投影掩模版)。
背景技術(shù)：
通常，曝光裝置是指在半導(dǎo)體或TFT LCD等需要電路工序的生產(chǎn)線上，利用照相機(jī) 原理，將光照射在中間掩模等的光掩膜上，從而在半導(dǎo)體晶片或TFT LCD玻璃基板上刻劃電 路的裝置。 其中，尤其是在LCD的玻璃基板上刻劃電路的曝光裝置，一般在支撐各種部件的 平板上側(cè)配置曝光部，分別在曝光部的上下配置中間掩模和玻璃板，從而使中間掩模的圖 案經(jīng)由曝光部刻劃在玻璃表面上。 并且，在上述曝光部的一側(cè)包括可旋轉(zhuǎn)地安裝有多個(gè)中間掩模的輪，以使中間掩 模可平穩(wěn)交替，且在平板的一側(cè)包括容納并裝載多個(gè)中間掩模的盒(cassette)以及將裝 載在盒中的中間掩模供給上述輪且將結(jié)束曝光作業(yè)的中間掩模再次返回到盒中的自動機(jī) (robot,或機(jī)器人)。 尤其是，如圖5和6所示，如上所述的在輪和盒之間輸送中間掩模的自動機(jī)包括拾 取中間掩模1并進(jìn)行固定的夾持器42，上述夾持器42包括側(cè)面支撐件421 ，朝主體的前方 兩側(cè)同時(shí)支撐中間掩模1的兩側(cè)下部邊緣和與其對應(yīng)的下面兩側(cè)；上面支撐件422，其上下 升降，用于固定中間掩模l的上面；以及致動器(actuator)423，用于驅(qū)動上述側(cè)面支撐件 421和上面支撐件422。 并且，在上述夾持器42主體的大致中央部前端設(shè)置感應(yīng)開關(guān)43，用于確認(rèn)夾持器 42上是否安裝中間掩模1，一般情況下，上述感應(yīng)開關(guān)43的一端與中間掩模1的外側(cè)接觸， 且沿上下方向彈性移動，根據(jù)此時(shí)感應(yīng)開關(guān)43是否移動，來檢測中間掩模是否被安裝。
但是，如上所述的感應(yīng)開關(guān)具有由于彈性恢復(fù)至原位的特征，因此，當(dāng)夾持器將中 間掩模放在輪上時(shí)，感應(yīng)開關(guān)與中間掩模的接觸被解除，并迅速返回至原位，這時(shí)，由于感 應(yīng)開關(guān)的彈性恢復(fù)力，振動和沖擊傳遞給放在輪上的中間掩模，由于該振動和沖擊，使得中 間掩模的設(shè)置位置發(fā)生微細(xì)誤差。 并且，如上所述的中間掩模的位置誤差給要求超精密加工的曝光作業(yè)過程帶來致 命影響。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種用于輸送中間掩模的自動機(jī)夾持 器，該夾持器可最大限度降低通過夾持器輸送的中間掩模被放在輪上時(shí)受到的振動和沖 擊，且可檢測到是否安裝了中間掩模。 并且，本發(fā)明的目的在于防止非接觸式傳感器物理地接觸中間掩模。
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并且，本發(fā)明的目的在于可簡單檢測出中間掩模以扭曲狀態(tài)設(shè)置在夾持器上。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于輸送中間掩模的自動機(jī)夾持器，其設(shè)置 在安裝于曝光裝置并沿X、Y、Z軸方向和旋轉(zhuǎn)方向移動的移動部，且突出形成有用于支撐中 間掩模側(cè)面邊緣的一對側(cè)面支撐件，以便往返于盒和輪之間時(shí)輸送中間掩模，該夾持器還 包括用于支撐中間掩模上面的一對上面支撐件，上述用于輸送中間掩模的機(jī)器人夾持器的 特征在于當(dāng)中間掩模設(shè)置在上述夾持器上時(shí)，在與中間掩模相對的一側(cè)面上設(shè)置有用于 檢測是否安裝了中間掩模的非接觸式傳感器。 另外，在與上述中間掩模對應(yīng)的上述夾持器的上面形成凹入的傳感器安裝槽，以 便插入上述非接觸式傳感器。 另外，與上述上面支撐件鄰接并間隔設(shè)置有一對上述傳感器安裝槽，在上述傳感 器安裝槽中分別插入非接觸式傳感器。 從而，本發(fā)明提供一種用于輸送中間掩模的夾持器，該夾持器可最大限度降低通 過夾持器輸送的中間掩模被放在輪上時(shí)受到的振動和沖擊，且可檢測是否安裝了中間掩 模，從而，在將安裝在夾持器的中間掩模放在輪的過程中，其可防止中間掩模的位置由于振 動和沖擊而出現(xiàn)的微小移動，從而中間掩模被放在輪上時(shí)可被更加正確地設(shè)置，并且可提 高加工精度，降低不良率。 并且，本發(fā)明形成有傳感器安裝槽，防止了非接觸式傳感器與中間掩模物理性接 觸，從而消除了非接觸式傳感器與中間掩模之間的干涉，可更加順利地將中間掩模安裝在 夾持器上。 另外，本發(fā)明形成有相互隔開設(shè)置的一對傳感器安裝槽，可簡便檢測出中間掩模 是否以扭曲狀態(tài)安裝在夾持器上，從而更加正確地檢測出中間掩模狀態(tài)。


圖1是本發(fā)明涉及的曝光裝置的一立體圖。圖2是圖1的正視圖。圖3是本發(fā)明一實(shí)施例涉及的夾持器的放大立體圖。圖4是圖3的B部分的放大截面圖。圖5是現(xiàn)有的用于輸送中間掩模的機(jī)器人夾持器的放大立體圖。圖6是圖5的A部分的放大截面圖。附圖標(biāo)記l中間掩模2玻璃10平板20曝光部30盒 40自動機(jī)(robot)42移動部42夾持器421側(cè)面支撐件422上面支撐件423致動器 424非接觸式傳感器45傳感器安裝槽 50輪51旋轉(zhuǎn)支架52驅(qū)動軸
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。 圖1是本發(fā)明涉及的曝光裝置的一立體圖，圖2是圖1的正視圖，如圖所示，本發(fā) 明涉及一種用于輸送中間掩模1的自動機(jī)40，該自動機(jī)將裝載在曝光裝置的盒30中的中間 掩模1輸送到設(shè)置在曝光部20 —側(cè)的輪50上，尤其是，涉及這樣一種用于輸送曝光裝置的 中間掩模的機(jī)器人夾持器，該夾持器具有用于感應(yīng)自動機(jī)40的夾持器42上是否安裝中間 掩模1的非接觸式傳感器，從而消除了將中間掩模1放在輪上時(shí)產(chǎn)生的振動和沖擊，可正確 地設(shè)置中間掩模l的位置。 上述曝光部20配置在平板10上部，該平板與構(gòu)成曝光裝置的各種部件相結(jié)合，在 曝光部20的下部配置用于顯示裝置的玻璃2，在曝光部20的上部配置用于在上述玻璃2上 曝光電路且起底片(film)作用的中間掩模l，從而中間掩模l的圖案通過曝光部20形成在 玻璃2表面。 如上所述，上述中間掩模1上形成有構(gòu)成電路的超微細(xì)圖案，上述中間掩模1形成 為板材狀，安裝在后述的輪50上，且固定設(shè)置在上述的曝光部20的上部，以使形成在中間 掩模1的圖案通過曝光部20曝光并刻畫在玻璃2表面上。 上述盒30用于容納排列整齊的多個(gè)中間掩模1，通過后述的自動機(jī)40進(jìn)行有計(jì)劃 的取出和接收，在內(nèi)側(cè)形成安裝有多個(gè)中間掩模1的容納空間，其一側(cè)被開放，以使中間掩 模l的取出和接收變得容易。 上述自動機(jī)40設(shè)置在上述曝光部20和盒30之間，用于輸送中間掩模l，其包括 沿X、 Y、 Z軸的三個(gè)軸方向和旋轉(zhuǎn)方向運(yùn)動的移動部41，在上述移動部41的上端包括用于 固定中間掩模l的夾持器(gripper)42，以使夾持器42穩(wěn)定且牢固地夾持中間掩模l，平穩(wěn) 輸送。 上述輪50使通過自動機(jī)40從盒30取出的中間掩模1被固定的同時(shí)按照預(yù)先設(shè) 定的作業(yè)計(jì)劃將中間掩模1自動地配置在曝光部20上，在安裝于上述曝光部20 —側(cè)的驅(qū) 動軸52的上端，以圓形形狀設(shè)置分別安裝有中間掩模1的多個(gè)旋轉(zhuǎn)支架51，從而在一個(gè)輪 50上同時(shí)安裝多個(gè)中間掩模1，多個(gè)旋轉(zhuǎn)支架51以驅(qū)動軸52為中心同時(shí)旋轉(zhuǎn)，從而輸送中 間掩模1，以使中間掩模1配置在曝光部20上，結(jié)束曝光作業(yè)的中間掩模1再次被旋轉(zhuǎn)，以 被輸送至曝光部20的外側(cè)。 圖3是本發(fā)明一實(shí)施例涉及的夾持器的放大立體圖，圖4是圖3的B部分的放大 截面圖，如圖3和圖4所示，上述的夾持器42包括用于支撐中間掩模1的兩側(cè)面和與其鄰 接的下面邊緣的側(cè)面支撐件421以及用于支撐中間掩模l的上面的上面支撐件422，還包括 分別沿左右方向和上下方向驅(qū)動上述側(cè)面支撐件421和上面支撐片422的致動器423，從而 通過致動器423的動作，中間掩模1被安裝在夾持器42上，或者被解除安裝。
并且，在與上述中間掩模1對應(yīng)的夾持器42的上面設(shè)置有由一般的光傳感器或超 音波傳感器等構(gòu)成的非接觸式傳感器44，用于感應(yīng)是否安裝中間掩模1，從而根據(jù)是否安 裝了中間掩模1來控制自動機(jī)40的整體運(yùn)轉(zhuǎn)。 從而，與現(xiàn)有的接觸式感應(yīng)開關(guān)不同，即使沒有與中間掩模1直接接觸，非接觸式 傳感器44也可以感應(yīng)出是否安裝了中間掩模l，從而從根本上防止將中間掩模1放在輪50 上的過程中因感應(yīng)開關(guān)產(chǎn)生的振動和沖擊，且可防止由此帶來的中間掩模1的位置誤差。
另外，在上述夾持器42的上面形成有用于插入上述非接觸式傳感器44的凹入形 成的傳感器安裝槽45，使非接觸式傳感器44與中間掩模1之間保持一定距離，從而防止非 接觸式傳感器44給中間掩模1帶來的干擾等物理性影響。 并且，與上述一對上面支撐件422鄰接且隔開設(shè)置一對上述傳感器安裝槽45，非 接觸式傳感器44分別插在一對傳感器安裝槽45的內(nèi)側(cè)，當(dāng)中間掩模1以扭曲狀固定于夾 持器42時(shí)，只被某一側(cè)的非接觸式傳感器44感應(yīng)，可感應(yīng)到多種形狀的安裝狀態(tài)。
權(quán)利要求
一種用于輸送曝光裝置的中間掩模的機(jī)器人夾持器，其設(shè)置在移動部(41)，所述移動部安裝在曝光裝置上并沿X、Y、Z軸方向和旋轉(zhuǎn)方向運(yùn)動，所述機(jī)器人夾持器上突出形成有用于支撐中間掩模(1)側(cè)面邊緣的一對側(cè)面支撐件(421)，以便往返于盒(30)和輪(50)之間時(shí)運(yùn)送中間掩模(1)，所述機(jī)器人夾持器還包括用于支撐中間掩模的上面的一對上面支撐件(422)，其特征在于當(dāng)中間掩模(1)設(shè)置在所述夾持器(42)上時(shí)，在與中間掩模(1)相對的一側(cè)面上設(shè)置有用于檢測是否安裝了中間掩模(1)的非接觸式傳感器(44)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于輸送曝光裝置的中間掩模的機(jī)器人夾持器，其特征在于，在與所述中間掩模(1)對應(yīng)的所述夾持器(42)的上面形成凹入的傳感器安裝槽(45)，用于插入所述非接觸式傳感器(44)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于輸送曝光裝置的中間掩模的機(jī)器人夾持器，其特征在于，與所述上面支撐件(422)鄰接設(shè)置一對所述傳感器安裝槽(45)，并使所述傳感器安裝槽(45)隔開設(shè)置，非接觸式傳感器(44)分別插在所述傳感器安裝槽(45)的內(nèi)側(cè)。
全文摘要
本發(fā)明公開一種用于輸送曝光裝置的中間掩模的機(jī)器人夾持器，其最大限度降低中間掩模被放在輪上時(shí)受到的振動和沖擊，感應(yīng)是否安裝了中間掩模。該夾持器設(shè)置在移動部，移動部安裝在曝光裝置上并沿X、Y、Z軸方向和旋轉(zhuǎn)方向運(yùn)動，該夾持器形成有用于支撐中間掩模側(cè)面邊緣的一對側(cè)面支撐件，以便往返于盒和輪之間時(shí)輸送中間掩模，該夾持器還包括用于支撐中間掩模上面的一對上面支撐件，當(dāng)中間掩模設(shè)置在夾持器上時(shí)，在與中間掩模相對的一側(cè)面上設(shè)置有感應(yīng)是否安裝了中間掩模的非接觸式傳感器。從而防止在將中間掩模放在輪的過程中中間掩模的位置由于振動和沖擊微細(xì)移動，從而中間掩模被放在輪上時(shí)被更加正確配置，并提高加工精度，降低不良率。
文檔編號H01L21/67GK101727016SQ200910165289
公開日2010年6月9日 申請日期2009年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月22日
發(fā)明者宋旺圭 申請人:De&T株式會社