專利名稱：圖形匹配處理系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種圖形匹配處理系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。
背景技術(shù)：
曰本特開專利公布No.S64-50,433 ( 1989)描述了用于在引線鍵合 機(jī)中經(jīng)由圖形識(shí)別來識(shí)別引線框(lead frame)位置的處理，其為包含 安裝在其中的半導(dǎo)體芯片的引線框提供了引線鍵合(wire bonding)。 日本特開專利公布No.S64-50,433中描述的處理被配置為從引線框的圖 形中選擇用于在上述識(shí)別中所采用的用于識(shí)別的多組圖形，以準(zhǔn)備通 過相應(yīng)的組連續(xù)地進(jìn)行識(shí)別，并且如果對(duì)于在前的組的識(shí)別失敗，則 開始對(duì)于下一組的識(shí)別。
然而，需要提高的識(shí)別精度，以用于，例如精細(xì)間距的引線框。 因此，識(shí)別的圖形可能取決于電鍍的表面精加工、由于材料類型的微 小差異所引起的熱變形水平、以及制造商。在這種情況下，如日本特 開專利公布No.S64-50,433中所描述的，即使從單個(gè)引線框的圖形中為 識(shí)別選擇多組圖形，也會(huì)造成不準(zhǔn)確識(shí)別的問題。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種圖形匹配處理系統(tǒng)，其用于當(dāng) 對(duì)半導(dǎo)體芯片中的多個(gè)焊盤與具有經(jīng)由鍵合線分別耦合的多個(gè)引線的 引線框或者與具有形成在其中的引線的襯底進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，對(duì)輸入圖像數(shù)據(jù)與先前準(zhǔn)備好的基準(zhǔn)識(shí)別圖形進(jìn)行圖形匹配，輸入圖像數(shù)據(jù)包括 通過拾取作為對(duì)準(zhǔn)的對(duì)象的引線的至少一部分的圖像而獲得的數(shù)據(jù)， 該系統(tǒng)包括存儲(chǔ)單元，其能夠分別存儲(chǔ)第一圖像數(shù)據(jù)和第二圖像數(shù) 據(jù)，該第一圖像數(shù)據(jù)是通過拾取用作第一對(duì)象的至少一部分襯底或引 線框的圖像而獲得的，該第二圖像數(shù)據(jù)是通過拾取用作不同于第一對(duì) 象的第二對(duì)象的至少一部分襯底或引線框的圖像而獲得的，并且該存 儲(chǔ)單元還能夠?qū)⒌谝粓D像數(shù)據(jù)和第二圖像數(shù)據(jù)之一存儲(chǔ)為普通識(shí)別圖 形，將另一圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為輔助識(shí)別圖形，該第一圖像數(shù)據(jù)和第二圖 像數(shù)據(jù)用作識(shí)別圖形；以及識(shí)別單元，其利用存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元中的普 通識(shí)別圖形，經(jīng)由第一圖形匹配來對(duì)輸入圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行識(shí)別，如果在 第一圖形匹配中產(chǎn)生誤差，則該識(shí)別單元利用存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元中的輔 助識(shí)別圖形進(jìn)行第二圖形匹配。
在此，可將第一對(duì)象和第二對(duì)象被設(shè)計(jì)成能夠耦合至相同半導(dǎo)體 芯片中的多個(gè)焊盤。如上所述，能夠通過鍵合線耦合至相同的半導(dǎo)體 芯片的包括多個(gè)引線(lead)的引線框或襯底應(yīng)基本上具有相似的構(gòu)造。 然而，即使在相同的設(shè)計(jì)下制造的產(chǎn)品，在諸如不同的制造商、不同 的制造地點(diǎn)、不同的制造時(shí)間段、不同的制造批次等的不同條件下的 制造可導(dǎo)致不同的處理?xiàng)l件。因此，可導(dǎo)致諸如引線不同的電鍍厚度、 不同的氧化水平等的引線不同的表面條件或不同的精細(xì)幾何形狀。另 外，即使同時(shí)制造產(chǎn)品，當(dāng)制造之后經(jīng)過一定的時(shí)間量時(shí)，引線的表 面條件也可變化。當(dāng)拾取這樣的產(chǎn)品的圖像以獲得圖像數(shù)據(jù)時(shí)，可認(rèn) 識(shí)到圖形是不同的。尤其地，當(dāng)包括精細(xì)間距的引線時(shí)，容易地產(chǎn)生 這樣的識(shí)別誤差。
由于根據(jù)上述圖形匹配處理系統(tǒng)的構(gòu)造，將通過拾取不同對(duì)象的 圖像而獲得的多種類型的圖像數(shù)據(jù)準(zhǔn)備成用于識(shí)別的圖形，所以，例 如在用于精細(xì)間距的引線識(shí)別的處理期間，當(dāng)在采用普通識(shí)別圖形的 圖形匹配處理中產(chǎn)生誤差時(shí)，在不因?yàn)檎`差而停止處理的情況下能采 用輔助識(shí)別圖形進(jìn)行圖形匹配處理。因此，能夠以提高的精度進(jìn)行精細(xì)間距的引線識(shí)別。即使在采用由不同制造商制造的產(chǎn)品的情況下， 實(shí)現(xiàn)與半導(dǎo)體芯片的引線鍵合，例如，也可以準(zhǔn)備通過拾取由不同制 造商制造的產(chǎn)品的圖像而獲得的圖像數(shù)據(jù)，使得能平穩(wěn)地實(shí)現(xiàn)這些圖 像的圖形匹配。
根據(jù)本發(fā)明，提供包括上述圖形匹配處理系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)裝置，諸如 引線鍵合機(jī)、可視檢查裝置等。在此，術(shù)語"對(duì)準(zhǔn)"是指諸如引線 鍵合機(jī)等的對(duì)準(zhǔn)裝置掌握和/或控制引線框或襯底的位置，以便于提供 引線鍵合。另外，這樣的對(duì)準(zhǔn)裝置可包括諸如輸送單元的移動(dòng)機(jī)構(gòu)， 其在由圖形匹配處理系統(tǒng)的識(shí)別單元正常地實(shí)現(xiàn)圖形匹配時(shí)，能夠基 于圖形匹配的結(jié)果實(shí)現(xiàn)引線框或襯底的對(duì)準(zhǔn)。在這種情況下，可物理 地移動(dòng)引線框或襯底以實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)。
在此，諸如處理、器件和裝置、系統(tǒng)、記錄介質(zhì)、計(jì)算機(jī)程序等 的本發(fā)明范疇之間的變換，或者這些結(jié)構(gòu)中每個(gè)的任何任意組合，也 可理解為屬于本發(fā)明的范圍。
根據(jù)本發(fā)明，能夠以提高的精度實(shí)現(xiàn)精細(xì)間距的引線識(shí)別。


結(jié)合附圖，通過以下的某些優(yōu)選實(shí)施例的描述，本發(fā)明的以上和 其它目的、優(yōu)點(diǎn)和特征將更明顯，其中
圖1是方框圖，示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的圖形匹配處理系統(tǒng)的
構(gòu)造；
圖2是圖表，示意性示出本發(fā)明的實(shí)施例中的識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元 的內(nèi)部構(gòu)造的實(shí)例；
圖3A和3B是圖表，示出本發(fā)明的實(shí)施例中制造的識(shí)別圖形的實(shí)
例；
圖4是圖表，示出本發(fā)明的實(shí)施例中的輸入圖像數(shù)據(jù)的實(shí)例；
圖5是流程圖，示出本發(fā)明的實(shí)施例中的圖形匹配處理系統(tǒng)的流程；
圖6A和6B是圖表，示出本發(fā)明的實(shí)施例中的識(shí)別圖形的實(shí)例； 圖7A和7B是圖表，示出本發(fā)明的實(shí)施例中的識(shí)別圖形的其它實(shí) 例；以及
圖8A和8B是圖表，示出本發(fā)明的實(shí)施例中的識(shí)別圖形的其它實(shí)例。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將參考說明性實(shí)施例來描述本發(fā)明。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn) 識(shí)到，利用本發(fā)明的指導(dǎo)可以實(shí)現(xiàn)許多可選擇的實(shí)施例，并且本發(fā)明 不限于為解釋性目的而示出的實(shí)施例。
將參考附圖，如下詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)現(xiàn)方式。在所 有的圖形中，相同的附圖標(biāo)記指定圖形中普遍出現(xiàn)的元件，并且將不 重復(fù)它們的詳細(xì)描述。
圖l是方框圖，示出本實(shí)施例中的圖形匹配處理系統(tǒng)的構(gòu)造。
在以下實(shí)施例中將描述針對(duì)包括多個(gè)引線的引線框的示例性實(shí)現(xiàn) 方式。圖形匹配處理系統(tǒng)100為用于引線框的引線鍵合處理中的對(duì)準(zhǔn) 提供圖形匹配處理，該引線框包括通過鍵合線分別耦合至半導(dǎo)體芯片 中的多個(gè)焊盤的多個(gè)引線。更具體而言，圖形匹配處理系統(tǒng)100提供 輸入圖像數(shù)據(jù)與先前準(zhǔn)備好的識(shí)別圖形的圖形匹配，該輸入圖像數(shù)據(jù) 是通過拾取用作對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的至少一部分引線框的圖像而獲得的。除以 上所述之外，在本實(shí)施例中，圖形匹配處理系統(tǒng)100可配置成合并在 引線鍵合機(jī)中，該引線鍵合機(jī)為引線鍵合提供用作引線鍵合對(duì)象的引 線框的對(duì)準(zhǔn)；或者其可配置成用于控制該種引線鍵合機(jī)。
圖形匹配處理系統(tǒng)100包括圖像輸入單元102、識(shí)別單元104、分 配處理單元106、識(shí)別圖形的存儲(chǔ)單元IIO (存儲(chǔ)單元)以及誤差存儲(chǔ)單元112。
除以上所述之外，在圖1中，在此未示出與本發(fā)明的特征不相關(guān)
的部分/單元的構(gòu)造。在圖1所示的圖形匹配處理系統(tǒng)100中的相應(yīng)部
件以功能單元，而不是以硬件單元的構(gòu)造來呈現(xiàn)多個(gè)塊。圖形匹配處
理系統(tǒng)100的相應(yīng)部件以通過軟件和通常包括存儲(chǔ)單元的硬件的任意 組合來實(shí)現(xiàn)，諸如任意計(jì)算機(jī)的中央處理器(CPU)、存儲(chǔ)器、用于實(shí) 現(xiàn)由存儲(chǔ)器加載的圖中的部件的程序、存儲(chǔ)這樣的程序等的硬盤、和 用于網(wǎng)絡(luò)連接的接口等。本領(lǐng)域中具有普通技術(shù)的人員要理解的是， 還包括用于實(shí)現(xiàn)處理和裝置的方法的各種修改的實(shí)施例。
圖像輸入單元102用于輸入輸入圖像數(shù)據(jù)，所述輸入圖像數(shù)據(jù)通 過拾取對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的引線框的至少一部分的圖像而獲得。在此，可通過 拾取對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的引線框的部分的圖像而獲得輸入圖像數(shù)據(jù)，所述對(duì)準(zhǔn) 對(duì)象與在圖形匹配的情況下采用的識(shí)別圖形相對(duì)應(yīng)。
作為用于識(shí)別的圖形，識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110分別存儲(chǔ)第一圖像 數(shù)據(jù)和第二圖像數(shù)據(jù)，該第一圖像數(shù)據(jù)是通過拾取第一對(duì)象的至少一 部分引線框的圖像而獲得的，該第二圖像數(shù)據(jù)是通過拾取與第一對(duì)象 不同的第二對(duì)象的至少一部分引線框的圖像而獲得的。另外，識(shí)別圖 形存儲(chǔ)單元lio將第一圖像數(shù)據(jù)和第二圖像數(shù)據(jù)之一存儲(chǔ)為普通識(shí)別 圖形，將另一圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為輔助識(shí)別圖形。
在此，第一對(duì)象和第二對(duì)象由引線框來構(gòu)造，該引線框被設(shè)計(jì)成 能夠通過鍵合線，在相同的半導(dǎo)體芯片中耦合至多個(gè)焊盤。如上所述， 通過鍵合線，在相同的半導(dǎo)體芯片中能耦合至多個(gè)焊盤的引線框應(yīng)基 本上具有相似的構(gòu)造。然而，即使在相同的設(shè)計(jì)下制造引線框，在諸 如不同的制造商、不同的制造地點(diǎn)、不同的制造時(shí)間段、不同的制造 批次等的不同條件下的制造可導(dǎo)致不同的處理?xiàng)l件。因此，可導(dǎo)致諸 如引線不同的電鍍厚度、不同的氧化水平等的引線不同的表面條件或不同的精細(xì)幾何形狀。例如，對(duì)于引線的不同的電鍍厚度可導(dǎo)致不同 的光反射條件，并且通過拾取這樣的引線框的圖像而獲得的圖像數(shù)據(jù) 可被識(shí)別成不同的圖形。另外，即使在同時(shí)制造的引線框的情況下， 在制造后經(jīng)過較長(zhǎng)時(shí)間之后，對(duì)于該引線框的引線的表面條件可能不 同。通過拾取這樣的引線框的圖像而獲得的圖像數(shù)據(jù)可被識(shí)別成不同 的圖形。尤其地，當(dāng)包括有精細(xì)間距的引線時(shí)，可容易地產(chǎn)生這樣的 識(shí)別誤差。
例如，第一對(duì)象和第二對(duì)象可由不同的制造商制造。例如，通過 不同制造商的制造提供引線不同的電鍍條件、不同的處理?xiàng)l件、或精 細(xì)部分中的不同精細(xì)圖形。可選擇地，例如，第一對(duì)象和第二對(duì)象可 以是引線框，該引線框由相同的制造商制造，但制造于不同的時(shí)間段、 不同的地點(diǎn)、和不同的制造批次。類似于通過不同制造商的制造的情 況，不同時(shí)間段、不同的地點(diǎn)、或不同的制造批次中的制造提供引線 不同的電鍍條件、不同的處理?xiàng)l件、或精細(xì)部分中的不同精細(xì)圖形。 可選擇地，例如，第一對(duì)象和第二對(duì)象可以是引線框，該引線框由相 同的制造商、在相同的時(shí)間段和相同的制造批次中制造，但可在不同 的條件下存儲(chǔ)以提供不同的表面條件。例如，當(dāng)引線框由銅構(gòu)成時(shí)， 則可由氧化導(dǎo)致顏色的改變。顏色的改變可由在相同的時(shí)間段中制造 的引線框中的某一氧化水平所引起，并且所獲取的該引線框的圖像數(shù) 據(jù)可被識(shí)別成不同的圖形。
在本實(shí)施例中，將分別在如上所述的不同條件下通過拾取第一對(duì) 象和第二對(duì)象的圖像而獲得的第一圖像數(shù)據(jù)和第二圖像數(shù)據(jù)準(zhǔn)備作為 用于識(shí)別的圖形，使得根據(jù)對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的引線框的條件，可實(shí)現(xiàn)高可能 性的用于識(shí)別的任何圖形精確圖形匹配，以產(chǎn)生準(zhǔn)確的圖形匹配。
圖2是圖表，示出識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110的內(nèi)部構(gòu)造的實(shí)例。在 此，識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110存儲(chǔ)由公司"A"制造的識(shí)別圖形和由公司
"B"制造的識(shí)別圖形。由公司"A"制造的識(shí)別圖形定義為普通圖形。由公司"A"制造的識(shí)別圖形和由公司"B"制造的識(shí)別圖形可分別是
通過拾取公司"A"和不是公司"A"的公司"B"中制造的引線框的 圖像而獲得的圖像數(shù)據(jù)。盡管在此只示出兩個(gè)識(shí)別圖形，但識(shí)別圖形 存儲(chǔ)單元110可配置成存儲(chǔ)更多的識(shí)別圖形。如果存儲(chǔ)多個(gè)輔助識(shí)別 圖形，則識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110可配置成根據(jù)優(yōu)先順序存儲(chǔ)相應(yīng)的輔 助識(shí)別圖形。
另外，與相應(yīng)的識(shí)別圖形對(duì)應(yīng)，識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110可存儲(chǔ)相 應(yīng)識(shí)別圖形的尺寸的信息或表示對(duì)象的被拾取部分的位置信息。這樣 的構(gòu)造提供以下判斷，對(duì)于該判斷，當(dāng)獲取用于對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的引線框的 輸入圖像數(shù)據(jù)時(shí)，取得引線框的位置。
圖3A和3B是圖表，示出由公司"A"制造的識(shí)別圖形和由公司 "B"制造的識(shí)別圖形的實(shí)例，所述識(shí)別圖形存儲(chǔ)在識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元 110中。圖3A示出由公司"A"制造的識(shí)別圖形200的構(gòu)造，其被認(rèn) 為是由公司"A"制造的引線框210的內(nèi)部引線部分的圖像數(shù)據(jù)。引線 框210包括通過鍵合線耦合至半導(dǎo)體芯片的多個(gè)焊盤的多個(gè)內(nèi)部引線 212、用于安裝半導(dǎo)體芯片的管芯焊盤214、和用于保持管芯焊盤214 的懸式引線216。
圖3B示出由公司"B"制造的識(shí)別圖形300的構(gòu)造，其被認(rèn)為是 由公司"B"制造的引線框310的內(nèi)部引線部分的圖像數(shù)據(jù)。類似于引 線框210，引線框310包括內(nèi)部引線312、管芯焊盤314和懸式引線316。
在此，由公司"A"制造的引線框210的內(nèi)部引線212和由公司"B" 制造的引線框310的內(nèi)部引線312具有相似的布置圖形。然而，由公 司"A"制造的引線框210和由公司"B"制造的引線框310在由圖表 中的虛線圓圍繞的管芯焊盤與懸式引線的連接部分中具有不同的精細(xì) 幾何形狀。在該情況下，與引線框210的管芯焊盤214與懸式引線216 的連接部分相比較，引線框310的管芯焊盤314與懸式引線316的連接部分是稍微圓形的。在不同的精細(xì)幾何形狀的情況下，圖形匹配精 度的增強(qiáng)甚至很可能導(dǎo)致誤差。然而，通過準(zhǔn)備兩種這樣的識(shí)別圖形, 很可能使對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的引線框圖形匹配于任何這些識(shí)別圖形，以便提供 改善的識(shí)別精度。
回到圖1，識(shí)別單元104通過與存儲(chǔ)在識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110中
的普通識(shí)別圖形的圖形匹配來識(shí)別由圖像輸入單元102輸入的輸入圖
像數(shù)據(jù)。另外，當(dāng)在輸入圖像數(shù)據(jù)與普通識(shí)別圖形的圖形匹配中產(chǎn)生
誤差時(shí)，識(shí)別單元104執(zhí)行與存儲(chǔ)在識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110中的輔助 識(shí)別圖形的圖形匹配。
圖4是圖表，示出圖像輸入單元102輸入的輸入圖像數(shù)據(jù)的實(shí)例。 輸入圖像數(shù)據(jù)400是通過拍攝對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的引線框410的內(nèi)部引線部分 的圖像而獲得的圖像數(shù)據(jù)。引線框410包括多個(gè)內(nèi)部引線412、管芯焊 盤414和懸式引線416。在此，在將半導(dǎo)體芯片500安裝在管芯焊盤 414上的條件下進(jìn)行運(yùn)輸。因此，輸入圖像數(shù)據(jù)400被設(shè)計(jì)成包括半導(dǎo) 體芯片500。在半導(dǎo)體芯片500的表面中形成有多個(gè)焊盤502。在本實(shí) 施例中，圖形匹配處理系統(tǒng)100執(zhí)行圖形匹配，以便利用引線鍵合機(jī) 對(duì)安裝有半導(dǎo)體芯片500的引線框410進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。在此，術(shù)語"對(duì)準(zhǔn)" 意思是引線鍵合機(jī)掌握和/或控制引線框410的位置，以便提供引線鍵合。
回到圖1，根據(jù)通過識(shí)別單元104的利用普通識(shí)別圖形的圖形匹 配和利用輔助識(shí)別圖形的圖形匹配的結(jié)果，分配處理單元106將輔助 識(shí)別圖形分配作為普通識(shí)別圖形，并將原先分配到普通識(shí)別圖形的圖 形分配到新的輔助識(shí)別圖形。例如，當(dāng)通過識(shí)別單元104在利用普通 識(shí)別圖形的圖形匹配(第一圖形匹配)中產(chǎn)生誤差時(shí)，并且當(dāng)利用輔 助識(shí)別圖形的圖形匹配(第二圖形匹配)被成功地重復(fù)預(yù)定的循環(huán)或 更多時(shí)，分配處理單元106用普通識(shí)別圖形替代輔助識(shí)別圖形。分配 處理單元106檢測(cè)由識(shí)別單元104所產(chǎn)生誤差的條件以及隨后的利用輔助識(shí)別圖形的圖形匹配的結(jié)果，并且將檢測(cè)的結(jié)果記錄在誤差存儲(chǔ) 單元112中。
在此，將描述通過由如上所述的分配處理單元106執(zhí)行分配可獲 得的有利效果。例如，將描述合并在引線鍵合機(jī)中的圖形匹配處理系
統(tǒng)100的示例性實(shí)現(xiàn)方式。在該情況下，引線鍵合對(duì)象的引線框在用
于引線鍵合機(jī)的引線鍵合的地點(diǎn)中被連續(xù)地傳送。在引線鍵合機(jī)中， 傳送的引線框帶有照相機(jī)以產(chǎn)生輸入圖像數(shù)據(jù)。 一旦圖形匹配處理系
統(tǒng)100的圖像輸入單元102輸入圖像數(shù)據(jù)，則由圖形匹配處理系統(tǒng)100 進(jìn)行圖形匹配。
由于成串地處理引線鍵合對(duì)象的引線框，所以可能連續(xù)地傳送由 相同的制造商制造的產(chǎn)品、在相同的地點(diǎn)中制造的產(chǎn)品、或同時(shí)的時(shí) 間段制造的產(chǎn)品等。 一旦在某一定時(shí)傳送不同制造商的產(chǎn)品，則該制 造商的產(chǎn)品的傳送很可能會(huì)持續(xù)一段時(shí)間。在本實(shí)施例中，當(dāng)在利用 普通識(shí)別圖形的圖形匹配中產(chǎn)生誤差時(shí)，并且當(dāng)利用輔助識(shí)別圖形的 圖形匹配被成功地重復(fù)預(yù)定的循環(huán)時(shí)，傳送的產(chǎn)品很可能變成由不同 的制造商制造的產(chǎn)品。在該情況下，重新分配普通識(shí)別圖形，使得隨 后很可能能夠進(jìn)行采用普通識(shí)別圖形的正常圖形匹配，以產(chǎn)生具有改 善效率的圖形匹配。
圖5是流程圖，示出本實(shí)施例中的圖形匹配處理系統(tǒng)100的圖形 匹配的例行程序。
在這種情況下，假定多個(gè)識(shí)別圖形存儲(chǔ)在識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110 中，如圖2所示。從這些識(shí)別圖形中選擇要事前分配的普通識(shí)別圖形 (S100)。
當(dāng)還包括多個(gè)輔助識(shí)別圖形時(shí)，可將優(yōu)先權(quán)分配給各輔助識(shí)別圖 形，并且分配的優(yōu)先權(quán)可以是關(guān)聯(lián)的。在這樣的情況下，連續(xù)地獲取通過拍攝對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的引線框的圖像 而獲得的輸入圖像數(shù)據(jù)，然后進(jìn)行與存儲(chǔ)在識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110中 的識(shí)別圖形的圖形匹配，以將對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的引線框與引線鍵合機(jī)對(duì)準(zhǔn)。
當(dāng)圖像輸入單元102輸入對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的引線框的輸入圖像數(shù)據(jù)時(shí)，
識(shí)別單元104參考識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110，以實(shí)現(xiàn)被定義為普通識(shí)別圖 形的普通識(shí)別圖形與輸入圖像數(shù)據(jù)的第一圖形匹配(S102)。
在這種情況下，當(dāng)在不產(chǎn)生誤差的情況下實(shí)現(xiàn)第一圖形匹配時(shí) (S104中為NO)，基于匹配結(jié)果實(shí)現(xiàn)引線框與引線鍵合機(jī)的對(duì)準(zhǔn)。
另外，通過引線鍵合機(jī)實(shí)現(xiàn)引線鍵合(S130)。之后，判斷是否 順序進(jìn)行下一對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的引線框的圖形匹配(S132)，并且當(dāng)存在下 一引線框時(shí)(S132中為YES)，則處理返回到步驟S102以重復(fù)相似 的操作。當(dāng)在步驟S132中不存在下一引線框時(shí)(S132中為NO)，處
理結(jié)束。
另一方面，當(dāng)未實(shí)現(xiàn)第一圖形匹配，而在步驟S104中產(chǎn)生誤差時(shí) (S104中為YES),識(shí)別單元104參考識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110，以進(jìn) 行輔助識(shí)別圖形與輸入圖像數(shù)據(jù)的第二圖形匹配(S106)。在此，當(dāng) 多個(gè)輔助識(shí)別圖形存儲(chǔ)在識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110中時(shí)，識(shí)別單元104 從高優(yōu)先權(quán)的輔助識(shí)別圖形開始順序進(jìn)行第二圖形匹配。當(dāng)在不產(chǎn)生 誤差的情況下導(dǎo)致第二圖形匹配時(shí)(S108中為NO)，對(duì)準(zhǔn)處理單元 106將結(jié)果記錄在誤差存儲(chǔ)單元112中(S110)。此外，基于匹配結(jié)果， 進(jìn)行引線框與引線鍵合的對(duì)準(zhǔn)(S111)。
隨后，判斷是否順序進(jìn)行下一對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的引線框的圖形匹配 (S112)，并且當(dāng)存在下一引線框時(shí)(在S112中為YES)，識(shí)別圖形 存儲(chǔ)單元110判斷是否步驟S106中所采用的采用輔助識(shí)別圖形的第二圖形匹配成功地重復(fù)預(yù)定的循環(huán)(S114)。如果采用相同的輔助識(shí)別
圖形的第二圖形匹配被成功地重復(fù)預(yù)定的循環(huán)(S114中為YES)，則 識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元110重新將普通識(shí)別圖形分配作為輔助識(shí)別圖形 (S116)。然后，處理返回到步驟S102,并重復(fù)相似的處理。另一方 面，如果在步驟S114中采用相同輔助識(shí)別圖形的第二圖形匹配未成功 地重復(fù)預(yù)定的循環(huán)，則在不進(jìn)行步驟S116的處理的情況下，處理返回 到步驟S102，并重復(fù)相似的處理。
如果當(dāng)在步驟S108中利用輔助識(shí)別圖形進(jìn)行第二圖形匹配時(shí)產(chǎn) 生誤差(S108中為YES),則判斷是否存儲(chǔ)有其它輔助識(shí)別圖形 (S120),如果存在其它的輔助識(shí)別圖形(在S120為YES的情況下)， 利用該輔助識(shí)別圖形進(jìn)行第二圖形匹配(S106)。此外，如果在步驟 S120中不存在其它的輔助識(shí)別圖形，則如假定不能實(shí)現(xiàn)圖形匹配的， 進(jìn)行誤差處理(S122)。例如，可以如終止處理、輸出警報(bào)處理等地 來執(zhí)行誤差處理。如上所述結(jié)束處理。
即使如上所述的釆用普通識(shí)別圖形的第一圖形匹配導(dǎo)致產(chǎn)生誤 差，如果釆用輔助識(shí)別圖形的第二圖形匹配被重復(fù)了預(yù)定的循環(huán)或更 多，則認(rèn)為，例如對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的傳送的引線框是不同的制造商的。在這 樣的情況下，替換普通識(shí)別圖形將減小誤差，產(chǎn)生具有改善的精度的 圖形匹配。
盡管圖3A和3B示出由公司"A"制造的識(shí)別圖形200和由公司 "B"制造的識(shí)別圖形300的構(gòu)造，其都合并到整個(gè)引線框中，但可選 擇地，由公司"A"制造的識(shí)別圖形200和由公司"B"制造的識(shí)別圖 形300可以構(gòu)造成通過拍攝相應(yīng)引線框的部分的圖像而獲得的圖像數(shù) 據(jù)，這樣的示例性實(shí)現(xiàn)方式在圖6A和6B以及圖7A和7B中示出。
圖6A示出實(shí)例，其中由公司"A"制造的識(shí)別圖形200由通過拾 取引線框210的部分的圖像而獲得的識(shí)別圖形204構(gòu)成。圖6B示出另一實(shí)例，其中由公司"B"制造的識(shí)別圖形300由通過拾取引線框310 的部分的圖像而獲得的識(shí)別圖形304構(gòu)成。
在此，識(shí)別圖形204和識(shí)別圖形304都是通過局部地修剪出關(guān)聯(lián) 的引線框的管芯焊盤的左上角部分而獲得的，并且都對(duì)應(yīng)于相同的位 置。換句話說，識(shí)別圖形204和識(shí)別圖形304分別是通過拍攝引線框 210和引線框310的多個(gè)引線的部分的圖像而獲得的，所述多個(gè)引線的 部分耦合至半導(dǎo)體芯片中多個(gè)焊盤的相同部分。
可選擇地，多個(gè)對(duì)象的識(shí)別圖形可分別通過拍攝對(duì)象的不同部分 (位置)的圖像獲得。圖7A示出實(shí)例，其中由公司"A"制造的識(shí)別 圖形200由通過拾取引線框210的部分的圖像而獲得的識(shí)別圖形204 構(gòu)成。圖7B示出另一實(shí)例，其中由公司"B"制造的識(shí)別圖形300由 通過拾取引線框310的部分的圖像而獲得的識(shí)別圖形306構(gòu)成。在此， 識(shí)別圖形204是通過局部地修剪出引線框210的管芯焊盤214的左上 角部分而獲得的。另一方面，識(shí)別圖形306是通過局部地修剪出引線 框310的管芯焊盤314的右上角部分而獲得的。識(shí)別圖形204和識(shí)別 圖形306是通過修剪出大致具有相似構(gòu)造的引線框的不同部分而獲得 的。換句話說，識(shí)別圖形204和識(shí)別圖形304分別是通過拍攝引線框 210和引線框310的多個(gè)引線的部分的圖像而獲得的，所述多個(gè)引線的 部分耦合至半導(dǎo)體芯片中多個(gè)焊盤的不同部分。以此方式，在圖形匹 配期間，多個(gè)對(duì)象的不同位置被分配給識(shí)別圖形，以提供對(duì)哪一個(gè)識(shí) 別圖案被定義為普通識(shí)別圖案的容易的理解。
此外，如圖8A和8B所示，可將多個(gè)位置中的多個(gè)圖像數(shù)據(jù)的組 合分配用作相應(yīng)對(duì)象的識(shí)別圖形。在此，例如，由公司"A"制造的識(shí) 別圖形200由識(shí)別圖形204和識(shí)別圖形206的組合構(gòu)成。此外，由公 司"B"制造的識(shí)別圖形300由識(shí)別圖形308和識(shí)別圖形306的組合構(gòu) 成。盡管以上已參考附圖描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但其旨在用于 示出本發(fā)明的構(gòu)造，并且同樣地還可采用除以上描述之外的各種類型 的其它構(gòu)造。
分配處理單元106中用輔助識(shí)別圖形替代普通識(shí)別圖形的處理不 局限于以上所述，而是可采用各種處理。例如，即使利用輔助識(shí)別圖 形正常進(jìn)行的圖形匹配的處理未重復(fù)預(yù)定的循環(huán)或更多，如果在最近 的圖形匹配處理中，以某一速率利用輔助識(shí)別圖形正常進(jìn)行圖形匹配，
則可允許分配處理單元106用輔助識(shí)別圖形替代普通識(shí)別圖形。
盡管在上述優(yōu)選實(shí)施例中已經(jīng)示出了包括被采用作為識(shí)別圖形的
管芯焊盤214或314的引線框的部分的實(shí)例，但識(shí)別圖形不局限于此， 例如，識(shí)別圖形可只由引線部分構(gòu)成。
可選擇地，識(shí)別圖形可包括鍵合對(duì)象的所有引線。盡管在以上實(shí) 施例中例證了采用引線框的情形，但對(duì)象不局限于具有框架幾何形狀 的對(duì)象，并且當(dāng)對(duì)具有多個(gè)引線的襯底進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，也可采用相似的 構(gòu)造。
此外，在準(zhǔn)備普通識(shí)別圖形和輔助識(shí)別圖形之后，在利用普通識(shí) 別圖形的圖形匹配中產(chǎn)生誤差的情況下，用于利用輔助識(shí)別圖形進(jìn)行 圖形匹配的處理，以及所需的利用輔助識(shí)別圖形替代普通識(shí)別圖形的 處理不局限于以下情形，在所述情形中，如上述優(yōu)選實(shí)施例中所描述 的，準(zhǔn)備通過拍攝不同對(duì)象的圖像而獲得的多個(gè)識(shí)別圖形。例如，即 使利用相同對(duì)象的圖像，也可選擇地利用諸如在用于被拾取的圖像的 不同的光強(qiáng)度、不同空間區(qū)域等的不同的條件下，通過拍攝相同對(duì)象 的圖像而獲得的多個(gè)圖像數(shù)據(jù)。
此外，除具有經(jīng)由鍵合線而分別耦合的多個(gè)引線的引線框或具有 形成在其中的引線的襯底之外，本發(fā)明的技術(shù)可選擇地用于例如半導(dǎo)體芯片的對(duì)準(zhǔn)等的其它應(yīng)用。換句話說，關(guān)于在半導(dǎo)體芯片的對(duì)準(zhǔn)中 采用的識(shí)別圖形，可為各不同的對(duì)象準(zhǔn)備不同的識(shí)別圖形，并且可將 這些識(shí)別圖形中的任何一個(gè)分配給普通識(shí)別圖形，而可將其它的識(shí)別 圖形分配給輔助識(shí)別圖形。
在這種情況下，當(dāng)在利用普通識(shí)別圖形的圖形匹配中產(chǎn)生誤差時(shí)， 可適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行諸如利用輔助識(shí)別圖形進(jìn)行圖形匹配的處理。
顯然，本發(fā)明不局限于以上實(shí)施例，并且在不偏離本發(fā)明的范圍 和精神的情況下能夠?qū)ζ溥M(jìn)行更改和改變。
權(quán)利要求
1. 一種圖形匹配處理系統(tǒng)，其用于當(dāng)將半導(dǎo)體芯片中的多個(gè)焊盤與引線框或與襯底進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，對(duì)輸入圖像數(shù)據(jù)與先前準(zhǔn)備好的基準(zhǔn)識(shí)別圖形進(jìn)行圖形匹配，所述輸入圖像數(shù)據(jù)包括有通過拾取作為對(duì)準(zhǔn)對(duì)象的至少一部分的所述引線的圖像而獲得的數(shù)據(jù)，所述引線框具有經(jīng)由鍵合線分別耦合的多個(gè)引線，所述襯底具有形成在其中的引線，所述系統(tǒng)包括存儲(chǔ)單元，該存儲(chǔ)單元能夠分別存儲(chǔ)第一圖像數(shù)據(jù)和第二圖像數(shù)據(jù)，所述第一圖像數(shù)據(jù)是通過拾取用作第一對(duì)象的所述襯底的至少一部分或所述引線框的圖像而獲得的，所述第二圖像數(shù)據(jù)是通過拾取用作不同于所述第一對(duì)象的第二對(duì)象的所述襯底的至少一部分或所述引線框的圖像而獲得的，并且所述存儲(chǔ)單元還能夠?qū)⑺龅谝粓D像數(shù)據(jù)和所述第二圖像數(shù)據(jù)之一存儲(chǔ)為普通識(shí)別圖形，并將另一圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為輔助識(shí)別圖形，所述第一圖像數(shù)據(jù)和所述第二圖像數(shù)據(jù)用作所述識(shí)別圖形；以及識(shí)別單元，該識(shí)別單元經(jīng)由利用存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)單元中的所述普通識(shí)別圖形所進(jìn)行的第一圖形匹配來對(duì)所述輸入圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行識(shí)別，如果在所述第一圖形匹配中產(chǎn)生誤差，則所述識(shí)別單元利用存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)單元中的所述輔助識(shí)別圖形進(jìn)行第二圖形匹配。
2. 如權(quán)利要求1所述的圖形匹配處理系統(tǒng)，進(jìn)一步包括分配處理 單元，基于通過所述識(shí)別單元所進(jìn)行的利用所述普通識(shí)別圖形的所述 第一圖形匹配和利用所述輔助識(shí)別圖形的所述第二圖形匹配的結(jié)果， 所述分配處理單元能夠?qū)⑺鲚o助識(shí)別圖形分配給所述普通識(shí)別圖 形，并且將原先分配給所述普通識(shí)別圖形的圖形分配給新的輔助識(shí)別 圖形。
3. 如權(quán)利要求2所述的圖形匹配處理系統(tǒng)，其中，當(dāng)通過所述識(shí) 別單元所進(jìn)行的在利用所述普通識(shí)別圖形的所述第一圖形匹配中產(chǎn)生誤差時(shí)，并且當(dāng)利用所述輔助識(shí)別圖形的所述第二圖形匹配被成功地 重復(fù)預(yù)定的或更多的循環(huán)時(shí)，所述分配處理單元將所述輔助識(shí)別圖形 分配給所述普通識(shí)別圖形，并且將原先被分配給所述普通識(shí)別圖形的 圖形分配給新的輔助識(shí)別圖形。
4. 如權(quán)利要求1所述的圖形匹配處理系統(tǒng)，其中，所述第一對(duì)象 與所述第二對(duì)象在不同的地點(diǎn)中制造。
5. 如權(quán)利要求l所述的圖形匹配處理系統(tǒng)，其中，所述第一對(duì)象 與所述第二對(duì)象在不同的時(shí)間段制造。
6. 如權(quán)利要求l所述的圖形匹配處理系統(tǒng)，其中，所述第一對(duì)象 的所述引線的表面條件不同于所述第二對(duì)象的所述引線的表面條件。
7. 如權(quán)利要求l所述的圖形匹配處理系統(tǒng)，其中，所述第一圖像數(shù)據(jù)是通過拾取與所述半導(dǎo)體芯片的所述多個(gè)悍盤的第一部分相耦合 的、所述第一對(duì)象的所述多個(gè)引線的一部分的圖像而獲得的，而所述 第二圖像數(shù)據(jù)是通過拾取與所述半導(dǎo)體芯片的所述多個(gè)焊盤的第二部 分相耦合的、所述第二對(duì)象的所述多個(gè)引線的一部分的圖像而獲得的， 所述第二部分不同于所述第一部分。
8. 如權(quán)利要求1所述的圖形匹配處理系統(tǒng)，其中，所述第一圖像 數(shù)據(jù)和所述第二圖像數(shù)據(jù)是通過分別拾取與所述半導(dǎo)體芯片的所述多 個(gè)焊盤的相同部分相耦合的、所述第一對(duì)象和所述第二對(duì)象的所述多 個(gè)引線的多個(gè)部分的圖像而獲得的。
9. 一種存儲(chǔ)程序的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，用于當(dāng)將半導(dǎo)體芯片中的多 個(gè)焊盤與具有經(jīng)由鍵合線而分別耦合有多個(gè)引線的引線框或與具有引線的襯底進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)時(shí)，將輸入圖像數(shù)據(jù)與先前準(zhǔn)備好的基準(zhǔn)識(shí)別圖形 進(jìn)行圖形匹配，所述輸入圖像數(shù)據(jù)包括通過拾取作為進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)的對(duì)象的所述引線的至少一部分的圖像而獲得的數(shù)據(jù)，所述程序使計(jì)算機(jī)用 作存儲(chǔ)單元，該存儲(chǔ)單元能夠分別存儲(chǔ)第一圖像數(shù)據(jù)和第二圖像數(shù) 據(jù)，并且將所述第一圖像數(shù)據(jù)和所述第二圖像數(shù)據(jù)之一存儲(chǔ)為普通識(shí) 別圖形而將另一圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為輔助識(shí)別圖形，所述第一圖像數(shù)據(jù)和 所述第二圖像數(shù)據(jù)用作所述識(shí)別圖形，所述第一圖像數(shù)據(jù)是通過拾取用作第一對(duì)象的所述襯底的至少一部分或所述引線框的圖像而獲得的，而所述第二圖像數(shù)據(jù)是通過拾取用作不同于所述第一對(duì)象的第二對(duì)象的所述襯底的至少一部分或所述引線框的圖像而獲得的；以及識(shí)別單元，該識(shí)別單元經(jīng)由利用存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)單元中的所述普通識(shí)別圖形所進(jìn)行的第一圖形匹配來對(duì)所述輸入圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行識(shí)別，如果在所述第一圖形匹配中產(chǎn)生誤差，則所述識(shí)別單元利用存儲(chǔ)在所 述存儲(chǔ)單元中的所述輔助識(shí)別圖形來進(jìn)行第二圖形匹配。
10. 如權(quán)利要求9所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中，所述程序還使 所述計(jì)算機(jī)用作分配處理單元，基于通過所述識(shí)別單元所進(jìn)行的利用 所述普通識(shí)別圖形的所述第一圖形匹配和利用所述輔助識(shí)別圖形的所 述第二圖形匹配的結(jié)果，所述分配處理單元能夠?qū)⑺鲚o助識(shí)別圖形 分配給所述普通識(shí)別圖形，并且將原先分配給所述普通識(shí)別圖形的圖 形分配給新的輔助識(shí)別圖形。
11. 如權(quán)利要求IO所述的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中，當(dāng)通過所述識(shí) 別單元所進(jìn)行的在利用所述普通識(shí)別圖形的所述第一圖形匹配中產(chǎn)生 誤差時(shí)，并且當(dāng)利用所述輔助識(shí)別圖形的所述第二圖形匹配被成功地 重復(fù)預(yù)定的或更多的循環(huán)時(shí)，所述分配處理單元將所述輔助識(shí)別圖形 分配給所述普通識(shí)別圖形，并且將原先分配給所述普通識(shí)別圖形的圖 形分配給新的輔助識(shí)別圖形。
全文摘要
本發(fā)明涉及圖形匹配處理系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。一種圖形匹配處理系統(tǒng)，包括識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元，其分別存儲(chǔ)第一圖像數(shù)據(jù)和第二圖像數(shù)據(jù)，該第一圖像數(shù)據(jù)是通過拾取第一對(duì)象的襯底的至少一部分或引線框的圖像而獲得的，該第二圖像數(shù)據(jù)是通過拾取不同于第一對(duì)象的第二對(duì)象的引線框的至少一部分的圖像而獲得的，并且該識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元還將第一圖像數(shù)據(jù)和第二圖像數(shù)據(jù)之一存儲(chǔ)為普通識(shí)別圖形，將另一圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)為輔助識(shí)別圖形；以及識(shí)別單元，其利用存儲(chǔ)在識(shí)別圖形存儲(chǔ)單元中的普通識(shí)別圖形，通過第一圖形匹配來識(shí)別輸入圖像數(shù)據(jù)，并且當(dāng)在第一圖形匹配中產(chǎn)生誤差時(shí)，該識(shí)別單元利用輔助識(shí)別圖形執(zhí)行第二圖形匹配。
文檔編號(hào)H01L21/58GK101533427SQ20091012879
公開日2009年9月16日 申請(qǐng)日期2009年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月13日
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