專利名稱：圓板保持裝置及缺陷異物檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將硅晶片等的圓板予以保持定位的圓板保持裝置及檢測(cè)所述圓板的正反面和外周部的缺陷及異物的附著的缺陷異物檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
以往，已知有調(diào)節(jié)晶片輸送機(jī)器人所裝載的晶片的中心位置及方向的晶片的保持裝置(例如，日本參考專利文獻(xiàn)l)。該文獻(xiàn)中所記載的以往的保持裝置，具備有朝向晶片中心方向開閉驅(qū)動(dòng)的多個(gè)滑動(dòng)臂(把持機(jī)構(gòu))，形成為用各滑動(dòng)臂的外側(cè)端部的爪來把持晶片的外周。
專利文獻(xiàn)l:(日本)特開2006—2221%號(hào)公報(bào)
硅晶片(以下稱為"晶片")具有容易劈開的方向(結(jié)晶方位)。為了要顯現(xiàn)該方向(結(jié)晶方位)，晶片上通常設(shè)有缺口，缺口的位置作為晶片切割方向的基準(zhǔn)等，且各處理過程中作為基準(zhǔn)位置來使用。此外，還可以以缺口為基準(zhǔn)來顯現(xiàn)有傷痕的部位。如此缺口成為標(biāo)記(基準(zhǔn)位置)，所以需要檢測(cè)出缺口。若不知道缺口的方向，則無法標(biāo)記出有傷痕的部位等(在圖像上標(biāo)記)。
然而，上述以往的保持裝置或晶片的正反面和外周部的缺陷及異物的附著檢測(cè)出來的缺陷異務(wù)檢測(cè)裝置，因以多個(gè)滑動(dòng)臂的外側(cè)端部的爪來把持晶片的外周，所以會(huì)有以下的問題。
(1)多個(gè)滑動(dòng)臂位于晶片的下面?zhèn)取Ｒ蚨?，以有缺口的部位來把持晶片，滑?dòng)臂則會(huì)位于缺口的下面，故缺口會(huì)被滑動(dòng)臂所隱藏而導(dǎo)致傳感器無法檢測(cè)出該位置。例如，對(duì)晶片的外周照射來自光源的光，用受光部來檢測(cè)出該光的情況，當(dāng)以有缺口的部位把持晶片時(shí)，照射光受到滑動(dòng)臂的把持部所遮擋致使受光部的入射光強(qiáng)度變低，被誤判為無缺口，會(huì)有無法檢測(cè)出缺口位置的情況。也就是缺口受到滑動(dòng)臂所遮擋的比率(面積)很大，受光部的檢測(cè)值則會(huì)變成小于閾值，實(shí)際上有缺口，卻無法檢測(cè)出
5位于該位置的缺口。
(2) 在有缺口的部位把持晶片的情況下，需要進(jìn)行重新把持晶片1的動(dòng)作，使滑動(dòng)臂的把持部把持缺口以外的部位，即是以利用入射光可以檢測(cè)出缺口來把持位置。利用此方式，用來檢測(cè)缺口的步驟的時(shí)間變長(zhǎng)，生產(chǎn)量則會(huì)降低。
(3) 由于多個(gè)滑動(dòng)臂位于晶片的下面?zhèn)?，所以用攝像機(jī)將晶片的兩面進(jìn)行拍攝來取得各面的表面信息的情況下，用攝像機(jī)來將其中一面(表面)拍攝，然后，將晶片予以正反面反轉(zhuǎn)，用攝像機(jī)來將另一面拍攝，所以一片晶片的兩面進(jìn)行拍攝會(huì)耗費(fèi)相當(dāng)多的時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的以往問題而提出的，其目的在于提供即使在具有缺口的部位把持圓板的情況下，仍可以可靠地檢測(cè)出缺口的位置、提高生產(chǎn)量、且可以同時(shí)對(duì)兩面進(jìn)行拍攝的圓板保持裝置及缺陷異物檢測(cè)裝置。
為了要解決上述課題，本發(fā)明的第一方式的圓板保持裝置，其特征在于，具備多個(gè)把持用可動(dòng)爪，其在內(nèi)端側(cè)分別具有抵接于具有缺口的圓板的外周部的把持部，并且沿所述圓板的周向以等間隔配置；以及可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪在各把持用可動(dòng)爪的所述把持部抵接于所述圓板的外周部的把持位置、與所述把持部離開所述外周部的把持解除位置之間沿著通過所述圓板的中心的徑向移動(dòng)。
根據(jù)這種方式，因使位于多個(gè)把持用可動(dòng)爪的內(nèi)端側(cè)的各把持部抵接于圓板的外周部來把持圓板，所以由光源及受光部所組成的傳感器檢測(cè)出缺口時(shí)，即使多個(gè)把持用可動(dòng)爪的任何一個(gè)把持部以有缺口的部位來抵接于圓板的外周部，來自光源的光不會(huì)被把持部所遮擋，仍可以通過缺口射入至受光部。利用此方式，上述以往的技術(shù)中，有缺口的部位把持晶片的情況，缺口被滑動(dòng)臂所隱蔽的比率很大，故無法檢測(cè)出缺口，但可以防止把持用可動(dòng)爪隱蔽到缺口 ，而可以可靠地檢測(cè)出缺口的位置。
此外，即使在具有缺口的部位把持晶片的情況下，仍不必進(jìn)行重新把持圓板的動(dòng)作，也就是不必進(jìn)行變更把持用可動(dòng)爪的把持部與缺口的相對(duì)位置的動(dòng)作，縮短處理步驟的時(shí)間，生產(chǎn)量則會(huì)提高。進(jìn)而，因圓板的表面和背面受到多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部所隱蔽的面積很少，所以配置將圓板的表面和背面分別進(jìn)行拍攝的攝像機(jī)，同時(shí)一次就可以將圓板的兩面進(jìn)行拍攝。
此外，其中所謂"圓板"是指包括硅晶片或掩模等的圓板狀物。
本發(fā)明的第二方式的圓板保持裝置，其特征在于，所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部形成為如下形狀，即，在所述各把持部抵接于所述圓板的外周部而所述圓板被所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪所把持的狀態(tài)下，所述圓板被保持在水平面內(nèi)，并且所述圓板的中心與該圓板的旋轉(zhuǎn)中心一致。
根據(jù)這種方式，可以在圓板受到多個(gè)把持用可動(dòng)爪所把持的狀態(tài)下，使多個(gè)把持用可動(dòng)爪與圓板，在水平面內(nèi)以圓板的中心為旋轉(zhuǎn)中心來一體旋轉(zhuǎn)。利用此方式，利用多個(gè)把持用可動(dòng)爪比真空吸附還可以更可靠地把持圓板，以使圓板不容易扭曲變形。
本發(fā)明的第三方式的圓板保持裝置，其特征在于，所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部為抵接于所述圓板的外周部的上緣及下緣的凹面。
根據(jù)這種方式，因各把持部的凹面分別抵接于圓板的外周部的上緣和下緣來把持圓板，所以可以可靠地把持圓板。
本發(fā)明的第四方式的圓板保持裝置，其特征在于所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部為分別抵接于所述圓板的外周部的上部及下部的V形的錐面。
根據(jù)這種方式，因各把持部的V形的錐面分別抵接于圓板的外周部的上部和下部來把持圓板，所以可以可靠地把持圓板。
本發(fā)明的第五方式的圓板保持裝置，其特征在于，具備被支承在底座并能夠旋轉(zhuǎn)的內(nèi)側(cè)環(huán)、被支承在所述內(nèi)側(cè)環(huán)并能夠旋轉(zhuǎn)的外側(cè)環(huán)、及使所述內(nèi)側(cè)環(huán)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述外側(cè)環(huán)相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)環(huán)進(jìn)行正反轉(zhuǎn)，以使所述各把持用可動(dòng)爪在所述把持位置與所述把持解除位置之間移動(dòng)。
根據(jù)這種方式，因可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)來使外側(cè)環(huán)正反轉(zhuǎn)，使各把持用可動(dòng)爪在把持位置與把持解除位置之間移動(dòng)，所以可以將可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)部配置在外側(cè)環(huán)與內(nèi)側(cè)環(huán)的內(nèi)側(cè)。利用此方式，可以把持圓板來旋轉(zhuǎn)，用攝像機(jī)同時(shí)將圓板的兩面進(jìn)行拍攝仍不會(huì)造成妨
7礙。也就是將使多個(gè)把持用可動(dòng)爪旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)部，具備在如同屬于內(nèi)側(cè)環(huán) 或外側(cè)環(huán)(旋轉(zhuǎn)側(cè))的可動(dòng)部分進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的物體，則會(huì)發(fā)生配線或配管受 到扭曲或截?cái)嗟膯栴}。為了要防止這點(diǎn)，需要予以返回圓板已旋轉(zhuǎn)的量， 即是會(huì)對(duì)旋轉(zhuǎn)量產(chǎn)生限制。消除這樣的繁瑣，可以實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明的第六方式的圓板保持裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 具備驅(qū)動(dòng)源、與所述內(nèi)側(cè)環(huán)一體可旋轉(zhuǎn)地被支承在所述底座的皮帶輪、 及將所述驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)傳遞至所述皮帶輪的皮帶。
本發(fā)明的第七方式的圓板保持裝置，其特征在于，所述多個(gè)把持用可 動(dòng)爪分別利用第一彈簧向所述徑向外方進(jìn)行施力，所述可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具 備多個(gè)柄，其按照分別以一端部抵接于所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各外端 部的方式，被支承在所述外側(cè)環(huán)上并能夠轉(zhuǎn)動(dòng)；第二彈簧，其被設(shè)置在所 述多個(gè)柄的另一端部與設(shè)置在所述外側(cè)環(huán)上的固定銷之間，利用所述多個(gè) 柄的一端部,以大于所述第一彈簧的作用力的作用力，對(duì)所述多個(gè)把持用 可動(dòng)爪分別向所述徑向的內(nèi)方施力；連結(jié)機(jī)構(gòu)，其將所述內(nèi)側(cè)環(huán)與所述外 側(cè)環(huán)連結(jié)，并且限制所述內(nèi)側(cè)環(huán)與所述外側(cè)環(huán)的相對(duì)旋轉(zhuǎn)角度；以及
相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，其使所述內(nèi)側(cè)環(huán)與所述外側(cè)環(huán)相對(duì)旋轉(zhuǎn)。
本發(fā)明的第八方式的圓板保持裝置，其特征在于，所述連結(jié)機(jī)構(gòu)在第 一位置和第二位置之間限制相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)環(huán)的所述外側(cè)環(huán)進(jìn)行正反轉(zhuǎn) 的角度，所述第一位置是所述多個(gè)柄的各一端部按壓所述多個(gè)把持用可動(dòng) 爪而將各把持用可動(dòng)爪保持在所述把持位置的位置，所述第二位置是解除 所述各一端部對(duì)所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪的按壓而將所述多個(gè)把持用可動(dòng) 爪保持在所述把持解除位置的位置。
根據(jù)這種方式，連結(jié)機(jī)構(gòu)位于第一位置時(shí)，多個(gè)把持用可動(dòng)爪受到多 個(gè)柄的各一端部所按壓而被保持在把持位置，連結(jié)機(jī)構(gòu)位于第二位置時(shí)， 多個(gè)把持用可動(dòng)爪解除多個(gè)柄的各一端部所施加的按壓而被保持在把持 位置。利用方式，可以在連結(jié)機(jī)構(gòu)位于第一位置時(shí)，將各把持用可動(dòng)爪可 靠地保持在把持位置，且可以在連結(jié)機(jī)構(gòu)位于第二位置時(shí)，將各把持用可 動(dòng)爪可靠地保持在把持解除位置。
本發(fā)明的第九方式的圓板保持裝置，其特征在于，所述連結(jié)機(jī)構(gòu)具備
柄，其被支承在所述內(nèi)側(cè)環(huán)并能夠轉(zhuǎn)動(dòng)；旋轉(zhuǎn)傳遞部件，其被設(shè)置在所述
8外側(cè)環(huán)上，與該柄相卡合，而將所述外側(cè)環(huán)相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)環(huán)的正轉(zhuǎn)和反
轉(zhuǎn)傳遞至所述柄；以及第三彈簧，其被設(shè)置在所述柄的前端部與設(shè)置在所
述內(nèi)側(cè)環(huán)上的固定銷之間，對(duì)所述柄以死點(diǎn)為中心在所述第一位置與所述 第二位置之間能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地進(jìn)行施力。
本發(fā)明的第十方式的圓板保持裝置，其特征在于，具備把持解除機(jī)構(gòu)， 所述把持解除機(jī)構(gòu)在所述各把持部抵接于所述圓板的外周部而所述圓板 被把持的狀態(tài)下，在所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪與所述內(nèi)側(cè)環(huán)和外側(cè)環(huán)一起旋 轉(zhuǎn)一周的期間，逐一依次與所述多個(gè)柄相卡合，解除各柄對(duì)所述多個(gè)把持 用可動(dòng)爪的按壓，逐一依次使位于所述把持位置的所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪 向所述把持解除位置位移。
根據(jù)這種方式，對(duì)圓板的表面和背面分別由攝像機(jī)進(jìn)行拍攝時(shí)，或?qū)?圓板的外周部的上緣和上部側(cè)(以下，稱為邊緣上部)、以及圓板的外周 部的下緣和下部側(cè)(以下，稱為邊緣下部)分別由邊緣檢測(cè)傳感器進(jìn)行拍 攝時(shí)，就連多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部所把持的圓板各部的缺損、傷痕、 附著異物等的圖像信息，也可以用攝像機(jī)或邊緣檢測(cè)傳感器來取得。
此外，具有小缺口的圓板的情況下(例如，具有小缺口被把持用可動(dòng) 爪所隱蔽的小缺口的圓板的情況下)，即使在具有缺口的部位抵接到圓板 的外周部，當(dāng)把持用可動(dòng)爪為把持解除位置的狀態(tài)時(shí)，來自光源的光不會(huì) 被把持部所遮擋，仍可以通過缺口入射至受光部。利用此方式，可以可靠 地檢測(cè)出缺口的位置。
本發(fā)明的第十一方式的圓板保持裝置，其特征在于，所述相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)
生機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，具備配置在所述外側(cè)環(huán)的周圍的第二驅(qū)動(dòng)源、及利用該 驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)力進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的摩擦皮帶，通過使所述摩擦皮帶與所述外側(cè)環(huán) 的外周接觸，相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)環(huán)使所述外側(cè)環(huán)進(jìn)行正反轉(zhuǎn)。
根據(jù)這種方式，因使外側(cè)環(huán)與內(nèi)側(cè)環(huán)的相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的相對(duì)回旋轉(zhuǎn)產(chǎn) 生手段的第二驅(qū)動(dòng)源配置在外側(cè)環(huán)的外側(cè)，所以當(dāng)進(jìn)入旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的電機(jī) 的內(nèi)側(cè)的情況會(huì)發(fā)生復(fù)雜的配線或配管的扭曲或斷裂的問題。為了要防止 這點(diǎn)，予以返回圓板已旋轉(zhuǎn)的量，即是可以實(shí)現(xiàn)不會(huì)有對(duì)旋轉(zhuǎn)量產(chǎn)生限制 繁瑣的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的第十二方式的圓板保持裝置，其特征在于，所述相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，具備配置在所述外側(cè)環(huán)的周圍的第二驅(qū)動(dòng)源、由該驅(qū)動(dòng) 源被驅(qū)動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的齒輪、以及固定在所述外側(cè)環(huán)的外周的環(huán)形齒輪，通 過使所述齒輪與所述環(huán)形齒輪相嚙合，相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)環(huán)使所述外側(cè)環(huán)進(jìn) 行正反轉(zhuǎn)。
根據(jù)這種方式，因相對(duì)回旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生手段的第二驅(qū)動(dòng)源配置在外側(cè)環(huán)的 外側(cè)，所以可以實(shí)現(xiàn)當(dāng)進(jìn)入旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的物體的內(nèi)側(cè)的情況不會(huì)有復(fù)雜的 配線或配管的問題、或予以返回圓板已旋轉(zhuǎn)的量的繁瑣的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。因 相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)來使外側(cè)環(huán)正反轉(zhuǎn)的相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生機(jī)構(gòu)的第二驅(qū)動(dòng)源配置 在外側(cè)環(huán)的外側(cè)，所以可以實(shí)現(xiàn)當(dāng)進(jìn)入旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的物體的內(nèi)側(cè)的情況不 會(huì)有復(fù)雜的配線或配管的問題、或予以返回圓板已旋轉(zhuǎn)的量等繁瑣的簡(jiǎn)單 的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的第十三方式的圓板保持裝置，其特征在于，具備可在支承 從外部所輸送的所述圓板的背面的支承位置與從該支承位置下降的退避 位置之間進(jìn)行升降的晶片載置臺(tái)。
根據(jù)這種方式，因具備有支承利用晶片輸送機(jī)器人等從外部輸送到裝 置內(nèi)的圓板的背面的晶片載置臺(tái)，所以會(huì)在晶片載置臺(tái)支承圓板的狀態(tài) 下，使多個(gè)把持用可動(dòng)爪往所述徑向移動(dòng)，利用多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把 持部，可以安全地把持圓板的外周。
本發(fā)明的第一方式的缺陷異物檢測(cè)裝置，其特征在于，具備上述本 發(fā)明的方式的圓板保持裝置、配置在可對(duì)所述圓板的表面和背面進(jìn)行拍攝 的位置的多個(gè)攝像機(jī)、及根據(jù)所述攝像機(jī)所拍攝的圖像信息而對(duì)所述圓板 的表面上和背面上的缺陷及異物的附著進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)部。
根據(jù)這種方式，會(huì)獲得與上述本發(fā)明的方式的圓板保持裝置同等的效 果。此外，用多臺(tái)攝像機(jī)同時(shí)一次就可以將圓板的表面和背面進(jìn)行拍攝。 此外，因使多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部抵接于圓板的外周部來把持圓 板，所以可以把持圓板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，用攝像機(jī)同時(shí)將圓板的兩面進(jìn)行拍攝仍 不會(huì)造成妨礙。此外，上述以往的技術(shù)中，當(dāng)用攝像機(jī)來將圓板的兩面進(jìn) 行拍攝的情況，因用攝像機(jī)來將該表面進(jìn)行拍攝，然后將圓板反轉(zhuǎn)，用攝 像機(jī)來將背面進(jìn)行拍攝，所以生產(chǎn)量不佳。對(duì)于此點(diǎn)，根據(jù)這種方式，會(huì) 縮短用攝像機(jī)來將圓板的兩面進(jìn)行拍攝的情況的步驟的時(shí)間而提高產(chǎn)量。
10此處，攝像機(jī)是一種具有取得可以判別圓板的正反面和外周部的缺陷或異 物的附著等的圖像信息的傳感器功能的攝像機(jī)統(tǒng)稱。
進(jìn)而，用一臺(tái)或多臺(tái)攝像機(jī)同時(shí)一次就可以將圓板的表面和背面進(jìn)行 拍攝，以取得圓板的表面和背面的圖像信息，當(dāng)用攝像機(jī)來將圓板的兩面 進(jìn)行拍攝的情況，用攝像機(jī)來將該表面進(jìn)行拍攝，然后將圓板反轉(zhuǎn)，用攝 像機(jī)來將背面進(jìn)行拍攝，取得圓板的表面和背面的圖像信息的過去的情 況，與此情況相比較，可以縮短圓板的表面和背面的圖像信息的取得步驟 的時(shí)間，提高利用所取得的圖像信息來檢測(cè)出圓板的兩面的缺損、傷痕等 的缺陷或異物的附著等的處理步驟的生產(chǎn)量。
此外，使攝像機(jī)移動(dòng)來進(jìn)行拍攝，使各攝像機(jī)所拍攝的圓板的表面上 的面積大致相同，以使利用各攝像機(jī)所取得的拍攝信息的信息量大致相 同。利用此方式，可以更加提高圖像信息的處理速度，并提高檢測(cè)出圓板 的兩面的缺損、傷痕等的缺陷或異物的附著等的處理步驟的生產(chǎn)量。
本發(fā)明的第二方式的缺陷異物檢測(cè)裝置，是如上述本發(fā)明的第一方式 的缺陷異物檢測(cè)裝置，其中，對(duì)所述圓板的外周部進(jìn)行拍攝的邊緣檢測(cè)機(jī) 構(gòu)；以及檢測(cè)部，其根據(jù)由表面?zhèn)人邆涞乃鲞吘墮z測(cè)機(jī)構(gòu)所拍攝的所
述圓板的外周部的上緣和上部側(cè)的圖像信息、以及由背面?zhèn)人邆涞乃?邊緣檢測(cè)機(jī)構(gòu)所拍攝的所述圓板的外周部的下緣和下部側(cè)的圖像信息，檢 測(cè)所述圓板的外周部的缺陷及異物的附著。
根據(jù)這種方式，可以同時(shí)將圓板的邊緣上部和邊緣下部進(jìn)行拍攝，取 得圓板的邊緣上部和邊緣下部的圖像信息。進(jìn)而，不僅是依據(jù)多個(gè)把持用 可動(dòng)爪的各把持部所未把持的圓板的邊緣上部和邊緣下部的圖像信息，還 在利用把持解除機(jī)構(gòu)位移往把持解除位置的狀態(tài)下，將圓板的邊緣上部和 邊緣下部進(jìn)行拍攝，藉此也可以取得多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部所未把 持的圓板的邊緣上部和邊緣下部的圖像信息。利用方式，可以縮短圓板的 邊緣上部和邊緣下部的圖像信息的取得步驟的時(shí)間，并提高利用所取得的 圖像信息所檢測(cè)出圓板的外周部的缺損、傷痕等的缺陷或異物的附著等的 處理步驟的生產(chǎn)量。此外，此處所指的邊緣檢測(cè)機(jī)構(gòu)也可以是上述的攝像 機(jī)。
依據(jù)本發(fā)明的第一方式的圓板保持裝置，因使位于多個(gè)把持用可動(dòng)爪的內(nèi)端側(cè)的各把持部抵接于圓板的外周部來把持圓板，所以當(dāng)用由光源部 及受光部所組成的傳感器來撿測(cè)出缺口時(shí)，即使多個(gè)把持用可動(dòng)爪的任何 一個(gè)把持部，以有缺口的部位抵接于圓板的外周部，來自光源的光不會(huì)被 把持部所遮擋，仍可以通過缺口射入受光部。利用方式，上述以往的技術(shù) 中，當(dāng)有缺口的部位把持晶片的情況，由于缺口受到滑動(dòng)臂所遮隱的比率 很大，故無法檢測(cè)出缺口，但可以防止把持用可動(dòng)爪遮隱到缺口，可以可 靠地檢測(cè)出缺口的位置。
此外，即使在具有缺口的部位把持晶片的情況下，仍不必經(jīng)過重新把 持圓板的動(dòng)作，也就是不必更改把持用可動(dòng)爪的把持部與缺口的相對(duì)位置 的動(dòng)作，縮短步驟的時(shí)間，生產(chǎn)量則會(huì)提高。進(jìn)而，因圓板的表面和背面 受到多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部所遮隱的面積很少，所以配置將圓板的 表面和背面分別進(jìn)行拍攝的攝像機(jī)，同時(shí)一次就可以將圓板的兩面進(jìn)行拍 攝。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第二方式的圓板保持裝置，可以在圓板被多個(gè)把 持用可動(dòng)爪所把持的狀態(tài)下，使多個(gè)把持用可動(dòng)爪及圓板，在水平面內(nèi)以 圓板的中心為旋轉(zhuǎn)中心一體地旋轉(zhuǎn)。利用此方式，與真空吸附作比較，可 以用多個(gè)把持用可動(dòng)爪來可靠地保持圓板，以使圓板不致于彎曲或變形。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第三方式的圓板保持裝置，因各把持部的凹面分 別抵接于圓板的外周部的上緣及下緣來把持圓板，可以可靠地把持圓板。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第四方式的圓板保持裝置，因各把持部的V形的 錐面分別抵接于圓板的外周部的上部及下部來把持圓板，可以可靠地把持 圓板。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第五方式或第六方式的圓板保持裝置，因可動(dòng)爪 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)來使外側(cè)環(huán)正反轉(zhuǎn)，使各把持用可動(dòng)爪在把持位 置與把持解除位置之間移動(dòng)，所以可以將可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)配置在外側(cè)還及 內(nèi)側(cè)環(huán)的外側(cè)。利用此方式，可以把持圓板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，用攝像機(jī)同時(shí)將圓 板的兩面進(jìn)行拍攝仍不會(huì)造成妨礙。也就是將使多個(gè)把持用可動(dòng)爪旋轉(zhuǎn)的 驅(qū)動(dòng)部，具備在如同屬于內(nèi)側(cè)環(huán)或外側(cè)環(huán)(旋轉(zhuǎn)側(cè))的可動(dòng)部分進(jìn)行旋轉(zhuǎn) 的物體，則會(huì)發(fā)生配線或配管受到扭曲或截?cái)嗟膯栴}。為了要防止這點(diǎn)， 需要予以返回圓板已旋轉(zhuǎn)的量，即是會(huì)對(duì)旋轉(zhuǎn)量產(chǎn)生限制。消除這樣的繁瑣，可以實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第七、八或九方式的圓板保持裝置，當(dāng)連結(jié)機(jī)構(gòu) 位于第一位置時(shí)，多個(gè)把持用可動(dòng)爪受到多個(gè)柄的各一端部所按壓而被保 持在把持位置，當(dāng)連結(jié)機(jī)構(gòu)位于第二位置時(shí)，多個(gè)把持用可動(dòng)爪解除多個(gè) 柄的各一端部所施加的按壓而被保持在把持解除位置。利用此方式，可以 在連結(jié)機(jī)構(gòu)位于第一位置時(shí)，將各把持用可動(dòng)爪可靠地保持在把持位置， 并可以在連結(jié)機(jī)構(gòu)位于第二位置時(shí)，將各把持用可動(dòng)爪可靠地保持在把持 解除位置。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第十方式的圓板保持裝置，用攝像機(jī)來將圓板的 表面和背面分別進(jìn)行拍攝時(shí)、或用邊緣檢測(cè)傳感器來將圓板的外周部的邊 緣上部和邊緣下部分別進(jìn)行拍攝時(shí)，就連多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部所 把持的圓板的各部位的缺損、傷痕、異物的附著等的圖像信息，也可用攝 像機(jī)或邊緣檢測(cè)傳感器來取得。
此外，具有小缺口的圓板的情況下(例如，具有缺口被把持用可動(dòng)爪 所隱蔽的小缺口的圓板的情況下)，即使有缺口的部位抵接到圓板的外周 部，當(dāng)把持用可動(dòng)爪為把持解除位置的狀態(tài)時(shí)，來自光源的光不會(huì)被把持 部所遮擋，仍可以通過缺口入射至受光部。利用此方式，可以可靠地檢測(cè) 出缺口的位置。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第十一方式的圓板保持裝置，因使外側(cè)環(huán)與內(nèi)側(cè) 環(huán)的相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的相對(duì)回旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生手段的第二驅(qū)動(dòng)源配置在外側(cè)環(huán)的 外側(cè)，所以當(dāng)進(jìn)入旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的物體的內(nèi)側(cè)的情況有時(shí)會(huì)發(fā)生復(fù)雜的配線 或配管受到扭曲或截?cái)嗟膯栴}。為了要防止這點(diǎn)，予以返回圓板已旋轉(zhuǎn)的 量，即是可以實(shí)現(xiàn)不會(huì)有對(duì)旋轉(zhuǎn)量產(chǎn)生限制的繁瑣的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第十二方式的圓板保持裝置，因相對(duì)回旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生 手段的第二驅(qū)動(dòng)源配置在外側(cè)環(huán)的外側(cè)，所以可以實(shí)現(xiàn)當(dāng)進(jìn)入旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部 的物體的內(nèi)側(cè)的情況不會(huì)有復(fù)雜的配線或配管的問題、或予以返回圓板已 旋轉(zhuǎn)的量的繁瑣的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。因相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)來使外側(cè)環(huán)正反轉(zhuǎn)的相對(duì) 旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生機(jī)構(gòu)的第二驅(qū)動(dòng)源配置在外側(cè)環(huán)的外側(cè)，所以可以實(shí)現(xiàn)當(dāng)進(jìn)入旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的物體的內(nèi)側(cè)的情況不會(huì)有復(fù)雜的配線或配管的問題、或予以返 回圓板已旋轉(zhuǎn)的量等繁瑣的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。
13此外，本發(fā)明的第十三方式的圓板保持裝置，因具備有支承利用晶片 輸送機(jī)器人等從外部輸送到裝置內(nèi)的圓板的背面的晶片載置臺(tái)，所以會(huì)在 晶片載置臺(tái)支承圓板的狀態(tài)下，使多個(gè)把持用可動(dòng)爪往所述徑向移動(dòng)，利 用多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部，可以安全地把持圓板的外周。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第一方式的缺陷異物檢測(cè)裝置，會(huì)獲得與上述本 發(fā)明的第一至第十三方式中的任一方式的圓板保持裝置同等的效果。
進(jìn)而，因用一臺(tái)或多臺(tái)攝像機(jī)同時(shí)一次就可以將圓板的表面和背面進(jìn) 行拍攝。此外，因使多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部抵接于圓板的外周部來 把持圓板，所以可以把持圓板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，用攝像機(jī)同時(shí)將圓板的兩面進(jìn)行 拍攝仍不會(huì)造成妨礙。此外，當(dāng)用攝像機(jī)來將圓板的兩面進(jìn)行拍攝的情況， 用攝像機(jī)來將該表面進(jìn)行拍攝，然后將圓板反轉(zhuǎn)，用攝像機(jī)來將背面進(jìn)行 拍攝，以取得圓板的表面和背面的圖像信息的過去的情況，與此情況相比 較，可以縮短圓板的表面和背面的圖像信息的取得步驟的時(shí)間，提高利用 所取得的圖像信息來檢測(cè)出圓板的兩面的缺損、傷痕等的缺陷或異物的附 著等的處理步驟的生產(chǎn)量。
此外，依據(jù)本發(fā)明的第二方式的缺陷異物檢測(cè)裝置，可以同時(shí)將圓板 的邊緣上部和邊緣下部進(jìn)行拍攝，取得圓板的邊緣上部和邊緣下部的圖像 信息。進(jìn)而，不僅是依據(jù)多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部所未把持的圓板的 邊緣上部和邊緣下部的圖像信息，還在把持解除機(jī)構(gòu)位移往把持解除位置 的狀態(tài)下，將圓板的邊緣上部和邊緣下部進(jìn)行拍攝，也可以取得多個(gè)把持 用可動(dòng)爪的各把持部所未把持的圓板的邊緣上部和邊緣下部的圖像信息。 利用方式，可以縮短圓板的邊緣上部和邊緣下部的圖像信息的取得步驟的 時(shí)間，并提高利用所取得的圖像信息所檢測(cè)出圓板的外周部的缺損、傷痕 等的缺陷或異物的附著等的處理步驟的生產(chǎn)量。


圖1為表示第一實(shí)施方式的圓板保持裝置中把持用可動(dòng)爪的把持部把 持晶片的外周部的狀態(tài)的說明圖。
圖2為表示將第一實(shí)施方式的圓板保持裝置的整體局部剖開的概略結(jié) 構(gòu)圖。圖3為表示將第一實(shí)施方式的圓板保持裝置的整體局部剖開的概略結(jié) 構(gòu)圖。
圖4為表示將相同圓板保持裝置的整體省略部分結(jié)構(gòu)的圖，且是表示
相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部的o形環(huán)抵接于外側(cè)環(huán)的狀態(tài)的立體圖。
圖5為與圖4同樣的圖，是表示相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部的O形環(huán)脫離外側(cè)環(huán) 的狀態(tài)的立體圖。
圖6為表示剖開圖4的一部分的放大立體圖。
圖7為從圖6的箭頭A方向來表示旋轉(zhuǎn)連結(jié)部件和連結(jié)柄的示意圖。 圖中，只表示旋轉(zhuǎn)連結(jié)部件及連結(jié)柄的前端部(箭頭A側(cè)端部)，向連結(jié)柄 的上部突出的連結(jié)柄的前端部則省略。
圖8A為表示連結(jié)部位于中間位置時(shí)卡合槽與卡合銷的卡合部的狀態(tài) 的動(dòng)作說明圖，圖8B為連結(jié)部位于第一位置和第二位置時(shí)卡合槽與卡合 銷的卡合部的狀態(tài)的動(dòng)作說明圖。
圖9A為表示把持解除部逐漸接近可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)部的柄的狀態(tài)的動(dòng)作說 明圖，圖9B為表示把持解除部卡合于同一柄的狀態(tài)的動(dòng)作說明圖。
圖IOA為表示連結(jié)部位于第一位置的狀態(tài)的動(dòng)作說明圖，圖IOB為表 示連結(jié)部位于中間位置的狀態(tài)的動(dòng)作說明圖，圖IOC為表示連結(jié)部位于第 二位置的狀態(tài)的動(dòng)作說明圖。
圖11為表示使被多個(gè)把持用可動(dòng)爪所把持的晶片旋轉(zhuǎn)，用四臺(tái)攝像 機(jī)來將該表面進(jìn)行拍攝的狀態(tài)的說明圖。
圖12為將第一實(shí)施方式的圓板保持裝置的整體局部剖開表示的概略 結(jié)構(gòu)圖。
圖13為表示第二實(shí)施方式的圓板保持裝置中把持用可動(dòng)爪的把持部 把持晶片的外周部的狀態(tài)的說明圖。
圖14A為表示第三實(shí)施方式的圓板保持裝置中把持解除部脫離可動(dòng)爪 驅(qū)動(dòng)部的柄的狀態(tài)的動(dòng)作說明圖，圖14B為表示把持解除部卡合于同一柄 的狀態(tài)的動(dòng)作說明圖。
圖15A為表示第四實(shí)施方式的圓板保持裝置中把持解除部脫離可動(dòng)爪 驅(qū)動(dòng)部的柄的狀態(tài)的動(dòng)作說明圖，圖15B為表示把持解除部卡合于同一柄 的狀態(tài)的動(dòng)作說明圖。
15圖16A為表示第五實(shí)施方式的圓板保持裝置中相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部的非動(dòng)
作狀態(tài)的動(dòng)作說明圖，圖16B為表示相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部的動(dòng)作狀態(tài)的動(dòng)作說 明圖。
圖17為表示第六實(shí)施方式的圓板保持裝置中使被多個(gè)把持用可動(dòng)爪 所把持的晶片旋轉(zhuǎn)，用三臺(tái)攝像機(jī)來將該表面進(jìn)行拍攝的狀態(tài)的說明圖。 標(biāo)號(hào)說明
1:晶片(圓板)
1A:缺口
la:上緣
lb:下緣
lc:上部
ld:下部
2:可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)部(可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu))
3:把持用可動(dòng)爪
3a:把持部
3b:凹面
3C: V形的錐面
3d:外端部
4:底座
5:內(nèi)側(cè)環(huán)
6:外側(cè)環(huán)
7:旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部(旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu))
8:電機(jī)(驅(qū)動(dòng)源)
9:皮帶輪
10:鋼帶(皮帶)
11:第一彈簧
12:柄
12a: —端部
12b:另一端部
12c:旋轉(zhuǎn)中心
1612d:基端部
13:固定銷
14:第二彈簧
15:連結(jié)部(連結(jié)機(jī)構(gòu))
16、 16A:相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部(相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生機(jī)構(gòu))
17:連結(jié)柄
17a:連結(jié)柄的前端部
18:卡合銷
19:旋轉(zhuǎn)傳遞部件
20:固定銷
21:第三彈簧
22、 22A:把持解除部(把持解除機(jī)構(gòu))
23:電機(jī)(第二驅(qū)動(dòng)源)
24:第一皮帶輪
25: O形環(huán)(摩擦皮帶)
26:第二皮帶輪
27:晶片載置臺(tái)
27a:支承面
30:皮帶輪
31:卡合部件
31a:卡合面
32:氣缸 33:線性導(dǎo)軌 61:環(huán)形齒輪 62:齒輪 63:電機(jī) 64:氣缸
71~73:攝像機(jī)
具體實(shí)施方式
以下，根據(jù)附圖來說明本發(fā)明具體化的各實(shí)施方式。此外，各實(shí)施方 式的說明中，對(duì)相同的部位附注相同的標(biāo)號(hào)，省略重復(fù)的說明。 (第一實(shí)施方式)
根據(jù)圖1~圖12來說明第一實(shí)施方式的圓板保持裝置及具備有圓板保
持裝置的缺陷異物檢測(cè)裝置。
該圓板保持裝置，如圖1和圖2所示，具備有多個(gè)把持用可動(dòng)爪3， 該多個(gè)把持用可動(dòng)爪3在內(nèi)端側(cè)分別具有抵接于有缺口 1A的圓板狀晶片1 的外側(cè)的把持部3a，在晶片1的周向以等間隔配置。本例中，設(shè)有六個(gè)把 持用可動(dòng)爪3 (參考圖4)。此外，圓板保持裝置，如圖1 圖3以及圖6 所示，具備有使多個(gè)把持用可動(dòng)爪3在把持位置與把持解除位置間在通過 晶片1的中心的徑向(晶片1的徑向)移動(dòng)的作為可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的可動(dòng) 爪驅(qū)動(dòng)部2。
此處，把持位置是指如圖1和圖10 (A)所示，各把持用可動(dòng)爪3的 把持部3a抵接于晶片1的外周部來把持(夾持)晶片1的位置。此外，把 持解除位置是指如圖10 (C)所示，各把持部3a脫離晶片1的外周部，解 除晶片1的把持的位置。
此外，如圖1和圖2所示，在圓板保持裝置上，設(shè)置從晶片1的背面 側(cè)將光照射向晶片1的外周側(cè)，檢測(cè)缺口 1A的位置的缺口檢測(cè)傳感器。 該缺口檢測(cè)傳感器是具備有照射被配置在晶片1的背面?zhèn)鹊募す獾鹊墓庠?90、及接收來自光源90的激光的受光部91，形成為該受光部91的光電輸 出的值與閾值進(jìn)行比較，以檢測(cè)出缺口 1A的有無及其位置。光源90和受 光部9構(gòu)成邊緣檢測(cè)機(jī)構(gòu)。也可以將光源90和受光機(jī)構(gòu)91分別替換為攝 像機(jī)，作為邊緣檢測(cè)機(jī)構(gòu)，根據(jù)攝像機(jī)的拍攝數(shù)據(jù)來檢測(cè)邊緣。
多個(gè)把持用可動(dòng)爪3的各把持部3a形成為在各把持部3a抵接于晶 片1的外周部而晶片1被多個(gè)把持用可動(dòng)爪3所把持的狀態(tài)下、晶片1被 保持在水平面內(nèi)并且晶片1的中心與晶片1的旋轉(zhuǎn)中心一致的形狀。具體， 如圖1所示，多個(gè)把持用可動(dòng)爪3的各把持部3a為抵接于晶片1的外周部 的上緣la及下緣lb的凹面3b。此外，即使多個(gè)把持用可動(dòng)爪3的任何一 個(gè)把持部3a以具有缺口 1A的部位來抵接于晶片1的外周部，來自光源90 的光也不會(huì)被把持部3a所遮擋，仍可以通過缺口 1A入射至受光部91。此外，圓板保持裝置，如圖2 圖6所示，具備有底座4、及可旋轉(zhuǎn)地 支承在底座4的內(nèi)側(cè)環(huán)5、及經(jīng)由軸承95 (參考圖6)可旋轉(zhuǎn)地被支承在 內(nèi)側(cè)環(huán)5的外側(cè)環(huán)6、及作為使內(nèi)側(cè)環(huán)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部 7。
如圖2 圖6所示，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部7具備作為驅(qū)動(dòng)源的電機(jī)8、被固定 在內(nèi)側(cè)環(huán)5的下部且可旋轉(zhuǎn)地被支承在底座4的皮帶輪9、與電機(jī)8的輸 出軸同軸配置且由電機(jī)8來進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的皮帶輪30、巻繞在皮帶輪9 與皮帶輪30上且將由電機(jī)8旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的皮帶輪30的旋轉(zhuǎn)傳遞至皮帶輪9 的鋼帶IO。當(dāng)電機(jī)8旋轉(zhuǎn)時(shí)，則旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部7的旋轉(zhuǎn)經(jīng)由皮帶輪30、鋼 帶10和皮帶輪9來傳遞，使與皮帶輪9一體的內(nèi)側(cè)環(huán)5旋轉(zhuǎn)。
如圖6所示，多個(gè)把持用可動(dòng)爪3形成為利用被配置在內(nèi)側(cè)環(huán)5的上 面的線性導(dǎo)軌33，朝向晶片1的徑向分別進(jìn)行直線移動(dòng)。此外，多個(gè)把持 用可動(dòng)爪3是利用第一彈簧11 (參考圖6)，分別往晶片1的徑向的外方 (往上述把持解除位置側(cè))被施力。圖6中，各把持用可動(dòng)爪3由可動(dòng)爪 驅(qū)動(dòng)部2朝向晶片1的直徑的中心被施力，位于抵抗第一彈簧11的作用 力而向晶片1的徑向的內(nèi)方位移的上述把持位置。
可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)部2，如圖2 圖6所示，構(gòu)成為使內(nèi)側(cè)環(huán)5與外側(cè)環(huán)6相 對(duì)旋轉(zhuǎn)，使各把持用可動(dòng)爪3在把持位置與把持解除位置之間移動(dòng)。本實(shí) 施方式中，可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)部2形成為相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5使外側(cè)環(huán)6在規(guī)定的角 度范圍進(jìn)行正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，而使各把持用可動(dòng)爪3在把持位置與把持解除位 置之間移動(dòng)。
該可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)部2具備可轉(zhuǎn)動(dòng)地被支承在外側(cè)環(huán)6上的多個(gè)柄12。如 圖6所示，各柄12的一端部12a分別抵接于所對(duì)應(yīng)的各把持用可動(dòng)爪3的 外端部3d。此外，可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)部2具備對(duì)應(yīng)于各柄12設(shè)置在外側(cè)環(huán)6上 的固定銷13及第二彈簧14。第二彈簧14被設(shè)置在各固定銷13與各柄12 的另一端部12b之間，可以經(jīng)由柄12利用大于第一彈簧作用力的作用力， 將把持用可動(dòng)爪3分別往晶片1的徑向內(nèi)方施力。
圖6中，各把持用可動(dòng)爪3位于抵抗第一彈簧11的作用力而朝向晶 片1的徑向內(nèi)方位移的上述把持位置。柄12的各一端部12a分別抵接于所 對(duì)應(yīng)的各把持用可動(dòng)爪3的外端部3d，利用第二彈簧14的作用力，使各把持用可動(dòng)爪3抵抗第一彈簧11的作用力而被保持在把持位置。
進(jìn)而，可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)部2具備將內(nèi)側(cè)環(huán)5與外側(cè)環(huán)6相連結(jié)并且限制外 側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5的旋轉(zhuǎn)角度范圍(內(nèi)側(cè)環(huán)5與外側(cè)環(huán)6的相對(duì)旋轉(zhuǎn) 角度范圍)的作為連結(jié)機(jī)構(gòu)的連結(jié)部15。此外，可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)部2具備使外 側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5的旋轉(zhuǎn)(外側(cè)環(huán)6與內(nèi)側(cè)環(huán)5的相對(duì)旋轉(zhuǎn))產(chǎn)生的 作為相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生機(jī)構(gòu)的相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16 (參考圖2)。
如圖6所示，連結(jié)部15構(gòu)成為能夠使外側(cè)環(huán)5與內(nèi)側(cè)環(huán)6的相對(duì)旋 轉(zhuǎn)在第一位置和第二位置之間進(jìn)行，所述第一位置是各柄12的一端部12a 按壓各把持用可動(dòng)爪3的外端部3d而將各把持用可動(dòng)爪3保持在把持位置 的位置(圖6和圖10 (A)所示的位置)，所述第二位置是解除各一端部 12a對(duì)各把持用可動(dòng)爪3的按壓、將各把持用可動(dòng)爪3保持在把持解除位 置的位置(參考圖10 (C))。
如圖6 圖8所示，連結(jié)部15具備可轉(zhuǎn)動(dòng)地被支承在內(nèi)側(cè)環(huán)5的連 結(jié)柄17、以及旋轉(zhuǎn)傳遞部件19,所述旋轉(zhuǎn)傳遞部件19被設(shè)置在外側(cè)環(huán)6 上，與同連結(jié)柄17成為一體的卡合銷18相卡合，將外側(cè)環(huán)6的正轉(zhuǎn)或反 轉(zhuǎn)傳遞至連結(jié)柄17。旋轉(zhuǎn)傳遞部件19是利用槽形成部件19b和槽形成部 件19c來形成卡合槽19a。本例子中，槽形成部件19b和槽形成部件19c為 獨(dú)立的，但也可以是槽形成部件19b與槽形成部件19c形成為一體來形成 卡合槽19a。在該旋轉(zhuǎn)傳遞部件19的卡合槽中卡合卡合銷18，形成為外 側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5的正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)、經(jīng)由旋轉(zhuǎn)傳遞部件19的卡合槽19a 與卡合銷18的卡合部傳遞至連結(jié)柄17。
此外，連結(jié)部15具有被設(shè)置在連結(jié)柄17的前端部17a與設(shè)置在內(nèi)側(cè) 環(huán)5上的固定銷20之間的第三彈簧21，構(gòu)成為利用該第三彈簧21，對(duì)應(yīng) 于外側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5的旋轉(zhuǎn)角度范圍，朝向圖10 (A)所示的第一 位置、或是圖10 (C)所示的第二位置的任何一個(gè)方向施力。
艮口，連結(jié)部15在位于圖6、圖8 (B)以及圖10 (A)所示的第一位 置的狀態(tài)下，以各柄12的一端部12a按壓各把持用可動(dòng)爪3的外端部3d 來將各把持用可動(dòng)爪3保持在把持位置的方式，保持外側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè) 環(huán)5的旋轉(zhuǎn)角度位置。該第一位置上，旋轉(zhuǎn)傳遞部件19的卡合槽端部19d 與和連結(jié)柄17成一體的卡合銷18相抵接來限制旋轉(zhuǎn)，以使外側(cè)環(huán)6不會(huì)
20從圖8 (B)和圖10 (A)所示的第一位置，更加往逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。同 時(shí)，因利用第三彈簧21的作用力，將卡合銷18按壓(逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)進(jìn) 行施力)到該位置，所以外側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5的位置保持在該第一位 置。也就是，連結(jié)部15具有將外側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5的相對(duì)旋轉(zhuǎn)位置 保持在圖8 (B)和圖10 (A)所示的第一位置的功能、及使外側(cè)環(huán)6不 會(huì)從該第一位置更加朝向逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)限制功能(阻擋功能)。
此外，外側(cè)環(huán)6利用后述的相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16，從圖6、圖8 (B) 以及圖10 (A)所示的位置，往順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，連結(jié)部15的連結(jié)柄17 則會(huì)超出死點(diǎn)位置(位于圖8 (A)和圖10 (B)所示的中間位置的狀態(tài))， 到達(dá)圖8 (B)和圖10 (C)所示的第二位置。外側(cè)環(huán)6朝向順時(shí)針方向旋 轉(zhuǎn)，連結(jié)柄17超出死點(diǎn)位置，第三彈簧21構(gòu)成為將外側(cè)環(huán)6朝向順時(shí)針 方向旋轉(zhuǎn)的方式施力。當(dāng)外側(cè)環(huán)6從第一位置移動(dòng)到第二位置時(shí)，卡合銷 18則在卡合槽19a內(nèi)從圖8 (B)的位置移動(dòng)到圖8 (A)的位置，然后再 次進(jìn)行返回圖8 (B)的位置的活塞運(yùn)動(dòng)。
因此，即使在第二位置，旋轉(zhuǎn)傳遞部件19的卡合槽端部19d與和連結(jié) 柄17成一體的卡合銷18仍會(huì)相抵接來限制旋轉(zhuǎn)，使外側(cè)環(huán)6不會(huì)從圖8 (B)和圖10 (C)所示的第二位置，更加朝向順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。同時(shí)， 因利用第三彈簧21的作用力，將卡合銷18按壓(逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)進(jìn)行施 力)到該位置，所以外側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5的位置保持在該第一位置。 也就是連結(jié)部15具有將外側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5的相對(duì)旋轉(zhuǎn)位置保持在 圖8 (B)和圖10 (C)所示的第二位置的功能、及使外側(cè)環(huán)6不會(huì)從該第 二位置，更加朝向順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)限制功能(阻擋功能)。
進(jìn)而，圓板保持裝置具備有圖9 (A)、圖9 (B)所示的作為把持解 除機(jī)構(gòu)的把持解除部22。該把持解除部22會(huì)在各把持部3a (參考圖1、 圖6)抵接于晶片1的外周部來把持晶片1的狀態(tài)下，在各把持用可動(dòng)爪 3與內(nèi)側(cè)環(huán)5和外側(cè)環(huán)6 —起進(jìn)行旋轉(zhuǎn)一周的期間，與多個(gè)柄12逐一依次 卡合，解除各柄12對(duì)各把持用可動(dòng)爪3的按壓，使位于把持位置的各把 持用可動(dòng)爪3逐一依次往把持解除位置位移。本例子中，把持解除部22 是由以支柱等固定在底座4上的卡合部件31所構(gòu)成(參考圖12)。
該卡合部件31被配置成該卡合面31a位于多個(gè)柄12的各另一端部12b
21的旋轉(zhuǎn)軌跡內(nèi)。在各把持用可動(dòng)爪3與內(nèi)側(cè)環(huán)5和外側(cè)環(huán)一起旋轉(zhuǎn)之間，
卡合部件31的卡合面31a與各柄12的另一端部12b依次卡合。利用此方 式，形成為各柄12從圖6和圖9 (A)所示的位置，抵抗第二彈簧14的 作用力，以轉(zhuǎn)動(dòng)中心12c為支點(diǎn)，往逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，解除各柄12對(duì)把持 用可動(dòng)爪3的按壓，位于把持位置的把持用可動(dòng)爪3逐一依次往把持解除 位置位移。
如圖2 圖5所示，相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16具備被配置在底座4上的被 配置在外側(cè)環(huán)6的外側(cè)的作為第二驅(qū)動(dòng)源的電機(jī)23、直接連結(jié)在電機(jī)23 的輸出軸，以該驅(qū)動(dòng)力來旋轉(zhuǎn)的第一皮帶輪24、利用電機(jī)23的旋轉(zhuǎn)，以 第一皮帶輪24的旋轉(zhuǎn)中心為支點(diǎn)來轉(zhuǎn)動(dòng)，并且可旋轉(zhuǎn)地支承的第二皮帶 輪26、及巻繞在兩皮帶輪24、 26的0形環(huán)(摩擦皮帶)25。
相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16會(huì)在連結(jié)部15位于圖10 (A)所示的第一位置而 各把持用可動(dòng)爪3位于把持位置的狀態(tài)下，電機(jī)23如同圖2反轉(zhuǎn)且第一 皮帶輪24反轉(zhuǎn)(如同圖2往逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn))，則第二皮帶輪26和O形環(huán) 25以第一皮帶輪24的旋轉(zhuǎn)中心為支點(diǎn)，往逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，0形環(huán)25則 如圖4所示抵接至外側(cè)環(huán)6的外側(cè)面。利用此方式，O形環(huán)的旋轉(zhuǎn)(反轉(zhuǎn)) 傳遞到外側(cè)環(huán)6，形成為使外側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5來從圖10 (A)所示 的位置往順時(shí)針方向，經(jīng)過圖10 (B)所示的位置，來到圖10 (C)所示 的位置為止，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
此外，相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16還會(huì)在連結(jié)部15位于圖10 (C)所示的第 二位置而各把持用可動(dòng)爪3位于把持解除位置的狀態(tài)下，電機(jī)23正轉(zhuǎn)且 第一皮帶輪24正轉(zhuǎn)(如同圖4往順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn))，則第二皮帶輪26和O 形環(huán)25以第一皮帶輪24的旋轉(zhuǎn)中心為支點(diǎn)，往順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，O形環(huán) 25如圖2所示抵接到外側(cè)環(huán)6的外周面。利用此方式，O形環(huán)25的旋轉(zhuǎn) (正轉(zhuǎn))傳遞至外側(cè)環(huán)6，形成為使外側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5來從圖10(C) 所示的位置往逆時(shí)針方向，經(jīng)過圖10 (B)所示的位置，來到圖10 (A) 所示的位置為止，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
此外，如圖2所示，圓板保持位置具備有在以多個(gè)支承面27a，支承 利用晶片輸送機(jī)器人等從外部輸送的晶片1的背面的支承位置(圖2所示 的位置)、與從該支承位置下降的退避位置之間，利用圖標(biāo)省略的氣缸等來進(jìn)行升降驅(qū)動(dòng)的晶片載置臺(tái)27。
進(jìn)而，如圖3和圖11所示，圓板保持裝置是在晶片1的表面?zhèn)群捅?面?zhèn)?，分別配置多臺(tái)(本例子為四臺(tái))的攝像機(jī)41 44及51 54 (參考圖 3)。本例子中，四臺(tái)攝像機(jī)41 44被固定在保持版45，與該保持板45 — 體的柄46在于利用圖示省略的氣缸等可進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)地配置在底座4上。 利用此方式，四臺(tái)攝像機(jī)41 44可以上下移動(dòng)，裝載晶片l仍不會(huì)造成妨
礙o
此外，如圖11所示，四臺(tái)攝像機(jī)41 44被配置成將沿著晶片1的徑 向的晶片1表面上不同的點(diǎn)41a 44a分別進(jìn)行拍攝。至于被配置在晶片1 的背面?zhèn)鹊臄z像機(jī)51 54，也是與攝像機(jī)41-44同樣，被配置成將沿著晶 片1的徑向的晶片1背面上不同的點(diǎn)分別進(jìn)行拍攝。
進(jìn)而，如圖12所示，圓板保持裝置在晶片1的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)?，?別配置一臺(tái)邊緣檢測(cè)傳感器97和98。邊緣檢測(cè)傳感器97配置成從晶片1 的上緣la的斜上外側(cè)來對(duì)晶片1的邊緣區(qū)域的上部進(jìn)行拍攝，邊緣檢測(cè)傳 感器98被配置成從晶片1的下緣lb的斜下外側(cè)來對(duì)晶片1的邊緣區(qū)域的 下部進(jìn)行拍攝，且邊緣檢測(cè)傳感器97和98均被配置成利用把持解除部22 來使把持用可動(dòng)爪3位移到把持解除位置的狀態(tài)下，對(duì)把持用可動(dòng)爪3的 各把持部所把持的晶片1的外周部進(jìn)行拍攝。此外，本例子中，被配置成 將邊緣檢測(cè)傳感器97和98對(duì)180度不同的晶片1的外周部的位置分別進(jìn) 行拍攝。利用此方式，邊緣檢測(cè)傳感器97和98不僅可以對(duì)晶片的邊緣進(jìn) 行拍攝，還可以對(duì)晶片的側(cè)面和周緣部進(jìn)行拍攝。即是邊緣檢測(cè)傳感器97 和98并不是只拍攝1點(diǎn)，而是利用點(diǎn)來將一定程度的范圍進(jìn)行拍攝，可 以檢査邊緣側(cè)面和周邊的一定區(qū)域。
此外，具備有上述第一實(shí)施方式的圓板保持裝置的缺陷異物檢測(cè)裝置 是如圖3所示，具備有檢測(cè)部47及攝像機(jī)44~44和51 54。第一實(shí)施方式 中。檢測(cè)部47及攝像機(jī)41~44和51-54構(gòu)成檢測(cè)出缺陷和異物的檢測(cè)裝 置。檢測(cè)部47在于連接到攝像機(jī)41~44和51~54，取得利用攝像機(jī)41 44 和51 54所拍攝的晶片1的表面和背面的圖像信息，根據(jù)所取得的信息， 用圖像解析裝置(未圖示)來施予圖像處理，進(jìn)行檢測(cè)出晶片1的表面和 背面的缺損、傷痕等的缺陷或異物的附著。
23此外，具備有上述第一實(shí)施方式的圓板保持裝置的缺陷異物檢測(cè)裝置
的檢測(cè)部47，也可以利用連接到圖12所示的邊緣檢測(cè)傳感器97和98 (未 圖示)，取得利用邊緣檢測(cè)傳感器97和98所拍攝的晶片1的邊緣上部和 邊緣下部的圖像信息，根據(jù)所取得的信息，用圖像解析裝置(未圖示)來 實(shí)施圖像處理，對(duì)于晶片l的外周部(邊緣上部和邊緣下部)進(jìn)行缺損、 傷痕等的缺陷或附著異物等的檢測(cè)。
其次，根據(jù)圖9 (A)、 9 (B)以及圖10 (A) ~圖10 (C)等，說明 具有以上的結(jié)構(gòu)的圓板保持裝置的動(dòng)作。
在將晶片1從外部輸送到圓板保持裝置之前，使晶片載置臺(tái)27上升 到圖2所示的位置。此時(shí)，連結(jié)部15位于圖10 (C)所示的第二位置， 而各把持用可動(dòng)爪3的外端部3d位于抵接于柄12的基端部12d(參考圖6) 的位置，各把持用可動(dòng)爪3則如圖10 (C)所示保持在把持解除位置。
在此狀態(tài)下，晶片1利用輸送機(jī)器人從外部輸送到圓板保持裝置，載 置到晶片載置臺(tái)27上。
其次，使相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16的電機(jī)23正轉(zhuǎn)。利用此方式，在連結(jié)部 15位于圖10 (C)所示的第二位置而各把持用可動(dòng)爪3位于把持解除位置 的狀態(tài)下，第一皮帶輪24正轉(zhuǎn)(如同圖4往順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn))，則第二皮 帶輪26和0形環(huán)25，以第一皮帶輪24的旋轉(zhuǎn)中心為支點(diǎn)，往順時(shí)針方向 轉(zhuǎn)動(dòng)，0形環(huán)25則如圖2所示抵接到外側(cè)環(huán)6的外周面。利用此方式，O 形環(huán)25的旋轉(zhuǎn)(正轉(zhuǎn))傳遞到外側(cè)環(huán)6，外側(cè)環(huán)6則相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5從圖 10 (C)所示的位置，往逆時(shí)針方向，經(jīng)過圖10 (B)所示的位置，來到 圖10 (A)所示的位置，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。利用此方式，各柄12的一端部12a 抵接到各把持用可動(dòng)爪3的外端部3d，各把持用可動(dòng)爪3利用第二彈簧 14來施力，而如圖10 (A)所示，移動(dòng)到把持位置。該把持位置在于連結(jié) 部15位于第一位置，各把持用可動(dòng)爪3利用連結(jié)部15來保持在把持位置。
以此方式，在晶片1被多個(gè)把持用可動(dòng)爪3所把持的狀態(tài)下，使電機(jī) 8旋轉(zhuǎn)，則該旋轉(zhuǎn)經(jīng)由皮帶輪30和鋼帶10傳遞到皮帶輪9，內(nèi)側(cè)環(huán)、多 個(gè)把持用可動(dòng)爪3以及晶片1則旋轉(zhuǎn)。
在以這方式使晶片旋轉(zhuǎn)一周的狀態(tài)下，用攝像機(jī)41 44和51~54來將 該表面和背面分別進(jìn)行拍攝。此外，所拍攝的圖像信息經(jīng)由缺陷異物檢測(cè)裝置，發(fā)送給圖像解析裝置，施予以圖像處理，進(jìn)行檢測(cè)出晶片l的表面 和背面的缺損、傷痕等的缺陷或異物的附著等。
此時(shí)，在晶片1進(jìn)行旋轉(zhuǎn)一周期間，把持解除部22則如圖9 (B)所 示，與多個(gè)柄12逐一依次卡合，解除各柄12對(duì)各把持用可動(dòng)爪3的按壓， 使位于把持位置的各把持用可動(dòng)爪3逐一依次往把持解除位置位移。以此 方式逐一依次移往把持解除位置的各把持用可動(dòng)爪3，通過把持解除部22， 則利用第二彈簧14的作用力，再次往把持位置分別進(jìn)行位移。
此外，在上述各把持用可動(dòng)爪3往把持解除位置位移期間，用邊緣檢 測(cè)傳感器97和98，對(duì)利用把持用可動(dòng)爪3所把持的晶片1的外周部的邊 緣上部和邊緣下部分別進(jìn)行拍攝，且在晶片1旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，用邊緣檢測(cè) 傳感器97和98，對(duì)晶片l全周的邊緣上部和邊緣下部分別進(jìn)行拍攝。此 外，所拍攝的圖像信息經(jīng)由缺陷異物檢測(cè)裝置，發(fā)送給圖像解析裝置，施 予以圖像處理，對(duì)于晶片1的外周部(邊緣上部和邊緣下部)進(jìn)行缺損、 傷痕等的缺陷或異物的附著等檢測(cè)。
結(jié)束攝像機(jī)41-44和51 54對(duì)晶片1的表面和背面的拍攝、以及邊緣 檢測(cè)傳感器97和98對(duì)晶片1的邊緣上部和邊緣下部的拍攝，從圓板保持 裝置上取下晶片1時(shí)，使相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16的電機(jī)23如同圖2進(jìn)行反轉(zhuǎn)， 而使第一皮帶輪24反轉(zhuǎn)(如同圖2往逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn))。利用此方式，第 二皮帶輪26和O形環(huán)25以第一皮帶輪24的旋轉(zhuǎn)中心為支點(diǎn)，往逆時(shí)針方 向轉(zhuǎn)動(dòng)，0形環(huán)25則如圖3所示抵接到外側(cè)環(huán)6的外周面。利用此方式， 0形環(huán)25的旋轉(zhuǎn)(反轉(zhuǎn))傳遞至外側(cè)環(huán)6，使外側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán)5來 從圖10 (C)所示的位置往順時(shí)針方向，經(jīng)過圖10 (B)所示的位置，到 圖10 (C)所示的位置為止，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
利用此方式，各把持用可動(dòng)爪3的外端部3d抵接到各柄12的基端部 12d，各把持用可動(dòng)爪3利用第一彈簧11的作用力，如圖IO (C)所示， 移動(dòng)到把持解除位置。該把持解除位置在于連結(jié)部15位于第二位置，各 把持用可動(dòng)爪3利用連結(jié)部5來保持在把持解除位置。
在以此方式解除各把持用可動(dòng)爪3對(duì)晶片1的把持的狀態(tài)下，將晶片 1輸送到下一個(gè)步驟。
依據(jù)以上所構(gòu)成的第一實(shí)施方式，會(huì)達(dá)到以下的作用效果。
25(1) 因使位于多個(gè)把持用可動(dòng)爪3的內(nèi)端側(cè)的各把持部3a抵接到晶 片1的外周側(cè)來把持晶片1，所以用由光源90及受光部91所組成的缺口 檢測(cè)傳感器，檢測(cè)出缺口 1A (參考圖1)時(shí)，即使多個(gè)把持用可動(dòng)爪3的 任何一個(gè)把持部3a以有缺口 1A的部位抵接在晶片1的外周部，來自光源 的光不會(huì)被把持部3a所遮擋，仍可以通過缺口 1A射入至受光部。利用此 方式，與滑動(dòng)臂作比較，以有缺口 1A的部位來抵接在晶片1的外周部的 情況，可以防止把持用可動(dòng)爪3遮隱到缺口 1A，可以可靠地檢測(cè)出缺口 1A的位置。
(2) 即使有缺口 1A的部位把持晶片1的情況，仍不必經(jīng)過重新把持 晶片1的動(dòng)作，也就是不必改變把持用可動(dòng)爪3與缺口 1A的相對(duì)位置的 動(dòng)作，縮短處理步驟的時(shí)間，生產(chǎn)量則會(huì)提高。
(3) 因晶片1的表面和背面受到多個(gè)把持用可動(dòng)爪3的各把持部3a 所遮隱的面積很少，所以配置將晶片1的表面和背面分別進(jìn)行拍攝的攝像 機(jī)，同時(shí)一次就可以對(duì)晶片1的兩面進(jìn)行拍攝。
(4) 可以在晶片1被多個(gè)把持用可動(dòng)爪3所把持的狀態(tài)下，使多個(gè) 把持用可動(dòng)爪3與晶片1，在水平面內(nèi)，以晶片1的中心為旋轉(zhuǎn)中心，一 體地旋轉(zhuǎn)。利用此方式，與真空吸附作比較，晶片l不會(huì)扭曲變形，可以 用多個(gè)把持用可動(dòng)爪3來可靠地保持晶片1。
(5) 因多個(gè)把持用可動(dòng)爪3的各把持部3a的凹面3b分別抵接到圓板 的外周部的上緣la及下緣lb來把持晶片1，所以可以用各把持部3a來可 靠地把持晶片l。
(6) 因可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)部2使內(nèi)側(cè)環(huán)5相對(duì)外側(cè)環(huán)6旋轉(zhuǎn)，而使各把持 用可動(dòng)爪3在把持位置與把持解除位置之間移動(dòng)，所以可以將可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng) 部2的驅(qū)動(dòng)部配置在外側(cè)環(huán)6與內(nèi)側(cè)環(huán)5的外側(cè)。利用此方式，可以把持 晶片1進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，用攝像機(jī)同時(shí)對(duì)晶片1的兩面進(jìn)行拍攝仍不會(huì)造成妨礙。 也就是將使多個(gè)把持用可動(dòng)爪旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)部，具備在如同屬于內(nèi)側(cè)環(huán)或外 側(cè)環(huán)(旋轉(zhuǎn)側(cè))的可動(dòng)部分進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的物體，則會(huì)發(fā)生配線或配管的扭曲 或截?cái)嗟膯栴}。為了要防止這點(diǎn)，需要予以返回圓板已旋轉(zhuǎn)的量，即是會(huì) 對(duì)旋轉(zhuǎn)量產(chǎn)生限制。消除這樣的繁瑣，可以實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的機(jī)構(gòu)。
(7) 連結(jié)部15位于第一位置時(shí)，各把持用可動(dòng)爪3受到各柄12的一端部12a所按壓而被保持在把持位置，連結(jié)部15位于第二位置時(shí)，各把 持用可動(dòng)爪3解除各柄12的一端部12a所施加的按壓而保持在把持解除位 置。利用此方式，可以在連結(jié)部15位于第一位置時(shí)，將各把持用可動(dòng)爪3 可靠地保持在把持位置，且可以在連結(jié)部15位于第二位置時(shí)，將各把持 用可動(dòng)爪3可靠地保持在把持解除位置。
(8) 形成為在各把持用可動(dòng)爪3與內(nèi)側(cè)環(huán)5和外側(cè)環(huán)6 —起進(jìn)行旋 轉(zhuǎn)一周的期間，卡合部件31的卡合面31a與各柄12的另一端部12b依次 卡合，解除各柄12對(duì)各把持用可動(dòng)爪3的按壓，使位于把持位置的各把 持用可動(dòng)爪3逐一依次往把持解除位置位移。利用此方式，用攝像機(jī)來將 晶片1的表面和背面分別進(jìn)行拍攝時(shí)、或用邊緣檢測(cè)傳感器來將晶片1的 邊緣上部和邊緣下部分別進(jìn)行拍攝時(shí)，就連多個(gè)把持用可動(dòng)爪3的各把持 部3a所把持的晶片l的各部位的缺損、傷痕、異物的附著等的圖像信息， 也可用攝像機(jī)來取得。此外，具有小缺口 1A的晶片1的情況(例如，具 有缺口 1A受到把持用可動(dòng)爪3所隱蔽的小缺口 1A的晶片1的情況)，即 使以有缺口 1A的部位來抵接在晶片1的外周部，當(dāng)把持用可動(dòng)爪3為把 持解除位置的狀態(tài)時(shí)，來自卯的光不會(huì)被把持部3a所遮擋，仍可以通過 缺口 1A入射至受光部91。利用此方式，可以可靠地檢測(cè)出缺口 1A的位置。
(9) 因使外側(cè)環(huán)6相對(duì)內(nèi)側(cè)環(huán)5旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16的電 機(jī)23配置在外側(cè)環(huán)6的外側(cè)，所以當(dāng)進(jìn)入旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的電機(jī)的內(nèi)側(cè)的情 況會(huì)發(fā)生復(fù)雜的配線或配管的扭曲或斷裂的問題。為了要防止這點(diǎn)，予以 返回圓板已旋轉(zhuǎn)的量，即可以實(shí)現(xiàn)不會(huì)有對(duì)旋轉(zhuǎn)量產(chǎn)生限制繁瑣的簡(jiǎn)單的 結(jié)構(gòu)。
(10) 因具備有支承利用晶片輸送機(jī)器人等從外部輸送到裝置內(nèi)的晶 片1的背面的晶片載置臺(tái)27，所以會(huì)在晶片載置臺(tái)27支承晶片1的狀態(tài) 下，使多個(gè)把持用可動(dòng)爪3往晶片1的徑向內(nèi)方移動(dòng)，利用各把持用可動(dòng) 爪3的各把持部3a，可以安全地把持晶片1的外周部。
(11) 因在晶片1的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)?，分別配置四臺(tái)攝像機(jī)41 44及 51 54，所以同時(shí)一次就可以將晶片1的表面和背面進(jìn)行拍攝。此外，因 將把持用可動(dòng)爪3的各把持部3a抵接在晶片1的外周部來把持晶片1，所 以可以把持晶片1進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，用攝像機(jī)41 44和51-54同時(shí)將晶片1的兩
27面進(jìn)行拍攝仍不會(huì)造成妨礙。此外，可以縮短晶片1的兩面的圖像信息的 取得步驟的時(shí)間，提高利用所取得的圖像信息來檢測(cè)出晶片1的兩面的缺 損、傷痕等的缺陷或異物的附著等的處理步驟的生產(chǎn)量。
(12)因在晶片1的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)龋謩e配置一臺(tái)邊緣檢測(cè)傳感器
97和98，所以可以同時(shí)將晶片1的邊緣上部和邊緣下部進(jìn)行拍攝。進(jìn)而， 在各把持用可動(dòng)爪3往把持解除位置位移之間，用邊緣檢測(cè)傳感器97和 98，將利用把持用可動(dòng)爪3所把持的晶片1的外周部的邊緣上部和邊緣下 部分別進(jìn)行拍攝，且可以在晶片1旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，用邊緣檢測(cè)傳感器97 和98，將晶片l全周的邊緣上部和邊緣下部分別進(jìn)行拍攝。利用此方式， 可以縮短晶片1的邊緣上部和邊緣下部的圖像信息的取得步驟的時(shí)間，提 高利用取得的圖像信息所檢測(cè)出晶片1的外周部的缺損、傷痕等的缺陷或 異物的附著等的處理步驟的生產(chǎn)量。 (第二實(shí)施方式)
其次，根據(jù)圖13來說明本發(fā)明的第二實(shí)施方式的圓板保持裝置及具 備有圓板保持裝置的缺陷異物檢測(cè)裝置。
第二實(shí)施方式的圓板保持裝置及具備有圓板保持裝置的缺陷異物檢 測(cè)裝置，其特征點(diǎn)為多個(gè)把持用可動(dòng)爪3的各把持部3a為分別抵接于晶 片1的外周部的上部lc及下部ld的V形的錐面3c。
因各把持部3a的V形的錐面3c分別抵接于圓板的外周部的上部lc及 下部ld來把持圓板，所以可以可靠地把持圓板。
依據(jù)這種構(gòu)成的第二實(shí)施方式，不但達(dá)到上述第一實(shí)施方式所達(dá)到的 作用效果，而且，因各把持部3a的V形的錐面3c分別抵接于晶片1的外周 部的上部lc及下部ld來把持晶片1，所以還會(huì)達(dá)到可以可靠地把持晶片1 的作用效果。
(第三實(shí)施方式)
其次，根據(jù)圖14 (A)、 14 (B)圖來說明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的圓 板保持裝置及具備有圓板保持裝置的缺陷異物檢測(cè)裝置。
第三實(shí)施方式的圓板保持裝置及具備有圓板保持裝置的缺陷異物檢 測(cè)裝置，是如圖9 (A)、 9 (B)圖所示的上述第一實(shí)施方式，其特征點(diǎn)為 設(shè)置把持解除部件22A來取代把持解除部22。該把持解除部22A具備有卡合部件31及使該卡合部件31前進(jìn)后退的 氣缸32。該把持解除部22在于利用氣缸32使卡合部件31從圖14 (A) 圖所示的退避位置位移到圖14 (B)所示的卡合位置，卡合部件31的卡 合面31a則位于多個(gè)柄12的各另一端部12b的旋轉(zhuǎn)軌跡內(nèi)。利用此方式， 在各把持用可動(dòng)爪3與內(nèi)側(cè)環(huán)5和外側(cè)環(huán)6 —起迸行旋轉(zhuǎn)一周期間，卡合 部件31的卡合面31a與多個(gè)柄12的各另一端部12b依次卡合。利用此方 式，形成為各柄12從圖6和圖9 (A)所示的位置，抵抗第二彈簧14的 作用力，以轉(zhuǎn)動(dòng)中心12c為支點(diǎn)，往逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動(dòng)，解除各柄12對(duì)把持 用可動(dòng)爪3的按壓，位于把持位置的各把持用可動(dòng)爪3則逐一依次往把持 解除位置位移。
(第四實(shí)施方式)
其次，根據(jù)圖15 (A)、 15 (B)圖來說明本發(fā)明的第四實(shí)施方式的圓 板保持裝置及具備有圓板保持裝置的缺陷異物檢測(cè)裝置。
第四實(shí)施方式的圓板保持裝置及具備有圓板保持裝置的缺陷異物檢 測(cè)裝置，其特征點(diǎn)為設(shè)置相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16A來取代上述第一實(shí)施方式 的相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16。
該相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16A具備有被固定在外側(cè)環(huán)6的外周的圓環(huán)80、及 抵接于該圓環(huán)80的外周面，用來固定外側(cè)環(huán)6的卡合部件81、及使該卡 合部件80前進(jìn)后退的氣缸82。
相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16A在于利用氣缸82來使卡合部件81從圖15 (A) 所示的退避位置移位到圖15 (B)所示的位置來固定外側(cè)環(huán)6。形成為在 此狀態(tài)下，使內(nèi)側(cè)環(huán)5以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部7的電機(jī)8進(jìn)行正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，以使內(nèi) 側(cè)環(huán)5相對(duì)于外側(cè)環(huán)6進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，而使把持用可動(dòng)爪3在圖15 (A)所示 的把持位置與圖15 (B)所示的把持解除位置之間進(jìn)行切換。
如圖15 (A)所示，在各把持用可動(dòng)爪3被保持在把持位置的狀態(tài)下， 利用氣缸82使卡合部件81位移到圖15 (B)所示的位置為止，卡合部件 31的卡合面31a則會(huì)抵接于圓環(huán)80的外周面而固定外側(cè)環(huán)6(變成無法旋 轉(zhuǎn))。在此狀態(tài)下，使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部7的電機(jī)8反轉(zhuǎn)，使內(nèi)側(cè)環(huán)5從圖15 (A) 所示的位置，相對(duì)于外側(cè)環(huán)6來往逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，變成圖15 (B)所示 的狀態(tài)。利用此方式，把持用可動(dòng)爪3切換到圖15 (B)所示的把持解除
29位置，保持在該位置。
與此相反，如圖15 (B)所示，在各把持用可動(dòng)爪3被保持在把持解
除位置的狀態(tài)下，利用氣缸82使卡合部件81位移到圖15 (B)所示的位 置為止，卡合部件31的卡合面3la則會(huì)抵接于圓環(huán)80的外周面而固定外 側(cè)環(huán)6。在此狀態(tài)下，使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的電機(jī)8正轉(zhuǎn)，使內(nèi)側(cè)環(huán)5從圖15 (B) 所示的位置，相對(duì)于外側(cè)環(huán)6來往順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，變成圖15 (A)所示 的狀態(tài)。利用此方式，把持用可動(dòng)爪3切換到圖15 (A)所示的把持位置， 保持在該位置。
依據(jù)以上構(gòu)成的第四實(shí)施方式，不但達(dá)到上述第一實(shí)施方式所達(dá)到的 作用效果，又因使內(nèi)側(cè)環(huán)5相對(duì)于外側(cè)環(huán)6進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，利用旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部7 的電機(jī)8來作為在把持位置與把持解除位置之間切換多個(gè)把持用可動(dòng)爪3 的相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16A的驅(qū)動(dòng)源，所以在相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16A不必專用的 驅(qū)動(dòng)源。利用此方式，可以達(dá)到結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單化及降低制造成本的作用效果。 (第五實(shí)施方式)
其次，根據(jù)圖16 (A)、 16 (B)圖來說明本發(fā)明的第五實(shí)施方式的圓 板保持裝置及具備有圓板保持裝置的缺陷異物檢測(cè)裝置。
第五實(shí)施方式的圓板保持裝置及具備有圓板保持裝置的缺陷異物檢 測(cè)裝置，其特征點(diǎn)為設(shè)置相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16B來取代上述第一實(shí)施方式 的相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16。
該相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16B具備有被固定在外側(cè)環(huán)6的外周的環(huán)形齒輪 61、及與該環(huán)形齒輪61相嚙合的齒輪62、及可與該齒輪62 —起移動(dòng)地設(shè) 置并使齒輪62正反轉(zhuǎn)的電機(jī)63、及使齒輪62和電機(jī)63前進(jìn)后退的氣缸 64。
相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16B在于一面用電機(jī)63來使齒輪62正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，一 面利用氣缸64來使齒輪62和電機(jī)63從圖16 (A)圖所示的退避位置位 移到圖16 (B)所示的嚙合位置。
如圖16 (A)圖所示，在各把持用可動(dòng)爪3被保持在把持位置的狀態(tài) 下， 一面用電機(jī)63來使齒輪62反轉(zhuǎn)(往逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn))， 一面利用氣 缸64來使齒輪62和電機(jī)63位移到圖16 (B)所示的嚙合位置，齒輪62 則會(huì)與環(huán)形齒輪61相嚙合。利用此方式，因環(huán)形齒輪61從圖16 (A)圖所示的位置往順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，所以與環(huán)形齒輪61 —體的外側(cè)環(huán)6相對(duì) 于內(nèi)側(cè)環(huán)5往順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)到圖16 (B)所示的位置。利用此方式，各 把持用可動(dòng)爪3如圖16 (B)所示切換到把持解除位置，保持在該位置。
與此相反，如圖16 (B)所示，在各把持用可動(dòng)爪3被保持在把持解 除位置的狀態(tài)下， 一面用電機(jī)63來使齒輪62正轉(zhuǎn)(往順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn))， 一面利用氣缸64來使齒輪62和電機(jī)63位移到圖16 (B)所示的嚙合位 置為止，齒輪62則會(huì)與環(huán)形齒輪61相嚙合。利用此方式，因環(huán)形齒輪61 從圖16 (B)所示的位置往逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，所以外側(cè)環(huán)6相對(duì)于內(nèi)側(cè)環(huán) 5往逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)到圖16 (A)圖所示的位置。利用此方式，各把持用 可動(dòng)爪3如圖16 (A)圖所示切換到把持位置，保持在該位置。
依據(jù)以上構(gòu)成的第五實(shí)施方式，不但達(dá)到上述第一實(shí)施方式所達(dá)到的 作用效果，又因一面用相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生部16B的電機(jī)63來使齒輪62正轉(zhuǎn)或 反轉(zhuǎn)， 一面利用氣缸64來使齒輪62和電機(jī)63從圖16 (A)圖所示的退 避位置位移到圖16 (B)所示的位置為止，所以還會(huì)達(dá)到可以使齒輪62 可靠地與環(huán)形齒輪61相嚙合的作用效果。 (第六實(shí)施方式)
其次，根據(jù)圖17來說明本發(fā)明的第六實(shí)施方式的圓板保持裝置及具 備有圓板保持裝置的缺陷異物檢測(cè)裝置。
第六實(shí)施方式的圓板保持裝置及具備有圓板保持裝置的缺陷異物檢 測(cè)裝置，設(shè)置將晶片1的表面進(jìn)行拍攝的三臺(tái)攝像機(jī)71 73和將背面進(jìn)行 拍攝的三臺(tái)攝像機(jī)(圖示省略)，以取代上述第一實(shí)施方式中，將晶片1 的表面和背面分別進(jìn)行拍攝的四臺(tái)攝像機(jī)41-44和攝像機(jī)51~54。
該圓板保持裝置及具備有圓板保持裝置的缺陷異物檢測(cè)裝置，其特征 點(diǎn)為在晶片1進(jìn)行旋轉(zhuǎn)一周期間，對(duì)晶片1的表面進(jìn)行拍攝的三臺(tái)攝像 機(jī)71 73和對(duì)背面進(jìn)行拍攝的三臺(tái)攝像機(jī)的移動(dòng)方法。
艮P，攝像機(jī)71以移動(dòng)軌跡成為軌跡85的方式往徑向移動(dòng)，攝像機(jī)72 以移動(dòng)軌跡成為軌跡86的方式往徑向移動(dòng)，然后攝像機(jī)73以移動(dòng)軌跡成 為軌跡87的方式維持固定，使將表面拍攝的三臺(tái)攝像機(jī)71~73所拍攝的 面積大致相同。攝像機(jī)73是將晶片1最外側(cè)的帶狀的區(qū)域進(jìn)行拍攝。至 于將背面拍攝的三臺(tái)攝像機(jī)，也是與將表面拍攝的三臺(tái)攝像機(jī)71 73的方
31式移動(dòng)。
依據(jù)以上結(jié)構(gòu)的第六實(shí)施方式，不但達(dá)到上述第一實(shí)施方式所達(dá)到的
作用效果，還使攝像機(jī)71 73移動(dòng)(惟，攝像機(jī)73維持固定)，使將表面 拍攝的三臺(tái)攝像機(jī)71 73所拍攝的面積大致相同，又將背面拍攝的三臺(tái)攝 像機(jī)，也是與將表面拍攝的三臺(tái)攝像機(jī)71 73的方式移動(dòng)。因而，各攝像 機(jī)所拍攝的拍攝信息的信息量大致相同，可以提高圖像信息的處理速度， 達(dá)到生產(chǎn)量提高的作用效果。
此外，本發(fā)明也可以如同以下進(jìn)行變更來予以具體化。 上述實(shí)施方式中是使用多臺(tái)攝像機(jī)來取得晶片的表面和背面的信息， 不過也可以利用OCR (Optical Character Reader)等的光學(xué)式字符讀取裝 置來取代多臺(tái)攝像機(jī)，以取得晶片的表面和背面的ID信息等。
權(quán)利要求
1.一種圓板保持裝置，其特征在于，具備多個(gè)把持用可動(dòng)爪，其在內(nèi)端側(cè)分別具有抵接于具有缺口的圓板的外周部的把持部，并且沿所述圓板的周向以等間隔配置；以及可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪在各把持用可動(dòng)爪的所述把持部抵接于所述圓板的外周部的把持位置、與所述把持部離開所述外周部的把持解除位置之間沿著通過所述圓板的中心的徑向移動(dòng)。
2. 如權(quán)利要求1所述的圓板保持裝置，其特征在于， 所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部形成為如下形狀，即，在所述各把持部抵接于所述圓板的外周部而所述圓板被所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪所把 持的狀態(tài)下，所述圓板被保持在水平面內(nèi)，并且所述圓板的中心與該圓板 的旋轉(zhuǎn)中心一致。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的圓板保持裝置，其特征在于， 所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部為抵接于所述圓板的外周部的上緣及下緣的凹面。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的圓板保持裝置，其特征在于， 所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各把持部為分別抵接于所述圓板的外周部的上部及下部的V形的錐面。
5. 如權(quán)利要求1至4的任一項(xiàng)所述的圓板保持裝置，其特征在于， 具備被支承在底座并能夠旋轉(zhuǎn)的內(nèi)側(cè)環(huán)、被支承在所述內(nèi)側(cè)環(huán)并能夠旋轉(zhuǎn)的外側(cè)環(huán)、及使所述內(nèi)側(cè)環(huán)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述外側(cè)環(huán)相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)環(huán)進(jìn)行正反轉(zhuǎn)，以 使所述各把持用可動(dòng)爪在所述把持位置與所述把持解除位置之間移動(dòng)。
6. 如權(quán)利要求5所述的圓板保持裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具備驅(qū)動(dòng)源、與所述內(nèi)側(cè)環(huán)一體被支承在所述底座并能夠旋轉(zhuǎn)的皮帶輪、及將所述驅(qū)動(dòng)源的旋轉(zhuǎn)傳遞至所述皮帶輪的皮 帶。
7. 如權(quán)利要求1至6的任一項(xiàng)所述的圓板保持裝置，其特征在于， 所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪分別由第一彈簧向所述徑向外方施力，所述可動(dòng)爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具備多個(gè)柄，其按照分別以一端部抵接于所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪的各外端 部的方式，被支承在所述外側(cè)環(huán)上并能夠轉(zhuǎn)動(dòng)；第二彈簧，其被設(shè)置在所述多個(gè)柄的另一端部與設(shè)置在所述外側(cè)環(huán)上 的固定銷之間，利用所述多個(gè)柄的一端部，以大于所述第一彈簧的作用力 的作用力，對(duì)所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪分別向所述徑向的內(nèi)方施力；連結(jié)機(jī)構(gòu)，其將所述內(nèi)側(cè)環(huán)與所述外側(cè)環(huán)連結(jié)，并且限制所述內(nèi)側(cè)環(huán) 與所述外側(cè)環(huán)的相對(duì)旋轉(zhuǎn)角度；以及相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，其使所述內(nèi)側(cè)環(huán)與所述外側(cè)環(huán)相對(duì)旋轉(zhuǎn)。
8. 如權(quán)利要求7所述的圓板保持裝置，其特征在于， 所述連結(jié)機(jī)構(gòu)在第一位置和第二位置之間限制所述內(nèi)側(cè)環(huán)與所述外側(cè)環(huán)相對(duì)旋轉(zhuǎn)的角度，所述第一位置是所述多個(gè)柄的各一端部按壓所述多 個(gè)把持用可動(dòng)爪而將各把持用可動(dòng)爪保持在所述把持位置的位置，所述第 二位置是解除所述各一端部對(duì)所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪的按壓而將所述多 個(gè)把持用可動(dòng)爪保持在所述把持解除位置的位置。
9. 如權(quán)利要求8所述的圓板保持裝置，其特征在于， 所述連結(jié)機(jī)構(gòu)具備柄，其被支承在所述內(nèi)側(cè)環(huán)并能夠轉(zhuǎn)動(dòng)；旋轉(zhuǎn)傳遞部件，其被設(shè)置在所述外側(cè)環(huán)上，與該柄相卡合，而將所述 外側(cè)環(huán)相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)環(huán)的正轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)傳遞至所述柄；以及第三彈簧，其被設(shè)置在所述柄的前端部與設(shè)置在所述內(nèi)側(cè)環(huán)上的固定銷之間，對(duì)所述柄以死點(diǎn)為中心在所述第一位置與所述第二位置之間能夠 轉(zhuǎn)動(dòng)地進(jìn)行施力。
10. 如權(quán)利要求7所述的圓板保持裝置，其特征在于， 具備把持解除機(jī)構(gòu)，所述把持解除機(jī)構(gòu)在所述各把持部抵接于所述圓板的外周部而所述圓板被把持的狀態(tài)下，在所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪與所述 內(nèi)側(cè)環(huán)和外側(cè)環(huán)一起旋轉(zhuǎn)一周的期間，逐一依次與所述多個(gè)柄相卡合，解 除各柄對(duì)所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪的按壓，逐一依次使位于所述把持位置的 所述多個(gè)把持用可動(dòng)爪向所述把持解除位置位移。
11. 如權(quán)利要求7所述的圓板保持裝置，其特征在于，所述相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，具備配置在所述外側(cè)環(huán)的周圍的第 二驅(qū)動(dòng)源、及利用該驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)力進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的摩擦皮帶，通過使所述摩 擦皮帶與所述外側(cè)環(huán)的外周接觸，相對(duì)于所述內(nèi)側(cè)環(huán)使所述外側(cè)環(huán)進(jìn)行正 反轉(zhuǎn)。
12. 如權(quán)利要求7所述的圓板保持裝置，其特征在于， 所述相對(duì)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，具備配置在所述外側(cè)環(huán)的周圍的第二驅(qū)動(dòng)源、由該驅(qū)動(dòng)源被驅(qū)動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的齒輪、以及固定在所述外側(cè)環(huán)的 外周的環(huán)形齒輪，通過使所述齒輪與所述環(huán)形齒輪相嚙合，相對(duì)于所述內(nèi) 側(cè)環(huán)使所述外側(cè)環(huán)進(jìn)行正反轉(zhuǎn)。
13. 如權(quán)利要求7所述的圓板保持裝置，其特征在于，具備晶片載置臺(tái)， 所述晶片載置臺(tái)能夠在支承從外部所輸送的所述圓板的背面的支承位置 和從該支承位置下降的退避位置之間進(jìn)行升降。
14. 一種缺陷異物檢測(cè)裝置，其特征在于，具備 權(quán)利要求7所述的圓板保持裝置；配置在能夠?qū)λ鰣A板的表面和背面進(jìn)行拍攝的位置的多個(gè)攝像機(jī)；以及檢測(cè)部，其根據(jù)所述攝像機(jī)所拍攝的圖像信息，檢測(cè)所述圓板的表面 上和背面上的缺陷及異物的附著。
15. 如權(quán)利要求14所述的缺陷異物檢測(cè)裝置，其特征在于，具備 對(duì)所述圓板的外周部進(jìn)行拍攝的邊緣檢測(cè)機(jī)構(gòu)；以及檢測(cè)部，其根據(jù)由表面?zhèn)人邆涞乃鲞吘墮z測(cè)機(jī)構(gòu)所拍攝的所述圓 板的外周部的上緣和上部側(cè)的圖像信息、以及由背面?zhèn)人邆涞乃鲞吘?檢測(cè)機(jī)構(gòu)所拍攝的所述圓板的外周部的下緣和下部側(cè)的圖像信息，檢測(cè)所 述圓板的外周部的缺陷及異物的附著。
全文摘要
圓板保持裝置具備多個(gè)把持用可動(dòng)爪(3)，該多個(gè)把持用可動(dòng)爪(3)在內(nèi)端側(cè)具有抵接于具有缺口(1A)的晶片(1)的外周部的把持部(3a)，沿晶片(1)的周向配置。使位于各把持用可動(dòng)爪(3)的內(nèi)端側(cè)的各把持部(3a)抵接于晶片(1)的外周側(cè)來把持晶片(1)，在用由光源及受光部所組成的傳感器來檢測(cè)出缺口時(shí)，即使任何一個(gè)把持部(3a)以具有缺口的部位來抵接于晶片(1)的外周部，來自光源的光也不會(huì)被把持部(3a)所遮擋，仍可以通過缺口射入至受光部。即使以具有缺口的部位來把持晶片(1)的情況下，仍不需要經(jīng)過重新把持晶片(1)的動(dòng)作，因此可以縮短處理步驟的時(shí)間，提高生產(chǎn)量。
文檔編號(hào)H01L21/67GK101563769SQ20078004589
公開日2009年10月21日 申請(qǐng)日期2007年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月14日
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