專(zhuān)利名稱(chēng)：自動(dòng)派工方法及系統(tǒng)以及以此方法制造的集成電路產(chǎn)品的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種派工(dispatch)相關(guān)的技術(shù)，特別是有關(guān)于一種計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)且適用于以載具進(jìn)行饋入的批次制程設(shè)備中的自動(dòng)派工方法。
背景技術(shù)：
在許多制造廠中，如半導(dǎo)體(semiconductor)產(chǎn)品制造廠中，批次制程設(shè)備(batch manufacturing tool)是屬不可或缺的元件。傳統(tǒng)處理流程中，批次制程設(shè)備會(huì)以載具(carrier)作為基礎(chǔ)進(jìn)行物件(object)的處理。舉例而言，假設(shè)一批次制程設(shè)備可于一時(shí)間內(nèi)可同時(shí)載入并處理四個(gè)載具，當(dāng)四個(gè)載具已到達(dá)此批次制程設(shè)備時(shí)，無(wú)論此四個(gè)載具目前的占有率為何，便會(huì)同時(shí)載入并進(jìn)行處理。
因此，若載入進(jìn)行處理的載具是處于空置的或未全填滿的情形下，制程設(shè)備所進(jìn)行的處理效率便會(huì)很低。對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)品制造廠而言，批次制程設(shè)備通常為價(jià)格高昂的設(shè)備，前述操作處理上的效率高低，即成為相當(dāng)重要的課題。
為能提升批次制程設(shè)備的使用效率，載具中所承載的物件，如晶圓等，往往會(huì)以人工的方式進(jìn)行結(jié)合與分配，以解決前述的派工問(wèn)題。對(duì)于一制造廠而言，以人工方式進(jìn)行載具中物件的結(jié)合與分配，必須耗費(fèi)相當(dāng)大的人力資源，往往形成資源浪費(fèi)，成為一急待解決的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的就在于提出自動(dòng)派工的方法或系統(tǒng)，有效地解決批次制程設(shè)備因載具占有率不足所導(dǎo)致的效能問(wèn)題。
必須說(shuō)明的是，于下揭露內(nèi)容中所提出的不同實(shí)施例或范例，是用以說(shuō)明本發(fā)明所揭示的不同技術(shù)特征，其所描述的特定范例或排列是用以簡(jiǎn)化本發(fā)明，然非用以限定本發(fā)明。此外，在不同實(shí)施例或范例中可能重復(fù)使用相同的參考數(shù)字與符號(hào)，此等重復(fù)使用的參考數(shù)字與符號(hào)是用以說(shuō)明本發(fā)明所揭示的內(nèi)容，而非用以表示不同實(shí)施例或范例間的關(guān)系。
為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提出一種計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法，其適用于以載具進(jìn)行饋入的批次制程設(shè)備中。首先，將載具的目前占有率與最佳占有率進(jìn)行比較。
當(dāng)載具的目前占有率小于最佳占有率時(shí)，保留載具所載物件的分配信息，并將載具中的物件，如晶圓(wafer)等，進(jìn)行結(jié)合。其中，最佳占有率及分配信息可記錄于數(shù)據(jù)庫(kù)中。物件的結(jié)合可以如分類(lèi)設(shè)備(sorter)等工具加以完成。當(dāng)載具中所載物件為晶圓時(shí)，則批次制程設(shè)備則為半導(dǎo)體產(chǎn)品制程設(shè)備。
然后，由批次制程設(shè)備處理已結(jié)合的物件。處理完成后，根據(jù)所保留的分配信息分配物件于各載具中。
再者，本發(fā)明提出一種集成電路產(chǎn)品，其是利用如前所述的計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法所制造。
又再者，本發(fā)明提出一種自動(dòng)派工系統(tǒng)，其適用于以載具進(jìn)行饋入的批次制程設(shè)備中，包括比較模塊、結(jié)合模塊、處理模塊以及分配模塊。
比較模塊用以將載具的目前占有率與最佳占有率進(jìn)行比較。結(jié)合模塊用以當(dāng)載具的目前占有率小于最佳占有率時(shí)，保留載具所載物件的分配信息，并將載具中的物件進(jìn)行結(jié)合。其中，最佳占有率及分配信息可記錄于數(shù)據(jù)庫(kù)中。載具中物件的結(jié)合可以分類(lèi)設(shè)備完成。
處理模塊用以由批次制程設(shè)備處理已結(jié)合的物件。分配模塊用以于處理完成后，根據(jù)分配信息分配物件于載具中。在前述的系統(tǒng)中，當(dāng)載具中物件是為晶圓時(shí)，則批次制程設(shè)備可為半導(dǎo)體產(chǎn)品制程設(shè)備。
本發(fā)明所述的自動(dòng)派工方法及系統(tǒng)以及以此方法制造的集成電路產(chǎn)品，有效地解決批次制程設(shè)備因載具占有率不足所導(dǎo)致的效能問(wèn)題。


圖1是顯示本發(fā)明所揭示的自動(dòng)派工方法的一實(shí)施例的執(zhí)行流程圖；圖2是顯示本發(fā)明所揭示的儲(chǔ)存介質(zhì)的一實(shí)施例的示意圖；圖3是顯示本發(fā)明所揭示的自動(dòng)派工系統(tǒng)的一實(shí)施例的功能方塊圖；圖4是顯示本發(fā)明所揭示的自動(dòng)派工系統(tǒng)的一應(yīng)用范例的功能方塊圖。
具體實(shí)施例方式
為使本發(fā)明的技術(shù)特征易于了解，于下揭露內(nèi)容中提出了不同實(shí)施例及范例，輔以圖式及特定文字?jǐn)⑹?，以說(shuō)明本發(fā)明，然非用以限定本發(fā)明。倘所敘述的實(shí)施例或范例中，有任何關(guān)于本發(fā)明的修正或變更，其為本領(lǐng)域技術(shù)人員所能自然推得，則本發(fā)明可隨之修正或變更，以因應(yīng)不同的需求。
請(qǐng)參照?qǐng)D1，圖1是顯示本發(fā)明所揭示的自動(dòng)派工方法的一實(shí)施例的執(zhí)行流程圖。如圖所示，首先，將載具的目前占有率與最佳占有率進(jìn)行比較，如步驟S10所示。有關(guān)載具的最佳占有率可事先預(yù)存于數(shù)據(jù)庫(kù)中，當(dāng)進(jìn)行比較時(shí)，就可由數(shù)據(jù)庫(kù)中得到所需的最佳占有率，而最佳占有率可依據(jù)載具本身的容量或其他處理上的考量而決定。
通常載具的最佳占有率就是指滿載(full)的情形，當(dāng)載具的最佳占有率是指滿載時(shí)，前述的比較就是在比較目前載具是否滿載。
當(dāng)載具的目前占有率小于最佳占有率時(shí)，保留載具所載物件的分配信息，如步驟S12所示。由于在下面的步驟中，載具上的物件可能會(huì)被分配或結(jié)合至不同的載具中，因此現(xiàn)在目前有關(guān)載具中物件的分配信息必須保留，以便物件于處理完成后可以依照所保留的信息恢復(fù)為現(xiàn)在的承載狀態(tài)。
然后，將載具中的物件進(jìn)行結(jié)合，如步驟S14所示。而后，由批次制程設(shè)備處理已結(jié)合的物件，如步驟S16所示。于處理完成后，根據(jù)所保留的分配信息分配物件于各載具中，如步驟S18所示。物件的結(jié)合可以如分類(lèi)設(shè)備等工具加以完成。當(dāng)本發(fā)明所提出的方法是應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品制造廠中時(shí)，載具中所載物件可為晶圓，而批次制程設(shè)備則可為半導(dǎo)體產(chǎn)品制程設(shè)備。
如前所述的自動(dòng)派工方法可以計(jì)算機(jī)程序加以實(shí)現(xiàn)，請(qǐng)參照?qǐng)D2，圖2是顯示本發(fā)明所揭示的儲(chǔ)存介質(zhì)的一實(shí)施例的示意圖。在此實(shí)施例中，如圖所示，本發(fā)明提出一種儲(chǔ)存介質(zhì)20，用以儲(chǔ)存一計(jì)算機(jī)程序22，計(jì)算機(jī)程序22用以載入至一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中并且使得上述計(jì)算機(jī)系統(tǒng)執(zhí)行如前所述的方法步驟。計(jì)算機(jī)程序22主要包括將載具的目前占有率與最佳占有率進(jìn)行比較的程序邏輯220、保留物件分配信息的程序邏輯222以及于載具中結(jié)合物件的程序邏輯224。計(jì)算機(jī)程序22還可能包括處理已結(jié)合物件的程序邏輯226以及根據(jù)所保留的分配信息分配物件于載具中的程序邏輯228。
本發(fā)明所提的方法可應(yīng)用于集成電路(integrated circuit)產(chǎn)品生產(chǎn)制造中。在一實(shí)施例中，一集成電路產(chǎn)品是由以載具饋入的制程設(shè)備進(jìn)行制程，當(dāng)此制程設(shè)備應(yīng)用本發(fā)明所提出的方法時(shí)。首先，用來(lái)制造此集成電路產(chǎn)品的材料，如晶圓等，會(huì)先承載入載具中。接著，制程設(shè)備會(huì)依先前描述的方法步驟進(jìn)行處理，以制造此集成電路產(chǎn)品。當(dāng)此集成電路產(chǎn)品結(jié)束在此制程設(shè)備的處理后，可能會(huì)送至其他制程設(shè)備進(jìn)行后續(xù)處理，因此本發(fā)明可作為此集成電路產(chǎn)品整體制程中的一部分。
請(qǐng)參照?qǐng)D3，圖3是顯示本發(fā)明所揭示的自動(dòng)派工系統(tǒng)的一實(shí)施例的功能方塊圖。本發(fā)明所提出的自動(dòng)派工系統(tǒng)，其適用于以載具進(jìn)行饋入的批次制程設(shè)備中，包括比較模塊30、保留模塊32、結(jié)合模塊34、處理模塊36以及分配模塊38。
比較模塊30用以將載具的目前占有率與最佳占有率進(jìn)行比較。保留模塊32用以當(dāng)載具的目前占有率小于最佳占有率時(shí)，保留載具所載物件的分配信息。結(jié)合模塊34用以將載具中的物件進(jìn)行結(jié)合。其中，最佳占有率是及分配信息可記錄于數(shù)據(jù)庫(kù)中，如制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system，MES)數(shù)據(jù)庫(kù)中。載具中物件的結(jié)合可以分類(lèi)設(shè)備等加以完成。
處理模塊36用以經(jīng)由批次制程設(shè)備處理已結(jié)合的物件。處理完成后，分配模塊38根據(jù)分配信息分配物件于載具中。在此系統(tǒng)中，當(dāng)載具中物件是為晶圓時(shí)，則批次制程設(shè)備可為半導(dǎo)體產(chǎn)品制程設(shè)備。
圖4是顯示本發(fā)明所揭示的自動(dòng)派工系統(tǒng)的一應(yīng)用范例的功能方塊圖。在一實(shí)施例中，本發(fā)明所揭示的自動(dòng)派工系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品制造廠，其中物件42即為晶圓，而批次制程設(shè)備44即為半導(dǎo)體制程設(shè)備。比較模塊30、保留模塊32以及結(jié)合模塊34均可實(shí)現(xiàn)于計(jì)算機(jī)系統(tǒng)40中，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)40可耦接至制造執(zhí)行系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)，以進(jìn)行與制程相關(guān)的數(shù)據(jù)存取。
當(dāng)物件42到達(dá)批次制程設(shè)備44時(shí)，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)40首先將目前載具的占有率與預(yù)定最佳占有率進(jìn)行比較，預(yù)定最佳占有率可儲(chǔ)存于制造執(zhí)行系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)中。當(dāng)比較結(jié)果顯示目前載具的占有率小于預(yù)定最佳占有率時(shí)，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)40會(huì)保留目前載具上物件42的分配信息。
結(jié)合模塊34可以分類(lèi)設(shè)備46等加以實(shí)現(xiàn)，分類(lèi)設(shè)備46將載具中的物件42進(jìn)行結(jié)合。處理模塊36利用批次制程設(shè)備44處理已結(jié)合的物件48。在處理完成后，分配模塊38根據(jù)所保留的分配信息分配物件。處理模塊36及分配模塊38可以實(shí)現(xiàn)于計(jì)算機(jī)系統(tǒng)40中或批次制程設(shè)備44中。
當(dāng)本發(fā)明應(yīng)用于實(shí)際制程時(shí)，批次制程設(shè)備及物件均可能不同，本發(fā)明所提出的方法及系統(tǒng)當(dāng)可隨之改變以因應(yīng)制程的實(shí)際需求。
本發(fā)明所提出的方法及系統(tǒng)，或者其中某些部分，可能以計(jì)算機(jī)程序(計(jì)算機(jī)指令)的方式加以實(shí)現(xiàn)，此計(jì)算機(jī)程序(計(jì)算機(jī)指令)可能建置于實(shí)體儲(chǔ)存介質(zhì)中，如軟碟(floppy diskettes)、光碟(CD-ROMS)、硬盤(pán)(hard drives)或其他任何機(jī)器可辨讀的儲(chǔ)存介質(zhì)中。當(dāng)前述的計(jì)算機(jī)程序(計(jì)算機(jī)指令)經(jīng)由如計(jì)算機(jī)等機(jī)器載入并執(zhí)行時(shí)，此載入計(jì)算機(jī)程序(計(jì)算機(jī)指令)的機(jī)器即轉(zhuǎn)換為一用以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的裝置。再者，本發(fā)明所揭示的方法及系統(tǒng)可以計(jì)算機(jī)程序(計(jì)算機(jī)指令)的方式經(jīng)由傳輸介質(zhì)進(jìn)行傳輸，如電線(electrical wire)、電纜(cable)、光纖(fiber optics)或其他任何可進(jìn)行傳輸?shù)膫鬏斀橘|(zhì)。當(dāng)前述經(jīng)由傳輸介質(zhì)傳輸?shù)挠?jì)算機(jī)程序(計(jì)算機(jī)指令)經(jīng)由如計(jì)算機(jī)等機(jī)器載入并執(zhí)行時(shí)，此載入計(jì)算機(jī)程序(計(jì)算機(jī)指令)的機(jī)器即轉(zhuǎn)換為一用以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的裝置。又再者，本發(fā)明所揭示的方法及系統(tǒng)可以計(jì)算機(jī)程序(計(jì)算機(jī)指令)的型態(tài)應(yīng)用于一通用目的(general-purpose)處理器中，當(dāng)前述應(yīng)用于通用目的處理器的計(jì)算機(jī)程序(計(jì)算機(jī)指令)與該處理器相結(jié)合時(shí)，即提供一用以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的裝置，其功能相當(dāng)于具有特定功能的邏輯電路(logic circuits)。
以上所述僅為本發(fā)明較佳實(shí)施例，然其并非用以限定本發(fā)明的范圍，任何熟悉本項(xiàng)技術(shù)的人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可在此基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的改進(jìn)和變化，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)以本申請(qǐng)的權(quán)利要求書(shū)所界定的范圍為準(zhǔn)。
附圖中符號(hào)的簡(jiǎn)單說(shuō)明如下20儲(chǔ)存介質(zhì)22計(jì)算機(jī)程序220將載具的目前占有率與最佳占有率進(jìn)行比較的程序邏輯222保留物件分配信息的程序邏輯224于載具中結(jié)合物件的程序邏輯226處理已結(jié)合物件的程序邏輯228根據(jù)所保留的分配信息分配物件于載具中的程序邏輯30比較模塊32保留模塊34結(jié)合模塊36處理模塊38分配模塊40計(jì)算機(jī)系統(tǒng)42物件44批次制程設(shè)備46分類(lèi)設(shè)備48已結(jié)合的物件
權(quán)利要求
1.一種計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法，其適用于以至少一載具進(jìn)行饋入的一批次制程設(shè)備中，其特征在于所述計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法包括下列步驟將上述載具的目前占有率與一最佳占有率進(jìn)行比較；以及當(dāng)上述載具的目前占有率小于上述最佳占有率時(shí)，保留上述載具所載物件的分配信息，并將上述載具中的物件進(jìn)行結(jié)合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法，其特征在于，尚包括下列步驟由上述批次制程設(shè)備處理上述已結(jié)合的物件；以及于上述處理完成后，根據(jù)上述分配信息分配上述物件于上述載具中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法，其特征在于，上述最佳占有率是記錄于一數(shù)據(jù)庫(kù)中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法，其特征在于，上述分配信息是記錄于一數(shù)據(jù)庫(kù)中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法，其特征在于，上述物件的結(jié)合是以一分類(lèi)設(shè)備完成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法，其特征在于，上述物件是為晶圓。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法，其特征在于，上述批次制程設(shè)備是為一半導(dǎo)體產(chǎn)品制程設(shè)備。
8.一種集成電路產(chǎn)品，其是利用權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法所制造。
9.一種自動(dòng)派工系統(tǒng)，其適用于以至少一載具進(jìn)行饋入的一批次制程設(shè)備中，其特征在于所述自動(dòng)派工系統(tǒng)包括一比較模塊，用以將上述載具的目前占有率與一最佳占有率進(jìn)行比較；以及一結(jié)合模塊，其耦接于上述比較模塊，用以當(dāng)上述載具的目前占有率小于上述最佳占有率時(shí)，保留上述載具所載物件的分配信息，并將上述載具中的物件進(jìn)行結(jié)合。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的自動(dòng)派工系統(tǒng)，其特征在于，尚包括一處理模塊，其耦接于上述結(jié)合模塊，用以由上述批次制程設(shè)備處理上述已結(jié)合的物件；以及一分配模塊，其耦接于上述處理模塊，用以于上述處理完成后，根據(jù)上述分配信息分配上述物件于上述載具中。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的自動(dòng)派工系統(tǒng)，其特征在于，上述最佳占有率是記錄于一數(shù)據(jù)庫(kù)中。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的自動(dòng)派工系統(tǒng)，其特征在于，上述分配信息是記錄于一數(shù)據(jù)庫(kù)中。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的自動(dòng)派工系統(tǒng)，其特征在于，上述物件的結(jié)合是以一分類(lèi)設(shè)備完成。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的自動(dòng)派工系統(tǒng)，其特征在于，上述物件是為晶圓。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的自動(dòng)派工系統(tǒng)，其特征在于，上述批次制程設(shè)備是為一半導(dǎo)體產(chǎn)品制程設(shè)備。
全文摘要
本發(fā)明提供一種自動(dòng)派工方法及系統(tǒng)以及以此方法制造的集成電路產(chǎn)品，具體涉及一種計(jì)算機(jī)可實(shí)現(xiàn)的自動(dòng)派工方法，其適用于以載具進(jìn)行饋入的批次制程設(shè)備中。本發(fā)明所提的方法及系統(tǒng)首先將載具的目前占有率與最佳占有率進(jìn)行比較，當(dāng)載具的目前占有率小于最佳占有率時(shí)，保留載具所載物件的分配信息，并將載具中的物件進(jìn)行結(jié)合。然后，由批次制程設(shè)備處理已結(jié)合的物件。于處理完成后，根據(jù)所保留的分配信息將物件分配于載具中。本發(fā)明所述的自動(dòng)派工方法及系統(tǒng)以及以此方法制造的集成電路產(chǎn)品，有效地解決批次制程設(shè)備因載具占有率不足所導(dǎo)致的效能問(wèn)題。
文檔編號(hào)H01L21/02GK1763666SQ20051010519
公開(kāi)日2006年4月26日 申請(qǐng)日期2005年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月30日
發(fā)明者梁柏雄, 許顯榮, 汪明 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司