專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體制造代工廠用的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造廠用的自動(dòng)化系統(tǒng)，特別涉及半導(dǎo)體制造代工廠用的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
一般說(shuō)來(lái)，當(dāng)前的半導(dǎo)體制造行業(yè)中，為了提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)單位和制造單位是分開(kāi)的，也就是說(shuō)，半導(dǎo)體的設(shè)計(jì)單位專(zhuān)門(mén)進(jìn)行半導(dǎo)體的電路和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，而半導(dǎo)體的制造單位按照半導(dǎo)體設(shè)計(jì)單位設(shè)計(jì)好的半導(dǎo)體器件的電路和結(jié)構(gòu)專(zhuān)門(mén)制造半導(dǎo)體器件。本行業(yè)將這種為別的公司的設(shè)計(jì)單位制造半導(dǎo)體芯片的工廠稱(chēng)為半導(dǎo)體制造代工廠。
由于需求代工的設(shè)計(jì)單位很多，半導(dǎo)體制造代工廠生產(chǎn)的半導(dǎo)體器件種類(lèi)繁多，而且各種類(lèi)型的半導(dǎo)體器件的加工工藝、工期、交貨日期和交貨數(shù)量也各不相同。半導(dǎo)體器件制造行業(yè)是一個(gè)技術(shù)和管理都很復(fù)雜，價(jià)格敏感度極高的行業(yè)，如果不能根據(jù)生產(chǎn)線實(shí)際狀況很好地預(yù)測(cè)晶片的投片時(shí)間和投片數(shù)量，就不可能保證按照訂貨目錄按所要求的質(zhì)量和數(shù)量按時(shí)交貨，也不能保證低的生產(chǎn)成本和公司良好的經(jīng)濟(jì)效益。因此，準(zhǔn)確地確定晶片投片時(shí)間、投片數(shù)量極其重要。
以往，在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)線上，生產(chǎn)管理人員根據(jù)歷史經(jīng)驗(yàn)估計(jì)產(chǎn)品的生產(chǎn)周期，人為地確定晶片投入(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“投片”)時(shí)間和投片數(shù)量。但是，生產(chǎn)線上的各個(gè)機(jī)臺(tái)的工作狀態(tài)隨時(shí)變化，生產(chǎn)線的實(shí)際運(yùn)行狀隨時(shí)變化。而且，半導(dǎo)體器件制造代工廠中生產(chǎn)的半導(dǎo)體器件的類(lèi)型繁多，各個(gè)類(lèi)型的半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)工藝不同，加工的順序不同，加工的時(shí)間周期不同，交貨日期不同，很難作出合理的投片決策以保證保質(zhì)保量按時(shí)交貨。
而且，對(duì)于新產(chǎn)品的加工沒(méi)有歷史經(jīng)驗(yàn)可以借鑒，更難根據(jù)交貨日期確定投片時(shí)間和投片數(shù)量。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述的半導(dǎo)體制造代工廠中生產(chǎn)管理人員不能確定準(zhǔn)確投片時(shí)間和投片數(shù)量等問(wèn)題，我們提出本發(fā)明。
本發(fā)明的目的是，提出一種半導(dǎo)體制造代工廠用的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)，用本發(fā)明的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)，動(dòng)態(tài)隨機(jī)實(shí)時(shí)采集待加工工件在生產(chǎn)線上各個(gè)加工站的分布量、各個(gè)機(jī)臺(tái)的工件在線存留量、各個(gè)工件在該機(jī)臺(tái)所需要的加工時(shí)間、各個(gè)機(jī)臺(tái)的工作能力和各個(gè)機(jī)臺(tái)是否能正常工作的工作狀態(tài)、需要在各個(gè)機(jī)臺(tái)加工的工件數(shù)量、工件的合格率等相關(guān)數(shù)據(jù)，根據(jù)產(chǎn)品的交貨日期、工件所需的加工時(shí)間周期進(jìn)行生產(chǎn)狀態(tài)計(jì)算和分析。根據(jù)分析結(jié)果確定投入晶片類(lèi)型、晶片投片數(shù)量和晶片投片時(shí)間點(diǎn)。并按照待加工工件在生產(chǎn)線上的各個(gè)加工站點(diǎn)的分布情況和各個(gè)機(jī)臺(tái)的工作狀態(tài)隨時(shí)調(diào)整投片時(shí)間和投片數(shù)量，按照各類(lèi)半導(dǎo)體器件的交貨時(shí)間和交貨數(shù)量確定各類(lèi)晶片在各個(gè)機(jī)臺(tái)加工的時(shí)間順序、加工量和加工時(shí)間點(diǎn)。
按照本發(fā)明的半導(dǎo)體制造代工廠用的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)包括①各類(lèi)產(chǎn)品交貨日期目錄單存儲(chǔ)顯示器)；②實(shí)際加工時(shí)間周期監(jiān)測(cè)裝置；③在線工件在生產(chǎn)線上各個(gè)加工站點(diǎn)分布狀況監(jiān)測(cè)裝置；④晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置；⑤生產(chǎn)調(diào)度中心。各分系統(tǒng)由工廠信息局域網(wǎng)連接為一體。


通過(guò)結(jié)合附圖進(jìn)行的以下描述可以更好地理解本發(fā)明目的和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)，附圖是說(shuō)明書(shū)的一個(gè)組成部分，附圖與說(shuō)明書(shū)的文字部分一起說(shuō)明本發(fā)明的原理和特征，附圖中顯示出代表本發(fā)明原理和特征的實(shí)施例。其中，圖1是按照本發(fā)明的半導(dǎo)體器件制造代工廠用的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)框圖。
附圖中的指示數(shù)字所指示的內(nèi)容①各類(lèi)產(chǎn)品交貨日期目錄單存儲(chǔ)顯示器②實(shí)際加工時(shí)間周期監(jiān)測(cè)裝置
③在線工件在生產(chǎn)線上各個(gè)加工站點(diǎn)分布狀況監(jiān)測(cè)裝置；④晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置；⑤生產(chǎn)調(diào)度中心；具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明按本發(fā)明的半導(dǎo)體制造代工廠用的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)的運(yùn)行情況，并以系統(tǒng)的運(yùn)行情況說(shuō)明按照本發(fā)明的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。
系統(tǒng)運(yùn)行包括以下步驟步驟1，各類(lèi)產(chǎn)品交貨日期目錄單存儲(chǔ)顯示器①中存儲(chǔ)和顯示的半導(dǎo)體器件的類(lèi)型、交貨時(shí)間和交貨數(shù)量等數(shù)據(jù)，和實(shí)際加工時(shí)間周期存儲(chǔ)和監(jiān)測(cè)裝置②中存儲(chǔ)的各類(lèi)半導(dǎo)體器件所需要的實(shí)際加工時(shí)間周期等數(shù)據(jù)輸入晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置④；步驟2，在線工件在生產(chǎn)線上各個(gè)加工站點(diǎn)分布狀況監(jiān)測(cè)裝置③中確定的待加工工件要在各個(gè)加工站點(diǎn)停留的時(shí)間輸入晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置④；步驟3，經(jīng)過(guò)晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置④的計(jì)算和分析，確定生產(chǎn)各類(lèi)半導(dǎo)體器件所需要的晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量；步驟4，晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置④將確定的晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量通過(guò)工廠信息局域網(wǎng)提供給生產(chǎn)調(diào)度中心⑤；步驟5，生產(chǎn)調(diào)度中心⑤按照晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置④確定的晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量向生產(chǎn)線上的投片部門(mén)下達(dá)投片指令，生產(chǎn)線上的投片部門(mén)按投片指令按時(shí)按量投片；步驟6，生產(chǎn)調(diào)度中心⑤按照在線工件在生產(chǎn)線上各個(gè)加工站點(diǎn)分布狀況監(jiān)測(cè)裝置③監(jiān)測(cè)到的在線工件在生產(chǎn)線上各個(gè)加工站點(diǎn)分布狀況和各類(lèi)產(chǎn)品交貨日期目錄單存儲(chǔ)顯示器①中存儲(chǔ)和顯示的半導(dǎo)體器件的類(lèi)型、交貨時(shí)間和交貨數(shù)量隨時(shí)調(diào)整晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量，以保證按照客戶(hù)要求的半導(dǎo)體器件的種類(lèi)、數(shù)量和交貨時(shí)間交貨。
用本發(fā)明的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)自動(dòng)化預(yù)測(cè)晶片的投片時(shí)間和投片數(shù)量，隨時(shí)采集各種生產(chǎn)數(shù)據(jù)并即時(shí)調(diào)整晶片的投片時(shí)間和投片數(shù)量，克服了按經(jīng)驗(yàn)或沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)可循的盲目投片，使生產(chǎn)管理更科學(xué)更有序。用本發(fā)明的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)不僅能準(zhǔn)確地確定投片的時(shí)間和數(shù)量，更準(zhǔn)確地保證產(chǎn)品的出貨時(shí)間，能更有效地發(fā)揮生產(chǎn)線的生產(chǎn)能力。不僅能降低公司的生產(chǎn)成本，而且也能更好地提高公司的效益，樹(shù)立公司良好的形象。
本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)了解，在不脫離本發(fā)明精神或者主要特征的前提下，本發(fā)明還可以以其他特定的形式實(shí)施。因此，按本發(fā)明的全部技術(shù)方案，所列舉的實(shí)施方式只是用于說(shuō)明本發(fā)明而不是限制本發(fā)明，并且，本發(fā)明不局限于本文中描述的細(xì)節(jié)。本發(fā)明要求保護(hù)的范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)界定。
權(quán)利要求
1.半導(dǎo)體制造代工廠用的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)，其特征是，系統(tǒng)包括①各類(lèi)產(chǎn)品交貨日期目錄單存儲(chǔ)顯示器；②實(shí)際加工時(shí)間周期監(jiān)測(cè)裝置；③在線工件在生產(chǎn)線上各個(gè)加工站點(diǎn)分布狀況監(jiān)測(cè)裝置；④晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置；⑤生產(chǎn)調(diào)度中心。
2.按照權(quán)利要求1的系統(tǒng)，其特征是，系統(tǒng)運(yùn)行包括以下步驟步驟1，各類(lèi)產(chǎn)品交貨日期目錄單存儲(chǔ)顯示器①中存儲(chǔ)和顯示的半導(dǎo)體器件的類(lèi)型、交貨時(shí)間和交貨數(shù)量等數(shù)據(jù)，和實(shí)際加工時(shí)間周期存儲(chǔ)和監(jiān)測(cè)裝置②中存儲(chǔ)的各類(lèi)半導(dǎo)體器件所需要的實(shí)際加工時(shí)間周期等數(shù)據(jù)輸入晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置④；步驟2在線工件在生產(chǎn)線上各個(gè)加工站點(diǎn)分布狀況監(jiān)測(cè)裝置③中確定的待加工工件要在各個(gè)加工站點(diǎn)停留的時(shí)間輸入晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置④；步驟3經(jīng)過(guò)晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置④的計(jì)算和分析，確定生產(chǎn)各類(lèi)半導(dǎo)體器件所需要的晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量；步驟4晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置④將確定的晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量通過(guò)工廠信息局域網(wǎng)提供給生產(chǎn)調(diào)度中心⑤；步驟5生產(chǎn)調(diào)度中心⑤按照晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置④確定的晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量向生產(chǎn)線上的投片部門(mén)下達(dá)投片指令，生產(chǎn)線上的投片部門(mén)按投片指令按時(shí)按量投片；步驟6生產(chǎn)調(diào)度中心⑤按照在線工件在生產(chǎn)線上各個(gè)加工站點(diǎn)分布狀況監(jiān)測(cè)裝置③監(jiān)測(cè)到的在線工件在生產(chǎn)線上各個(gè)加工站點(diǎn)分布狀況和各類(lèi)產(chǎn)品交貨日期目錄單存儲(chǔ)顯示器①中存儲(chǔ)和顯示的半導(dǎo)體器件的類(lèi)型、交貨時(shí)間和交貨數(shù)量隨時(shí)調(diào)整晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量，以保證按照客戶(hù)要求的半導(dǎo)體器件的種類(lèi)、數(shù)量和交貨時(shí)間交貨。
全文摘要
半導(dǎo)體制造代工廠用的晶片投片自動(dòng)化預(yù)測(cè)系統(tǒng)，系統(tǒng)包括(1)各類(lèi)產(chǎn)品交貨日期目錄單存儲(chǔ)顯示器；(2)實(shí)際加工時(shí)間周期監(jiān)測(cè)裝置；(3)在線工件在生產(chǎn)線上各個(gè)加工站點(diǎn)分布狀況監(jiān)測(cè)裝置；(4)晶片投片時(shí)間和投片數(shù)量計(jì)算分析裝置；(5)生產(chǎn)調(diào)度中心。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1770199SQ20041006784
公開(kāi)日2006年5月10日 申請(qǐng)日期2004年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月4日
發(fā)明者俞曉華, 向玉坤, 陳樑, 朱吉敏 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司