專利名稱：旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及電子元器件領(lǐng)域，更具體地說，本實用新型涉及一種片式電容、電感的生產(chǎn)設(shè)備。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的瓷介片式電容或片式電感等電子元器件的生產(chǎn)，通常是將這些元器件的坯體排列在耐火材料制成的敞口承燒板或封口的承燒匣缽中，然后再將承燒板或匣缽置于罩式燒結(jié)爐中，在保護性氣氛或其他氣氛中經(jīng)過高溫?zé)Y(jié)而制得。由于高溫?zé)Y(jié)爐的發(fā)熱元件多為硅鉬棒，爐內(nèi)的發(fā)熱體和熱量傳遞都不可能很均勻，其次，為了保護高溫下坯體的理化質(zhì)量穩(wěn)定和其他目的，必須在罩式燒結(jié)爐中通入氣氛氣體，氣氛氣體管口在爐內(nèi)的分布不可能做到絕對均勻，因此罩式燒結(jié)爐內(nèi)的溫度分布均勻性和氣氛分布均勻性均較差，致使同批電子元器件的燒結(jié)質(zhì)量不能均勻一致，造成生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量難以提高。但由于傳統(tǒng)的瓷介片式電容或片式電感等電子元器件尺寸較大，故對這些電子元器件產(chǎn)品燒成均勻性要求不高，一直以來，人們對于因燒結(jié)質(zhì)量帶來的產(chǎn)品均勻一致性差以及生產(chǎn)效率底下的問題沒有引起足夠的重視。，隨著微電子技術(shù)的進步，電子產(chǎn)品及其元器件做得越來越小，過去使用的罩式燒結(jié)爐燒成工藝日益難以滿足微電子產(chǎn)品及其微尺寸元器件的要求，業(yè)界中某些廠家開始認(rèn)識到解決上述問題的必要性，而且主要針對罩式燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)作了一些技術(shù)改進，如在爐內(nèi)改進了氣路布置或增加了氣氛循環(huán)裝置等措施。盡管上述的技術(shù)改進措施一定程度上能緩解氣氛分布的不均勻性和溫度分布的不均勻性，但是，由于通入爐內(nèi)的氣氛氣體必須經(jīng)過管道通入爐內(nèi)，當(dāng)氣流進入爐內(nèi)，立即被爐內(nèi)高溫加熱，氣流向上的動力強于向其他方向的，即使氣體管口分布盡量均勻、氣體流向變動盡量合理、或再增加氣氛循環(huán)動力等改進措施也很難做到讓熱氣流在爐內(nèi)完全均勻分布，由此溫度的分布也難以做到真正均勻分布?？傊?，目前業(yè)界集中針對氣氛燒結(jié)爐所作的上述改進措施很難對于電子元器件的燒結(jié)質(zhì)量和生產(chǎn)效率產(chǎn)生根本的提高。

發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實用新型的目的是提供一種能夠大大提高產(chǎn)品坯體在燒結(jié)中的溫度均勻性和氣氛均勻性，能夠保證產(chǎn)品坯體在均勻溫度和均勻氣氛下進行燒結(jié)，能促進燒結(jié)爐內(nèi)的溫度和氣氛的對流交換，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺。
本實用新型采用如下的技術(shù)方案來實現(xiàn)上述的發(fā)明目的一種旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，該承燒工作臺包括放置燒結(jié)制品的工作臺面、支承工作臺面的升降機構(gòu)，該工作臺面帶有與其上的罩式氣氛燒結(jié)爐的下端爐口作密封配合的密封結(jié)構(gòu)，而工作臺面上還支承有直接承托燒結(jié)制品的旋轉(zhuǎn)托架，該旋轉(zhuǎn)托架下固聯(lián)有旋轉(zhuǎn)軸，該旋轉(zhuǎn)托架和/或旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)配合在工作臺面上，而旋轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)相聯(lián)接。如前面背景技術(shù)所介紹那樣，為了提高產(chǎn)品坯體在燒結(jié)中的溫度均勻性和氣氛均勻性，業(yè)界一直集中針對氣氛燒結(jié)爐進行改進，然而由于傳統(tǒng)的罩式氣氛燒結(jié)爐固有的結(jié)構(gòu)特點和工藝要求，目前對于爐內(nèi)氣路布置的改進和氣氛循環(huán)裝置的增加等措施仍然不能保證爐內(nèi)的溫度均勻性和氣氛均勻性，以致仍然無法保證在爐內(nèi)燒成的同批微電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。同時由于在過去相當(dāng)長一段時期內(nèi)，高溫下的旋轉(zhuǎn)密封問題一直無法解決，而雖然近年來高溫下的旋轉(zhuǎn)密封問題已逐步得到解決，但因為思維定勢等原因，人們也一直沒有考慮在原有承燒平臺上增加旋轉(zhuǎn)運動來改善燒結(jié)的溫度均勻性和氣氛均勻性。本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)改進措施的上述偏頗，從僅僅針對氣氛燒結(jié)爐的結(jié)構(gòu)作改進的技術(shù)思路向外擴展，轉(zhuǎn)而針對與氣氛燒結(jié)爐配合使用的承燒平臺來做出結(jié)構(gòu)改進，由承燒平臺的結(jié)構(gòu)改進入手來提高產(chǎn)品坯體在燒結(jié)中的溫度均勻性和氣氛均勻性。為此，本實用新型針對原有承燒平臺只作上下運動(開閉爐用)，而不作旋轉(zhuǎn)運動的傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)，采取在原有承燒平臺的工作臺面上特地設(shè)置有直接承托燒結(jié)制品的旋轉(zhuǎn)托架，該旋轉(zhuǎn)托架下固聯(lián)有與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)相聯(lián)接的可以受控旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸。本實用新型相對原有技術(shù)增加了承燒工作臺面上旋轉(zhuǎn)托架的旋轉(zhuǎn)運動，旋轉(zhuǎn)托架的旋轉(zhuǎn)運動除了能夠促進爐內(nèi)的溫度和氣氛的對流交換，更為重要的是工作臺面上旋轉(zhuǎn)托架的旋轉(zhuǎn)運動能使元器件坯體相應(yīng)旋轉(zhuǎn)，從而在溫度均勻性和氣氛均勻性并不好的燒結(jié)氣氛爐內(nèi)得到均勻性大大提高的燒結(jié)溫度和燒結(jié)氣氛，進而真正實現(xiàn)提高微型元器件產(chǎn)品質(zhì)量的目的。在優(yōu)選實施例中，承燒平臺旋轉(zhuǎn)托架的旋轉(zhuǎn)主要是通過電機帶動齒輪類傳動機械來實現(xiàn)，轉(zhuǎn)動的速度1～3轉(zhuǎn)/min，速度按工藝要求可調(diào)，用可旋轉(zhuǎn)承燒工作臺燒制的產(chǎn)品經(jīng)測試，產(chǎn)品質(zhì)量均勻一致，能夠滿足微電子產(chǎn)品的工藝要求指標(biāo)。
本實用新型的旋轉(zhuǎn)托架是耐火隔熱材料制成；工作臺面上固定有耐高溫的密封軸承，旋轉(zhuǎn)軸及其旋轉(zhuǎn)托架被支承在該密封軸承上。本實用新型借用目前高溫旋轉(zhuǎn)密封技術(shù)問題得到解決的優(yōu)勢，在該旋轉(zhuǎn)軸的軸承處采用高溫密封技術(shù)，由于旋轉(zhuǎn)托架本身是耐火隔熱材料制成，而旋轉(zhuǎn)托架本身的直徑較之固定在其下的轉(zhuǎn)軸的直徑大得多，足以遮蔽從氣氛燒結(jié)爐爐口向下散發(fā)出的大部分熱量而不致散發(fā)到工作臺面以下，加之還有耐高溫的密封條和耐高溫軸承進一步阻擋殘余的熱量向下散發(fā)，這些措施足以使氣氛燒結(jié)爐中的高溫不至于外泄而影響到能量消耗、外部的機件以及燒結(jié)爐中的溫度均勻性和氣氛均勻性。
本實用新型的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)包括動力機和傳動機構(gòu)，而傳動機構(gòu)、或傳動機構(gòu)和動力機是集中裝設(shè)在工作臺面的下部。而且后者的結(jié)構(gòu)能使本實用新型的技術(shù)改進措施更加緊湊、簡捷可靠。
本實用新型的傳動機構(gòu)和/或動力機中裝設(shè)有調(diào)速機構(gòu)，相應(yīng)地可調(diào)節(jié)使旋轉(zhuǎn)托架的轉(zhuǎn)速范圍為0～6轉(zhuǎn)/分鐘。本實用新型的升降機構(gòu)為液壓系統(tǒng)控制的鉸接支架，控制下工作臺面的升降速度范圍為5～40mm/秒。升降機構(gòu)也帶有調(diào)速機構(gòu)；所有的調(diào)速機構(gòu)包括電腦處理裝置，以提高控制整體性、協(xié)調(diào)性，改善操作運行效率和穩(wěn)定性。
為了增加整體結(jié)構(gòu)的操作方便性和安全性能，本實用新型的工作臺面的下部設(shè)置有封閉的傳動箱體，而傳動機構(gòu)、或傳動機構(gòu)和動力機被裝設(shè)在該傳動箱體之內(nèi)。而且傳動箱體下端裝設(shè)有導(dǎo)軌/導(dǎo)輪形式的水平位移機構(gòu)。當(dāng)然水平位移機構(gòu)還可以是萬向輪等類型。
本實用新型的密封結(jié)構(gòu)包括與罩式氣氛燒結(jié)爐爐口配合的凹凸結(jié)構(gòu)，在該凹凸結(jié)構(gòu)中還嵌設(shè)有彈性耐火密封圈。與罩式氣氛燒結(jié)爐口良好的配合結(jié)構(gòu)以及彈性耐火密封圈能保證氣氛燒結(jié)爐中的高溫不至于外泄而浪費能量，并提供燒結(jié)爐中的基本的溫度均勻性和氣氛均勻性。
在生產(chǎn)實際中，本實用新型的旋轉(zhuǎn)托架直接承托著的是耐火承燒匣缽或耐火承燒板，燒結(jié)制品是被裝載/排列在封口或敞口的耐火承燒匣缽或耐火承燒板中，在工作過程中由于旋轉(zhuǎn)工作臺的旋轉(zhuǎn)與爐內(nèi)進氣口的相呼應(yīng)，從而爐內(nèi)的氣流進行內(nèi)部的循環(huán)，以達到爐內(nèi)溫度均勻性和氣氛均勻性。

圖1為本實用新型的實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實用新型的實施例的燒結(jié)工況示意圖。
具體實施方式實施例如圖1所示為本實用新型的一種旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，該承燒工作臺包括放置燒結(jié)制品的工作臺面1、支承工作臺面1的升降機構(gòu)，該工作臺面1帶有與其上的罩式氣氛燒結(jié)爐2的下端爐口作密封配合的凹凸臺體式密封結(jié)構(gòu)3，在該凹凸臺體3中嵌設(shè)有彈性耐火密封圈4。
本實用新型的工作臺面1上還支承有直接承托燒結(jié)制品的圓柱體旋轉(zhuǎn)托架5，圓柱體旋轉(zhuǎn)托架5為耐火材料制成的隔熱結(jié)構(gòu)，圓柱體旋轉(zhuǎn)托架5同時被支承在工作臺面1上；工作臺面1上還固定有耐高溫的密封軸承6，而圓柱體旋轉(zhuǎn)托架5下固聯(lián)有旋轉(zhuǎn)軸7，該旋轉(zhuǎn)軸7轉(zhuǎn)動配合在耐高溫的密封軸承6中，而旋轉(zhuǎn)軸7又與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)相聯(lián)接。該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)包括電動式動力機8、變頻調(diào)速機構(gòu)9-0和傳動機構(gòu)9，其中傳動機構(gòu)9和電動機8都集中裝設(shè)在工作臺面1的下部。上述變頻調(diào)速機構(gòu)采用電腦處理裝置，使圓柱體旋轉(zhuǎn)托架5的轉(zhuǎn)速范圍保持在1～3轉(zhuǎn)/分鐘。傳動機構(gòu)9由齒輪副等組成，其主要功能是帶動圓柱體旋轉(zhuǎn)托架5及其上的承燒平臺在燒結(jié)產(chǎn)品時作旋轉(zhuǎn)運動。
本實用新型的升降機構(gòu)為液壓系統(tǒng)10-0控制的鉸接支架10，該升降機構(gòu)也帶有與電腦處理裝置相聯(lián)接的調(diào)速機構(gòu)(未詳示)，以使工作臺面1的升降速度范圍為13～20mm/秒。液壓系統(tǒng)10-0包括油泵油箱、油缸和閥門管路等部件，以使鉸接支架10作開合升降運動，由此實現(xiàn)工作臺面1的上下運動，達到合爐和開爐(即裝料和出料)的目的；鉸接支架10是由鋼板和鉸鏈焊接而成。
本實用新型的工作臺面1的下部設(shè)置有封閉的傳動箱體11，上述的傳動機構(gòu)9和電動機8被裝設(shè)在該傳動箱體11之內(nèi)。傳動箱體11下端裝設(shè)有導(dǎo)軌/導(dǎo)輪式的水平位移機構(gòu)12并形成導(dǎo)軌式小車，小車可以在鉸接支架10上的導(dǎo)軌上移動，主要供裝卸燒結(jié)坯體料之用。
如圖2所示本實用新型的圓柱體旋轉(zhuǎn)托架5直接承托著敞口式的耐火承燒板13，在該敞口式耐火承燒板13中分層放置有許多燒結(jié)坯體(未詳示)，其外部的上面緊密套有一罩式氣氛燒結(jié)爐2，該罩式氣氛燒結(jié)爐2的爐口與本實用新型工作臺面上的凹凸臺體3相配合并通過彈性耐火密封圈4密封其內(nèi)部的熱量和氣氛以防外泄。在工作過程中由于旋轉(zhuǎn)工作臺的旋轉(zhuǎn)與爐內(nèi)進氣口的相呼應(yīng)，從而爐內(nèi)的氣流進行內(nèi)部的循環(huán)，以達到爐內(nèi)溫度均勻性和氣氛均勻性。
權(quán)利要求1.一種旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，該承燒工作臺包括放置燒結(jié)制品的工作臺面(1)、支承工作臺面(1)的升降機構(gòu)，所述的工作臺面(1)帶有與其上的罩式氣氛燒結(jié)爐(2)的下端爐口作密封配合的密封結(jié)構(gòu)(3)，其特征在于所述的工作臺面(1)上還支承有直接承托燒結(jié)制品的旋轉(zhuǎn)托架(5)，該旋轉(zhuǎn)托架(5)下固聯(lián)有旋轉(zhuǎn)軸(7)，所述的旋轉(zhuǎn)托架(5)和/或旋轉(zhuǎn)軸(7)轉(zhuǎn)動配合在所述的工作臺面(1)上，所述的旋轉(zhuǎn)軸(7)與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)相聯(lián)接。
2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，其特征在于所述的旋轉(zhuǎn)托架(5)為耐火材料制成的隔熱結(jié)構(gòu)；所述的工作臺面(1)上固定有耐高溫的密封軸承(6)，所述的旋轉(zhuǎn)軸(7)及其旋轉(zhuǎn)托架(5)被支承在該密封軸承(6)上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，其特征在于所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)包括動力機(8)和傳動機構(gòu)(9)，所述的傳動機構(gòu)(9)、或所述的傳動機構(gòu)(9)和動力機(8)是集中裝設(shè)在所述的工作臺面(1)的下部。
4.如權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，其特征在于所述的傳動機構(gòu)(9)和/或動力機(8)中裝設(shè)有調(diào)速機構(gòu)(9-0)，所述的旋轉(zhuǎn)托架(5)的轉(zhuǎn)速范圍為0～6轉(zhuǎn)/分鐘。
5.如權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，其特征在于所述的升降機構(gòu)為液壓系統(tǒng)(10-0)控制的鉸接支架(10)，所述工作臺面(1)的升降速度范圍為5～40mm/秒。
6.如權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，其特征在于所述升降機構(gòu)也帶有調(diào)速機構(gòu)；所述的調(diào)速機構(gòu)(9-0)包括電腦處理裝置。
7.如權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，其特征在于所述的工作臺面(1)的下部設(shè)置有封閉的傳動箱體(11)，所述的傳動機構(gòu)(9)、或所述的傳動機構(gòu)(9)和動力機(8)被裝設(shè)在該傳動箱體(11)之內(nèi)。
8.如權(quán)利要求7所述的旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，其特征在于所述的傳動箱體(11)下端裝設(shè)有水平位移機構(gòu)(12)。
9.如權(quán)利要求8所述的旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，其特征在于所述的水平位移機構(gòu)(12)是導(dǎo)軌/導(dǎo)輪系統(tǒng)。
10.如權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，其特征在于所述的密封結(jié)構(gòu)包括與所述爐口配合的凹凸結(jié)構(gòu)(3)，在所述的凹凸結(jié)構(gòu)(3)中還嵌設(shè)有彈性耐火密封圈(4)。
專利摘要本實用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺，該承燒工作臺包括放置燒結(jié)制品的工作臺面、支承工作臺面的升降機構(gòu)，該工作臺面帶有與其上的罩式氣氛燒結(jié)爐的下端爐口作密封配合的密封結(jié)構(gòu)，而工作臺面上還支承有直接承托燒結(jié)制品的旋轉(zhuǎn)托架，該旋轉(zhuǎn)托架下固聯(lián)有旋轉(zhuǎn)軸，該旋轉(zhuǎn)托架和/或旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)配合在工作臺面上，而旋轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)相聯(lián)接。本實用新型提供一種能夠大大提高產(chǎn)品坯體在燒結(jié)中的溫度均勻性和氣氛均勻性，能夠保證產(chǎn)品坯體在均勻溫度和均勻氣氛下進行燒結(jié)，能促進燒結(jié)爐內(nèi)的溫度和氣氛的對流交換，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的旋轉(zhuǎn)式承燒工作臺。
文檔編號H01G13/00GK2671101SQ200320118920
公開日2005年1月12日 申請日期2003年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月5日
發(fā)明者林偉強, 藍植清, 陳非, 趙俊山 申請人:廣東風(fēng)華高新科技集團有限公司