專利名稱:徽型玻璃封裝溫度補償二極管的制作方法
本實用新型屬半導(dǎo)體器件，更詳細的講是一種錄音機作穩(wěn)速用的微型玻璃封裝溫度補償二極管。
錄音機電機若沒有穩(wěn)速裝置，電機的轉(zhuǎn)速將隨環(huán)境溫度的變化而改變，這對錄音機來說是絕對不允許的，當錄音機電機采用二極管給以溫度補償時，而其轉(zhuǎn)速相對穩(wěn)定。目前國外生產(chǎn)的這種二極管在工藝上采用合金法外，外殼采用半封密性的塑料封裝。在成批生產(chǎn)這種二極管的過程中勞動效率低、一致性難以保證，由于采用塑料外殼封裝易受環(huán)境變化的影響、熱敏性能差，由于以上原因限制了錄音機電機的使用壽命。
本實用新型的目的在于提供一種能夠克服上述缺點，適合錄音機電機作穩(wěn)速用的二極管。
本實用新型是這樣實現(xiàn)的，在管芯的金屬電極上生長氮化硅或磷硅玻璃鈍化層，并進行選擇電鍍銀或金，以達到二極管的穩(wěn)定、可靠性，使芯片便于分割成單個芯片。
本實用新型為了滿足穩(wěn)定電壓和良好的熱穩(wěn)定性能，根據(jù)外殼的尺寸，采用420×420平方微米至460×460平方微米范圍之內(nèi)的P－H結(jié)面積和410×410平方微米至450×450平方微米范圍內(nèi)的引線孔面積。
本實用新型將兩個管芯串聯(lián)的裝入玻璃殼內(nèi)，再在玻璃殼兩端裝入引線，然后進行燒結(jié)形成微型玻璃封裝溫度補償二極管。
本實用新型發(fā)明人已小批量生產(chǎn)，并在實踐中應(yīng)用，實踐證明采用本生產(chǎn)過程適合二極管的大批量生產(chǎn)，生產(chǎn)效率高，產(chǎn)品一致性好。錄音機電機應(yīng)用本實用新型后，由于采用玻璃殼封裝，受環(huán)境影響小、熱敏性能好，能較穩(wěn)定的保證錄音機電機轉(zhuǎn)速的相對穩(wěn)定。由于本實用新型的穩(wěn)定性、可靠性高，也提高了錄音機電機的使用壽命。
本實用新型具有性能好、工藝先進、結(jié)構(gòu)緊湊、成本低的特點，并可以節(jié)約大量的外匯。
圖1本實用新型的單個管芯結(jié)構(gòu)示意圖。
其 中1——硅片襯底2——硅外延層3——二氧化硅4——P－N結(jié)面積5——引線孔面積6——蒸鈦7——蒸金8——氮化硅或磷硅玻璃層9——電鍍窗口10——電鍍銀11——蒸鎳12——蒸銀13——電鍍銀圖2本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
其 中
14——玻璃殼15——兩個串聯(lián)管芯16——引線17——色環(huán)圖1所示，將電阻率ρ≤10－3歐姆一厘米的襯底(1)和厚度為T＝6－8微米、電阻率為ρ＝0.1歐姆一厘米的外延層(2)H型硅片清洗處理；進行一次氧化和一次光刻形成的硅片的二氧化硅(3)保護膜；進行硼擴散形成了420×420平方微米至460×460平方微米范圍內(nèi)的P－H結(jié)面積(4)，達到硼擴散濃度要求、并生長一定厚度的氧化層；進行二次光刻形成410×410平方微米至450×450平方微米范圍內(nèi)的引線孔面積(5)；然后在專用真空蒸發(fā)臺內(nèi)分別對硅片正面進行蒸鈦(6)和蒸金(7)，達到沉積的目的；進行第三次光刻，在金屬電極上生長氮化硅或磷硅玻璃層(8)；通過四次光刻，刻出電鍍窗口(9)；進行正面電鍍銀，形成金屬電極凸起(10)；通過專用減薄機對硅片背面進行減薄，然后分別進行蒸鎳(11)、蒸銀(12)和電鍍銀(13)，然后將硅大圓片在專用劃片機上劃片分割成單個管芯。
圖2所示，在專用模具上裝好玻璃殼(14)，兩個清洗后的管芯(15)串聯(lián)放入玻璃殼(14)內(nèi)，再在玻璃殼兩端各裝入一根引線(16)，在一定溫度下燒結(jié)后，玻璃殼(14)、管芯(15)、引線(16)達到全密封性封裝，最后打上色環(huán)(17)，形成微型玻璃封裝溫度補償二極管。
權(quán)利要求
1.一種錄音機電機作穩(wěn)速用的溫度補償二極管，由管殼、兩個串聯(lián)管芯、引線組成，其特征在于二極管管殼采用玻璃殼封裝，管芯的金屬電極上有氮化硅或磷硅玻璃鈍化層，并電鍍銀或金。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的二極管，其特征在于所說P－N結(jié)的面積為420×420平方微米至460×460平方微米范圍之內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求
2所述的二極管，其特征在于所說P－N結(jié)上的引線孔面積為410×410平方微米至450×450平方微米范圍之內(nèi)。
專利摘要
一種主要供錄音機電機作穩(wěn)速用的玻璃殼封裝溫度補償二極管。它克服了目前國外進口的工藝上采用合金法、外殼采用塑料封裝的二極管穩(wěn)定性、可靠性差的缺點。本實用新型管芯的金屬電極上生長氮化硅或磷硅玻璃鈍化層，并進行選擇電鍍銀或金，外殼采用全密封性玻璃外殼封裝。因而本實用新型具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可靠性，大大提高了錄音機電機的壽命。本實用新型還具有工藝先進、結(jié)構(gòu)緊湊、成本低、適合于大批量生產(chǎn)的特點。
文檔編號H01L23/08GK87201554SQ87201554
公開日1988年6月22日 申請日期1987年5月20日
發(fā)明者劉復(fù)康 申請人:威海市無線電二廠導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan