專利名稱：具有工作件轉(zhuǎn)送保護(hù)功能的半導(dǎo)體制程設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型有關(guān)一種具有工作件轉(zhuǎn)送保護(hù)功能的半導(dǎo)體制程設(shè)備，特別是有關(guān)一種保護(hù)制程設(shè)備和標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面(standardized mechanical interface)(SMIF)自動(dòng)化傳送裝置的半導(dǎo)體制程設(shè)備。
背景技術(shù)：
對(duì)降低每單位晶片制程成本的需求，驅(qū)使半導(dǎo)體業(yè)不斷的搜尋增加晶片優(yōu)良率及降低制造循環(huán)周期的方法。而眾所周知，要增加半導(dǎo)體晶片制造系統(tǒng)的總產(chǎn)量，不外乎確保每一機(jī)臺(tái)穩(wěn)定的晶片供給量。因此，工廠的物料管理系統(tǒng)的處理能力就影響了在場(chǎng)內(nèi)循環(huán)的晶片載具數(shù)量。當(dāng)晶片的尺寸持續(xù)增大，為了適應(yīng)尺寸及晶片箱重量的變大，對(duì)晶片的處理方式則越來(lái)越趨向于自動(dòng)化。也就是說，介面裝置傳送晶片或晶舟到制程或量測(cè)設(shè)備的動(dòng)作，變得越來(lái)越重要和越來(lái)越復(fù)雜。
因?yàn)橐苊庵車奈⒘；蛑瞥趟奈⒘５奈廴荆瑢?duì)半導(dǎo)體晶片的處理和制造就需要極度的注意。因其一旦受到了污染就會(huì)降低制程優(yōu)良率，所以，集成電路的制造就更加的昂貴和費(fèi)時(shí)。標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面(SMIF)系統(tǒng)的發(fā)展，不僅促進(jìn)半導(dǎo)體晶片的制造，同時(shí)也減少了于半導(dǎo)體制程儲(chǔ)存和傳送晶片時(shí)，微粒落到晶片的機(jī)會(huì)。標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面(SMIF)系統(tǒng)主要包括三個(gè)部分一密閉箱子，用來(lái)傳送或儲(chǔ)存晶片的晶舟；一微小的環(huán)境，其為利用超純氣體環(huán)繞晶舟裝載處和制程設(shè)備的晶片制造區(qū)域，以使得箱子內(nèi)部環(huán)境和微小環(huán)境間成為縮小型的潔凈空間；及自動(dòng)傳送組件，裝載/卸載晶舟及/或晶片，將其從密閉箱子傳送到制程機(jī)臺(tái)，而不使晶舟中的晶片受到外在環(huán)境的污染。因此，當(dāng)晶片在晶片廠移動(dòng)時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面系統(tǒng)提供持續(xù)性的超潔凈環(huán)境，是一種操作者和制程機(jī)臺(tái)間的有力介面。
近來(lái)所設(shè)計(jì)的自動(dòng)化裝置和其他具有標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面裝置的機(jī)器，是用以集成將晶舟裝載和卸載到晶片制程或量測(cè)設(shè)備。因此，操作介面就日益復(fù)雜。利用安全感應(yīng)器檢查介面裝置是否處于適當(dāng)?shù)牟僮鳡顟B(tài)，是屬于裝置本身的控制介面，而自動(dòng)介面裝置和制程工具間復(fù)雜的操作介面，造成操作者強(qiáng)大的負(fù)擔(dān)而容易導(dǎo)致操作錯(cuò)誤。例如，自動(dòng)介面裝置本身的安全感應(yīng)器無(wú)法檢查出制程工具是否處于正常狀態(tài)，(或說達(dá)到預(yù)選狀態(tài))，而當(dāng)制程工具處于非預(yù)選狀態(tài)時(shí)，操作者在未察覺的情形下啟動(dòng)了卸載的動(dòng)作，就可能造成自動(dòng)介面裝置或制程工具，以及晶片的損壞。
一般控制介面中的許多警示器都是有其必要的作用，但是簡(jiǎn)化操作介面以減輕操作者的負(fù)擔(dān)，進(jìn)而避免操作者的誤動(dòng)作發(fā)生，仍是不斷需要發(fā)展的目標(biāo)。因此，利用制程工具和介面裝置間的簡(jiǎn)易保護(hù)裝置，提供一種具有工作件轉(zhuǎn)送保護(hù)功能的半導(dǎo)體制程設(shè)備，使其不因誤動(dòng)作的發(fā)生而損害設(shè)備乃是業(yè)界的一大期望。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的為提供一種具有工作件轉(zhuǎn)送保護(hù)功能的半導(dǎo)體制程設(shè)備，它可以顯示制程工具是否處于適當(dāng)?shù)牟僮鳡顟B(tài)，而當(dāng)制程工具不是處于適當(dāng)?shù)牟僮鳡顟B(tài)時(shí)，會(huì)自動(dòng)關(guān)閉介面裝置的動(dòng)作，以避免因誤動(dòng)作而發(fā)生的損害。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的具有工作件轉(zhuǎn)送保護(hù)功能的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特點(diǎn)是，所述半導(dǎo)體制程設(shè)備包括一制程工具，所述制程工具包括一可移動(dòng)平臺(tái)用以支撐一工作件；一介面裝置，所述介面裝置包括一自動(dòng)傳送裝置用以傳送所述工作件往返于所述可移動(dòng)平臺(tái)及所述介面裝置之間；一感應(yīng)裝置，用以檢查所述制程工具的所述可移動(dòng)平臺(tái)是否處于一預(yù)選狀態(tài)，且產(chǎn)生一輸出信號(hào)；及一控制組件，根據(jù)所述輸出信號(hào)以控制所述自動(dòng)傳送裝置啟閉。
本實(shí)用新型利用感應(yīng)器檢查制程工具的可移動(dòng)平臺(tái)是否處于預(yù)選狀態(tài)(home)，并且產(chǎn)生一輸出信號(hào)。然后將輸出信號(hào)傳送至控制組件。假如感應(yīng)器檢查出可移動(dòng)平臺(tái)不處于預(yù)選狀態(tài)，保護(hù)功能就會(huì)作用，而關(guān)閉介面裝置的自動(dòng)傳送裝置的裝載/卸載功能，以避免因操作誤動(dòng)作而使得晶片，制程工具，以及介面裝置的損壞。
為更清楚理解本實(shí)用新型的目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)，下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。


圖1是本實(shí)用新型具工作件轉(zhuǎn)送保護(hù)功能的半導(dǎo)體制程設(shè)備的簡(jiǎn)易圖；圖2是本實(shí)用新型的半導(dǎo)體制程設(shè)備電路連結(jié)及信號(hào)傳輸?shù)暮?jiǎn)易圖；圖3是本實(shí)用新型的半導(dǎo)體制程工作件傳送的的簡(jiǎn)易圖；及圖4是本實(shí)用新型的半導(dǎo)體制程工作件傳送的作業(yè)流程圖。
具體實(shí)施方式
于本實(shí)用新型的實(shí)施例中，提供了一種具工作件轉(zhuǎn)送保護(hù)功能的半導(dǎo)體制程設(shè)備。如圖1所示，本實(shí)用新型的傳送工作件的半導(dǎo)體制程設(shè)備100，至少包括一介面裝置101，它具有傳送工作件往返于制程工具102的可移動(dòng)平臺(tái)114和介面裝置101之間的自動(dòng)傳送裝置。本實(shí)用新型的重點(diǎn)是利用一感應(yīng)裝置116檢查制程工具102的可移動(dòng)平臺(tái)114是否處于一預(yù)選狀態(tài)，例如是否達(dá)到A的位置，并產(chǎn)生一輸出信號(hào)。假如可移動(dòng)平臺(tái)114移動(dòng)到介面裝置101的自動(dòng)傳送裝置可以進(jìn)行裝載/卸載(load/unload)工作件的位置，例如位置A，則定義其達(dá)到預(yù)選狀態(tài)(home)或準(zhǔn)備好狀態(tài)(ready)。反之，則定義為未達(dá)到預(yù)選狀態(tài)(not home)或未準(zhǔn)備好狀態(tài)(not ready)。而控制組件118根據(jù)此輸出信號(hào)，用以控制介面裝置101的自動(dòng)傳送裝置的傳送功能。雖然本實(shí)用新型所描述的介面裝置101是有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)介面(SMIF)系統(tǒng)，但本實(shí)用新型可運(yùn)用于任何一種儲(chǔ)存和傳送半導(dǎo)體晶片的介面裝置。而制程工具102可以是晶片制程或量測(cè)的設(shè)備，例如蝕刻機(jī)臺(tái)或表面掃描量測(cè)機(jī)臺(tái)。而″半導(dǎo)體晶片″或″晶片″一詞，所指的是任何半導(dǎo)體晶片制造階段中，可能產(chǎn)生的晶片底材。
圖2是具有工作件轉(zhuǎn)送保護(hù)功能的半導(dǎo)體制程設(shè)備100中，感應(yīng)裝置116，控制組件118，顯示組件124，及介面裝置101間的電路連結(jié)及信號(hào)傳送的簡(jiǎn)易圖。感應(yīng)裝置116可將檢測(cè)制程工具的可移動(dòng)平臺(tái)是否到達(dá)位置A的狀態(tài)，輸出一信號(hào)到控制組件118，控制組件118則依據(jù)此輸出信號(hào)，來(lái)控制介面裝置101的自動(dòng)傳送裝置，同時(shí)可將信號(hào)顯示于一顯示組件124上。例如，當(dāng)感應(yīng)裝置檢測(cè)到可移動(dòng)平臺(tái)未達(dá)到準(zhǔn)備位置，也即未達(dá)到位置A，輸出一信號(hào)到控制組件，控制組件依據(jù)此信號(hào)關(guān)閉介面裝置的自動(dòng)傳送裝置的裝載/卸載功能。當(dāng)感應(yīng)裝置檢測(cè)到可移動(dòng)平臺(tái)達(dá)到準(zhǔn)備位置，也即達(dá)到位置A，輸出一信號(hào)到控制組件，控制組件依據(jù)此信號(hào)啟動(dòng)介面裝置的自動(dòng)傳送裝置的裝載/卸載功能。
參考圖3，本實(shí)用新型的保護(hù)設(shè)備至少包括一制程工具102，一介面裝置101，一感應(yīng)裝置116，及一控制組件118。其中制程工具102具一可移動(dòng)平臺(tái)114用以支撐工作件110。工作件110可以是具有一片或多片半導(dǎo)體晶片的半導(dǎo)體晶片承載盒，或者是一片晶片，于本實(shí)施例中其為一晶片承載盒?？梢苿?dòng)平臺(tái)114則可以垂直或水平的移動(dòng)，以達(dá)到制程工具102對(duì)工作件110進(jìn)行制程的目的。介面裝置101包括一自動(dòng)傳送裝置112用以傳送工作件110往返于可移動(dòng)平臺(tái)114及介面裝置101之間。感應(yīng)裝置116，乃用以檢查制程工具102的可移動(dòng)平臺(tái)114是否處于預(yù)選狀態(tài)，且產(chǎn)生一輸出信號(hào)?？刂平M件118，則根據(jù)輸出信號(hào)以控制自動(dòng)傳送裝置112的啟閉。
在工作件的傳送過程中，通常利用傳送箱(pod)或標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面箱(SMIF pod)來(lái)裝載工作件。傳送箱或標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面箱通常包括箱蓋部份120和底座部份122。當(dāng)傳送箱放置于介面裝置101上時(shí)，介面裝置101首先會(huì)將箱蓋部份120與底座部份122分離，然后將包括工作件110的底座部份122降低至與可移動(dòng)平臺(tái)114緊鄰的位置。再依據(jù)感應(yīng)裝置116檢測(cè)可移動(dòng)平臺(tái)位置結(jié)果，控制裝置118會(huì)啟閉自動(dòng)傳送裝置112的裝載/卸載功能，將工作件110傳送到制程工具102內(nèi)，然后放在可移動(dòng)平臺(tái)114上。其中感應(yīng)裝置116是用以檢查制程工具102的可移動(dòng)平臺(tái)114是否處于一預(yù)選狀態(tài)，例如是否達(dá)到位置A，且產(chǎn)生一輸出信號(hào)。感應(yīng)裝置116可以是一開關(guān)感應(yīng)器(或閘刀開關(guān))，用以檢測(cè)可移動(dòng)平臺(tái)114是否處于準(zhǔn)備好的狀態(tài)，且包括傳送輸出信號(hào)到一控制組件118的所有電路。以開關(guān)感應(yīng)器為例，其一端電路是接地，而另一端則是連接到控制組件118。控制組件118根據(jù)輸出信號(hào)以控制介面裝置101的自動(dòng)傳送裝置112。此外，控制組件118可以是外接式的控制組件，用以控制自動(dòng)傳送裝置112，也可以是介面裝置101本身的內(nèi)部控制組件。
本實(shí)用新型的主要重點(diǎn)是當(dāng)感應(yīng)裝置116檢測(cè)到可移動(dòng)平臺(tái)114并未達(dá)到準(zhǔn)備位置，自動(dòng)傳送裝置112的傳送功能將會(huì)自動(dòng)關(guān)閉，而達(dá)到簡(jiǎn)化操作介面的目的。也就是說，當(dāng)可移動(dòng)平臺(tái)114并未達(dá)到準(zhǔn)備位置，反應(yīng)輸出信號(hào)的控制組件118會(huì)關(guān)閉自動(dòng)傳送裝置112的裝載/卸載功能。當(dāng)感應(yīng)裝置116檢測(cè)到可移動(dòng)平臺(tái)114并達(dá)到準(zhǔn)備位置，也即達(dá)位置A，反應(yīng)輸出信號(hào)的控制組件118會(huì)啟動(dòng)自動(dòng)傳送裝置112的裝載/卸載功能。因此可避免因不當(dāng)操作而造成制程工具和介面裝置的損壞，而使得設(shè)備故障時(shí)間增加。此外，控制組件包括一顯示組件124，例如燈號(hào)顯示器，其可顯示可移動(dòng)平臺(tái)的準(zhǔn)備狀態(tài)(ready/not ready)。例如，當(dāng)可移動(dòng)平臺(tái)達(dá)準(zhǔn)備狀態(tài)，燈號(hào)顯示器就會(huì)亮燈，反的，當(dāng)可移動(dòng)平臺(tái)未達(dá)準(zhǔn)備狀態(tài)，燈號(hào)顯示器就不會(huì)亮燈，這樣，操作者可以通過顯示組件輕易得知需要執(zhí)行裝載/卸載的操作時(shí)機(jī)。因此可避免因不當(dāng)操作而造成制程工具和介面裝置的損壞而使得設(shè)備故障時(shí)間增加。
圖4為本實(shí)用新型設(shè)備的作業(yè)流程。首先，利用一感應(yīng)裝置，感應(yīng)檢測(cè)制程工具內(nèi)的可移動(dòng)平臺(tái)是否處于預(yù)選位置，且產(chǎn)生一輸出信號(hào)。然后，接收輸出信號(hào)以判定可移動(dòng)平臺(tái)是否處于預(yù)選位置。另外，當(dāng)可移動(dòng)平臺(tái)不在預(yù)選位置時(shí)，停止自動(dòng)傳送任何一工作件至可移動(dòng)平臺(tái)上。同時(shí)，將顯示出輸出信號(hào)。當(dāng)可移動(dòng)平臺(tái)達(dá)到預(yù)選位置時(shí)，自動(dòng)傳送任何一工作件至可移動(dòng)平臺(tái)上。
通常標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面系統(tǒng)提供一種單一裝載/卸載功能來(lái)傳送工作件。單一裝載/卸載功能是一旦一批晶片裝載到制程工具后，只有當(dāng)這批晶片完成制程且被卸載后，才會(huì)再裝載另一批晶片到制程工具。本實(shí)用新型半導(dǎo)體制程設(shè)備配合介面裝置的單一裝載/卸載功能，操作者可以很輕易地操作傳送裝置，而類似兩個(gè)晶舟撞在一起造成破片，及制程工具和介面裝置損壞的誤動(dòng)作，就可以輕易地避免。
以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本實(shí)用新型的申請(qǐng)專利范圍；凡其它未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應(yīng)包括在本實(shí)用新型的申請(qǐng)專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種具有工作件轉(zhuǎn)送保護(hù)功能的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體制程設(shè)備包括一制程工具，所述制程工具包括一可移動(dòng)平臺(tái)用以支撐一工作件；一介面裝置，所述介面裝置包括一自動(dòng)傳送裝置用以傳送所述工作件往返于所述可移動(dòng)平臺(tái)及所述介面裝置之間；—感應(yīng)裝置，用以檢查所述制程工具的所述可移動(dòng)平臺(tái)是否處于一預(yù)選狀態(tài)，且產(chǎn)生一輸出信號(hào)；及—控制組件，根據(jù)所述輸出信號(hào)以控制所述自動(dòng)傳送裝置啟閉。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述工作件至少包括一半導(dǎo)體晶片承載盒。
3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述介面裝置至少包括一標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面裝置。
4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述感應(yīng)裝置至少包括一開關(guān)感應(yīng)器。
5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，當(dāng)所述輸出信號(hào)表示所述可移動(dòng)平臺(tái)不在所述預(yù)選狀態(tài)時(shí)所述控制組件關(guān)閉所述自動(dòng)傳送裝置。
6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，當(dāng)所述輸出信號(hào)表示所述可移動(dòng)平臺(tái)處于所述預(yù)選狀態(tài)時(shí)所述控制組件啟動(dòng)所述自動(dòng)傳送裝置。
7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述控制組件包括一顯示組件以顯示所述預(yù)選狀態(tài)。
8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體制程設(shè)備，其特征在于，所述顯示組件至少包括一燈號(hào)顯示器。
專利摘要一種具有工作件轉(zhuǎn)送保護(hù)功能的半導(dǎo)體制程設(shè)備。半導(dǎo)體制程設(shè)備至少包括一制程工具,其包括一可移動(dòng)平臺(tái)用以支撐一工作件;一介面裝置,其包括一自動(dòng)傳送裝置用以傳送工作件往返于制程工具的可移動(dòng)平臺(tái)及介面裝置之間;一感應(yīng)裝置,用以檢查制程工具的可移動(dòng)平臺(tái)是否處于一預(yù)選狀態(tài),且產(chǎn)生一輸出信號(hào);及一控制組件,根據(jù)輸出信號(hào)以控制自動(dòng)傳送裝置。
文檔編號(hào)H01L21/00GK2502403SQ01233689
公開日2002年7月24日 申請(qǐng)日期2001年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2001年8月9日
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