專利名稱：脆性基板的分割方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)一種脆性基板的分割方法及脆性基板的分割裝置。
背景技術(shù)：
圖1是以往一般所用的脆性基板的分割裝置示意圖。形成有刻線(scribe-line)S的脆性基板1通過隔著墊子(mat)2的方式安裝于工作臺3上。分割桿4位于脆性基板1上方，該分割桿4是在其棒狀金屬構(gòu)件4a下面接合有截面呈V字狀的硬質(zhì)橡膠4b。使該硬質(zhì)橡膠4b下端部與刻線S相吻合后從上方按壓，脆性基板1便會在墊子2上稍微彎曲而沿著刻線S分割開來。
圖2是該分割桿4的前視圖。該分割桿的長度L因須和脆性基板1的橫向?qū)挾却笾孪嗟?，故當脆性基?為大尺寸時，該分割桿的長度L須跟著放大。于是，硬質(zhì)橡膠4b上有凹凸，而分割桿4、脆性基板1會有變彎等現(xiàn)象產(chǎn)生，故現(xiàn)有的方法是使硬質(zhì)橡膠4b無間隙一直線地接觸后按壓于脆性基板1上，分割時均勻的分割壓力將不作用于玻璃板1上，而容易發(fā)生不良的分割。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種脆性基板的分割方法及其采用的分割裝置，能極有效地抑制貼合脆性基板分割不良的發(fā)生。
為實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明一方面提供一種脆性基板的分割裝置，它包括一分割桿以按壓已劃線的脆性基板，以沿著刻線予以分割；其特點是分割桿的下部設(shè)置一曲面形狀的按壓部；還包括一按壓控制機構(gòu)，它沿著對應(yīng)于刻線的分割預(yù)定線，使所述曲面形狀的按壓部邊依序接觸于所述脆性基板表面，一邊沿著所述分割桿的長邊方向水平移動。
根據(jù)本發(fā)明另一方面提供一種脆性基板的分割方法，使用具備搬運要加工的脆性基板的至少一臺搬運裝置、劃線加工用的至少一臺劃線器、及分割加工用的至少一臺脆性基板的分割裝置的脆性基板的分割裝置，來將由第一、第二基板構(gòu)成的貼合基板沿著既定刻線進行分割加工，而成為至少二塊以上的部分；其特點是，包括以下步驟(1)在所述第一基板上形成至少二條以上的刻線；(2)在所述第二基板上形成至少一條以上的刻線；(3)將第一基板沿著所述第一基板的第一刻線一條，分割成留有刻線的第一部分及沒有刻線的第二部分；(4)沿著所述第二基板的第一刻線進行分割；及(5)沿著所述第一基板的第一部分上的第二刻線，將第一部分進一步予以分割。
根據(jù)本發(fā)明又一方面的脆性基板的分割方法，使用具備搬運要加工的脆性基板的至少一臺搬運裝置、劃線加工用的至少一臺劃線器、及分割加工用的至少一臺脆性基板的分割裝置的脆性基板的分割裝置，來將由第一、第二基板構(gòu)成的貼合基板沿著既定刻線進行分割加工，而成為至少二塊以上的部分；其特點是，包括以下步驟(1)在所述第一基板上形成至少二條以上的刻線；(2)將第一基板沿著所述第一基板的第一刻線一條，分割成留有刻線的第一部分及沒有刻線的第二部分；(3)在所述第二基板上形成至少一條以上的刻線；(4)沿著所述第二基板的第一刻線進行分割；及(5)沿著所述第一基板的第一部分上的第二刻線，將第一部分進一步予以分割。
根據(jù)本發(fā)明再一方面的脆性基板分割方法，采用一分割裝置，利用其分割桿來按壓已劃線的脆性基板，以沿著刻線予以分割；其特點是，包括使用一分割桿通過其下面呈曲面形狀的按壓部，來沿著對應(yīng)于刻線的分割預(yù)定線，使所述曲面形狀的按壓部邊依序接觸于所述脆性基板表面，邊沿著所述分割桿的長邊方向水平移動。
為更清楚理解本發(fā)明的目的、特點和優(yōu)點，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明的較佳實施例進行詳細說明。


圖1是現(xiàn)有的脆性基板的分割裝置的示意圖。
圖2是圖1中劃線器前視圖。
圖3是本發(fā)明脆性基板的分割裝置第1較佳實施例的前視圖。
圖4是圖3中主要部分的側(cè)視圖。
圖5是圖3中分割板的構(gòu)成。
圖6是使用本發(fā)明貼合玻璃分割方法的工作過程示意圖。
圖7是第1較佳實施例的切邊裝置的立體圖。
圖8是本發(fā)明第1較佳實施例的貼合玻璃脆性基板的分割裝置示意圖。
圖9是使用本發(fā)明貼合玻璃分割方法的工作流程圖。
圖10是本發(fā)明第1較佳實施例貼合玻璃脆性基板的分割裝置示意圖。
具體實施例方式
圖3是本發(fā)明第1實施例脆性基板的分割裝置10的前視圖。圖4是脆性基板的分割裝置10的側(cè)視圖，而且只顯示有關(guān)本發(fā)明的主要部分的放大圖。在Y方向(圖3中紙面的垂直方向)可移動的工作臺12上，借助一對引導(dǎo)構(gòu)件11安裝一具有所劃出的刻線朝下的玻璃板13。平板狀分割桿支撐體14以倒立狀態(tài)位于該工作臺12上方，在該分割桿支撐體14的下部設(shè)有分割桿15。
該分割桿15如圖5所示，由下面如弓般彎曲的基部15a及其下面接合一硬質(zhì)橡膠15b組成。
在該分割桿15的兩端上形成銷孔m、n，將該分割桿15設(shè)置成以一點的銷孔n為支點可相對于分割桿支撐體14旋動自如。另外，在分割桿支撐體14的既定部位上設(shè)有借助伺服馬達16而可旋轉(zhuǎn)的圓盤17，在該圓盤17上所設(shè)的銷17a與所述銷孔m之間安裝一曲柄18。這樣，分割桿15隨著圓盤17的旋轉(zhuǎn)，以銷孔n為支點進行俯仰運動。此時，分割桿15的對玻璃板13的按下點將因單方向直線移動，而能從一端向另一端對玻璃板13進行分割。若采用這種分割方法，則例如當使用電動氣動式調(diào)節(jié)器(electro-pneumatic regulator)時即可進行在分割開始端增加分割壓力的控制。另外，利用對伺服電機16的旋轉(zhuǎn)速度的控制可改變俯仰運動的速度。
所述分割桿支撐體14本身借助加壓用壓缸19設(shè)置成上下可動，而且可設(shè)定分割桿15所需要的分割壓力。分割桿15，如圖4所示，位于玻璃板13的刻線S上方，另外，在分割桿15的正下方，將寬5mm深0.5mm的凹狀槽12a沿著分割桿15的桿方向形成于工作臺12上。該槽12a本身的尺寸小，故使用蝕刻方法來加工出該槽來。
其次，根據(jù)圖6來說明使用本發(fā)明脆性基板的分割裝置10來分割貼合玻璃(液晶面板，liquid crystal panel)21的過程。在此，最后的加工是如G圖(K圖)所示，把端部T留在有一邊完成分割的面板片上。
首先，如A圖所示，在液晶面板21上側(cè)的玻璃板上形成2條刻線S，其次，翻轉(zhuǎn)液晶面板21以對調(diào)其表里，再形成1條刻線。在此，在一玻璃板上畫上斜線以便了解液晶面板21的翻轉(zhuǎn)狀態(tài)。
其次，如C圖所示，使用本發(fā)明脆性基板的分割裝置10來對下側(cè)玻璃板進行如B1所示的分割。在現(xiàn)有分割方法的場合，接著如H圖所示，對另一條刻線進行如B2所示的分割。另外，如I圖所示翻轉(zhuǎn)液晶面板以對調(diào)其表里，然后如J圖所示對形成于下側(cè)玻璃板的刻線進行如B3所示的分割，這樣如K圖所示最后把液晶面板21分割成2塊。
H圖中，在B2分割時，玻璃板在緊臨B2的左側(cè)如B1所示已經(jīng)被分割，因此在B2分割時須施加較大的分割壓力，但一旦此壓力過大，連上側(cè)玻璃板都會被分割，故不容易控制分割的加壓力。另外，在B3分割時，因B1板接觸旁邊的玻璃板，故在玻璃端面等容易產(chǎn)生碎片。在液晶面板的分割工程上，把這種在玻璃端面產(chǎn)生的碎片當作分割不良或分斷不良來處理。
所以在本實施例中，如C圖所示在分割B1后，如D圖所示翻轉(zhuǎn)液晶面板21，然后如E圖所示分割B3。此時如F圖所示，液晶面板21已經(jīng)分割成2塊。關(guān)于須切除的邊部Q，如G圖所示只要使用切邊用的裝置即可輕易切除邊部Q。
圖7所示是一切邊裝置BQ。搬運用機械手臂(robot)(未圖示)把自液晶面板21所分離出的液晶單元基板31搬運到切邊裝置的工作臺32上，使得邊部Q突出(overhang)工作臺既定量。然后，液晶單元基板31被吸引而固定在工作臺32上。利用設(shè)置于支撐板34的壓缸35將切邊桿33以上下運動自如的方式支撐于工作臺32側(cè)面的上方，而在切邊桿33上面的兩端安裝長的圓柱狀引導(dǎo)構(gòu)件36。圖7是顯示切邊桿33上升后的狀態(tài)。借助該切邊桿33的下降，邊部Q的部分會從液晶單元基板31中切除出來。
只要采用使用了切邊裝置的如圖6的A圖～G圖所示的液晶面板的分割方法，即可極為有效地防止在上述玻璃端面產(chǎn)生碎片。并且分割不良幾乎不會發(fā)生。
圖8所示是采用液晶面板脆性基板的分割裝置的加工過程，它使用本實施例如圖6的A圖～G圖的液晶面板的分割方法。
借助進料搬運機FM1將液晶面板21供應(yīng)至劃線器(scriber)SM1的工作臺，當在液晶面板21的一面形成既定的刻線時，翻轉(zhuǎn)搬運機FM2接住劃線機SM1工作臺上的液晶面板21，再翻轉(zhuǎn)液晶面板21(把基板翻過來)。搬運機FM3接住由翻轉(zhuǎn)搬運機FM2所翻轉(zhuǎn)后的液晶面板21，并且搬運到劃線器SM2的工作臺上。利用劃線器SM2在液晶面板21的另一面形成既定的刻線，再由搬運機FM4搬運到本發(fā)明的脆性基板的分割裝置BM1的工作臺上，對液晶面板21的玻璃板一面進行分割。另外，翻轉(zhuǎn)搬運機FM5從脆性基板的分割裝置BM1接住液晶面板21，并再度翻轉(zhuǎn)液晶面板21。搬運機FM6把該被翻轉(zhuǎn)的液晶面板21搬運到脆性基板的分割裝置BM2的工作臺上，再對液晶面板的玻璃板另一面進行分割。然后，液晶面板21被搬運機FM7搬運到分離工作臺BT1，把基板的邊部Q以外不用的部分去掉。然后使用機械手臂RO1把分離出來的液晶單元基板31逐塊地拾起，搬運到切邊裝置BQ1的工作臺上，再切除不用的邊部Q的部分。
上述裝置是液晶面板脆性基板的分割裝置的一較佳實施例，它以下列順序完成液晶面板的分割劃線加工、劃線加工、分割加工、分割加工、切邊加工。可是，也可使用備有切邊裝置的貼合玻璃(液晶面板)脆性基板的分割裝置，該脆性基板的分割裝置是在劃線器1臺及脆性基板的分割裝置1臺及至少1臺搬運裝置上，經(jīng)過一連串的加工工程(劃線加工、劃線加工、分割加工、分割加工)后，再進行切邊加工。
其次，以下以一劃線加工、劃線加工、分割加工、分割加工、切邊加工的加工順序，來敘述為完成液晶面板的分割所需的液晶面板的分割方法及裝置。
圖9是顯示貼合玻璃(液晶面板)分割方法。該貼合玻璃的加工順序是劃線加工、劃線加工、分割加工、分割加工、切邊加工。
首先，如AA圖所示在液晶面板21上側(cè)的玻璃板形成2條刻線S。在此，在一玻璃板上畫上斜線以便了解液晶面板21的翻轉(zhuǎn)狀態(tài)。
其次如BB圖所示，將液晶面板21予以翻轉(zhuǎn)(翻過來)。又如CC圖所示，使用本發(fā)明脆性基板的分割裝置10來對下側(cè)玻璃板進行如B11所示的分割。然后，在上側(cè)玻璃板形成1條刻線。又如DD圖所示，再度將液晶面板21予以翻轉(zhuǎn)，其次如DD圖所示，對B13分割。此時，如FF圖所示，液晶面板21已經(jīng)分割成2塊。關(guān)于須切除的邊部Q，只要使用切邊用的裝置即可如GG圖所示輕易地切除邊部Q的部分。
圖10是顯示采用貼合玻璃(液晶面板)脆性基板的分割裝置的加工過程。該貼合玻璃的加工順序是劃線加工、分割加工、劃線加工、分割加工、切邊加工。
借助進料搬運機FM11將液晶面板21供應(yīng)至劃線器SM11的工作臺，當在液晶面板21的一面形成既定的刻線時，翻轉(zhuǎn)搬運機FM12接住劃線機SM11工作臺上的液晶面板21，再翻轉(zhuǎn)液晶面板21(把基板翻過來)。搬運機FM13接住由翻轉(zhuǎn)搬運機FM12所翻轉(zhuǎn)后的液晶面板21，并且搬運到脆性基板的分割裝置BM11的工作臺上。利用脆性基板的分割裝置BM11對液晶面板21的玻璃板一面進行分割。搬運機FM14從脆性基板的分割裝置BM11接住液晶面板21，再搬運到劃線器SM12的工作臺上。利用劃線器SM12在液晶面板21的另一面形成既定的刻線，再利用翻轉(zhuǎn)搬運機FM15再度翻轉(zhuǎn)液晶面板21，搬運機FM16接住該被翻轉(zhuǎn)的液晶面板21，再搬運到脆性基板的分割裝置BM12的工作臺上，再對液晶面板的玻璃板另一面進行分割。然后，液晶面板21被搬運機FM17搬運到分離工作臺BT11，把基板的邊部Q以外不用的部分去掉。然后使用機械手臂RO11把分離出來的液晶單元基板31逐塊地拾起，搬運到切邊裝置BQ11的工作臺上，再切除不用的邊部Q的部分。
圖10的裝置是包含劃線器2臺及脆性基板的分割裝置2臺及數(shù)臺搬運機及切邊裝置。它利用劃線器SM2在液晶面板21的另一面形成既定的刻線，再由搬運機FM4搬運到本發(fā)明的脆性基板的分割裝置BM1的工作臺上，對液晶面板21的玻璃板一面進行分割。另外，翻轉(zhuǎn)搬運機FM5從脆性基板的分割裝置BM1接住液晶面板21，并再度翻轉(zhuǎn)液晶面板21。搬運機FM6把該被翻轉(zhuǎn)的液晶面板21搬運到脆性基板的分割裝置BM2的工作臺上，再對液晶面板的玻璃板另一面進行分割。也可使用備有切邊裝置的貼合玻璃(液晶面板)脆性基板的分割裝置，該脆性基板的分割裝置包含劃線器1臺及脆性基板的分割裝置1臺及至少1臺搬運裝置，并且經(jīng)過一連串的加工工程(劃線加工、分割加工、劃線加工、分割加工)后，再進行切邊加工。
采用本實用新型的方法和裝置，把面向一基板端部的另一基板部分留下并分離出來后，切除所述另一基板的殘部，就可完成貼合脆性基板的分割工程。通過使用這種貼合脆性基板的分割方法及脆性基板的分割裝置，幾乎能完全抑制基板分割后碎片的發(fā)生及玻璃屑(cullet)的發(fā)生。
另外，只要在上述脆性基板的分割裝置BM1、BM2、BM11、BM12使用本發(fā)明的脆性基板的分割裝置10，上述脆性基板的分割裝置即可成為一種能防止分割不良的貼合玻璃(液晶面板)脆性基板的分割裝置。
所述各分割時，若在刻線正下方的工作臺12設(shè)有槽12a，液晶面板21因會彎曲，故分割將可有效地進行。在此場合，可省去使用圖1所示的墊子2。在此，若利用磁鐵或螺絲固定來將工作臺12做成容易從下方的架臺交換，則能容易地使用形成有對應(yīng)于劃線處的槽12a的工作臺12。
如上所述，本發(fā)明是使用分割桿按壓部下方呈彎曲狀的裝置，使該分割桿在按壓于玻璃板按壓點的狀態(tài)往分割桿長邊方向旋動，以使玻璃板的按壓點水平移動，而分割玻璃板。若采用這種分割方法，可使分割壓力保持一定，或者是在分割開始點可使分割壓力稍大一些，而能按照加工對象進行恰當?shù)姆指睢?br> 另外，通過使用本發(fā)明貼合基板的分割方法及裝置，而能防止分割后每個基板部分相接觸，故可實施在制品端面上幾乎不產(chǎn)生碎片的分割。
權(quán)利要求
1.一種脆性基板的分割裝置，它包括一分割桿以按壓已劃線的脆性基板，以沿著刻線予以分割；其特征在于分割桿的下部設(shè)置一曲面形狀的按壓部；還包括一按壓控制機構(gòu)，它沿著對應(yīng)于刻線的分割預(yù)定線，使所述曲面形狀的按壓部邊依序接觸于所述脆性基板表面，一邊沿著所述分割桿的長邊方向水平移動。
2.一種脆性基板的分割裝置，包括搬運要加工的脆性基板的至少一臺搬運裝置、劃線加工用的至少一臺劃線器、及分割加工用的至少一臺脆性基板的分割裝置，并且對脆性基板依序進行劃線、分割加工；其特征在于當將由第一、第二基板構(gòu)成的貼合基板沿著既定刻線分割成至少二塊以上的部分時，(1)使用所述至少一臺劃線器來在所述第一基板形成至少二條以上的刻線；劃線后，(2)使用所述至少一臺劃線器來在所述第二基板形成至少一條以上的刻線；劃線后，(3)使用所述至少一臺脆性基板的分割裝置來將第一基板沿著所述第一基板的第一刻線一條，分割成留有刻線的第一部分及沒有刻線的第二部分；劃線后，(4)使用所述至少一臺脆性基板的分割裝置來沿著所述第二基板的刻線進行分割；(5)沿著所述第一基板的第一部分上的第二刻線，將第一部分進一步分割成二個以上的部分。
3.一種脆性基板的分割裝置，包括搬運要加工的脆性基板的至少一臺搬運裝置、劃線加工用的至少一臺劃線器、及分割加工用的至少一臺脆性基板的分割裝置，并且對脆性基板依序進行劃線、分割加工；其特征在于當將由第一、第二基板構(gòu)成的貼合基板沿著既定刻線分割成至少二塊以上的部分時，(1)使用所述至少一臺劃線器來在所述第一基板形成至少二條以上的刻線；劃線后，(2)使用所述至少一臺脆性基板的分割裝置來將第一基板沿著所述第一基板的第一刻線一條，分割成留有刻線的第一部分及沒有刻線的第二部分；劃線后，(3)使用所述至少一臺劃線器來在所述第二基板形成至少一條以上的刻線；劃線后，(4)使用所述至少一臺脆性基板的分割裝置來沿著所述第二基板的刻線進行分割；(5)沿著所述第一基板的第一部分上的第二刻線，將第一部分進一步分割成二個以上的部分。
4.如權(quán)利要求2或3所述的脆性基板的分割裝置，其特征在于，所述至少一臺脆性基板的分割裝置是利用分割桿來按壓已劃線的脆性基板，以沿著刻線予以分割；其中分割桿的下部具備一曲面形狀的按壓部，而且該脆性基板的分割裝置具備一按壓控制機構(gòu)，其沿著對應(yīng)于刻線的分割預(yù)定線，使所述曲面形狀的按壓部邊依序接觸于所述脆性基板表面，邊沿著所述分割桿的長邊方向水平移動。
5.如權(quán)利要求1至3之任一項所述的脆性基板的分割裝置，其特征在于，脆性基板的工作臺是沿著被分割桿所按壓的線上形成既定寬度的槽安裝。
6.如權(quán)利要求1至3之任一項所述的脆性基板的分割裝置，其特征在于，它還包括有一保持機構(gòu)，用以保持安裝脆性基板的工作臺。
7.如權(quán)利要求4所述的脆性基板的分割裝置，其特征在于，它還包括有一保持機構(gòu)，用以保持安裝脆性基板的工作臺。
8.如權(quán)利要求5所述的脆性基板的分割裝置，其特征在于，它還包括有一保持機構(gòu)，用以保持安裝脆性基板的工作臺。
9.如權(quán)利要求1至3之任一項所述的脆性基板的分割裝置，它還包括有一控制機構(gòu)，用以控制所述分割桿抵接于所述脆性基板的位置上的加壓壓力。
10.如權(quán)利要求4所述的脆性基板的分割裝置，其特征在于，還包括一控制機構(gòu)，用以控制所述分割桿抵接于所述脆性基板的位置上的加壓壓力。
11.如權(quán)利要求5所述的脆性基板的分割裝置，其特征在于，還包括一控制機構(gòu)，用以控制所述分割桿抵接于所述脆性基板的位置上的加壓壓力。
12.如權(quán)利要求6所述的的脆性基板的分割裝置，其特征在于，還包括一控制機構(gòu)，用以控制所述分割桿抵接于所述脆性基板的位置上的加壓壓力。
13.如權(quán)利要求7所述的脆性基板的分割裝置，其特征在于還包括一控制機構(gòu)，用以控制所述分割桿抵接于所述脆性基板的位置上的加壓壓力。
14.如權(quán)利要求8所述的脆性基板的分割裝置，其特征在于還包括一控制機構(gòu)，用以控制所述分割桿抵接于所述脆性基板的位置上的加壓壓力。
15.一種脆性基板的分割方法，使用具備搬運要加工的脆性基板的至少一臺搬運裝置、劃線加工用的至少一臺劃線器、及分割加工用的至少一臺脆性基板的分割裝置的脆性基板的分割裝置，來將由第一、第二基板構(gòu)成的貼合基板沿著既定刻線進行分割加工，而成為至少二塊以上的部分；其特征在于，包括以下步驟(1)在所述第一基板上形成至少二條以上的刻線；(2)在所述第二基板上形成至少一條以上的刻線；(3)將第一基板沿著所述第一基板的第一刻線一條，分割成留有刻線的第一部分及沒有刻線的第二部分；(4)沿著所述第二基板的第一刻線進行分割；及(5)沿著所述第一基板的第一部分上的第二刻線，將第一部分進一步予以分割。
16.一種脆性基板的分割方法，使用具備搬運要加工的脆性基板的至少一臺搬運裝置、劃線加工用的至少一臺劃線器、及分割加工用的至少一臺脆性基板的分割裝置的脆性基板的分割裝置，來將由第一、第二基板構(gòu)成的貼合基板沿著既定刻線進行分割加工，而成為至少二塊以上的部分；其特征在于，包括以下步驟(1)在所述第一基板上形成至少二條以上的刻線；(2)將第一基板沿著所述第一基板的第一刻線一條，分割成留有刻線的第一部分及沒有刻線的第二部分；(3)在所述第二基板上形成至少一條以上的刻線；(4)沿著所述第二基板的第一刻線進行分割；及(5)沿著所述第一基板的第一部分上的第二刻線，將第一部分進一步予以分割。
17.一種脆性基板分割方法，采用一分割裝置，利用其分割桿來按壓已劃線的脆性基板，以沿著刻線予以分割；其特征在于，包括使用一分割桿通過其下面呈曲面形狀的按壓部，來沿著對應(yīng)于刻線的分割預(yù)定線，使所述曲面形狀的按壓部邊依序接觸于所述脆性基板表面，邊沿著所述分割桿的長邊方向水平移動。
全文摘要
一種脆性基板的分割方法及其所采用的裝置,它包括一分割桿以按壓已劃線的脆性基板,以沿著刻線予以分割;其特點是:分割桿的下部設(shè)置一曲面形狀的按壓部;還包括一按壓控制機構(gòu),它沿著對應(yīng)于刻線的分割預(yù)定線,使所述曲面形狀的按壓部邊依序接觸于所述脆性基板表面,一邊沿著所述分割桿的長邊方向水平移動。采用本實用新型的方法及裝置可留下面向單元基板端部的不要的部分而把貼合玻璃基板切割開后,使用別的裝置切除所述不要的部分。這樣,當從大尺寸的貼合玻璃基板中切割出數(shù)塊小尺寸的單元基板同時將玻璃基板不要的部分予以切除的過程中可避免在玻璃端面產(chǎn)生碎片。
文檔編號H01L21/02GK1359784SQ0114375
公開日2002年7月24日 申請日期2001年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2000年12月19日
發(fā)明者若山治雄 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司