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半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置的制作方法

文檔序號(hào):12179786閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于包括:

存儲(chǔ)器串,將第1選擇晶體管、存儲(chǔ)單元晶體管及第2選擇晶體管串聯(lián)連接而成;

位線,連接在所述第1選擇晶體管的一端;

源極線,連接在所述第2選擇晶體管的一端;

第1選擇線,連接在所述第1選擇晶體管的柵極;

字線,連接在所述存儲(chǔ)單元晶體管的柵極;

第2選擇線,連接在所述第2選擇晶體管的柵極;以及

控制電路,進(jìn)行所述第1選擇晶體管的寫入動(dòng)作;且

所述控制電路是在所述寫入動(dòng)作中,在對(duì)所述第1選擇線施加寫入電壓之前進(jìn)行所述位線的預(yù)充電動(dòng)作;

在所述預(yù)充電動(dòng)作中,

對(duì)所述字線及所述第2選擇線施加第1電壓,

對(duì)所述源極線施加高于所述第1電壓的第2電壓,

對(duì)所述第1選擇線施加高于所述第1電壓的第3電壓。

2.一種半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于包括:

存儲(chǔ)器串,將第1選擇晶體管、存儲(chǔ)單元晶體管及第2選擇晶體管串聯(lián)連接而成;

位線,連接在所述第1選擇晶體管的一端;

源極線,連接在所述第2選擇晶體管的一端;

第1選擇線,連接在所述第1選擇晶體管的柵極;

字線,連接在所述存儲(chǔ)單元晶體管的柵極;

第2選擇線,連接在所述第2選擇晶體管的柵極;以及

控制電路,進(jìn)行所述存儲(chǔ)單元晶體管的寫入動(dòng)作;且

所述控制電路是在所述寫入動(dòng)作中,在對(duì)所述字線施加寫入電壓之前進(jìn)行所述位線的預(yù)充電動(dòng)作;

在所述預(yù)充電動(dòng)作中,

對(duì)所述第1選擇線及所述第2選擇線施加第1電壓,

對(duì)所述源極線施加高于所述第1電壓的第2電壓,

對(duì)所述字線施加高于所述第1電壓的第3電壓。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于:

所述存儲(chǔ)器串形成在井上,

所述半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置還包括連接在所述井的井線,

所述第2電壓也被施加至所述井線。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于:還包括讀出放大器,所述讀出放大器連接在所述位線,讀出保存在所述存儲(chǔ)單元晶體管的數(shù)據(jù),

在所述預(yù)充電動(dòng)作中,所述讀出放大器與所述位線間未電連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于:

還包括讀出放大器,所述讀出放大器連接在所述位線,且讀出保存在所述存儲(chǔ)單元晶體管的數(shù)據(jù),

所述控制電路還進(jìn)行驗(yàn)證動(dòng)作,

在所述預(yù)充電動(dòng)作中,

當(dāng)通過了驗(yàn)證動(dòng)作時(shí),所述讀出放大器與所述位線間未電連接,

當(dāng)驗(yàn)證動(dòng)作為失敗時(shí),從所述讀出放大器對(duì)所述位線施加接地電壓。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于:所述控制電路是在所述寫入動(dòng)作之后,使所述第3電壓增量,再次執(zhí)行寫入動(dòng)作。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于:所述控制電路是在所述寫入動(dòng)作之后,使所述第3電壓增量,再次執(zhí)行寫入動(dòng)作。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于:所述第3電壓的增量進(jìn)行多次。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于:所述第3電壓的增量進(jìn)行多次。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于:所述第3電壓低于所述第2電壓。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于:所述第1電壓為接地電壓或負(fù)電壓。

12.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置,其特征在于:所述第1選擇晶體管、所述存儲(chǔ)單元晶體管以及所述第2選擇晶體管沿著與半導(dǎo)體襯底交叉的方向排列。

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