專利名稱：壓電致動器以及驅(qū)動裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如在硬盤裝置的磁頭的驅(qū)動等中使用的壓電致動器以及具備該壓電致動器的驅(qū)動裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，例如在硬盤裝置的磁頭的驅(qū)動等的用途中，廣泛利用壓電致動器。壓電致動器具備極化為規(guī)定的方向的壓電基板。由此，在將壓電致動器安裝到裝置上時，需要以與極化方向相應(yīng)的方向來安裝壓電致動器。為此，謀求能對壓電致動器進(jìn)行方向的判別。鑒于此，例如在下面的專利文獻(xiàn)I中記載了能容易地判別致動器的方向的壓電致動器。具體地，在專利文獻(xiàn)I中，記載了如下的壓電致動器，一對銀電極形成在由壓電 陶瓷構(gòu)成的壓電體的進(jìn)行對置的主面上，在該一對銀電極的一方上形成有氯化銀層。由于氯化銀層與銀電極具有不同的色調(diào)，因此，在專利文獻(xiàn)I所記載的壓電致動器中，能容易地判別方向。先行技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I JP特開平10-294501號公報發(fā)明的概要發(fā)明要解決的課題但是，氯化銀層的導(dǎo)電性低。因此，例如在將端子連接到兩電極上來測定壓電致動器的電特性的情況下，若測定器的端子接觸到氯化銀層，則有時會無法正確地測定壓電致動器的電特性。特別是在壓電致動器為小型的情況下，難以使測定器的端子正確地僅與電極中的未形成氯化銀層的部分接觸，從而，壓電致動器的電特性的測定精度容易顯著降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于相關(guān)問題而提出，目的在于提供容易判別方向且能容易測定電特性的壓電致動器。本發(fā)明所涉及的第I壓電致動器具備壓電基板、第I電極以及第2電極和導(dǎo)電膜。第I電極以及第2電極對壓電基板施加電壓。導(dǎo)電膜形成于第I電極上。導(dǎo)電膜由與第2電極的色調(diào)不同的金屬或合金構(gòu)成。本發(fā)明所涉及的第2壓電致動器具備壓電基板、第I電極以及第2電極和導(dǎo)電膜。第I電極以及第2電極對壓電基板施加電壓。導(dǎo)電膜形成于第I電極的一部分上。導(dǎo)電膜由與第I電極的色調(diào)不同的金屬或合金構(gòu)成。另外，在本發(fā)明中，“色調(diào)不同”是指明度、彩度以及色相中的任一者不同。在本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的某特定的局面下，導(dǎo)電膜的對焊料的浸潤性比第I電極低。根據(jù)該構(gòu)成，能通過導(dǎo)電膜來抑制由于焊料的浸潤擴(kuò)散而使第I電極以及第2電極間短路。另外，能抑制由浸潤擴(kuò)散的焊料對壓電基板的位移的約束。因此，能得到高的驅(qū)動效率。在本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的另外特定的局面下，壓電基板形成為具有第I主面以及第2主面、第I側(cè)面以及第2側(cè)面、第I端面以及第2端面的長方體狀。第I主面以及第2主面分別沿著第I方向和第2方向而延伸。第2方向與第I方向垂直。第I側(cè)面以及第2側(cè)面分別沿著第I方向和第3方向而延伸。第3方向與第I方向以及第2方向都垂直。第I端面以及第2端面分別沿著第2方向以及第3方向而延伸。第I電極具有第I部分和第2部分。第I電極的第I部分形成于第I主面的除了第I方向的一側(cè)端部的部分以外的部分上。第I電極的第2部分形成于第I端面上。第2電極具有第I部分、第2部分和第3部分。第2電極的第I部分形成于第2主面上。第2電極的第2部分形成于第2端面上。第2電極的第3部分在第I主面的第I方向的一側(cè)端部上與第I電極分離而形成。導(dǎo)電膜從第I電極的第I部分的第2方向上的一側(cè)端部跨到另一側(cè)端部地形成。在該構(gòu)成中，由于導(dǎo)電膜相對較大地形成，因此，能使得壓電致動器的方向識別性更加良好。另外，能更有效地抑制由于焊料的浸潤擴(kuò)散而造成的第I電極以及第2電極間的短路。進(jìn)而，能更有效果地抑制由于浸潤擴(kuò)散的焊料而約束壓電基板的位移。由此，能得到更高的驅(qū)動效率。 本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的其它特定的局面下，導(dǎo)電膜包含分別從第I電極的第I部分的第2方向上的一側(cè)端部跨到另一側(cè)端部而形成、并沿著第I方向而進(jìn)行排列的多個導(dǎo)電膜。在該構(gòu)成中，因此，能使得壓電致動器的方向識別性進(jìn)一步變得良好。另外，能進(jìn)一步更有效地抑制由于焊料的浸潤擴(kuò)散而造成的第I電極以及第2電極間的短路。進(jìn)而，能進(jìn)一步更有效果地抑制由于浸潤擴(kuò)散的焊料而約束壓電基板的位移。由此，能得到更高的驅(qū)動效率。本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的再其它特定的局面下，第I電極以及第2電極的至少一部分彼此隔著壓電基板而對置。導(dǎo)電膜按照覆蓋第I電極的與第2電極對置的部分的至少一部分的方式形成。根據(jù)該構(gòu)成，激振部位于壓電基板的第I電極以及第2電極之間且在第I電極以及第2電極之間施加電壓時進(jìn)行激振，通過導(dǎo)電膜來保護(hù)位于激振部上的第I電極。由此,能有效地抑制第I電極的位于激振部上的部分的損傷。本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的再另外特定的局面下，導(dǎo)電膜具有比第I電極高的剛性。根據(jù)該構(gòu)成，能進(jìn)一步有效地抑制第I電極的位于激振部上的部分。本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的又其它特定的局面下，壓電致動器還具有形成于第2電極上、與導(dǎo)電膜在色度以及形狀中的至少一方不同的追加導(dǎo)電膜。根據(jù)該構(gòu)成，能抑制第2電極的損傷。本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的又另外特定的局面下，第I電極以及第2電極的至少一部分彼此隔著壓電基板而對置。追加導(dǎo)電膜按照覆蓋第2電極的與第I電極對置的部分的至少一部分的方式形成。根據(jù)該構(gòu)成，能抑制第2電極的位于激振部上的部分。本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的再又其它特定的局面下，追加導(dǎo)電膜具有比第2電極高的剛性。根據(jù)該構(gòu)成，能進(jìn)一步有效地抑制第2電極的位于激振部上的部分的損傷。
本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的再又另外特定的局面下，導(dǎo)電膜由與第I電極以及第2電極不同的材料構(gòu)成。本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的又再其它特定的局面下，第I電極以及第2電極分別由從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上金屬的合金構(gòu)成。根據(jù)該構(gòu)成，t匕起用Ag或含有Ag的合金構(gòu)成第I電極以及第2電極的情況，電極材料難以遷移。因此，能抑制第I電極以及第2電極間的短路。本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的又再另外特定的局面下，導(dǎo)電膜由從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上金屬的合金構(gòu)成。根據(jù)該構(gòu)成，比起用Ag或含有Ag的合金構(gòu)成導(dǎo)電膜的情況，電極材料難以遷移。因此，能抑制第I電極以及第2電極間的短路。本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的不同的某特定的局面下，導(dǎo)電膜由通過薄膜成膜法而形成的膜構(gòu)成。在該構(gòu)成中，例如比起通過導(dǎo)電性膏的涂敷來形成 導(dǎo)電膜的構(gòu)成的情況，提高了導(dǎo)電膜的致密性以及剛性。因此，能更有效果地抑制第I電極的損傷。本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自的不同的其它的特定的局面下，壓電基板在與第I電極以及第2電極所施加的電壓的方向垂直的方向上伸縮。即，在該局面下，壓電致動器以d31模式振動。本發(fā)明所涉及的驅(qū)動裝置具備上述本發(fā)明所涉及的壓電致動器。發(fā)明的效果在本發(fā)明所涉及的第I壓電致動器中，在第I電極上形成與第2電極的色調(diào)不同的金屬或合金構(gòu)成的導(dǎo)電膜。由此，能容易地判別第I電極側(cè)和第2電極側(cè)的方向性。在本發(fā)明所涉及的第2壓電致動器中，導(dǎo)電膜形成于第I電極的一部分上，由與第I電極的色調(diào)不同的金屬或合金構(gòu)成，導(dǎo)電膜作為方向識別用的標(biāo)記而發(fā)揮作用。因此，能容易地判別第I電極側(cè)和第2電極側(cè)的方向性。另外，在本發(fā)明所涉及的第I以及第2壓電致動器的各自中，由于導(dǎo)電膜由金屬或合金構(gòu)成，因此例如導(dǎo)電性比氯化銀層等的金屬鹽構(gòu)成的層高。因此，即使在將電特性測定用的測定器的端子接觸到導(dǎo)電膜上的情況下，在端子和第I電極接觸時，端子和第I電極間的端子也不會較大地變化。因此，能以高的測定精度來測定壓電致動器的電特性。


圖I是第I實施方式所涉及的驅(qū)動裝置的概略的截面圖。圖2是第I實施方式中的壓電致動器的概略的俯視圖。另外，在圖2中為了說明的方便而在導(dǎo)電膜上加上了陰影。圖3是第2實施方式所涉及的驅(qū)動裝置的概略的截面圖。圖4是第3實施方式所涉及的驅(qū)動裝置的概略的截面圖。圖5是第3實施方式中的壓電致動器的概略的俯視圖。另外，在圖5中為了說明的方便而在導(dǎo)電膜上加上了陰影。圖6是用于說明導(dǎo)電膜的形成圖案的第I變形例所涉及的壓電致動器的概略的俯視圖。另外，在圖6中為了說明的方便而在導(dǎo)電膜上加上了陰影。圖7是用于說明導(dǎo)電膜的形成圖案的第2變形例所涉及的壓電致動器的概略的俯視圖。另外，在圖7中為了說明的方便而在導(dǎo)電膜上加上了陰影。圖8是用于說明導(dǎo)電膜的形成圖案的第3變形例所涉及的壓電致動器的概略的俯視圖。另外，在圖8中為了說明的方便而在導(dǎo)電膜上加上了陰影。圖9是第4變形例所涉及的壓電致動器的概略的截面圖。
具體實施例方式下面，舉出圖I、圖3以及圖4所示的驅(qū)動裝置Ia Ic為例來說明本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式。但是，驅(qū)動裝置Ia Ic只是例示。本發(fā)明并不受到驅(qū)動裝置Ia Ic或搭載在驅(qū)動裝置Ia Ic的壓電致動器20的任何限定。(第I實施方式) 圖I是第I實施方式所涉及的驅(qū)動裝置的概略的截面圖。圖2是第I實施方式中的壓電致動器的概略的俯視圖。另外，在圖2中，為了說明的方便，在導(dǎo)電膜上加上了陰影。圖I所示的驅(qū)動裝置Ia是用于驅(qū)動硬盤裝置的磁頭的驅(qū)動裝置。驅(qū)動裝置Ia具備固定部件10、和設(shè)有磁頭的被驅(qū)動部件11。固定部件10和被驅(qū)動部件11通過壓電致動器20而連接。由此，若壓電致動器20被驅(qū)動，則被驅(qū)動部件11相對于固定部件10而位移。由此，驅(qū)動了安裝在被驅(qū)動部件11上的磁頭。固定部件10和被驅(qū)動部件11各自并沒有特別的限定。固定部件10和被驅(qū)動部件11例如還能由在表面或內(nèi)部形成有電路的絕緣基板等來構(gòu)成。壓電致動器20、和固定部件10以及被驅(qū)動部件11通過焊料12而接合。焊料12既可以是含Pb的焊料，也可以是不含Pb的所謂的無Pb焊料。壓電致動器20具備壓電基板21。壓電基板21由適當(dāng)?shù)膲弘姴牧蠘?gòu)成。壓電基板21例如可以由壓電陶瓷、壓電單晶、壓電樹脂、在樹脂中分散壓電材料的粒子而成的壓電合成物等形成。作為壓電陶瓷的具體例，例如能舉出鈦酸鋯酸鉛系陶瓷等。作為壓電單晶的具體例，能舉出水晶等。作為壓電樹脂的具體例，能舉出聚偏氟乙烯(PVDF poly(vinylidenefluoride))等。在本實施方式中，壓電基板21形成為長方體狀。但壓電基板21的尺寸并沒有特別的限定。壓電基板21的高度尺寸、長度尺寸、寬度尺寸例如分別能設(shè)為O. OImm O. 2mm、O. 4mm 4. 0mm、O. Imm 2mm 程度。另外，在本發(fā)明中，“長方體”是具有對置的3對面的立體的總稱。由此，棱線或頂點被磨圓的形狀或R倒角狀形成的立體、對置的面并非嚴(yán)密平行的立體等也包含在長方體中。壓電基板21具有第I主面21a以及第2主面21b、第I側(cè)面21c以及第2側(cè)面21d(參照圖2)、第I端面21e以及第2端面21f。第I主面21a以及第2主面21b都分別沿著長度方向L、和與長度方向L垂直的寬度方向W而延伸。第I主面21a以及第2主面21b相互平行。第I側(cè)面21c以及第2側(cè)面21d都分別沿著長度方向L、和與長度方向L以及寬度方向W都垂直的高度方向H而延伸。第I側(cè)面21c以及第2側(cè)面21d相互平行。第I以端面21e以及第2端面21f都分別沿著寬度方向W和高度方向H而延伸。第I端面21e和第2端面21f相互平行。如圖I所示，壓電致動器20具備對壓電基板21施加電壓的第I電極22以及第2電極23。第I電極22以及第2電極23對壓電基板21施加高度方向H的電壓。在本實施方式中，壓電基板21被極化為高度方向H，在長度方向L上伸縮。即，本實施方式的壓電致動器20的振動模式是d31模式。原本在本發(fā)明中，壓電致動器的振動模式并不限定于d31模式，也可以是d33模式等的其它的振動模式。第I電極22具備第I 第4部分22a 22d。第I部分22a形成于第I主面21a的除了長度方向L的一側(cè)L2的端部的以外的部分上。第2部分22b形成在第I端面21e上。第3部分22c形成于第2主面21b的長度方向L的另一側(cè)LI的端部上。第I 第3部分22a 22c設(shè)為一體。第4部分22d在壓電基板21的內(nèi)部與第I主面21a以及第2主面21b平行地設(shè)置。第4部分22d與第2部分22b連接。第2電極23具備第I 第4部分23a 23d。第I部分23a形成于第2主面21b 的除了長度方向L的另一側(cè)LI的端部以外的部分上。第I部分23a與第I電極22的第3部分22c分離設(shè)置。在第I部分23a和第I電極22的第3部分22c之間形成有間隙G2。第I部分23a與第I電極22的第4部分22d在高度方向H上對置。第2部分23b形成于第2端面21f上。第3部分23c形成于第I主面21a的長度方向L的一側(cè)L2的端部上。第3部分23c和第I電極22的第I部分22a分尚設(shè)置。在第3部分23c和第I電極22的第I部分22a之間形成有間隙G1。第I 第3部分23a 23c —體設(shè)置。第4部分23d設(shè)于壓電基板21的內(nèi)部。第4部分23d在高度方向H上設(shè)于第I主面2la、和第I電極22的第4部分22d之間。第4部分23d在高度方向H上與第I電極22的第I部分22a和第4部分22d的兩者對置。第4部分23d與第2部分23b連接。在本實施方式中，壓電致動器20中的在高度方向H上，第I電極22和第2電極23對置的部分構(gòu)成在施加電壓時進(jìn)行伸縮的激振部A。第I電極22以及第2電極23只要是具有導(dǎo)電性的構(gòu)成就沒有特別的限定。第I電極22以及第2電極23分別能由例如從Au、Pt、Al、Cu、Ni、Ti、Ag以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni、Ti、Ag以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上的金屬的合金構(gòu)成。作為含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni、Ti、Ag以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上的金屬的合金的具體例，例如能舉出Ni/Cr合金、蒙乃爾等的Ni/Cu合金等。在這些當(dāng)中，優(yōu)選第I電極22以及第2電極23分別由從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或者含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上的金屬的合金構(gòu)成。這種情況下，難以從第I電極22以及第2電極23產(chǎn)生遷移，第I電極22以及第2電極23之間不易發(fā)生短路。從進(jìn)一步有效地抑制遷移的產(chǎn)生的觀點出發(fā)，優(yōu)選第I電極22以及第2電極23分別由從Au、Pt、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或者含有從Au、Pt、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上的金屬的合金構(gòu)成。在本實施方式中，在第I電極22上形成有導(dǎo)電膜24。詳細(xì)地，如圖2所示，導(dǎo)電膜24在第I電極22的第I部分22a上從寬度方向W的一側(cè)Wl端部跨到另一側(cè)W2端部而形成。導(dǎo)電膜24的第3部分23c側(cè)端部和第3部分23c之間的距離比第I電極22的第I部分22a的第3部分23c側(cè)端部和第3部分23c之間的距離要長。即，導(dǎo)電膜24形成于比第I部分22a更遠(yuǎn)離第2電極23的位于第I主面21a上的部分的位置。
導(dǎo)電膜24形成在第I電極22的與第2電極23對置的部分，即按照覆蓋位于激振部A內(nèi)的部分的至少一部分的方式形成。更具體地，在本實施方式中，導(dǎo)電膜24按照實質(zhì)地覆蓋第I電極22的位于激振部A內(nèi)的部分的整體的方式而形成。導(dǎo)電膜24的厚度沒有特別的限定，例如能設(shè)為O. 01 μ m O. 5 μ m程度。若將導(dǎo)電膜24的厚度設(shè)得過厚，則有可能會降低位移量，或在元件中產(chǎn)生翹曲。若將導(dǎo)電膜24的厚度設(shè)得過薄，則有可能會難以判別元件的方向。在本實施方式中，導(dǎo)電膜24具有比第I電極22高的剛性。另外，導(dǎo)電膜24對焊料的浸潤性低于第I電極22。另外，在本發(fā)明中，“對焊料的浸潤性低”是指與電極的密接強(qiáng)度低。另外，對焊料的浸潤性能通過進(jìn)行在JIS3198-5中規(guī)定的焊料接縫的拉伸以及剪斷試驗來評價。另外，在本發(fā)明中，“剛性”是指薄膜硬度。另外，能通過IS020502中規(guī)定的劃痕試驗來評價。 導(dǎo)電膜24通過與第2電極23的色調(diào)不同的金屬或合金形成。在此 ，“色調(diào)不同”是指彩度以及明度中的至少一方不同。使導(dǎo)電膜24的色調(diào)與第2電極23的色調(diào)不同的方法沒有特別的限定。例如，作為使導(dǎo)電膜24的色調(diào)與第2電極23的色調(diào)不同的方法的具體例，能舉出使導(dǎo)電膜24的材質(zhì)與第2電極23的材質(zhì)不同的方法等。導(dǎo)電膜24例如也可以由從Au、Pt、Al、Cu、Ni、Ti、Ag以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni、Ti、Ag以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上的金屬的合金構(gòu)成。作為含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni、Ti、Ag以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上的金屬的合金的具體例，例如能舉出Ni/Cr合金、蒙乃爾等的Ni/Cu合金等。在這當(dāng)中，優(yōu)選導(dǎo)電膜24由從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或者含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上的金屬的合金構(gòu)成。這種情況下，難以從導(dǎo)電膜24產(chǎn)生遷移，第I電極22以及第2電極23之間不易發(fā)生短路。從進(jìn)一步有效地抑制遷移的產(chǎn)生的觀點出發(fā)，優(yōu)選導(dǎo)電膜24由從Au、Pt、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或者含有從Au、Pt、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上的金屬的合金構(gòu)成。具體地，在本實施方式中，導(dǎo)電膜24由與第I電極22以及第2電極23都不同的材料形成。導(dǎo)電膜24的形成方法沒有特別的限定。既可以通過導(dǎo)電性膏來形成導(dǎo)電膜24，也可以通過薄膜成膜法來形成導(dǎo)電膜24。另外，在薄膜成膜法中包括物理氣相蒸鍍法(濺鍍法)、化學(xué)氣相蒸鍍法(CVD法)等蒸鍍法。這當(dāng)中，優(yōu)選通過蒸鍍法來形成導(dǎo)電膜24。如以上說明那樣，在本實施方式中，在第I電極22上形成具有與第2電極23不同的色調(diào)的導(dǎo)電膜24。由此，在本實施方式中，能通過判別電極的色調(diào)來容易地判別第I電極22側(cè)和第2電極23側(cè)的方向性。特別是，在本實施方式中，導(dǎo)電膜24從第I電極22的第I部分22a的寬度方向W上的一側(cè)Wl端部跨到另一側(cè)W2而較大地形成，因此，能更容易地判別第I電極22側(cè)和第2電極23側(cè)的方向性。另外，在本實施方式中，在第I電極22的一部分上形成具有與第I電極22不同的色調(diào)的導(dǎo)電膜24。由此，該導(dǎo)電膜24作為識別標(biāo)記而發(fā)揮作用，還能通過判別作為該識別標(biāo)記的導(dǎo)電膜24的有無來容易地判別第I電極22側(cè)和第2電極23側(cè)的方向性。因此，在本實施方式中，只要導(dǎo)電膜24、與第I電極22以及第2電極23中的一方色調(diào)彼此不同即可，導(dǎo)電膜24、與第2電極22以及第2電極23中的另一方色調(diào)既可以彼此相同，也可以不同。另外，在第I電極22以及第2電極23的主成份相同、第I電極22以及第2電極23的色調(diào)近似的情況下，特別是在第I電極22以及第2電極23的色調(diào)相同的情況下，由于方向識別性容易降低，因此設(shè)置導(dǎo)電膜24的本實施方式的技術(shù)特別有效。在本實施方式中，導(dǎo)電膜24由具有比氯化銀等低電阻的金屬或合金形成。由此，即使在將電特性測定用的測定器的端子接觸到導(dǎo)電膜24的情況下，和端子直接與第I電極22直接接觸時相比，端子與第I電極22之間的電阻并沒有大的變化。因此，能以高的測定精度來測定壓電致動器20的電特性。另外，在本實施方式中，導(dǎo)電膜24的對焊料12的浸潤性比第I電極22的對焊料12的浸潤性低。因此，通過設(shè)置導(dǎo)電膜24能抑制焊料12在第I電極22上浸潤擴(kuò)散。由 此，難以出現(xiàn)由浸潤擴(kuò)散的焊料12約束壓電致動器20的振動的情況。因此，能得到高的振
動效率。另外，還能通過焊料12的浸潤擴(kuò)散來有效地抑制第I電極22以及第2電極23間的短路。能抑制這些焊料12的浸潤擴(kuò)散這樣的效果是不管第I電極22以及第2電極23是何種材質(zhì)都能得到的效果，但在第I電極22以及第2電極23對焊料12的浸潤性高的情況下特別能得到顯著的效果。具體地，在第I電極22以及第2電極23是由Au、Ag、Cu等的金屬、或含有Au、Ag、Cu等的金屬的至少一種以上的合金構(gòu)成的情況下，特別能顯著地得到抑制焊料12的浸潤擴(kuò)散這樣的效果。從更有效地抑制焊料12的浸潤擴(kuò)散的觀點出發(fā)，優(yōu)選如本實施方式那樣，從第I電極22的第I部分22a的寬度方向W上的一側(cè)端部跨到另一側(cè)端部地形成導(dǎo)電膜24。在本實施方式中，導(dǎo)電膜24按照覆蓋第I電極22中的位于激振部A內(nèi)的部分的至少一部分的方式形成。更具體地，在本實施方式中，導(dǎo)電膜24按照實質(zhì)地整體覆蓋第I電極22中的位于激振部A內(nèi)的部分的方式形成。由此,導(dǎo)電膜24作為激振部A的保護(hù)膜而發(fā)揮作用。因此，例如，能有效地抑制壓電致動器20的搬送時或安裝時與其它的部件的接觸、和由于測定時與端子接觸等而導(dǎo)致的位于第I電極22的激振部A上的部分損傷。另夕卜，在本實施方式中，導(dǎo)電膜24通過薄膜成膜法形成，結(jié)構(gòu)致密。另外，導(dǎo)電膜24具有比第I電極22高的剛性。因此，能更有效果地抑制位于第I電極22的激振部A上的部分的損傷。在本實施方式中，作為第I電極22以及第2電極23、還有導(dǎo)電膜24的優(yōu)選組合的一例，能舉出由Au構(gòu)成的第I電極22以及第2電極23、由Ni/Cr合金構(gòu)成的導(dǎo)電膜24。在該組合中，由于抑制了第I電極22的表面的氧化，因此第I電極的表面的焊料浸潤性難以劣化。另外，由于Au和Ni/Cr合金的接合強(qiáng)度比較高，因此導(dǎo)電膜24難以從第I電極22剝離。在本實施方式中，作為第I電極22以及第2電極23還有導(dǎo)電膜24的優(yōu)選的組合的其它示例，能舉出由Ni/Cr合金層和Au層的層疊體構(gòu)成的第I電極22以及第2電極23、由Ni/Cr合金構(gòu)成的導(dǎo)電膜24。在該組合中，由于構(gòu)成第I電極22以及第2電極23的表層的Au層和壓電基板21的接合強(qiáng)度能做得比較高，因此，能抑制由于外部應(yīng)力等而使第I電極22以及第2電極23從壓電基板21剝離。另外，由于與Au層相比，Ni/Cr合金的焊料浸潤性要差，因此，能有效地抑制由于由Ni/Cr合金構(gòu)成的導(dǎo)電膜24而使焊料12在Au層上浸潤擴(kuò)散。其結(jié)果，難以出現(xiàn)由浸潤擴(kuò)散的焊料12約束壓電致動器20的振動的情況。下面說明優(yōu)選的本發(fā)明的實施方式的其它的示例以及變形例。另外，在下面的說明中，以公共的符號來參照具有與上述第I實施方式實質(zhì)共通的功能的部件，省略說明。(第2實施方式)圖3是第2實施方式所涉及的驅(qū)動裝置的概略的截面圖。在上述第I實施方式中，說明了在第I電極22上形成導(dǎo)電膜24，另一方面不在第2電極23上形成導(dǎo)電膜的示例。但本發(fā)明并不限于這樣的構(gòu)成。例如，也可以如圖3所示，在第I電極22上形成導(dǎo)電膜24，并在第2電極23上形 成由金屬或合金構(gòu)成的導(dǎo)電膜25。這種情況下，導(dǎo)電膜25優(yōu)選與導(dǎo)電膜24至少在色調(diào)以及形狀中的一方上不同。由此，能提高壓電致動器20的方向識別性。另外，即使在設(shè)置導(dǎo)電膜25的情況下，由于導(dǎo)電膜25與導(dǎo)電膜24同樣地由具有高導(dǎo)電率的金屬或合金構(gòu)成，因此，能抑制壓電致動器20的電特性的測定精度的降低。在本實施方式中，導(dǎo)電膜25的對焊料12的浸潤性比第2電極23的對焊料12的浸潤性低。因此，通過設(shè)置導(dǎo)電膜25能抑制焊料12在第2電極23上浸潤擴(kuò)散。由此，通過形成導(dǎo)電膜24和導(dǎo)電膜25，更加難以出現(xiàn)由浸潤擴(kuò)散的焊料12約束壓電致動器20的振動的情況。因此，能得到更高的驅(qū)動效率。進(jìn)而，在本實施方式中，導(dǎo)電膜25在第2電極23的第I部分23a上，從寬度方向W的一側(cè)端部跨到另一側(cè)端部而形成。由此，能更有效地抑制焊料12在第2電極23上浸潤擴(kuò)散。因此，能得到更高的驅(qū)動效率。另外，在本實施方式中，導(dǎo)電膜25按照覆蓋第2電極23中的位于激振部A內(nèi)的部分的至少一部分的方式形成。更具體地，在本實施方式中，導(dǎo)電膜25按照實質(zhì)地整體覆蓋第2電極23中的位于激振部A內(nèi)的部分的方式形成。由此,導(dǎo)電膜25作為激振部A的保護(hù)膜而發(fā)揮作用。因此，例如，能有效果地抑制壓電致動器20的搬送時或安裝時與其它的部件的接觸、和由于測定時與端子接觸等而導(dǎo)致的位于第2電極23的激振部A上的部分損傷。另外，在本實施方式中，導(dǎo)電膜25與導(dǎo)電膜24同樣地通過薄膜成膜法形成，結(jié)構(gòu)致密。另外，導(dǎo)電膜25具有比第2電極23高的剛性。因此，能更有效地抑制位于第2電極23的激振部A上的部分的損傷。導(dǎo)電膜25例如也可以由從Au、Pt、Al、Cu、Ni、Ti、Ag以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni、Ti、Ag以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上的金屬的合金構(gòu)成。在這當(dāng)中，優(yōu)選導(dǎo)電膜25由從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或者含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上的金屬的合金構(gòu)成。這種情況下，難以從導(dǎo)電膜25產(chǎn)生遷移，第I電極22以及第2電極23之間不易發(fā)生短路。從進(jìn)一步有效地抑制遷移的產(chǎn)生的觀點出發(fā)，優(yōu)選導(dǎo)電膜25由從Au、Pt、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或者含有從Au、Pt、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的一種以上的金屬的合金構(gòu)成。具體地，在本實施方式中，導(dǎo)電膜25由與第I電極22以及第2電極23還有導(dǎo)電膜24都不同的材料形成。(第3實施方式)圖4是第3實施方式所涉及的驅(qū)動裝置的概略的截面圖。圖5是第3實施方式中的壓電致動器的概略的俯視圖。另外，在圖5中，為了說明的方便，在導(dǎo)電膜上加上了陰影。在上述第I實施方式中，對按照覆蓋位于第I電極22的激振部A內(nèi)的部分的幾乎全部的方式來設(shè)置導(dǎo)電膜的示例進(jìn)行了說明。但本發(fā)明并不限于此。例如，也可以如圖4以及圖5所示那樣，使導(dǎo)電膜24沿著寬度方向W而線狀地形成。即使在如此形成的情況下，也能與第I實施方式同樣地有效地抑制焊料12向激振部A的浸潤擴(kuò)散。(第I以及第2變形例) 圖6是用于說明的導(dǎo)電膜的形成圖案的第I實施例所涉及的壓電致動器的概略的俯視圖。圖7是用于說明的導(dǎo)電膜的形成圖案的第2實施例所涉及的壓電致動器的概略的俯視圖。圖8是用于說明的導(dǎo)電膜的形成圖案的第3實施例所涉及的壓電致動器的概略的俯視圖。另外，在圖6 圖8中，為了說明的方便，在導(dǎo)電膜上加上陰影。導(dǎo)電膜24的形狀并不限于上述第I 第3實施方式中說明的形狀。例如，也可以如圖6所不那樣，導(dǎo)電膜24是第I電極22的第I部分22a的寬度方向W上的一部分,在長度方向L上的一部分上形成為島狀。如圖7所示，也可以從第I電極22的第I部分22a的寬度方向W的一側(cè)端部起跨到另一方端部來形成導(dǎo)電膜24，具有沿著長度方向L而排列的多個導(dǎo)電膜24a、24b。在本實施方式中，導(dǎo)電膜24a和導(dǎo)電膜24b分別與寬度方向W平行。如圖8所示，也可以將導(dǎo)電膜24形成為不與寬度方向W平行的形狀。在本變形例中，導(dǎo)電膜24形成為曲線狀。關(guān)于第2實施方式中的導(dǎo)電膜25，能與上述導(dǎo)電膜24同樣地形成為例如圖5 圖8所示的各種形狀。在下面匯總導(dǎo)電膜24、25的形成形態(tài)的變形示例。但是，下面的變形僅是例示，導(dǎo)電膜的形成形態(tài)當(dāng)然包括以下的變形以外的形態(tài)。(I)僅設(shè)置導(dǎo)電膜24或?qū)щ娔?5(2)設(shè)置導(dǎo)電膜24和導(dǎo)電膜25兩者(2-1)使導(dǎo)電膜24和導(dǎo)電膜25為相同形狀，使導(dǎo)電膜24和導(dǎo)電膜25的色調(diào)不同。(2-1-1)使導(dǎo)電膜24和導(dǎo)電膜25的形成材料不同。(2-1-2)是導(dǎo)電膜24和導(dǎo)電膜25的表面狀態(tài)不同。(2-2)使導(dǎo)電膜24和導(dǎo)電膜25形狀不同，使導(dǎo)電膜24和導(dǎo)電膜25的色調(diào)相同。(2-3)使導(dǎo)電膜24和導(dǎo)電膜25形狀不同，使導(dǎo)電膜24和導(dǎo)電膜25色調(diào)也不同。(第3變形例)在上述實施方式中，說明了在壓電基板21的內(nèi)部形成第I電極22以及第2電極23的一部分的示例。但本發(fā)明并不限定于該構(gòu)成。例如也可以如圖9所示，僅在壓電基板21的表面上設(shè)置第I電極22以及第2電極23。
符號的說明Ia Ic驅(qū)動裝置10固定部件11被驅(qū)動部件12 焊料20壓電致動器21壓電基板21a壓電基板的第I主面
21b壓電基板的第2主面21c壓電基板的第I側(cè)面21d壓電基板的第2側(cè)面21e壓電基板的第I端面21f壓電基板的第2端面22第I電極22a第I電極的第I部分22b第I電極的第2部分22c第I電極的第3部分22d第I電極的第4部分23第2電極23a第2電極的第I部分23b第2電極的第2部分23c第2電極的第3部分23d第2電極的第4部分24、25、24a、24b 導(dǎo)電膜G1、G2 間隙
權(quán)利要求
1.ー種壓電致動器，具備 壓電基板； 對所述壓電基板施加電壓的第I電極以及第2電極；和 形成于所述第I電極上的且由與所述第2電極的色調(diào)不同的金屬或合金構(gòu)成的導(dǎo)電膜。
2.ー種壓電致動器，具備 壓電基板； 對所述壓電基板施加電壓的第I電極以及第2電極；和 形成于所述第I電極的一部分上的且由與所述第I電極的色調(diào)不同的金屬或合金構(gòu)成的導(dǎo)電膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的壓電致動器，其中， 所述導(dǎo)電膜對焊料的浸潤性比所述第I電極低。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任ー項所述的壓電致動器，其中， 所述壓電基板形成為長方體狀，該長方體具有 分別沿著第I方向和與所述第I方向垂直的第2方向而延伸的第I主面以及第2主面； 分別沿著所述第I方向和與所述第I方向以及所述第2方向都垂直的第3方向而延伸的第I側(cè)面以及第2側(cè)面；和 分別沿著所述第2方向以及所述第3方向而延伸的第I端面以及第2端面， 所述第I電極具有形成于所述第I主面的除了所述第I方向的一側(cè)端部以外的部分上的第I部分；和形成于所述第I端面上的第2部分， 所述第2電極具有形成于所述第2主面上的第I部分；形成于所述第2端面上的第2部分；和在所述第I主面的所述第I方向的一側(cè)端部上與所述第I電極分離而形成的第3部分， 所述導(dǎo)電膜從所述第I電極的所述第I部分的所述第2方向上的一側(cè)端部跨到另ー側(cè)端部地形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電致動器，其中， 所述導(dǎo)電膜包含分別從所述第I電極的所述第I部分的所述第2方向上的一側(cè)端部跨到另ー側(cè)端部而形成、并沿著所述第I方向而排列的多個導(dǎo)電膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5中任ー項所述的壓電致動器，其中， 所述第I電極以及所述第2電極的至少一部分彼此隔著所述壓電基板而對置， 所述導(dǎo)電膜按照覆蓋所述第I電極的與所述第2電極對置的部分的至少一部分的方式形成。
7.根據(jù)權(quán)利要求I 6中任ー項所述的壓電致動器，其中， 所述導(dǎo)電膜具有比所述第I電極高的剛性。
8.根據(jù)權(quán)利要求I 7中任ー項所述的壓電致動器，其中， 所述壓電致動器還具備形成于所述第2電極上的且與所述導(dǎo)電膜在色調(diào)以及形狀中的至少ー者上不同的追加導(dǎo)電膜。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓電致動器，其中，所述第I電極以及所述第2電極的至少一部分彼此隔著所述壓電基板而對置， 所述追加導(dǎo)電膜按照覆蓋所述第2電極的與所述第I電極對置的部分的至少一部分的方式形成。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的壓電致動器，其中， 所述追加導(dǎo)電膜具有比所述第2電極高的剛性。
11.根據(jù)權(quán)利要求I 10中任ー項所述的壓電致動器，其中， 所述導(dǎo)電膜由與所述第I電極以及所述第2電極不同的材料構(gòu)成。
12.根據(jù)權(quán)利要求I 11中任ー項所述的壓電致動器，其中， 所述第I電極以及所述第2電極分別由從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的ー種以上金屬的合金構(gòu)成。
13.根據(jù)權(quán)利要求I 12中任ー項所述的壓電致動器，其中， 所述導(dǎo)電膜由從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的金屬、或含有從Au、Pt、Al、Cu、Ni以及Cr所構(gòu)成的群中選出的ー種以上金屬的合金構(gòu)成。
14.根據(jù)權(quán)利要求I 13中任ー項所述的壓電致動器，其中， 所述導(dǎo)電膜由通過薄膜成膜法形成的膜構(gòu)成。
15.根據(jù)權(quán)利要求I 14中任ー項所述的壓電致動器，其中， 所述壓電基板在與通過所述第I電極以及所述第2電極所施加的電壓的方向垂直的方向上伸縮。
16.一種驅(qū)動裝置，其具備權(quán)利要求I 15中的任ー項所述的壓電致動器。
全文摘要
提供容易判別方向、且能容易地測定電特性的壓電致動器。壓電致動器(20)具備壓電基板(21)、第1以及第2電極(22、23)、和導(dǎo)電膜(24)。第1以及第2電極(22、23)對壓電基板(21)施加電壓。導(dǎo)電膜(24)形成于第1電極(22)上。導(dǎo)電膜(24)由與第2電極(23)的色調(diào)不同的金屬或合金構(gòu)成。
文檔編號G11B21/10GK102859597SQ201180020419
公開日2013年1月2日 申請日期2011年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月17日
發(fā)明者中村仁宗, 中谷宏, 西川雅永, 北川幸雄 申請人:株式會社村田制作所