專利名稱：調(diào)整懸浮體加給的負荷的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及調(diào)整懸浮體加給懸浮磁頭滑動塊的負荷的方法和裝置。
滑動塊利用作為支持裝置的懸浮體進行彈性支撐。懸浮體一般具有例如由鋼形成的片簧狀的負載梁、設在該負載梁的一端同時與滑動塊連接使滑動塊具有適當?shù)淖杂啥鹊那亢驮O在負載梁的另一端并裝在致動器上使滑動塊沿記錄媒體的軌道橫方向移動的安裝部。
懸浮體在滑動塊上浮時，對滑動塊施加面向記錄媒體表面方向的負荷?；瑒訅K通過使由流過記錄媒體和滑動塊軌道部之間的空氣流產(chǎn)生的升力和懸浮體加給的負荷相匹配，使滑動塊的與媒體相對的面和記錄媒體的表面之間保持微小的間隔，同時使滑動塊浮在記錄媒體的表面。下面，將滑動塊上浮時滑動塊的與媒體相對的面和記錄媒體的表面之間的間隔稱作滑動塊的上浮量?；瑒訅K的上浮量對磁頭的特性有很大的影響。
近年來，隨著磁頭的小型化和高密度化，對滑動塊上浮量縮小和穩(wěn)定的要求日益嚴格。而且，僅僅在懸浮體的形狀和滑動塊的與媒體相對的面的形狀上下工夫或提高加工精度，都難以滿足這樣的要求。
滑動塊的上浮量因滑動塊上浮時懸浮體加給滑動塊的負荷而變化。因此，為了得到象設計的那樣穩(wěn)定而正確的滑動塊上浮量，將滑動塊上浮時懸浮體加給滑動塊的負荷控制在所要的規(guī)定范圍內(nèi)很重要?；瑒訅K上浮時懸浮體加給滑動塊的負荷有時又稱作克負荷，在本申請中還是稱作上浮時負荷。再有，因直接測量上浮時負荷很困難，故實際上使懸浮體變形，使其處于和滑動塊上浮規(guī)定的上浮量相同的狀態(tài)，這時測定懸浮體加給滑動塊的負荷，并將該負荷當做上浮時負荷。下面，也將這樣在和滑動塊上浮時同等的條件下加給滑動塊的負荷稱作上浮時負荷。
在剛制造出來的懸浮體中，上浮時負荷不一定在所要的規(guī)定范圍內(nèi)。因此，提案了調(diào)整懸浮體的上浮時負荷的各種各樣的方法。下面，說明先有的3種典型的負荷調(diào)整方法。
第1負荷調(diào)整方法是對懸浮體加給機械力通過彎曲懸浮體來調(diào)整負荷的方法。
第2負荷調(diào)整方法象特開平5-159501號公報、特開平5-189906號公報和特開平10-269538號公報示出的那樣，是在對懸浮體加外力的狀態(tài)下對懸浮體的負載梁加熱的方法。在該方法中，在使負載梁產(chǎn)生應力的狀態(tài)下，通過對負載梁加熱，使負載梁中的應力釋放來減小懸浮體的上浮時負荷。在該方法中，作為對負載梁加熱的方法，一般使用激光。
第3負荷調(diào)整方法象特開平9-288874號公報示出的那樣，是在懸浮體的負載梁中的彈簧區(qū)設置負荷調(diào)整用嵌條(帶狀部分)，使用該嵌條來調(diào)整負荷的方法。在該方法中，當使懸浮體的上浮時負荷減小時，或者對彈簧區(qū)照射激光使彈簧區(qū)的應力釋放，或者對一個或多個嵌條照射激光再切斷該嵌條。此外，在該方法中，當使懸浮體的上浮時負荷增加時，對一個或多個嵌條照射激光再使該嵌條收縮。
但是，在第1負荷調(diào)整方法中，存在難以正確調(diào)整負荷的問題。此外，第1負荷調(diào)整方法還存在懸浮體可能會產(chǎn)生與設計不一樣的彎曲從而給懸浮體的特性帶來不良影響的問題。
在第2負荷調(diào)整方法中，存在不能在使負荷增加的方向上進行調(diào)整的問題。此外，第2負荷調(diào)整方法還存在因在對懸浮體加外力的狀態(tài)下對負載梁加熱故使負荷調(diào)整裝置或工序變得復雜的問題。
在第3負荷調(diào)整方法中，因懸浮體設有嵌條，故存在使懸浮體的結(jié)構(gòu)變得復雜的問題。
本發(fā)明的方法是調(diào)整支持懸浮磁頭滑動塊的懸浮體在和滑動塊上浮時同等的條件下加給滑動塊的負荷的方法，具有在對懸浮體不加使懸浮體彎曲的方向上的外力的狀態(tài)下保持懸浮體的工序；為了使負荷增加或減小而對懸浮體提供熱能的工序。
在本發(fā)明的方法中，在對懸浮體不加使懸浮體彎曲的方向上的外力的狀態(tài)下對懸浮體提供熱能，這樣來調(diào)整負荷。
在本發(fā)明的方法中，提供熱能的工序可以對懸浮體照射激光。這時，提供熱能的工序可以在懸浮體的照射激光的位置上噴涂用來防止因激光的照射而使懸浮體氧化的氣體。
此外，在本發(fā)明的方法中，懸浮體可以包含使其產(chǎn)生負荷的負載梁，該負載梁形成具有2個相互反向的面的片簧形狀，熱能提供工序可以有選擇地對負載梁的2個面中的一個面照射激光。
此外，本發(fā)明的方法進而可以包含在熱能提供工序之前測定表示與負荷有對應關系的懸浮體的姿勢的參數(shù)的工序，熱能提供工序可以根據(jù)測定的參數(shù)控制向懸浮體提供熱能時的條件。
此外，本發(fā)明的方法進而可以包含在提供熱能的工序前后測定負荷并判斷負荷是否在規(guī)定的范圍之內(nèi)的工序。
本發(fā)明的裝置是調(diào)整支持懸浮磁頭滑動塊的懸浮體在和滑動塊上浮時同等的條件下加給滑動塊的負荷的裝置，具有在對懸浮體不加使懸浮體彎曲的方向上的外力的狀態(tài)下保持懸浮體的保持部(保持裝置)；為了使負荷增加或減小而對懸浮體提供熱能的熱能提供裝置。
在本發(fā)明的裝置中，在對懸浮體不加使懸浮體彎曲的方向上的外力的狀態(tài)下對懸浮體提供熱能，這樣來調(diào)整負荷。
在本發(fā)明的裝置中，熱能提供裝置可以具有對懸浮體照射激光的激光照射裝置。這時，本發(fā)明的裝置進而可以具有在懸浮體的照射激光的位置上噴涂用來防止因激光的照射而使懸浮體氧化的氣體的氣體噴射裝置。
此外，在本發(fā)明的裝置中，懸浮體可以包含使其產(chǎn)生負荷的負載梁，該負載梁形成具有2個相互反向的面的片簧形狀，激光照射裝置可以有選擇地對負載梁的2個面中的一個面照射激光。
此外，本發(fā)明的裝置進而可以包括測定表示與負荷有對應關系的懸浮體的姿勢的參數(shù)的位置測定器(姿勢測定裝置)和根據(jù)該位置測定器(姿勢測定裝置)測定的參數(shù)控制向懸浮體提供熱能時的條件的控制裝置。
此外，本發(fā)明的裝置進而可以包括測定負荷的負荷測定器(負荷測定裝置)。
通過以下的說明可以充分了解本發(fā)明的其它的目的、特征和益處。
圖2是表示本發(fā)明一實施形態(tài)的負荷調(diào)整裝置的整體構(gòu)成的說明圖。
圖3是表示圖2的控制裝置的一例構(gòu)成的方框圖。
圖4是表示一例懸浮體的透視圖。
圖5是表示一例磁頭臂組件的透視圖。
圖6是表示一例層疊磁頭的透視圖。
圖7是磁頭常平(萬向)組裝狀態(tài)下的懸浮體的平面圖。
圖8是用來說明本發(fā)明的一實施形態(tài)的負荷調(diào)整方法的說明圖。
圖9是用來說明本發(fā)明的一實施形態(tài)的負荷調(diào)整方法的說明圖。


圖10是表示圖7的激光照射區(qū)的一例激光照射預定位置的配置的說明圖。
圖11是表示負載梁的傾斜角和上浮時負荷的關系的特性圖。
圖12是表示負載梁的激光照射點數(shù)和上浮時負荷的關系的特性圖。
圖13是用來說明本發(fā)明一實施形態(tài)的負載梁的滾動角的修正方法的說明圖。
圖14是表示圖13的激光照射位置和滾動角的變化量的關系的特性圖。
圖15是表示本發(fā)明一實施形態(tài)的負荷調(diào)整方法的實施例的流程圖。
圖16是表示本發(fā)明一實施形態(tài)的負荷調(diào)整方法的另一實施例的流程圖。
圖17是表示使應力釋放那樣的大小范圍內(nèi)的激光強度和負載梁的傾斜角的變化關系的特性圖。
發(fā)明的
具體實施例方式
下面，參照附圖詳細說明本發(fā)明的實施形態(tài)。
首先，參照圖4說明適用于本發(fā)明一實施形態(tài)的負荷調(diào)整方法和裝置的一例懸浮體的構(gòu)成。圖4示出在懸浮體上安裝懸浮型磁頭用的滑動塊和接線而構(gòu)成的一例磁頭常平組件。
圖4所示的懸浮體10具有例如由不銹鋼形成的片簧狀的負載梁11、設在該負載梁11的一端同時與上浮型磁頭用滑動塊20連接使滑動塊20具有適當?shù)淖杂啥鹊那?2和設在負載梁11的另一端并裝在致動器上使滑動塊20沿記錄媒體的軌道橫方向移動的基板13。
負載梁11具有相互反向的2個面。在下面的說明中，在負載梁的2個面中，將配置滑動塊20的面稱作表面，將相反側(cè)的面稱作背面。
在負載梁11中，在與基板13相鄰的區(qū)域內(nèi)形成孔11a，在該孔11a的兩側(cè)形成彎曲部11R、11L。再有，符號11R表示從基板13一側(cè)向屈曲部12一側(cè)看過去時的右側(cè)彎曲部，符號11L表示左側(cè)彎曲部。彎曲部11R、11L被彎曲，使負載梁11對滑動塊20加給面向記錄媒體表面的負荷。
在屈曲部12中，在安裝滑動塊20的部分設置用來使滑動塊20的姿勢保持一定的常平架(萬向架)。
圖4所示的磁頭常平組件1加在象上述那樣構(gòu)成的懸浮體10上，包括裝在屈曲部12的常平架上的滑動塊20、沿懸浮體10長邊方向配置并與懸浮體10接合的接線21和與負載梁11的基板13的側(cè)面接合的中間端子部22。
滑動塊20具有表面是與媒體相對的面(空氣軸承面)的軌道部，同時，在空氣流入側(cè)的端部附近具有錐部或臺階部。當記錄媒體旋轉(zhuǎn)時，利用從錐部或臺階部流入并通過記錄媒體和滑動塊20之間的空氣流，對滑動塊產(chǎn)生升力?；瑒訅K20因該升力的作用而浮在記錄媒體的表面。此外，在滑動塊20的空氣流出側(cè)的端部附近形成薄膜磁頭元件。
引線21的一端與滑動塊20中的薄膜磁頭元件連接。引線21的另一端與中間端子22連接。
圖4所示的磁頭常平組件1安裝在致動器的臂上。將在一個臂上裝有磁頭常平組件1的組件稱作磁頭臂組件。此外，將在具有多個臂的托架的各臂上裝有磁頭常平組件1的組件稱作磁頭層疊組件。
圖5示出一例磁頭臂組件。該磁頭臂組件2具有臂31。臂31的一端安裝磁頭常平組件1。臂31的另一端安裝致動器中的作為音圈電機的一部分的線圈32。臂31的中間設有軸承部33，該軸承部31安裝在軸上，用來支持臂31，使其自由轉(zhuǎn)動。
圖6示出一例磁頭層疊組件。該磁頭層疊組件3具有托架34。托架34具有安裝在用來支持該托架34并能使其自由轉(zhuǎn)動的軸上的軸承部35和安裝在該軸承部35上相互平行排列的多個臂36。在圖6所示的例子中，設有3個臂36。在上層臂36和下層臂36的前端安裝2個磁頭常平組件1。在與軸承部35中的臂36相反的一側(cè)安裝致動器中的作為音圈電機的一部分的線圈37。磁頭層疊組件3進而具有一端與磁頭常平組件1的中間端子22連接的扁平電纜38和連接該扁平電纜38的另一端的電路板39。
其次，參照圖1和圖2，說明本實施形態(tài)的負荷調(diào)整裝置的構(gòu)成。圖1是表示負荷調(diào)整裝置的主要部分的透視圖，圖2是表示負荷調(diào)整裝置的整體構(gòu)成的說明圖。負荷調(diào)整裝置是調(diào)整懸浮體10在和滑動塊20上浮時同等的條件下加給滑動塊20的負荷、即本申請中的上浮時負荷的裝置。此外，本實施形態(tài)的負荷調(diào)整裝置對磁頭常平組件1的狀態(tài)下的懸浮體10進行調(diào)整上浮時負荷的處理。
負荷調(diào)整裝置具有在對懸浮體10不加使懸浮體10彎曲方向上的外力的狀態(tài)下保持懸浮體10的保持部40。保持部40將懸浮體10的基板13夾在中間，這樣來保持懸浮體10。懸浮體10配置成在被保持部40保持的狀態(tài)下使負載梁的表面向上，使負載梁的背面向下。保持部40與本發(fā)明的保持裝置對應。
負荷調(diào)整裝置進而具有激光照射裝置41，對懸浮體10照射激光而加給熱能，從而使上浮時負荷增加或減小。該激光照射裝置41具有與負載梁11的表面相對并對該面照射激光的激光照射部42A、與負載梁11的背面相對并對該面照射激光的激光照射部42B和使激光照射部42A、42B獨立地沿圖2的上下方向、左右方向和與紙面垂直的方向移動的驅(qū)動裝置43。激光照射裝置41進而具有射出激光的激光光源44、將從該激光光源44射出的激光導向激光照射部42A、42B的光纖等的導光路45A、45B和將從該激光光源44射出的激光供給某一導光路45A、45B的光開關46。作為激光光源44例如可以使用YAG激光。激光照射部42A、42B包含對激光進行聚光使激光在負載梁11的附近的光點具有最小的直徑的光學系統(tǒng)。激光照射裝置41與本發(fā)明的熱能提供手段或熱能提供裝置對應。
負荷調(diào)整裝置進而具有作為氣體噴射手段的的氣體噴射裝置47，用來防止因激光照射而使懸浮體10氧化。該氣體噴射裝置47具有使作為用來防止懸浮體10氧化的氣體的氮氣向懸浮體10的激光照射位置上噴射的氣體噴射口48、一端與氣體噴射口48連接的氣體供給管49和與氣體供給管49的另一端連接并經(jīng)氣體供給管49向氣體噴射口48供給氮氣的氣體供給源50。
負荷調(diào)整裝置進而具有位置測定器51和驅(qū)動裝置52，作為表示與懸浮體10上浮時負荷具有對應關系的懸浮體10的姿勢的參數(shù)，位置測定器51測定的負載梁11中的規(guī)定地點的上下方向的位置，驅(qū)動裝置52使該位置測定器51至少在與圖2的紙面正交的方向上移動。作為位置測定器51，例如可以使用光學式高度傳感器。位置測定器51與本發(fā)明的姿勢測定裝置對應。
根據(jù)由位置測定器51測定的負載梁11的位置信息，可以通過運算求出負載梁11的從彎曲部11R、11L到滑動塊20一側(cè)的部分的長邊方向與水平面的夾角(以下稱傾斜角)。此外，利用驅(qū)動裝置52使位置測定器51沿與紙面垂直的方向上移動來測定負載梁11的多個地點的位置，由此，可以通過運算求出與負載梁11的面平行且與負載梁11的長邊方向正交的方向與水平面的夾角(以下稱滾動角)。傾斜角和滾動角也是表示懸浮體10的姿勢的參數(shù)。
負荷調(diào)整裝置進而具有用來測定懸浮體10的上浮時負荷的負荷測定器53和使該負荷測定器53沿上下方向移動的驅(qū)動裝置54。作為負荷測定器53，例如，可以使用負載傳感器。負荷測定器53在測定負載梁11的位置或?qū)ω撦d梁11照射激光時，配置在滑動塊20的上方與滑動塊20接觸的位置。另一方面，在測定懸浮體10上浮時負荷時，負荷測定器53配置在利用驅(qū)動裝置54可以向下移動，與滑動塊20接觸并下壓滑動塊20，和滑動塊20上浮時處于同等狀態(tài)的位置上。而且，在該狀態(tài)下，可以利用負荷測定器53測定懸浮體10上浮時負荷。
負荷調(diào)整裝置進而具有驅(qū)動裝置43、激光光源44、光開關46、氣體供給源50、位置測定器51、驅(qū)動裝置52和在控制負荷測定器53和驅(qū)動裝置54的同時輸入位置測定器51和負荷測定器53的測定數(shù)據(jù)的控制裝置55?？刂蒲b置55根據(jù)位置測定器51的測定數(shù)據(jù)控制對懸浮體10照射激光的條件?？刂蒲b置55與本發(fā)明的控制器對應。
圖3是表示控制裝置55的一例構(gòu)成的方框圖。該例中的控制裝置55具有主控制部61、與該主控制部61連接的存儲裝置62、與主控制部61連接的輸入輸出控制部63、與該輸入輸出部63連接的輸入裝置64、顯示裝置65和輸出裝置66。主控制部61具有CPU(中央處理器)、ROM(只讀存儲器)和RAM(隨機存取存儲器)。存儲裝置62只要能記錄信息，可以不管其形態(tài)如何，例如，可以是硬盤裝置、光盤裝置或軟盤裝置等。此外，存儲裝置62對記錄媒體67記錄信息，并從記錄媒體67再生信息。記錄媒體67只要能記錄信息，可以不管其形態(tài)如何，例如，可以是硬盤、光盤或軟盤等。
主控制部61中的CPU將主控制部61中的RAM作為工作區(qū)，通過執(zhí)行記錄在記錄媒體67或主控制部61的ROM中的程序，作為控制裝置55發(fā)揮其功能。
其次，說明使用了上述負荷調(diào)整裝置的本實施形態(tài)的負荷調(diào)整方法。在本實施形態(tài)的負荷調(diào)整方法中，對磁頭常平組件1狀態(tài)下的懸浮體10進行調(diào)整上浮時負荷的處理。
圖7是磁頭常平組件1狀態(tài)下的懸浮體10的平面圖。但是，在圖7中，省略了連線21和中間端子22的圖示。在本實施形態(tài)中，如圖7所示，在負載梁11的彎曲部11R、11L設定作為用來調(diào)整上浮時負荷的激光照射區(qū)的激光照射區(qū)11Ra、11La。本實施形態(tài)是在激光照射區(qū)11Ra、11La中有選擇地對負載梁11的表面或背面照射激光。
當增加上浮時負荷時，如圖8所示那樣，對激光照射區(qū)11Ra、11La中的負載梁11的表面照射激光。再有，在圖8中，符號71所示的箭頭表示激光的照射位置和照射方向，符號72所示的箭頭表示從對負載梁11的位置測定器51來的測定用光的入射位置和入射方向。
在本實施形態(tài)中，假定激光強度是可以對負載梁11產(chǎn)生局部塑性變形的強度。這時，在負載梁11中，被激光照射的部分產(chǎn)生局部熱應力，當該熱應力超過構(gòu)成負載梁11的材料的屈服點時，在激光照射的部分就會產(chǎn)生塑性變形而收縮。
當對負載梁11的表面照射激光時，因在負載梁11的表面的附近產(chǎn)生收縮的塑性變形，故負載梁11的滑動塊20一側(cè)向符號73所示的方向位移而使傾斜角增加，同時，懸浮體10的上浮時負荷增加。
另一方面，當減小上浮時負荷時，如圖9所示，對激光照射區(qū)11Ra、11La中的負載梁11的背面照射激光。在圖9中，符號71所示的箭頭表示激光的照射位置和照射方向，符號72所示的箭頭表示從對負載梁11的位置測定器51來的測定用光的入射位置和入射方向。當對負載梁11的背面照射激光時，因在負載梁11的背面的附近產(chǎn)生收縮的塑性變形，故負載梁11的滑動塊20一側(cè)向符號73所示的方向位移而使傾斜角減小，同時，懸浮體10的上浮時負荷減小。
如圖11所示，傾斜角和上浮時負荷之間具有對應關系。如上所述，對負載梁11的表面或背面照射激光，可以改變傾斜角，同時，測定各傾斜角的上浮時負荷，圖11示出考查傾斜角和上浮時負荷的關系的實驗結(jié)果。從圖11可知，傾斜角和上浮時負荷之間存在強相關關系。因此，若預先以公式或表格的形式作成表示傾斜角和上浮時負荷的對應關系的信息(以下，稱作傾斜角·負荷對應信息)，則可以根據(jù)測定求得的傾斜角知道上浮時負荷。此外，可以根據(jù)傾斜角·負荷對應信息和測定求得的傾斜角求出使上浮時負荷達到所要的值所必須的傾斜角的修正量。在本實施形態(tài)中，根據(jù)傾斜角·負荷對應信息和測定求得的傾斜角求出傾斜角的修正量，并根據(jù)該傾斜角的修正量去控制激光的照射條件。
照射激光時傾斜角的變化量和上浮時負荷的變化量可以因激光的照射條件而改變。作為激光的照射條件，有激光強度、負載梁11上的激光光點直徑的大小、激光的照射時間、照射位置、照射光點數(shù)和照射光點間的間隔等。這里，作為一個例子，使激光強度、負載梁11上的激光光點直徑的大小和一次照射的激光照射時間一定，對負載梁11照射一次激光，或改變照射點進行多次照射，利用激光照射的光點數(shù)來控制傾斜角的變化量和上浮時負荷的變化量。
圖10示出激光照射區(qū)11Ra中的一例激光照射預定位置75的配置。激光照射對這些照射預定位置75進行。對激光照射區(qū)11La也一樣。
圖12示出考查激光照射點數(shù)和上浮時負荷的關系的實驗結(jié)果。在圖12中，上浮時負荷為正值的點代表激光照射負載梁11的表面時的數(shù)據(jù)，上浮時負荷為負值的點代表激光照射負載梁11的背面時的數(shù)據(jù)。從圖12可知，激光照射點數(shù)和上浮時負荷的變化量之間存在對應關系。因此，通過控制激光照射的點數(shù)，可以控制裝置上浮時負荷的變化量和與此對應的傾斜角的變化量。
此外，在本實施形態(tài)中，通過使激光照射區(qū)11Ra和激光照射區(qū)11La的對負載梁11的激光照射條件不同，可以進行滾動角的修正。這里，說明象上述那樣為了確認能否進行滾動角的修正而進行的實驗的結(jié)果。在該實驗中，如圖13所示那樣，在負載梁11的激光照射區(qū)11Ra、11La中分別設定1R～5R、1L～5L的激光照射位置。而且，在該實驗中，按1L、1R、2L、2R…5L、5R的順序，對一個負載梁11照射一定強度的激光，同時，測定初始滾動角和各激光照射后的滾動角，求出每一個位置的因激光照射而引起的滾動角的變化量。再有，當負載梁11的左側(cè)的滾動角比右側(cè)高時，滾動角為正值，相反則為負值。
在實驗中，對9個負載梁11進行上述激光照射和滾動角的測定，并求出每一個位置的因激光照射而引起的滾動角的變化量的平均值。其結(jié)果示于圖14。由該圖可知，通過對激光照射區(qū)11Ra、11La的一方照射激光，可以使?jié)L動角增加或減小。這里，作為一個例子，示出了對激光照射區(qū)11Ra、11La交互照射激光時的實驗結(jié)果，但實際上，通過改變對各激光照射區(qū)11Ra、11La的各種照射條件，如激光強度、光點直徑大小、照射時間、照射位置、照射點數(shù)、照射點間的間隔、照射的順序等，可以對滾動角近消修正。
當初始滾動角在規(guī)定范圍內(nèi)只修正傾斜角(上浮時負荷)時，只要對激光照射區(qū)11Ra、11La均等地照射激光即可。
當初始滾動角不在規(guī)定范圍內(nèi)而同時修正傾斜角(上浮時負荷)和滾動角時，只要使激光照射區(qū)11Ra、11La的照射條件不同，對激光照射區(qū)11Ra、11La照射激光，就可以將傾斜角和滾動角同時控制在規(guī)定范圍內(nèi)。
其次，參照圖15的流程圖，說明本實施形態(tài)的負荷調(diào)整方法的實施例。在圖15所示的實施例中，首先，將懸浮體10安裝在保持部40上(步驟S101)。其次，利用負荷測定器53測定懸浮體10的初始上浮時負荷(步驟S102)。其次，利用控制裝置55判斷上浮時負荷是否在規(guī)定范圍內(nèi)(步驟S103)。
當上浮時負荷不在規(guī)定范圍內(nèi)時(N)，控制裝置55判斷上浮時負荷是否大于規(guī)定范圍(步驟S104)。當上浮時負荷不大于規(guī)定范圍的值(N)、即上浮時負荷小于規(guī)定范圍的值時，接下來測定負載梁11的傾斜角(步驟S105)。這時，最好同時測定負載梁11的滾動角。傾斜角和滾動角的測定通過利用位置測定器51測定負載梁11的位置，控制裝置55再根據(jù)該位置信息通過運算求出傾斜角和滾動角來進行。其次，控制裝置55根據(jù)傾斜角·負荷對應信息和傾斜角求出傾斜角增加方向的傾斜角的修正量，進而決定與該修正量對應的激光照射光量等等照射條件(步驟S106)。再有，當在步驟S105中測定負載梁11的滾動角時，決定激光照射條件將滾動角控制在規(guī)定范圍內(nèi)。其次，按照該照射條件，在激光照射區(qū)11Ra、11La中，利用激光照射裝置41對負載梁11的表面照射激光，這樣來修正負載梁11的傾斜角(步驟S107)。當在步驟S105中測定負載梁11的滾動角時，在步驟S107中對傾斜角進行修正，將滾動角控制在規(guī)定范圍內(nèi)。此外，當對負載梁11照射激光時，利用氣體噴射裝置47向負載梁11的激光照射位置噴射氮氣。
在步驟S104中，當上浮時負荷大于規(guī)定范圍的值時(Y)，接下來測定負載梁11的傾斜角(步驟S108)。這時，最好同時測定負載梁11的滾動角?？刂蒲b置55根據(jù)傾斜角·負荷對應信息和傾斜角求出傾斜角減小方向的傾斜角的修正量，進而決定與該修正量對應的激光照射光量等照射條件(步驟S109)。再有，當在步驟S108中測定負載梁11的滾動角時，決定激光照射條件將滾動角控制在規(guī)定范圍內(nèi)。其次，按照該照射條件，在激光照射區(qū)11Ra、11La中，利用激光照射裝置41對負載梁11的背面照射激光，這樣來修正負載梁11的傾斜角(步驟S110)。當在步驟S108中測定負載梁11的滾動角時，在步驟S110中對傾斜角進行修正，將滾動角控制在規(guī)定范圍內(nèi)。此外，當對負載梁11照射激光時，利用氣體噴射裝置47向負載梁11的激光照射位置噴射氮氣。
當在步驟S107或步驟S110中進行了傾斜角的修正之后，利用負荷測定器53測定懸浮體10的上浮時負荷(步驟S111)。其次，返回步驟S103，判斷上浮時負荷是否在規(guī)定范圍內(nèi)。
在步驟S103中，當上浮時負荷在規(guī)定范圍內(nèi)(Y)時，將懸浮體10從保持部40上取出(步驟S112)，并結(jié)束負荷調(diào)整處理。
在圖15所示的實施例中，在利用激光照射裝置41對負載梁11照射激光并提供熱能的工序(步驟S107、S110)的前后，測定懸浮體上浮時負荷，并判斷該上浮時負荷是否在規(guī)定的規(guī)定范圍內(nèi)。因此，若按照該實施例，可以修正上浮時負荷，可靠地將上浮時負荷控制在規(guī)定范圍內(nèi)。再有，當在規(guī)定個數(shù)的一組懸浮體10中，已知初始上浮時負荷大致一定時，也可以對該組懸浮體10的一部分測定初始上浮時負荷和初始傾斜角，并根據(jù)其結(jié)果決定激光照射條件，再根據(jù)該條件對該組所有的懸浮體10進行上浮時負荷的修正。
如圖11所示，因負載梁11的傾斜角和上浮時負荷之間存在對應關系，所以，也可以不測定懸浮體10的上浮時負荷，而測定負載梁11的傾斜角，這樣來判斷上浮時負荷是否在規(guī)定的規(guī)定范圍內(nèi)。參照圖16的流程圖說明這樣的負荷調(diào)整方法的實施例。
在圖16所示的實施例中，首先，將懸浮體10裝在保持部40上(步驟S121)。其次，測定負載梁11的傾斜角(步驟S122)。這時，最好同時測定負載梁11的滾動角。其次，控制裝置55判斷傾斜角是否在規(guī)定范圍內(nèi)(步驟S123)。
當傾斜角不在規(guī)定范圍內(nèi)時(N)，控制裝置55判斷傾斜角是否比規(guī)定范圍的值大(步驟S124)。當傾斜角不大于規(guī)定范圍的值(N)、即傾斜角比規(guī)定范圍的值小時，控制裝置55根據(jù)傾斜角·負荷對應信息和傾斜角求出傾斜角增加方向的傾斜角的修正量，進而決定與該修正量對應的激光照射條件(步驟S125)。再有，當在步驟S122中測定負載梁11的滾動角時，決定激光照射條件將滾動角控制在規(guī)定范圍內(nèi)。其次，按照該照射條件，在激光照射區(qū)11Ra、11La中，利用激光照射裝置41對負載梁11的表面照射激光，這樣來修正負載梁11的傾斜角(步驟S126)。當在步驟S122中測定負載梁11的滾動角時，在步驟S126中對傾斜角進行修正，將滾動角控制在規(guī)定范圍內(nèi)。此外，當對負載梁11照射激光時，利用氣體噴射裝置47向負載梁11的激光照射位置噴射氮氣。
在步驟S124中，當傾斜角大于規(guī)定范圍的值時(Y)，控制裝置55根據(jù)傾斜角·負荷對應信息和傾斜角求出傾斜角減小方向的傾斜角的修正量，進而決定與該修正量對應的激光照射條件(步驟S127)。再有，當在步驟S122中測定負載梁11的滾動角時，決定激光照射條件將滾動角控制在規(guī)定范圍內(nèi)。其次，按照該照射條件，在激光照射區(qū)11Ra、11La中，利用激光照射裝置41對負載梁11的背面照射激光，這樣來修正負載梁11的傾斜角(步驟S128)。當在步驟S122中測定負載梁11的滾動角時，在步驟S128中對傾斜角進行修正，將滾動角控制在規(guī)定范圍內(nèi)。此外，當對負載梁11照射激光時，利用氣體噴射裝置47向負載梁11的激光照射位置噴射氮氣。
當在步驟S126或步驟S128中進行了傾斜角的修正之后，測定負載梁11的傾斜角(步驟S129)。其次，返回步驟S123，判斷傾斜角是否在規(guī)定范圍內(nèi)。
在步驟S123中，當傾斜角在規(guī)定范圍內(nèi)(Y)時，將懸浮體10從保持部40上取出(步驟S130)，并結(jié)束負荷調(diào)整處理。
若按照圖16所示的實施例，因不必測定懸浮體10上浮時負荷，故可以使負荷調(diào)整簡單化。
再有，到此為止，說明了在磁頭常平組件1的狀態(tài)下對懸浮體10進行上浮時負荷調(diào)整的情況，但本實施形態(tài)的負荷調(diào)整方法和裝置對懸浮體10單體狀態(tài)、磁頭臂組件2的狀態(tài)、磁頭層疊組件3的狀態(tài)的懸浮體10也可以進行上浮時負荷的調(diào)整。在懸浮體10單體狀態(tài)或磁頭臂組件2的狀態(tài)下，可以和磁頭常平組件1的狀態(tài)一樣，進行上浮時負荷的調(diào)整。在磁頭層疊組件3的狀態(tài)下，因懸浮體10層疊在一起，所以，雖然從垂直方向?qū)Ω鲬腋◇w10的負載梁11的表面或背面照射激光困難，但通過從斜方向?qū)@些面照射激光，可以調(diào)整上浮時負荷。此外，負載梁11的位置的測定例如可以從磁頭層疊組件3的側(cè)面進行。
如以上說明的那樣，若按照本實施形態(tài)，在對懸浮體10不在使懸浮體10彎曲的方向施加外力的狀態(tài)下，向懸浮體10提供熱能，所以，可以容易調(diào)整懸浮體10的上浮時負荷，無論是在使其增加的方向還是使其減小的方向。由此，可以象設計的那樣穩(wěn)定地得到正確的滑動塊20的上浮量，可以符合高規(guī)格的要求并提高包含上浮型磁頭的裝置的成品率。
此外，若按照本實施形態(tài)，只要懸浮體10的上浮時負荷在其調(diào)整可能的范圍內(nèi)，就可以將其調(diào)整到任意的值，所以，當為了開發(fā)新產(chǎn)品而需要將上浮時負荷設定成各種值時，能夠容易實現(xiàn)。由此，可以縮短新產(chǎn)品開發(fā)的周期。
此外，若按照本實施形態(tài)，通過對懸浮體10照射激光向懸浮體提供熱能，所以，可以對懸浮體10的局部地區(qū)提供熱能，結(jié)果，可以對上浮時負荷進行高精度的調(diào)整。
此外，若按照本實施形態(tài)，在懸浮體10的照射激光的位置上噴射用來防止因激光照射而使懸浮體10氧化的氮氣，所以，可以防止因氧化而使懸浮體10變色。
此外，若按照本實施形態(tài)，在負載梁11的2個面中有選擇地對其一個面照射激光，這樣來調(diào)整上浮時負荷，所以，能夠容易從增加方向和減小方向兩個方向調(diào)整上浮時負荷。
此外，若按照本實施形態(tài)，測定作為表示與上浮時負荷具有對應關系的懸浮體10的姿勢的參數(shù)的負載梁11的傾斜角，并根據(jù)該傾斜角控制對懸浮體10照射激光時的條件，所以可以簡單地進行上浮時負荷的調(diào)整而不需要測定上浮時負荷。
此外，本實施形態(tài)的負荷調(diào)整方法和裝置可以適用于懸浮體10單體狀態(tài)、磁頭常平組件1的狀態(tài)、磁頭臂組件2的狀態(tài)、磁頭層疊組件3的狀態(tài)中任何一種狀態(tài)下的懸浮體10，所以，它們都可以在制造工序中使用。
在上述實施形態(tài)中，通過對負載梁11照射激光使負載梁11中的局部地區(qū)產(chǎn)生塑性變形，來調(diào)整懸浮體10的上浮時負荷。但是，通過向負載梁11提供使負載梁11的應力釋放的熱能使負載梁11的應力釋放，也可以在使懸浮體10的上浮時負荷減小方向上調(diào)整懸浮體10的上浮時負荷。作為向負載梁11提供使應力釋放的熱能的方法，例如可以考慮對負載梁11照射一定強度的激光，該強度比使負載梁11產(chǎn)生塑性變形的強度小。這時，最好對負載梁11全面照射激光而不是進行局部照射。
圖17示出考查使應力釋放那樣的大小范圍內(nèi)的激光強度和負載梁11的傾斜角的變化關系的實驗結(jié)果。在該實驗中，對10個負載梁11，使激光強度象上述那樣，在使應力釋放那樣的大小范圍內(nèi)變化，這樣來向負載梁11照射激光，并考查激光照射前后負載梁11的傾斜角的變化。再有，在圖17中，激光強度的單位是任意的，越往右強度越大。此外，在圖17中，激光強度為0表示激光照射前的狀態(tài)。由圖17可知，通過對負載梁11照射使應力釋放那樣的強度的激光，可以使懸浮體10的上浮時負荷減小，同時，激光強度越大，上浮時負荷的變化量越大。因此，通過控制激光強度，可以控制上浮時負荷的變化量。再有，也可以不控制激光強度，而控制激光的照射時間等其它照射條件，來控制上浮時負荷的變化量。
再有，本發(fā)明不限于上述實施形態(tài)，可以進行種種變更。例如，在本發(fā)明中，若同時使用利用塑性變形的上浮時負荷調(diào)整和利用應力釋放的上浮時負荷調(diào)整，通過一邊只照射負載梁11的一個面一邊改變激光強度等照射條件，可以在增加方向和減小方向雙向調(diào)整上浮時負荷。
此外，本發(fā)明不僅適用于支持磁頭用的滑動塊的懸浮體，也可以適用于支持光記錄用的光頭或光磁記錄用的光磁頭等其它檢測頭用的滑動塊的懸浮體。
象以上說明的那樣，本發(fā)明的負荷調(diào)整方法或裝置在對懸浮體不在使懸浮體彎曲的方向上加外力的狀態(tài)下向懸浮體提供熱能。因此，若按照本發(fā)明的負荷調(diào)整方法或裝置，可以容易在增加方法或減小方向調(diào)整懸浮體加給滑動塊的負荷。
此外，在本發(fā)明的負荷調(diào)整方法或裝置中，也可以通過對懸浮體照射激光來向懸浮體提供熱能。這時，可以對懸浮體進行局部加熱，結(jié)果可以進行高精度的負荷調(diào)整。
此外，在本發(fā)明的負荷調(diào)整方法或裝置中，也可以在懸浮體的激光照射位置上噴射用來防止懸浮體氧化的氣體。這時，可以防止因氧化而使懸浮體變色。
此外，在本發(fā)明的負荷調(diào)整方法或裝置中，也可以通過有選擇地對負載梁11的2個面中的一個面照射激光來調(diào)整負荷。這時，容易從增加方向和減小方向雙向調(diào)整負荷。
此外，在本發(fā)明的負荷調(diào)整方法或裝置中，也可以測定表示與負荷具有對應關系的懸浮體的姿勢的參數(shù)，并根據(jù)該參數(shù)控制向懸浮體提供熱能時的條件。這時，可以簡單地進行負荷調(diào)整而不需要測定負荷。
由上述說明可知，可以實施本發(fā)明的種種形態(tài)或變形例。因此，在與下面的權(quán)利要求的范圍均等的范圍內(nèi)，除了本發(fā)明的最佳形態(tài)之外，也可以實施本發(fā)明的其它形態(tài)。
權(quán)利要求
1.一種調(diào)整支持懸浮磁頭滑動塊的懸浮體在和上述滑動塊上浮時同等的條件下加給上述滑動塊的負荷的方法，其特征在于，具有在對上述懸浮體不加使懸浮體彎曲的方向上的外力的狀態(tài)下保持上述懸浮體的工序；為了使上述負荷增加或減小而對上述懸浮體提供熱能的工序。
2.權(quán)利要求1記載的方法，其特征在于上述提供熱能的工序?qū)ι鲜鰬腋◇w照射激光。
3.權(quán)利要求2記載的方法，其特征在于上述提供熱能的工序在上述懸浮體的照射激光的位置上噴涂用來防止因激光的照射而使懸浮體氧化的氣體。
4.權(quán)利要求2記載的方法，其特征在于上述懸浮體包含使其產(chǎn)生上述負荷的負載梁，該負載梁形成具有2個相互反向的面的片簧形狀，上述熱能提供工序有選擇地對上述負載梁的2個面中的一個面照射激光。
5.權(quán)利要求1記載的方法，其特征在于進而包含在上述熱能提供工序之前測定表示與上述負荷有對應關系的上述懸浮體的姿勢的參數(shù)的工序，上述熱能提供工序根據(jù)測定的上述參數(shù)控制向上述懸浮體提供熱能時的條件。
6.權(quán)利要求1記載的方法，其特征在于進而包含在上述提供熱能的工序前后測定上述負荷并判斷上述負荷是否在規(guī)定的范圍之內(nèi)的工序。
7.一種調(diào)整支持懸浮磁頭滑動塊的懸浮體在和上述滑動塊上浮時同等的條件下加給上述滑動塊的負荷的裝置，其特征在于，具有在對上述懸浮體不加使懸浮體彎曲的方向上的外力的狀態(tài)下保持上述懸浮體的保持裝置；為了使上述負荷增加或減小而對上述懸浮體提供熱能的熱能提供裝置。
8.權(quán)利要求7記載的裝置，其特征在于上述熱能提供裝置具有對上述懸浮體照射激光的激光照射裝置。
9.權(quán)利要求8記載的裝置，其特征在于進而具有在上述懸浮體的照射激光的位置上噴涂用來防止因激光的照射而使懸浮體氧化的氣體的氣體噴射裝置。
10.權(quán)利要求8記載的裝置，其特征在于上述懸浮體包含使其產(chǎn)生上述負荷的負載梁，該負載梁形成具有2個相互反向的面的片簧形狀，上述激光照射裝置有選擇地對上述負載梁的2個面中的一個面照射激光。
11.權(quán)利要求7記載的裝置，其特征在于進而包括測定表示與上述負荷有對應關系的上述懸浮體的姿勢的參數(shù)的姿勢測定裝置和根據(jù)上述姿勢測定裝置測定的上述參數(shù)控制向上述懸浮體提供熱能時的條件的控制裝置。
12.權(quán)利要求7記載的裝置，其特征在于進而具有測定上述負荷的負荷測定裝置。
13.一種調(diào)整支持懸浮磁頭滑動塊的懸浮體在和上述滑動塊上浮時同等的條件下加給上述滑動塊的負荷的裝置，其特征在于，具有在對上述懸浮體不加使懸浮體彎曲的方向上的外力的狀態(tài)下保持上述懸浮體的保持部；為了使上述負荷增加或減小而對上述懸浮體提供熱能的熱能提供裝置。
14.權(quán)利要求13記載的裝置，其特征在于上述熱能提供裝置具有對上述懸浮體照射激光的激光照射裝置。
15.權(quán)利要求14記載的裝置，其特征在于進而具有在上述懸浮體的照射激光的位置上噴涂用來防止因激光的照射而使懸浮體氧化的氣體的氣體噴射裝置。
16.權(quán)利要求14記載的裝置，其特征在于上述懸浮體包含使其產(chǎn)生上述負荷的負載梁，該負載梁形成具有2個相互反向的面的片簧形狀，上述激光照射裝置有選擇地對上述負載梁的2個面中的一個面照射激光。
17.權(quán)利要求13記載的裝置，其特征在于進而包括測定表示與上述負荷有對應關系的上述懸浮體的姿勢的參數(shù)的位置測定器和根據(jù)上述位置測定器測定的上述參數(shù)控制向上述懸浮體提供熱能時的條件的控制裝置。
18.權(quán)利要求13記載的裝置，其特征在于進而具有測定上述負荷的負荷測定器。
全文摘要
在調(diào)整懸浮體加給滑動塊的負荷時,在對懸浮體不加使懸浮體彎曲的方向上的外力的狀態(tài)下保持懸浮體。在該狀態(tài)下,利用位置測定器測定負載梁的位置,并根據(jù)該位置信息求出負載梁的傾斜角,再根據(jù)該傾斜角決定激光照射條件。接著,按照該照射條件,從表面或背面對懸浮體的負載梁的彎曲部照射激光。
文檔編號G11B21/21GK1373470SQ0210655
公開日2002年10月9日 申請日期2002年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月28日
發(fā)明者山口哲, 中江亦鴻 申請人:Tdk株式會社