技術總結(jié)
本發(fā)明屬于原子力顯微鏡領域，并公開了一種原子力顯微鏡探針模態(tài)形狀優(yōu)化設計方法，包括以下步驟：(1)將原子力顯微鏡探針簡化成為長度、寬度和厚度分別為L、w、h且?guī)в屑匈|(zhì)量點的懸臂梁；(2)根據(jù)懸臂梁探針結(jié)構(gòu)進行有限元建模，定義設計變量；(3)定義目標模態(tài)向量φ0；(4)定義目標函數(shù)J；(5)求解步驟(2)的有限元模型，獲得目標函數(shù)J關于設計變量的敏度，梯度下降法更新設計變量；(6)使目標函數(shù)J收斂。本發(fā)明可以使一階振動模態(tài)下探針懸臂在光束反射處提供更大的傾斜度，提高了檢測靈敏度，同時目標函數(shù)中特征值的部分可以使一階振動頻率盡量不受影響。

技術研發(fā)人員：夏奇;李振華;史鐵林
受保護的技術使用者：華中科技大學
文檔號碼：201611174551
技術研發(fā)日：2016.12.19
技術公布日：2017.06.09