專利名稱:集成電路布局的檢驗方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明是有關(guān)于一種集成電路布局的檢驗方法,特別是關(guān)于一種設(shè)計規(guī)則 檢査和布局與圖式規(guī)則檢査。
背景技術(shù):
隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,計算機輔助設(shè)計(CAD)系統(tǒng)尤其是電子設(shè)計自 動化(EDA)技術(shù)是日益被運用到半導(dǎo)體集成電路的設(shè)計中。
在實際生產(chǎn)制造集成電路芯片前, 一般會以審査軟件進行檢査,確認此集 成電路的設(shè)計,符合將要用以生產(chǎn)制造此一芯片的工藝的要求與限制,包括確 認此集成電路實體設(shè)計的布局相符于其圖式的設(shè)計,這些都是在實際制造一電 路前非常重要的步驟。有了這些確認的程序,由指定工藝所制造出來的電路特 性才得以保障。
諸如用以生產(chǎn)制造一芯片的工藝的要求與限制,檢査集成電路實體設(shè)計的 布局是否相符于其圖式的設(shè)計的方法, 一般統(tǒng)稱為規(guī)則。在實際執(zhí)行上,這些 規(guī)則被稱為設(shè)計規(guī)則檢査規(guī)則(design rule check rules, DRC mles)及布局與圖式 規(guī)貝ll(layout versus schematic rules, LVS rules)。
在設(shè)計集成電路(IC)的金屬導(dǎo)線(特別是電源線時),若金屬導(dǎo)線的寬度驟 減,會在寬度驟減的位置發(fā)生燒毀的現(xiàn)象,因此有必要針對此問題在進行設(shè)計 規(guī)則檢查(DRC)時,找出有問題的設(shè)計部分,并把其標示出來。
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)上述問題,本發(fā)明提出一種集成電路布局的檢驗方法,包括選擇一電 路設(shè)計布局進行檢查,根據(jù)一判斷規(guī)則,判斷電路設(shè)計布局中的一金屬導(dǎo)線的 寬度驟減比例是否低于一警示值。在一實施例中,電路設(shè)計布局至少包括一金 屬導(dǎo)線,且金屬導(dǎo)線包括具有第一寬度的第一部分和具有第二寬度的第二部 分,以一軟件計算金屬導(dǎo)線的第一部分和第二部分交接處的一四邊形,對應(yīng)于第一寬度的部分和第二寬度的部分的面積比例,藉由面積比例推算第二寬度和 第一寬度的比例,判斷第二寬度和第一寬度的比例是否低于一警示值。
圖1為本發(fā)明一實施例集成電路布局設(shè)計的檢驗方法流程圖。
圖2為本發(fā)明一實施例電路設(shè)計布局的平面圖,用以輔助說明本發(fā)明一實 施例集成電路布局設(shè)計的檢驗方法。
其中,主要附圖標記為
202 金屬導(dǎo)線;
204 第一部分;
206 第二部分;
208 四邊形;
210 金屬導(dǎo)線銜接處。
具體實施例方式
以下根據(jù)圖l詳細說明本發(fā)明的流程,其中并以圖2輔助說明。首先,進
行步驟S102,設(shè)定判斷規(guī)則,用以判斷電路設(shè)計布局中的寬度驟減比例是否
低于一警示值,以避免在寬度驟減的位置出現(xiàn)燒毀的現(xiàn)象。請同時參照圖2,
輔助說明本實施例判斷規(guī)則的設(shè)定,如圖所示,本實施例的金屬導(dǎo)線202包括
具有第一寬度的第一部分204和具有第二寬度L2的第二部分206,其中第
一寬度1^和一第二寬度L2相差很多。為避免上述第一寬度L,和第二寬度L2
的部分金屬導(dǎo)線銜接處210發(fā)生燒毀的問題,本實施例以一例如Mentor
Graphics Corp.公司所提供的Calibre進行設(shè)計規(guī)則檢查(DRC),判斷第二寬度
L2和第一寬度L,的比例是否低于一警示值。然而,此種設(shè)計規(guī)則檢査程序一
般無法提供線段間的比例,因此,本實施例將設(shè)計規(guī)則檢査程序所取得的第一
寬度L和第二寬度L2分別乘上一固定數(shù)值A(chǔ)w,如圖所示可于金屬導(dǎo)線銜接
處210定義出一四邊形208。第一寬度L,乘以上述固定數(shù)值A(chǔ)w可得到四邊形
208的全部面積ai+a2,第二寬度L2乘上上述固定數(shù)值A(chǔ)w可得到四邊形208
的部分面積a2,根據(jù)以下公式
^^-A,可藉由四邊形208中面積的比例推得第二寬度L2和第一寬度 a, + a, 丄,L,的比例。并根據(jù)集成電路布局的需求和工藝窗的大小,設(shè)定一第二寬度L2
和第一寬度L,比例的警示值,該警示值可為60 80% 。
進行步驟S104,對所選擇的電路設(shè)計布局進行設(shè)計規(guī)則檢査,于步驟S106 中,判斷電路設(shè)計布局中金屬導(dǎo)線的寬度驟減比例是否低于一警示值(如低于 80%時),亦即(L2/L,) 「等同a2/(ai+a2)」是否低于該80%的警示值。若低于 警示值,則進行步驟S108,發(fā)出警示信號,把警示的區(qū)域標示(highlight)出來。
根據(jù)上述,本發(fā)明在設(shè)計集成電路(IC)的金屬導(dǎo)線時,可警示出金屬導(dǎo)線 的寬度驟減的問題,避免在寬度驟減的位置發(fā)生燒毀的現(xiàn)象。
以上提供的實施例是用以描述本發(fā)明不同的技術(shù)特!1&但根據(jù)本發(fā)明的概 念,其可包括或運用于更廣泛的技術(shù)范圍。須注意的是,實施例僅用以揭示本 發(fā)明工藝、裝置、組成、制造和使用的特定方法,并不用以限定本發(fā)明,任何 熟悉此技術(shù)者,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),當可作些許的更動與潤飾。 因此,本發(fā)明的保護范圍,當視后附的權(quán)利要求保護范圍所界定者為準。
權(quán)利要求
1.一種集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,包括選擇一電路設(shè)計布局進行檢查;及根據(jù)一判斷規(guī)則,判斷該電路設(shè)計布局中的一金屬導(dǎo)線的寬度驟減比例是否低于一警示值。
2. 如權(quán)利要求1所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,該金屬導(dǎo) 線包括一具有第一寬度的第一部分和一具有第二寬度的第二部分。
3. 如權(quán)利要求2所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,該第二 寬度小于該第一寬度。
4. 如權(quán)利要求3所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,該判斷以 一軟件取得該第一寬度L,和該第二寬度L2;將該第一寬度L,乘上一固定數(shù)值A(chǔ)w,得到一四邊形的全部面積ai+a2, 將該第二寬度L2乘上該固定數(shù)值A(chǔ)w可得到該四邊形的部分面積a2,根據(jù)以 下公式^^ = ^,藉由該四邊形中面積的比例推得該第二寬度1々和該第一寬度L,的比例;及設(shè)定該第二寬度L2和該第一寬度L,比例的警示值。
5. 如權(quán)利要求4所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,該軟件 為Graphics Corp.公司所提供的Calibre。
6. 如權(quán)利要求3所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,還包括 若該電路設(shè)計布局中的金屬導(dǎo)線的寬度驟減比例低于該警示值,發(fā)出一警示信 號,把警示的區(qū)域標示(highlight)出來。
7. 如權(quán)利要求1所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,該警示 值為60 80%。
8. 如權(quán)利要求1所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,該金屬 導(dǎo)線為一電源線。
9. 一種集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,包括 選擇一電路設(shè)計布局進行檢査,其中該電路設(shè)計布局至少包括一金屬導(dǎo)線,且該金屬導(dǎo)線包括一具有第一寬度的第一部分和一具有第二寬度的第二部分;以一軟件計算該金屬導(dǎo)線的第一部分和第二部分交接處的一四邊形,對應(yīng) 于該第一寬度的部分和該第二寬度的部分的面積比例,藉由該面積比例推算該第二寬度和該第一寬度的比例;及判斷該第二寬度和該第一寬度的比例是否低于一警示值。
10. 如權(quán)利要求9所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,該第二 寬度小于該第一寬度。
11. 如權(quán)利要求10所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,該以 一軟件計算該金屬導(dǎo)線之第一部分和第二部分交接處的一四邊形,對應(yīng)于該第 一寬度之部分和該第二寬度之部分的面積比例,藉由該面積比例推算該第二寬度和該第一寬度之比例的步驟包括以該軟件取得該第一寬度L,和該第二寬度L2;將該第一寬度L,乘上一固定數(shù)值A(chǔ)w,得到該四邊形的全部面積ai+a2,將該第二寬度L2乘上該固定數(shù)值A(chǔ)w可得到該四邊形的部分面積a2,根據(jù)以下公式~^一 = &,藉由該四邊形中面積的比例推得該第二寬度L2和該第一寬 ^ + a2 A度Li的比例。
12. 如權(quán)利要求9所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,該警示 值為60 80%。
13. 如權(quán)利要求9所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,還包括 該第二寬度和該第一寬度的比例是否低于該警示值,發(fā)出一警示信號,把警示 的區(qū)域標示(highlight)出來。
14. 如權(quán)利要求9所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,該軟件 為Graphics Corp.公司所提供的Calibre。
15. 如權(quán)利要求9所述的集成電路布局的檢驗方法,其特征在于,該金屬 導(dǎo)線為一電源線。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種集成電路布局的檢驗方法,包括選擇一電路設(shè)計布局進行檢查,根據(jù)一判斷規(guī)則,判斷電路設(shè)計布局中的一金屬導(dǎo)線的寬度驟減比例是否低于一警示值。在一實施例中,電路設(shè)計布局至少包括一金屬導(dǎo)線,且金屬導(dǎo)線包括一具有第一寬度的第一部分和一具有第二寬度的第二部分,以一軟件計算金屬導(dǎo)線的第一部分和第二部分交接處的一四邊形,對應(yīng)于第一寬度的部分和第二寬度的部分的面積比例,藉由面積比例推算第二寬度和第一寬度的比例,判斷第二寬度和第一寬度的比例是否低于一警示值。
文檔編號G06F17/50GK101539953SQ20081008403
公開日2009年9月23日 申請日期2008年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月18日
發(fā)明者蘇士益 申請人:奇景光電股份有限公司