專利名稱：一種硅片邊緣標(biāo)識方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種微電子制造設(shè)備領(lǐng)域中硅片的標(biāo)識詢問確認(rèn)系統(tǒng)，尤其涉及一種硅片邊緣標(biāo)識方法。
背景技術(shù)：
目前在微電子制造設(shè)備領(lǐng)域中，硅片標(biāo)識碼都打在硅片邊緣的硅片平面上(如附圖中圖1所示)。這種標(biāo)識方法下的硅片在識別時，需要標(biāo)識詢問系統(tǒng)將硅片逐一架起并旋轉(zhuǎn)使得光學(xué)探測器找到標(biāo)識碼，以辨認(rèn)硅片標(biāo)識碼。這種方法不僅消耗時間多，降低了設(shè)備的產(chǎn)能，而且還容易因?yàn)槎嘟佑|硅片而造成對硅片的損傷幾率。如果是老式的詢問系統(tǒng)，則還需要將硅片逐一取出硅片盒，并且經(jīng)過幾次旋轉(zhuǎn)以調(diào)節(jié)同心，更加延長了處理時間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種硅片邊緣標(biāo)識方法，使硅片標(biāo)識碼讀取系統(tǒng)識別硅片時，不需要將硅片逐一旋轉(zhuǎn)以提高硅片處理效率。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提出了一種硅片邊緣標(biāo)識方法，即在標(biāo)識硅片時將一個硅片標(biāo)識碼標(biāo)識在硅片邊緣固定位置，且在每隔一段固定距離標(biāo)識一個同樣的硅片標(biāo)識碼，然后在識別硅片時，標(biāo)識詢問系統(tǒng)便可以通過讀出硅片邊緣的硅片標(biāo)識碼識別硅片。
本發(fā)明由于將硅片標(biāo)識碼標(biāo)在硅片邊緣，且每隔一段距離制作一個，省去了旋轉(zhuǎn)硅片找標(biāo)識碼的必要性，大大提高了硅片標(biāo)識詢問系統(tǒng)的工作效率，提高了產(chǎn)能。


圖1是傳統(tǒng)的硅片標(biāo)識示意圖；圖2是本發(fā)明硅片邊緣標(biāo)識方法，即改進(jìn)的硅片標(biāo)識示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
如圖1所示，是傳統(tǒng)的硅片標(biāo)識示意圖。按傳統(tǒng)方式，硅片標(biāo)識碼都打在硅片邊緣的硅片平面上。因而在識別硅片時，需要標(biāo)識詢問系統(tǒng)將硅片逐一架起并旋轉(zhuǎn)使得光學(xué)探測器找到標(biāo)識碼，從而辨認(rèn)硅片標(biāo)識碼；如果是老式的詢問系統(tǒng)，則還需要將硅片逐一取出硅片盒，并且經(jīng)過幾次旋轉(zhuǎn)以調(diào)節(jié)同心。因此無論是哪種傳統(tǒng)方法都存在著處理時間長和無法在不對硅片當(dāng)前狀態(tài)進(jìn)行改變而測量的缺點(diǎn)，并且由于工藝中需要接觸硅片多次還加大了硅片的損傷幾率。
如圖2所示，是本發(fā)明硅片邊緣標(biāo)識方法，即本發(fā)明中改進(jìn)的硅片標(biāo)識示意圖。在本發(fā)明中首先將硅片標(biāo)識碼打在硅片邊緣上固定位置，而且每隔一段距離制作一個硅片標(biāo)識碼，以省去旋轉(zhuǎn)硅片找標(biāo)識碼的必要性；然后在識別硅片時，標(biāo)識詢問系統(tǒng)便可以通過讀出硅片邊緣的硅片標(biāo)識碼識別硅片。這種標(biāo)識碼可以做成條形碼形式，標(biāo)識詢問系統(tǒng)便可以通過使用像超市中的激光掃描設(shè)備的光學(xué)探測器將每一片硅片的標(biāo)識碼讀出。使用這種方法，標(biāo)識詢問系統(tǒng)識別時，硅片只需放在原來的硅片盒中即可，不用旋轉(zhuǎn)或者取出，工藝上非常方便省時，使得每臺設(shè)備都可以花很少的時間對硅片標(biāo)識碼進(jìn)行確認(rèn)。
必須指出本發(fā)明方法，可應(yīng)用于包括任何8英寸、12英寸、18英寸及更大尺寸的硅片工藝制造中。
綜上所述，本發(fā)明方法由于采用將硅片標(biāo)識碼標(biāo)在硅片邊緣固定位置，且每隔一段固定距離制作一個標(biāo)識碼的方法，省去了旋轉(zhuǎn)硅片找標(biāo)識碼的必要性；標(biāo)識詢問系統(tǒng)識別硅片時，無需像傳統(tǒng)技術(shù)那樣旋轉(zhuǎn)或者取出硅片，可以對處在任意狀態(tài)中的硅片進(jìn)行識別，包括在硅片盒中、傳輸過程中甚至在硅片操作過程中等。工藝上非常方便省時，大大提高了微電子制造設(shè)備領(lǐng)域中硅片標(biāo)識詢問系統(tǒng)的工作效率，提高了產(chǎn)能。
權(quán)利要求
1.一種硅片邊緣標(biāo)識方法，其特征是，首先將一個硅片標(biāo)識碼標(biāo)識在硅片邊緣固定位置，且在所述硅片邊緣每隔一段固定距離標(biāo)識一個所述硅片標(biāo)識碼，然后在識別硅片時，標(biāo)識詢問系統(tǒng)便可以通過讀出所述硅片邊緣的硅片標(biāo)識碼識別硅片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣標(biāo)識方法，其特征是，所述硅片標(biāo)識碼做成條形碼形式。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片邊緣標(biāo)識方法，其特征是，所述硅片為8英寸及8英寸以上尺寸的硅片。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種硅片邊緣標(biāo)識方法，即在標(biāo)識硅片時將一個硅片標(biāo)識碼標(biāo)識在硅片邊緣固定位置，且在每隔一段固定距離標(biāo)識一個同樣的硅片標(biāo)識碼，然后在識別硅片時，標(biāo)識詢問系統(tǒng)便可以通過讀出硅片邊緣的硅片標(biāo)識碼識別硅片。本發(fā)明由于將硅片標(biāo)識碼標(biāo)在硅片邊緣，且每隔一段距離制作一個，省去了旋轉(zhuǎn)硅片找標(biāo)識碼的必要性，提高了硅片標(biāo)識詢問系統(tǒng)的工作效率，提高了產(chǎn)能。
文檔編號G06K7/00GK1988122SQ20051011169
公開日2007年6月27日 申請日期2005年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月20日
發(fā)明者伍強(qiáng), 方精訓(xùn) 申請人:上海華虹Nec電子有限公司