專利名稱：基板處理裝置及基板處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)基板進(jìn)行規(guī)定處理的基板處理裝置及基板處理方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，開發(fā)了設(shè)置有液處理單元、熱處理單元等多個(gè)處理單元的基板處理裝置。在該基板處理裝置中，因需要對(duì)基板進(jìn)行一連串的處理，設(shè)置有可在這些多個(gè)處理單元之間輸送基板的基板運(yùn)送機(jī)械手。
正在開發(fā)一種在該基板運(yùn)送機(jī)械手上發(fā)生故障時(shí)，在操作面板上顯示有關(guān)故障的規(guī)定信息的基板處理裝置(參照日本專利申請(qǐng)?zhí)亻_平11-307612號(hào)公報(bào))。在該基板處理裝置中，發(fā)生了故障時(shí)，在操作面板上顯示從故障恢復(fù)的步驟。
然而，由于在上述基板處理裝置的操作面板上顯示的從故障恢復(fù)的步驟通過(guò)文字簡(jiǎn)單地顯示，所以為了從故障恢復(fù)就需要進(jìn)一步閱讀詳細(xì)的使用說(shuō)明書，而需要時(shí)間及勞力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠在短時(shí)間內(nèi)且正確地實(shí)施維護(hù)的基板處理裝置及基板處理方法。
本發(fā)明的一方面的基板處理裝置，對(duì)基板實(shí)施規(guī)定的處理，包括存儲(chǔ)裝置，其存儲(chǔ)表示基板處理裝置的維護(hù)方法的動(dòng)畫信息；顯示裝置，其將存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的動(dòng)畫信息作為動(dòng)畫而進(jìn)行顯示。
該基板處理裝置中，表示維護(hù)方法的動(dòng)畫信息由存儲(chǔ)裝置存儲(chǔ)，該存儲(chǔ)的動(dòng)畫信息作為動(dòng)畫而由顯示裝置顯示。
此時(shí)，作業(yè)人員通過(guò)觀看顯示的動(dòng)畫，能夠容易掌握基板處理裝置的維護(hù)方法。由此，能夠在短時(shí)間內(nèi)且正確地實(shí)施維護(hù)。
存儲(chǔ)裝置也可以還存儲(chǔ)有關(guān)于維護(hù)所需要的時(shí)間的時(shí)間信息，顯示裝置顯示存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的有關(guān)于維護(hù)所需要的時(shí)間的時(shí)間信息。
此時(shí)，作業(yè)人員能夠基于顯示的時(shí)間信息預(yù)測(cè)操作時(shí)間。
存儲(chǔ)裝置也可以還存儲(chǔ)有關(guān)于應(yīng)維護(hù)的位置的位置信息，顯示裝置顯示存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的有關(guān)于應(yīng)維護(hù)的位置的位置信息。
此時(shí)，作業(yè)人員能夠基于顯示的位置信息容易掌握基板處理裝置的維護(hù)位置。
存儲(chǔ)裝置也可以還存儲(chǔ)有關(guān)于維護(hù)中應(yīng)調(diào)整的值的調(diào)整值信息，顯示裝置顯示存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的有關(guān)于維護(hù)中應(yīng)調(diào)整的值的調(diào)整值信息。
此時(shí)，作業(yè)人員能夠基于顯示的調(diào)整值信息容易掌握應(yīng)調(diào)整的值。從而，不需要反復(fù)進(jìn)行調(diào)整，能夠在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。
存儲(chǔ)裝置也可以還存儲(chǔ)表示維護(hù)方法的文字信息，顯示裝置顯示存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的表示維護(hù)方法的文字信息。
此時(shí)，作業(yè)人員通過(guò)觀看顯示的動(dòng)畫及文字，能夠容易掌握維護(hù)方法。由此，能夠在更短時(shí)間內(nèi)且正確地實(shí)施維護(hù)。
表示維護(hù)方法的文字信息包括多種語(yǔ)言的文字信息，基板處理裝置還包括操作部，其選擇存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的多種語(yǔ)言的文字信息，顯示裝置顯示通過(guò)操作部的操作而被選擇的語(yǔ)言的文字信息也可以。
此時(shí)，作業(yè)人員通過(guò)選擇自己可理解的語(yǔ)言的文字信息，通過(guò)觀看顯示的動(dòng)畫及文字，能夠容易掌握維護(hù)方法。由此，能夠在更短時(shí)間內(nèi)且正確地實(shí)施維護(hù)。
存儲(chǔ)裝置也可以還存儲(chǔ)表示維護(hù)方法的文字信息，基板處理裝置還包括語(yǔ)音輸出裝置，其以語(yǔ)音輸出存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的維護(hù)方法。
此時(shí)，作業(yè)人員通過(guò)觀看顯示的動(dòng)畫的同時(shí)傾聽語(yǔ)音的說(shuō)明，能夠更容易掌握維護(hù)方法。由此，能夠在更短時(shí)間內(nèi)且正確地實(shí)施維護(hù)。
也可以是表示維護(hù)方法的文字信息包括多種語(yǔ)言的文字信息，基板處理裝置還包括操作部，其選擇存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的多種語(yǔ)言的文字信息，語(yǔ)音輸出裝置以語(yǔ)音輸出通過(guò)操作部的操作而被選擇的語(yǔ)言的文字信息。
此時(shí)，作業(yè)人員通過(guò)選擇自己可理解的語(yǔ)言的文字信息，通過(guò)觀看顯示的動(dòng)畫及傾聽語(yǔ)音的說(shuō)明，能夠更容易掌握維護(hù)方法。由此，能夠在更短時(shí)間內(nèi)且正確地實(shí)施維護(hù)。
也可以是存儲(chǔ)裝置還存儲(chǔ)用于通知實(shí)施維護(hù)的時(shí)期的通知信息，顯示裝置顯示存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的用于通知實(shí)施維護(hù)的時(shí)期的通知信息。
此時(shí)，作業(yè)人員通過(guò)觀看顯示的通知信息，能夠容易掌握實(shí)施維護(hù)的時(shí)期。由此，能夠防止忘記實(shí)施維護(hù)的時(shí)期。
基板處理裝置也可以還包括基于通知信息對(duì)作業(yè)人員輸出警報(bào)的警報(bào)輸出裝置。
此時(shí)，由于基于通知信息由警報(bào)輸出裝置輸出警報(bào)，所以作業(yè)人員不忘記通知信息而能夠可靠地實(shí)施維護(hù)。
警報(bào)輸出裝置也可以基于通知信息輸出警報(bào)聲。此時(shí)，作業(yè)人員能夠通過(guò)警報(bào)聲可靠地掌握通知信息。
警報(bào)輸出裝置也可以基于通知信息顯示警報(bào)。此時(shí)，作業(yè)人員通過(guò)警報(bào)的顯示，能夠可靠地掌握通知信息。
存儲(chǔ)裝置也可以還存儲(chǔ)有關(guān)于基板處理裝置的維護(hù)的履歷的履歷信息。此時(shí)，作業(yè)人員基于履歷信息能夠掌握各個(gè)基板處理裝置的維護(hù)狀況。
顯示裝置也可以還顯示表示基板處理裝置的各部分是否需要維護(hù)的信息。此時(shí)，作業(yè)人員能夠容易判斷基板處理裝置的各部分是否需要維護(hù)。
顯示裝置也可以轉(zhuǎn)換顯示表示是否需要維護(hù)的信息和動(dòng)畫信息。此時(shí)，不需要將顯示裝置大型化，能夠顯示表示是否需要維護(hù)的信息和動(dòng)畫信息。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面的基板處理方法，對(duì)基板實(shí)施規(guī)定的處理，包括存儲(chǔ)表示基板處理裝置的維護(hù)方法的動(dòng)畫信息的步驟；將所存儲(chǔ)的動(dòng)畫信息作為動(dòng)畫而進(jìn)行顯示的步驟。
在該基板處理方法中，存儲(chǔ)表示維護(hù)方法的動(dòng)畫信息，該存儲(chǔ)的動(dòng)畫信息顯示為動(dòng)畫。
此時(shí)，作業(yè)人員通過(guò)觀看顯示的動(dòng)畫，能夠容易掌握基板處理裝置的維護(hù)方法。由此，能夠在短時(shí)間內(nèi)且正確地實(shí)施維護(hù)。


圖1A、圖1B是根據(jù)本實(shí)施方式的基板處理裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖。
圖2是說(shuō)明圖1的多級(jí)熱處理單元的結(jié)構(gòu)的圖。
圖3是用于說(shuō)明圖1的基板處理裝置的控制部及與操作面板的關(guān)系的框圖。
圖4是圖1的基板運(yùn)送機(jī)械手的外觀立體圖。
圖5是表示在操作面板上顯示的狀況確認(rèn)畫面的圖。
圖6是表示在操作面板上顯示維護(hù)畫面的狀態(tài)的圖。
圖7是表示在操作面板上顯示維護(hù)畫面的狀態(tài)的圖。
圖8是表示在操作面板上顯示維護(hù)畫面的狀態(tài)的圖。
圖9是表示在操作面板上顯示詳細(xì)文章畫面的狀態(tài)的圖。
圖10是表示在操作面板上顯示維護(hù)履歷畫面的狀態(tài)的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明的一實(shí)施方式。
在以下的說(shuō)明中，基板是指半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用玻璃基板、PDP(等離子顯示器面板)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盤用基板等。
(1)一實(shí)施方式圖1A、圖1B是根據(jù)本實(shí)施方式的基板處理裝置100的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)圖，圖2是說(shuō)明圖1的多級(jí)熱處理單元2a～2d的結(jié)構(gòu)的圖。圖1A是基板處理裝置100的俯視圖，圖1B是基板處理裝置100的主視圖。
圖1A、圖1B所示的基板處理裝置100包括分度器ID、接口部IF、處理單元部MP及控制部500。
如圖1A所示，在處理單元部MP的四個(gè)角上，配置有對(duì)基板W實(shí)施處理液的處理的涂敷處理單元(自旋涂敷機(jī)/spin coater)SC1、SC2及顯影處理單元(自旋顯影機(jī)/spin developer)SD1、SD2。在涂敷處理單元SC1、SC2之間，配置清洗處理單元SS(自旋擦洗機(jī)/spin scrubber)。
在涂敷處理單元SC1、SC2中，旋轉(zhuǎn)基板W的同時(shí)進(jìn)行抗蝕劑涂敷處理。在顯影處理單元SD1、SD2中，旋轉(zhuǎn)基板W的同時(shí)進(jìn)行曝光后的基板W的顯影處理。在清洗處理單元SS中，旋轉(zhuǎn)基板W的同時(shí)進(jìn)行基板W的表面的清洗處理。
此外，如圖2所示，在從多級(jí)熱處理單元2a的最下級(jí)起第1～第3級(jí)上，設(shè)置進(jìn)行基板W的冷卻處理的冷卻板部CP1～CP3。在從最下級(jí)起的第4級(jí)上，設(shè)置對(duì)基板W進(jìn)行粘合強(qiáng)化處理的粘合強(qiáng)化處理部AH，在從最下級(jí)起的第5及第6級(jí)上，分別設(shè)置有進(jìn)行基板W的加熱處理的加熱板部HP1、HP2。
在從多級(jí)熱處理單元2b的最下級(jí)起的第1～第3級(jí)上，設(shè)置有冷卻板部CP4～CP6。在從最下級(jí)起的第4～第6級(jí)上，設(shè)置有加熱板部HP3～HP5。
在從多級(jí)熱處理單元2c的最下級(jí)起的第1及第2級(jí)上，分別設(shè)置有冷卻板部CP7、CP8，在從最下級(jí)起的第3及第4級(jí)上，分別設(shè)置有加熱板部HP6、HP7。并且，在本實(shí)施方式的基板處理裝置100中，雖然最上級(jí)的兩級(jí)處于空的狀態(tài)，但是也可根據(jù)用途及目的，配置加熱板部、冷卻板部或其它處理單元。
在多級(jí)熱處理單元2d的最下級(jí)起的第1級(jí)上，設(shè)置有冷卻板部CP9，在最下級(jí)起的第2級(jí)上，設(shè)置有對(duì)基板W進(jìn)行曝光后的烘烤處理的曝光后烘烤板部PEB。雖然曝光后烘烤板部PEB的上級(jí)側(cè)處于空的狀態(tài)，但也可根據(jù)用途及目的，配置加熱板部、冷卻板部或其它處理單元。
并且，將涂敷處理單元SC1、SC2、顯影處理單元SD1、SD2、清洗處理單元SS、加熱板部HP1～HP7、冷卻板部CP1～CP9，粘合強(qiáng)化處理部AH及曝光后烘烤板部PEB統(tǒng)稱為處理單元。
圖1A的分度器ID，向基板處理裝置100運(yùn)入基板W及從基板處理裝置100運(yùn)出基板W。處理單元部MP包括對(duì)基板W進(jìn)行處理的多個(gè)處理單元、及相對(duì)于各處理單元進(jìn)行基板W的運(yùn)入運(yùn)出的基板運(yùn)送機(jī)械手TR。關(guān)于基板運(yùn)送機(jī)械手TR在后面詳細(xì)敘述。
接口部IF在曝光裝置(未圖示)和處理單元部MP之間進(jìn)行基板W的交接。接口部IF，將在處理單元部MP中結(jié)束抗蝕劑的涂敷的基板W交給曝光裝置，從曝光裝置接受曝光后的基板W。接口部IF包括與基板運(yùn)送機(jī)械手TR之間交接基板W的機(jī)械手(未圖示)和承載基板的緩沖容器(未圖示)。由此，接口部IF具有臨時(shí)存放基板W的功能。
此外，如圖1B所示，在處理單元部MP的最下部配置有化學(xué)儲(chǔ)柜11，其容納儲(chǔ)藏藥劑的罐及配管等。
進(jìn)一步，在涂敷處理單元SC1、SC2及顯影處理單元SD1、SD2的各自上方，設(shè)置有形成清潔空氣的下降氣流的過(guò)濾風(fēng)扇單元FFU。在各過(guò)濾風(fēng)扇單元FFU及清洗處理單元SS上，設(shè)置有對(duì)基板W進(jìn)行熱處理的多級(jí)熱處理單元2a～2d。關(guān)于該多級(jí)熱處理單元2a～2d的結(jié)構(gòu)，在后面敘述。
此外在基板處理裝置100的處理單元部MP的最上部，設(shè)置有形成清潔空氣的下降氣流的過(guò)濾風(fēng)扇單元FFU。由此處理單元部MP內(nèi)保持潔凈的環(huán)境。
此外，在基板處理裝置100的分度器ID的壁面，設(shè)置有操作面板200，其在顯示基板W的處理狀況等的信息的同時(shí)，可由使用者進(jìn)行操作輸入。進(jìn)一步，在分度器ID的壁面，設(shè)置有相對(duì)于作業(yè)人員輸出警報(bào)聲的揚(yáng)聲器250。在基板處理裝置100的分度器ID的上部，設(shè)置有顯示燈260。
接著，圖3是用于說(shuō)明基板處理裝置100的控制部500及與操作面板200的關(guān)系的框圖。
如圖3所示，在基板處理裝置100的控制部500，連接存儲(chǔ)部510、操作面板200、揚(yáng)聲器250及顯示燈260。此外，操作面板200包括顯示部210及輸入部220。
操作面板200的顯示部210由液晶顯示裝置等構(gòu)成，輸入部210由觸摸面板等構(gòu)成，控制部500由CPU(中央運(yùn)算處理裝置)等構(gòu)成，存儲(chǔ)部510由硬盤裝置等的外部存儲(chǔ)裝置等構(gòu)成。
圖3的控制部500，將信息發(fā)送到操作面板200的顯示部210，該信息用于向作業(yè)人員通知各處理單元中的基板W的處理狀況或由基板運(yùn)送機(jī)械手TR運(yùn)送基板W的狀況，同時(shí)，接收來(lái)自由作業(yè)人員進(jìn)行操作的操作面板200的輸入部220的信息。
此外，圖3的存儲(chǔ)部510，預(yù)先存儲(chǔ)有后述的基板處理裝置100的維護(hù)信息。維護(hù)信息是指有關(guān)維護(hù)的信息，包括保養(yǎng)、檢查、修理、部件更換、整理及清洗等。在后面詳細(xì)敘述該維護(hù)信息。
控制部500，基于存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部510中的維護(hù)信息，在從操作開始經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間時(shí)，或者從基板處理裝置的各部分輸入了有關(guān)于維護(hù)及故障的信息時(shí)，向各處理單元部指示停止動(dòng)作，同時(shí)，向揚(yáng)聲器250指示以使其輸出警報(bào)聲，向顯示燈260指示以使其閃爍。
作業(yè)人員能夠通過(guò)警報(bào)聲或顯示燈260，意識(shí)到基板處理裝置100的維護(hù)的必要性及故障的發(fā)生，能夠可靠且盡早地進(jìn)行基板處理裝置100的維護(hù)。作業(yè)人員在結(jié)束了基板處理裝置100的維護(hù)時(shí)，對(duì)操作面板200的輸入部220進(jìn)行操作，并輸入維護(hù)的履歷(以下稱為維護(hù)履歷信息)。控制部500接收維護(hù)履歷信息，并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部510中。
接著，作為維護(hù)的一個(gè)例子，詳細(xì)說(shuō)明基板運(yùn)送機(jī)械手TR的維護(hù)。圖4是圖1的基板運(yùn)送機(jī)械手TR的外觀立體圖。
圖4的基板運(yùn)送機(jī)械手TR包括臂部11、伸縮部12及旋轉(zhuǎn)部13。
如圖4所示，在旋轉(zhuǎn)部13上設(shè)置伸縮部12，在伸縮部12上設(shè)置臂部11。在臂部11設(shè)置臂31a、31b、臺(tái)32、一對(duì)基板檢出傳感器21a、21b及傳感器固定用支架22。
臂部11在臺(tái)32內(nèi)具有臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部(未圖示)，該臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部使保持基板W的一對(duì)臂31a、31b伸縮移動(dòng)。此外，伸縮部12配備使臂部11在垂直方向上上下移動(dòng)、具有所謂的伸縮結(jié)構(gòu)的升降機(jī)構(gòu)部(未圖示)。旋轉(zhuǎn)部13具有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部(未圖示)，其使臂部11及伸縮部12繞著垂直軸旋轉(zhuǎn)。
此外，一對(duì)臂31a、31b分別設(shè)置成不同的高度，在本實(shí)施方式中，臂31a比壁31b設(shè)置在更上側(cè)。從而，一對(duì)臂31a、31b不會(huì)互相發(fā)生干涉，能夠各自進(jìn)行伸縮操作。
由此，一對(duì)臂31a、31b，能夠一個(gè)一個(gè)地訪問(wèn)各處理單元，可進(jìn)行基板W的運(yùn)入及接收。
例如，通過(guò)使一對(duì)臂31a、31b交替地伸縮操作，能夠利用臂31a從涂敷處理單元SC1接收已處理基板W，之后，利用臂31b將未處理的基板W運(yùn)入到涂敷處理單元SC1內(nèi)。
此外傳感器固定用支架22上安裝有一對(duì)基板檢出傳感器21a、21b。該基板檢出傳感器21a、21b設(shè)置成為可檢測(cè)出在臂31a上是否存在基板W。同樣也設(shè)置有檢測(cè)出在臂31b上是否存在基板W的一對(duì)基板檢出傳感器(未圖示)。
接著，說(shuō)明在操作面板200上顯示的維護(hù)信息。在本實(shí)施方式中，對(duì)進(jìn)行基板處理裝置100的基板運(yùn)送機(jī)械手TR的基板檢出傳感器21a、21b的維護(hù)的情況進(jìn)行說(shuō)明。
圖5是表示在操作面板200上顯示的狀況確認(rèn)畫面的圖。
首先，如圖5所示，操作面板200的狀況確認(rèn)畫面包括分度器ID的狀況顯示B31、顯影處理單元SD1的狀況顯示B32、顯影處理單元SD2的狀況顯示B33、涂敷處理單元SC1的狀況顯示B34、涂敷處理單元SC2的狀況顯示B35、基板運(yùn)送機(jī)械手TR的狀況顯示B36、及清洗處理單元SS的狀況顯示B37。進(jìn)一步，在操作面板200的狀況確認(rèn)畫面的下方，顯示“維護(hù)”按鈕B1及“關(guān)閉”按鈕RE。
作業(yè)人員通過(guò)確認(rèn)操作面板200的顯示部210的狀況顯示B31～B37，來(lái)判斷基板處理裝置100的分度器ID、涂敷處理單元SC1、SC2、顯影處理單元SD1、SD2、清洗處理單元SS及基板運(yùn)送機(jī)械手TR是否正常。
作業(yè)人員在狀況顯示B31～B37全部都處于“正?！睍r(shí)，按下“關(guān)閉”按鈕RE。另一方面，狀況顯示B31～B37中的任意一個(gè)處于“要更換”時(shí)，作業(yè)人員按下“維護(hù)”按鈕B1而轉(zhuǎn)移到維護(hù)。
圖5的操作面板200的狀況確認(rèn)畫面中，基板運(yùn)送機(jī)械手TR的狀況顯示B36處于“要更換”。因此，作業(yè)人員按下“維護(hù)”按鈕B1。
由此，圖3的控制部500，選擇在存儲(chǔ)部510中存儲(chǔ)的與基板運(yùn)送機(jī)械手TR有關(guān)的維護(hù)信息，提供給顯示部210。由此，在操作面板200的顯示部210，顯示包括維護(hù)信息的維護(hù)畫面。在本實(shí)施方式中，維護(hù)信息中包括進(jìn)行基板運(yùn)送機(jī)械手TR的基板檢出傳感器21a、21b的更換用的動(dòng)畫信息。
圖6～圖8是表示在操作面板200上顯示維護(hù)畫面的狀態(tài)的圖。
圖6～圖8的維護(hù)畫面包括在上段表示進(jìn)行維護(hù)的預(yù)定時(shí)期的維護(hù)預(yù)定時(shí)間T1；表示從實(shí)施維護(hù)開始到結(jié)束為止所花費(fèi)的時(shí)間的更換修復(fù)預(yù)定時(shí)間T2；實(shí)施維護(hù)的修復(fù)更換部位P1；表示需要維護(hù)的裝置的修復(fù)場(chǎng)所P2。此外，維護(hù)畫面在中段包括動(dòng)畫顯示部MV1及卷動(dòng)按鈕B10～B13。此外，維護(hù)畫面在下段包括“警報(bào)重新啟動(dòng)”按鈕B21；“取消重新啟動(dòng)”按鈕B22；“詳細(xì)文章”按鈕B23；“狀況確認(rèn)”按鈕B24；“維護(hù)履歷”按鈕PD。
如圖6～圖8所示，在動(dòng)畫顯示部MV1放映出動(dòng)畫，該動(dòng)畫表示從基板運(yùn)送機(jī)械手TR的基板檢出傳感器21a、21b的更換開始起到更換結(jié)束為止的步驟。例如，圖6的動(dòng)畫顯示部MV1表示基板運(yùn)送機(jī)械手TR的更換開始時(shí)的動(dòng)畫，圖7的動(dòng)畫顯示部MV1表示拆下基板運(yùn)送機(jī)械手TR的一部分的狀態(tài)的動(dòng)畫，圖8的動(dòng)畫顯示部MV1表示更換基板運(yùn)送機(jī)械手TR的基板檢出傳感器21a、21b的連接器的狀態(tài)的動(dòng)畫。
作業(yè)人員基于在操作面板200上顯示的更換修復(fù)預(yù)定時(shí)間T2，能夠預(yù)計(jì)操作時(shí)間，作業(yè)人員基于修復(fù)場(chǎng)所P2及修復(fù)更換部位P1，能夠容易掌握基板處理裝置100的維護(hù)位置。在本例中，作業(yè)人員根據(jù)更換修復(fù)預(yù)定時(shí)間T2掌握了進(jìn)行維護(hù)的時(shí)間為5分鐘，進(jìn)一步，根據(jù)修復(fù)場(chǎng)所P2及修復(fù)更換部位P1，能夠掌握維護(hù)位置應(yīng)維護(hù)基板運(yùn)送機(jī)械手TR的傳感器單元的情況。
作業(yè)人員通過(guò)觀看在操作面板200動(dòng)畫顯示部MV1上顯示的動(dòng)畫，能夠掌握基板檢出傳感器21a、21b的更換步驟。然后，按照在動(dòng)畫顯示部MV1上顯示的更換步驟，能夠在短時(shí)間內(nèi)且正確地實(shí)施基板運(yùn)送機(jī)械手TR的基板檢出傳感器21a、21b的更換。
此外，作業(yè)人員通過(guò)觀察到維護(hù)預(yù)定時(shí)間T1，能夠容易掌握實(shí)施維護(hù)的時(shí)期。在本例中，作業(yè)人員根據(jù)維護(hù)預(yù)定時(shí)間T1，能夠掌握應(yīng)維護(hù)的時(shí)間為2003年1月30日14點(diǎn)10分22秒。由此，能夠防止作業(yè)人員忘記維護(hù)的實(shí)施時(shí)期。進(jìn)一步，作業(yè)人員通過(guò)揚(yáng)聲器250的警報(bào)聲或顯示燈260的點(diǎn)亮等，能夠可靠地掌握應(yīng)維護(hù)的情況。
此外，除了在動(dòng)畫顯示部MV1顯示動(dòng)畫以外，想讓作業(yè)人員引起注意時(shí)，也可以從揚(yáng)聲器250輸出嘟嘟聲，或者在操作面板200上顯示提示信息。
并且，在本實(shí)施方式中，也可以在存儲(chǔ)部510存儲(chǔ)多種語(yǔ)言的維護(hù)方法的說(shuō)明。此時(shí)，使用者能夠通過(guò)輸入部220選擇所希望的語(yǔ)言。由此，從揚(yáng)聲器250輸出以所選擇的語(yǔ)言進(jìn)行的維護(hù)方法的說(shuō)明。
此外，也可以在存儲(chǔ)部510存儲(chǔ)多種語(yǔ)言的維護(hù)方法的說(shuō)明。此時(shí)，使用者能夠通過(guò)輸入部220選擇所希望的語(yǔ)言。由此，在操作面板200的顯示部210上顯示以所選擇的語(yǔ)言進(jìn)行的維護(hù)方法的說(shuō)明。
如果作業(yè)人員按下“警報(bào)重新啟動(dòng)”按鈕B21，則警報(bào)聲停止。，如果作業(yè)人員再次按下“警報(bào)重新啟動(dòng)”按鈕B21，則重新開始對(duì)基板W的處理。
另一方面，如果按下“取消重新啟動(dòng)”按鈕B22，則警報(bào)聲停止。如果作業(yè)人員再次按下“取消重新啟動(dòng)”按鈕B22，則到目前時(shí)刻為止的處理被取消，重新開始對(duì)新的基板W的處理。
并且，在按下“警報(bào)重新啟動(dòng)”按鈕B21或“取消重新啟動(dòng)”按鈕B22以后，不重新開始對(duì)基板W的處理時(shí)，控制部500從揚(yáng)聲器250發(fā)出新的警報(bào)聲或使顯示燈發(fā)光，使得基板處理裝置100的停止?fàn)顟B(tài)持續(xù)。由此，作業(yè)人員能夠不忘記實(shí)施基板處理裝置100的維護(hù)。
此外，如果按下“詳細(xì)文章”按鈕B23，則操作面板200的顯示內(nèi)容從維護(hù)畫面轉(zhuǎn)換成后述的詳細(xì)文章畫面。通過(guò)作業(yè)人員按下“詳細(xì)文章”按鈕B23，控制部500從在存儲(chǔ)部510存儲(chǔ)的維護(hù)信息選擇詳細(xì)文章的數(shù)據(jù)，供給到操作面板200的顯示部210。由此，操作面板200的顯示轉(zhuǎn)換成詳細(xì)文章畫面。
如果按下“狀況確認(rèn)”按鈕B24，則操作面板200的顯示內(nèi)容轉(zhuǎn)換成上述的圖5的狀況確認(rèn)畫面。
如果按下“維護(hù)履歷”按鈕PD，則操作面板200的顯示內(nèi)容轉(zhuǎn)換成后述的維護(hù)履歷畫面。通過(guò)作業(yè)人員按下“維護(hù)履歷”按鈕PD，控制部500從在存儲(chǔ)部510存儲(chǔ)的維護(hù)信息選擇維護(hù)履歷的數(shù)據(jù)，供給到操作面板200的顯示部210。由此，操作面板200的顯示轉(zhuǎn)換成維護(hù)履歷畫面。
接著，圖9是表示在操作面板200上顯示詳細(xì)文章畫面的狀態(tài)的圖。
圖9的詳細(xì)文章畫面包括表示維護(hù)內(nèi)容的維護(hù)信息顯示部B41；表示需要維護(hù)的理由的修正內(nèi)容顯示部B42；表示進(jìn)行維護(hù)時(shí)的維護(hù)方法的對(duì)應(yīng)處理·恢復(fù)步驟顯示部B43；表示進(jìn)行維護(hù)時(shí)的調(diào)整值的輸出級(jí)別(調(diào)整值)顯示部B44；“關(guān)閉”按鈕RE。
作業(yè)人員基于在維護(hù)信息顯示部B41上顯示的內(nèi)容，能夠掌握維護(hù)內(nèi)容。
在本例中，通過(guò)維護(hù)信息顯示部B41，能夠掌握維護(hù)內(nèi)容為“基板檢出傳感器不良”的情況。此外，作業(yè)人員能夠掌握在修正內(nèi)容顯示部B42上顯示的需要維護(hù)的理由及在對(duì)應(yīng)處理·恢復(fù)步驟顯示部B43上顯示的維護(hù)方法。在本例中，通過(guò)修正內(nèi)容顯示部B42，能夠掌握處于“為了確認(rèn)沒有基板，進(jìn)行了空的獲取操作，然而在臂上還是檢測(cè)出了基板”的狀況，進(jìn)一步，通過(guò)對(duì)應(yīng)處理·恢復(fù)步驟顯示部B43，能夠掌握“確認(rèn)基板運(yùn)送機(jī)械手的狀態(tài)，若在臂上存在基板，請(qǐng)將其取下。若不存在基板，基板檢出傳感器的誤檢測(cè)的可能性很高。請(qǐng)調(diào)整或更換傳感器單元?！边@樣的對(duì)應(yīng)處理方法。
此時(shí)，作業(yè)人員由于能夠掌握需要維護(hù)的理由及將其改善的維護(hù)方法，所以能夠可靠地進(jìn)行維護(hù)。
進(jìn)一步，作業(yè)人員通過(guò)輸出級(jí)別(調(diào)整值)顯示部B44，能夠容易掌握維護(hù)的調(diào)整值。在本例中，通過(guò)輸出級(jí)別顯示部B44，作業(yè)人員能夠容易掌握應(yīng)將傳感器單元更換后的傳感器的輸出調(diào)整值應(yīng)調(diào)整為“5V”。
這樣作業(yè)人員無(wú)需使用說(shuō)明書進(jìn)行調(diào)整值的確認(rèn)，基于操作面板200的輸出級(jí)別顯示部B44，能夠容易掌握基板檢出傳感器21a、21b的應(yīng)調(diào)整值。因此，無(wú)需反復(fù)進(jìn)行基板檢出傳感器21a、21b的調(diào)整，能夠在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。
此外，說(shuō)明圖6～圖8所示的操作面板200的“維護(hù)履歷”按鈕PD被按下的情況。圖10是表示在操作面板200上顯示維護(hù)履歷畫面的狀態(tài)的圖。
圖10的維護(hù)履歷畫面，從左端到右端按順序包括表示過(guò)去的實(shí)施維護(hù)的時(shí)間的維護(hù)實(shí)施時(shí)間顯示部B51；表示過(guò)去的警報(bào)的級(jí)別的警報(bào)級(jí)別顯示部B52；表示在過(guò)去的維護(hù)中更換的部件的修復(fù)更換部件顯示部B53；表示過(guò)去的實(shí)施維護(hù)的擔(dān)當(dāng)者的操作擔(dān)當(dāng)者顯示部B54。
通過(guò)維護(hù)實(shí)施時(shí)間顯示部B51，作業(yè)人員能夠掌握以何種程度的頻率實(shí)施維護(hù)，進(jìn)一步，通過(guò)警報(bào)級(jí)別顯示部B52，能夠判斷警報(bào)是否以高級(jí)別動(dòng)作，通過(guò)修復(fù)更換部件B53，能夠預(yù)測(cè)更換部件的更換時(shí)期等。此外，通過(guò)操作擔(dān)當(dāng)者顯示部B54，能夠確認(rèn)曾進(jìn)行過(guò)維護(hù)操作的人。
此外，例如，作業(yè)人員通過(guò)按下卷動(dòng)按鈕B10～B13，能夠使維護(hù)實(shí)施時(shí)間顯示部B51、警報(bào)級(jí)別顯示部B52、修復(fù)更換部件B53及操作擔(dān)當(dāng)者顯示部B54的顯示在上下方向上卷動(dòng)。由此，能夠使基板處理裝置100的過(guò)去的維護(hù)履歷信息顯示在維護(hù)履歷畫面上。
此時(shí)，作業(yè)人員通過(guò)確認(rèn)維護(hù)實(shí)施時(shí)間B51、警報(bào)級(jí)別B52及修復(fù)更換部件B53的維護(hù)履歷，能夠掌握基板處理裝置100的過(guò)去的維護(hù)狀況。
(2)權(quán)利要求的各構(gòu)成要素與實(shí)施方式的各部分的對(duì)應(yīng)在本實(shí)施方式中，存儲(chǔ)部510相當(dāng)于存儲(chǔ)裝置，操作面板200的顯示部210相當(dāng)于顯示裝置，操作面板200的輸入部220相當(dāng)于操作部，揚(yáng)聲器250相當(dāng)于語(yǔ)音輸出裝置，揚(yáng)聲器250或顯示燈260相當(dāng)于警報(bào)輸出裝置。
此外，更換修復(fù)預(yù)定時(shí)間T2相當(dāng)于與維護(hù)所需的時(shí)間有關(guān)的時(shí)間信息，修復(fù)更換部位P1及修復(fù)場(chǎng)所P2相當(dāng)于與應(yīng)維護(hù)的位置有關(guān)的位置信息，輸出級(jí)別顯示部B44相當(dāng)于與維護(hù)中應(yīng)調(diào)整的值有關(guān)的調(diào)整值信息，詳細(xì)文章畫面的維護(hù)信息B41、修正內(nèi)容顯示部B42或?qū)?yīng)處理·恢復(fù)步驟顯示部B43相當(dāng)于表示維護(hù)方法的文字信息，維護(hù)預(yù)定時(shí)間T1相當(dāng)于實(shí)施通知信息及維護(hù)的時(shí)期，狀況確認(rèn)畫面的狀況顯示B31～B37相當(dāng)于表示是否需要維護(hù)的信息，維護(hù)履歷畫面相當(dāng)于維護(hù)履歷信息。
(3)其它實(shí)施方式作為存儲(chǔ)裝置，代替由硬盤等的外部存儲(chǔ)裝置構(gòu)成的存儲(chǔ)部510，也可以使用RAM(隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)、ROM(只讀存儲(chǔ)器)、非易失性存儲(chǔ)器等的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置，也可以使用軟盤、CD(光盤)、DVD(數(shù)字通用光盤)等的記錄媒體，也可以使用存儲(chǔ)卡。
作為顯示裝置，代替由液晶顯示裝置構(gòu)成的顯示部210，可以使用CRT(陰極射線管)、等離子顯示器面板等各種顯示裝置。
作為操作部，代替由觸摸面板構(gòu)成的輸入部220，可以使用鍵盤、定點(diǎn)設(shè)備、各種開關(guān)等。
作為警報(bào)輸出裝置，代替揚(yáng)聲器250也可以使用頭掛耳機(jī)等的其它語(yǔ)音輸出裝置，或者代替顯示燈260，也可以使用發(fā)光二極管等的各種光源，也可以使用液晶顯示裝置等的各種顯示裝置。
作為語(yǔ)音輸出裝置，代替揚(yáng)聲器250，也可以使用頭掛耳機(jī)等的其它語(yǔ)音輸出裝置。
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，對(duì)基板實(shí)施規(guī)定的處理，其特征在于，包括存儲(chǔ)裝置，其存儲(chǔ)表示上述基板處理裝置的維護(hù)方法的動(dòng)畫信息；顯示裝置，其將上述存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的上述動(dòng)畫信息作為動(dòng)畫而進(jìn)行顯示。
2.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存儲(chǔ)裝置還存儲(chǔ)有關(guān)于維護(hù)所需要的時(shí)間的時(shí)間信息，顯示裝置顯示上述存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的有關(guān)于維護(hù)所需要的時(shí)間的時(shí)間信息。
3.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存儲(chǔ)裝置還存儲(chǔ)有關(guān)于應(yīng)維護(hù)的位置的位置信息，上述顯示裝置顯示上述存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的有關(guān)于應(yīng)維護(hù)的位置的位置信息。
4.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存儲(chǔ)裝置還存儲(chǔ)有關(guān)于維護(hù)中應(yīng)調(diào)整的值的調(diào)整值信息，顯示裝置顯示上述存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的有關(guān)于維護(hù)中應(yīng)調(diào)整的值的調(diào)整值信息。
5.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存儲(chǔ)裝置還存儲(chǔ)表示維護(hù)方法的文字信息，上述顯示裝置顯示上述存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的表示維護(hù)方法的文字信息。
6.如權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于，表示維護(hù)方法的文字信息包括多種語(yǔ)言的文字信息，上述基板處理裝置還包括操作部，其選擇上述存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的多種語(yǔ)言的文字信息，上述顯示裝置顯示通過(guò)上述操作部的操作而被選擇的語(yǔ)言的文字信息。
7.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存儲(chǔ)裝置還存儲(chǔ)表示維護(hù)方法的文字信息，上述基板處理裝置還包括語(yǔ)音輸出裝置，其以語(yǔ)音輸出上述存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的維護(hù)方法。
8.如權(quán)利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，表示維護(hù)方法的文字信息還包括多種語(yǔ)言的文字信息，上述基板處理裝置還包括操作部，其選擇上述存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的多種語(yǔ)言的文字信息，上述語(yǔ)音輸出裝置以語(yǔ)音輸出通過(guò)上述操作部的操作而被選擇的語(yǔ)言的文字信息。
9.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存儲(chǔ)裝置還存儲(chǔ)用于通知實(shí)施維護(hù)的時(shí)期的通知信息，上述顯示裝置顯示上述存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的用于通知實(shí)施維護(hù)的時(shí)期的通知信息。
10.如權(quán)利要求9所述的基板處理裝置，其特征在于，還包括基于上述通知信息對(duì)作業(yè)人員輸出警報(bào)的警報(bào)輸出裝置。
11.如權(quán)利要求10所述的基板處理裝置，其特征在于，上述警報(bào)輸出裝置基于上述通知信息輸出警報(bào)聲。
12.如權(quán)利要求10所述的基板處理裝置，其特征在于，上述警報(bào)輸出裝置基于上述通知信息顯示警報(bào)。
13.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述存儲(chǔ)裝置還存儲(chǔ)有關(guān)于上述基板處理裝置的維護(hù)的履歷的履歷信息。
14.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述顯示裝置還顯示表示上述基板處理裝置的各部分是否需要維護(hù)的信息。
15.如權(quán)利要求14所述的基板處理裝置，其特征在于，上述顯示裝置轉(zhuǎn)換顯示表示是否需要維護(hù)的信息和上述動(dòng)畫信息。
16.一種基板處理方法，對(duì)基板實(shí)施規(guī)定的處理，其特征在于，包括存儲(chǔ)表示上述基板處理裝置的維護(hù)方法的動(dòng)畫信息的步驟；將上述所存儲(chǔ)的動(dòng)畫信息作為動(dòng)畫而進(jìn)行顯示的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板處理裝置及基板處理方法，在動(dòng)畫顯示部上，放映表示維護(hù)方法的動(dòng)畫。作業(yè)人員通過(guò)觀看在操作面板動(dòng)畫顯示部上顯示的動(dòng)畫，能夠掌握維護(hù)方法。由此，按照在動(dòng)畫顯示部上顯示的動(dòng)畫，在短時(shí)間內(nèi)且正確地實(shí)施維護(hù)。
文檔編號(hào)G06F11/00GK1667795SQ20051005472
公開日2005年9月14日 申請(qǐng)日期2005年3月11日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月11日
發(fā)明者西村讓一, 大谷正美 申請(qǐng)人:大日本網(wǎng)目版制造株式會(huì)社