專利名稱：輸入裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能夠用于個(gè)人計(jì)算機(jī)的指示裝置，特別是涉及一種在各種電子機(jī)器所使用的多方向開(kāi)關(guān)等的輸入裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
能夠用于個(gè)人計(jì)算機(jī)光標(biāo)移動(dòng)的輸入裝置，正如在專利公開(kāi)2001-43011號(hào)公報(bào)上公開(kāi)所示，有一個(gè)從應(yīng)力傳感部向控制部輸出電氣信號(hào)的接頭。并且通過(guò)電氣電纜從該接頭向控制部傳送信號(hào)。
上述現(xiàn)有的輸入裝置，應(yīng)力傳感部和控制部通過(guò)相互滿足所需的特性才可以進(jìn)行正常的操作。在這里，由于相關(guān)的特性不存在統(tǒng)一的規(guī)格，設(shè)計(jì)具備個(gè)人計(jì)算機(jī)等輸入裝置的電子機(jī)器的人員可任意決定其特性值。從而提供應(yīng)力傳感部和控制部的人員有必要提供各個(gè)電子機(jī)器甚至具備根據(jù)各個(gè)電子機(jī)器的機(jī)種而配備的特性應(yīng)力傳感部和控制部。因此在這樣的條件下，很難使應(yīng)力傳感器部和控制部?jī)烧叩玫搅己玫钠ヅ洹?br> 由此可見(jiàn)，上述現(xiàn)有的輸入裝置仍存在有諸多的缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決現(xiàn)有的輸入裝置的缺陷，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來(lái)謀求解決之道，但長(zhǎng)久以來(lái)一直未見(jiàn)適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問(wèn)題。
有鑒于上述現(xiàn)有的輸入裝置存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專業(yè)知識(shí)，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新的(名稱)，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的輸入裝置，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過(guò)不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的輸入裝置存在的缺陷，而提供一種新的輸入裝置及其制造方法，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其能使應(yīng)力傳感部和控制部可隨時(shí)得到良好匹配的輸入裝置。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種輸入裝置，其中以向被置于襯底的一個(gè)側(cè)面的接線柱的應(yīng)力付與為起因，使得應(yīng)變軌跡(歪みゲ-ジ)特性值產(chǎn)生變化的應(yīng)力傳感部和把這個(gè)特性值變化變換為與上述應(yīng)力方向和大小的數(shù)據(jù)的控制部形成一體化。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
前述的輸入裝置，其中該應(yīng)變軌跡是阻力元件。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還采用以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的一種輸入裝置，其中在沿著以襯底面的傳感器有效領(lǐng)域的中心為交點(diǎn)的襯底面直接交合的兩直線上，阻力元件實(shí)質(zhì)上被分配到離交點(diǎn)等距離的4個(gè)位置上，使得上述的襯底面的傳感器有效領(lǐng)域的中心和接線柱的底面的中心實(shí)質(zhì)上取得一致，接線柱被固定或被一體化，向該接線柱附與應(yīng)力時(shí)，由于上述阻力元件的伸長(zhǎng)、收縮或壓縮、壓縮解除而使阻力值產(chǎn)生變化的應(yīng)力傳感器部和將該阻力值變化變換為上述應(yīng)力方向及大小的數(shù)據(jù)的控制部成為一體化。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
前述的輸入裝置，其中構(gòu)成應(yīng)力傳感器部的襯底是由變形部和非變形部組成，在該變形部中被配置了應(yīng)變軌跡(含阻力元件)以及接線柱，該變形部未配置有控制部的構(gòu)成零件。
前述的輸入裝置，其中由于構(gòu)成應(yīng)力傳感器部的襯底和構(gòu)成控制部的襯底是相同的襯底，從而實(shí)現(xiàn)了一體化。
前述的輸入裝置，其中構(gòu)成應(yīng)力傳感器的襯底和構(gòu)成控制部的襯底是不同的襯底，雙方的襯底借由接續(xù)零件被固定，從而形成一體化。
前述的輸入裝置，其中接續(xù)部材料里包含焊錫，該焊錫承擔(dān)將應(yīng)力傳感部和控制部之間的電氣連接。
前述的輸入裝置，其中構(gòu)成應(yīng)力傳感器部的襯底的一部分或全部和構(gòu)成控制部的襯底重疊，該重疊的部分被固定為一體化。
前述的輸入裝置，其中借由構(gòu)成應(yīng)力傳感器的襯底剛度高的材料質(zhì)地形成的加強(qiáng)部件材料，襯底被加固。
前述的輸入裝置，其中加強(qiáng)部件由2張以上的板材組成，構(gòu)成應(yīng)力傳感部的襯底接頭處用該板材夾住，從而被加固。
前述的輸入裝置，其中構(gòu)成應(yīng)力傳感器的襯底和構(gòu)成控制部的襯底是不同的襯底，加固部件和構(gòu)成控制部的襯底被固定連接。
前述的輸入裝置，其中在電子機(jī)器上固定加固部件。
前述的輸入裝置，其中各個(gè)阻力件和被串聯(lián)連接的托架調(diào)整片阻力器被置于襯底的非變形部上。
前述的輸入裝置，其中控制部上配置有各個(gè)阻力件和被直接連接的托架調(diào)整片阻力器。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。
一種輸入裝置的制造方法，其中襯底的表面或在襯底的內(nèi)層形成電氣配線的第1工序，以及在該襯底面上形成應(yīng)變軌跡的第2工序，以及在該襯底面上，要形成把應(yīng)變軌跡的特性值變化變換為規(guī)定的數(shù)據(jù)的控制部所必要的搭載控制部用的電子部品的第3工序，以及以應(yīng)力附與為起因從而使應(yīng)變軌跡的特性值產(chǎn)生變化的接線柱固定在該襯底面的第4工序，以及根據(jù)需要，使形成了應(yīng)變軌跡的襯底和搭載了控制部用的電子部件的襯底形成一體化的第5工序，按照第1工序、第2工序、以及第3工序這種順序?qū)嵤?，?工序是在第2工序結(jié)束后的任意的階段實(shí)施，第5工序是在第1工序結(jié)束后的任意階段實(shí)施為特征的。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。
一種輸入裝置的制造方法，其中應(yīng)力傳感器用的襯底面以及/或在該襯底面內(nèi)層中形成電氣配線的第11工序和在該襯底面形成應(yīng)變軌跡的第12工序，以及以應(yīng)力附與為起因，從而使應(yīng)變軌跡的特性值產(chǎn)生變化的接線柱固定在該襯底面上的第13工序，按這個(gè)順序?qū)嵤┑脑捑涂梢缘玫綉?yīng)力傳感部的過(guò)程，和此后確認(rèn)該應(yīng)力傳感部的動(dòng)作的第14工序，以及在上述的以應(yīng)力付與為起因而使其特性值產(chǎn)生變化的上述應(yīng)變軌跡的這個(gè)特性值變化，變換為上述應(yīng)力的方向和大小的數(shù)據(jù)的控制部用的襯底面上，能獲得搭載著在形成控制部所必要的控制部用的電子部品的控制部的第15工序，僅僅把在第14工序中被認(rèn)定為佳品的應(yīng)力傳感器部連接在上述控制部的第16工序。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。由以上技術(shù)方案可知，為了達(dá)到前述發(fā)明目的，本發(fā)明的主要技術(shù)內(nèi)容如下本發(fā)明所提供的輸入裝置的主要特征是，通過(guò)給予在襯底(用于傳感部的襯底1)的一方配置的接線柱(post)2一個(gè)應(yīng)力，從而使應(yīng)變軌跡4的特性值發(fā)生變化的應(yīng)力傳感部10，以及將該特性值的變化變換為和上述應(yīng)力的方向和大小相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)的控制部11實(shí)現(xiàn)一體化。
由于應(yīng)力傳感器部10和控制部11的一體化，就很容易在把輸入裝置裝入電子機(jī)器之前確認(rèn)兩者是否匹配。例如能夠做到僅僅選擇該確認(rèn)結(jié)果以及匹配狀態(tài)良好的輸入裝置裝入電子機(jī)器中。因此通過(guò)上述本發(fā)明的構(gòu)成，能夠提供一個(gè)使應(yīng)力傳感器部10和控制部11兩者不斷得到良好匹配的輸入裝置。
關(guān)于傳感部用的襯底1和控制部用的襯底3，如圖1所示是個(gè)別襯底，雙方的襯底可以通過(guò)連接部件等固定而實(shí)現(xiàn)一體化。而且也可以通過(guò)比應(yīng)力傳感部襯底1和控制部用襯底3使用同一個(gè)襯底而實(shí)現(xiàn)一體化。
前者的優(yōu)點(diǎn)是，比如當(dāng)發(fā)生傳感部10和控制部的哪一個(gè)的一面不能滿足指定的特性這樣的動(dòng)作不良情況時(shí)，可進(jìn)行有效的利用動(dòng)作良好的一面。而后者的優(yōu)點(diǎn)是可減少部件數(shù)。
此外前者的情況，作為使傳感部用襯底1和控制部用襯底3在結(jié)構(gòu)上實(shí)現(xiàn)一體化的這種構(gòu)成，傳感部用襯底1的一部分或全部與控制部用襯底3重疊，該重疊的部分通過(guò)接續(xù)部件固定實(shí)現(xiàn)一體化很適宜。通過(guò)采用這樣的構(gòu)成，過(guò)剩的接續(xù)部件、例如導(dǎo)電線等的使用更能得到限制。在這里除連接部件外，其他比如粘結(jié)劑或焊錫，如圖1所示使用固定孔5進(jìn)行固定的螺栓或螺母，螺旋體(screw)等。
前者這種情況，傳感部用襯底1和控制部用襯底3用電氣的方法進(jìn)行連接構(gòu)成，傳感部10的一部或全部和控制部用襯底3重合，該重合的部分可使用焊錫接觸構(gòu)成。并且上述重合的部分是通過(guò)違法性導(dǎo)電物質(zhì)(膏狀或膜狀)，而且該非均質(zhì)導(dǎo)電體以傳感器部用襯底1和控制部用襯底3壓縮構(gòu)成。通過(guò)使用該非均質(zhì)性導(dǎo)電膜，有簡(jiǎn)化傳感部用襯底1和控制部用襯底3連接工序的優(yōu)點(diǎn)。特別是有多接續(xù)接頭時(shí)，同把他們個(gè)個(gè)連接的工序相比，發(fā)揮了使用非均質(zhì)導(dǎo)電物質(zhì)可實(shí)現(xiàn)的一次完成操作的優(yōu)點(diǎn)。
而且上述應(yīng)變軌跡4既可以在傳感部用襯底1面上形成，也可以在接線柱2側(cè)面等處形成。即擁有由于向接線柱2給予的應(yīng)力而使應(yīng)變軌跡4的特性值變化的構(gòu)造就行了。應(yīng)變軌跡4舉例的比如電阻元件12。但是不僅限于此，如果有因給予應(yīng)力而使電氣特性發(fā)生變化的機(jī)能話就能適用。例如壓縮化的厚膜或薄膜在鋁制襯底上形成的阻力器或從PZT(鈦酸鋯酸鉛)形成的壓電陶瓷等壓電元件作為應(yīng)變軌跡4可以很好地利用。
本發(fā)明的輸入裝置的電阻元件12在以襯底(傳感部用襯底1)面上傳感器有效領(lǐng)域的中心為交點(diǎn)的，沿著襯板面直交的兩條直線上，并且在距該交點(diǎn)實(shí)際等距離的位置配置4個(gè)，使上述襯板面的傳感器有效領(lǐng)域的中心和接線柱2底面的中心本質(zhì)上一致，接線柱2固定或一體化，由于給予該接線柱2的應(yīng)力，而使上述電阻元件12伸長(zhǎng)，收縮或壓縮，解除壓縮產(chǎn)生阻力值變化的應(yīng)力傳感器部，和將該阻力值的變化變換為和上述應(yīng)力的方向和大小相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)的控制部11實(shí)現(xiàn)一體化。上述阻力元件12伸長(zhǎng)收縮的方向和阻力元件12的電流流向基本一致的構(gòu)成(如圖2(a))和不是此種結(jié)構(gòu)(如圖2(b))的相比，一般來(lái)說(shuō)優(yōu)點(diǎn)是對(duì)于一定應(yīng)力的阻力值的變化率，即輸出功率很大。
這里所說(shuō)的「接線柱2固定在襯底面」是指，接線柱2和襯底(傳感部用襯底1)為不同的部件，兩者用黏著劑等固定下來(lái)時(shí)的狀態(tài)。而且「接線柱2和基面板形成為一體化」所說(shuō)的是接線柱2和襯底一體成型時(shí)形成的狀態(tài)。
并且上述「?jìng)鞲衅饔行ьI(lǐng)域的中心」以及「接線柱底面的中心」中所說(shuō)的「中心」不是指嚴(yán)格的中心點(diǎn)，而是包括應(yīng)力傳感器有效機(jī)能范圍內(nèi)的該中心點(diǎn)的偏離部分。
關(guān)于本發(fā)明輸入裝置，構(gòu)成應(yīng)力傳感器10的襯底由變形部和非變形部構(gòu)成，該變形部配備應(yīng)變軌跡4(包含阻力元件12)以及接線柱2。該變形部沒(méi)有配置控制部11的構(gòu)成部件，很受歡迎。
其理由是由于通過(guò)使用應(yīng)力傳感器，把圖3所示的傳感部用襯底1的變形傳播到控制部用襯底3，能夠避免控制部用襯底3上裝入的電子部件，IC(集成電路)等受到壓力，或偏離這些特性值的目標(biāo)值，以及電子部件，IC等控制部用襯底3的電氣接觸部的損傷等的不好的情況。所謂非變形部，例如圖5所示的襯底孔16外側(cè)的襯底3的周緣部。這里即使給接線柱2應(yīng)力也幾乎不變形。而且襯底孔16的內(nèi)側(cè)是如果給接線柱5應(yīng)力就變形，是使阻力元件伸縮的變形部。
關(guān)于本發(fā)明的輸入裝置以及以此為基本的良好的構(gòu)成，通過(guò)使用比構(gòu)成應(yīng)力傳感器的襯底(傳感部用襯底1)剛性更高材質(zhì)構(gòu)成的加強(qiáng)部件，因此該襯底的性能更強(qiáng)化了從而很受歡迎。特別是給傳感部用襯底1使用柔軟的材料，例如使用能作為一般的印刷電路板的材料的玻璃纖維混入環(huán)氧系列樹(shù)脂時(shí)更有效。其理由是這些比較柔軟的材料會(huì)因?yàn)榻o予接線柱2過(guò)量的應(yīng)力，而超過(guò)彈性變形領(lǐng)域這樣容易可塑變形。這里，傳感器使用襯底1使用玻璃纖維混入環(huán)氧樹(shù)脂的情況下，適合上述剛性高的材料指的是例如鋁等的金屬材料、氧化鋁等的陶瓷材料等。
作為上述加強(qiáng)構(gòu)成如圖1所示，加強(qiáng)部件由2個(gè)以上的板材(第1的加強(qiáng)部件6、第2的加強(qiáng)部件7)構(gòu)成，構(gòu)成應(yīng)力傳感器部10的襯底(傳感部用襯底1)端部用該板材挾住并加強(qiáng)構(gòu)成。圖1所示的輸入裝置構(gòu)成，第1加強(qiáng)部件6上設(shè)置孔8，避開(kāi)接線柱2等把傳感部用襯底1端部用第1加強(qiáng)部件6以及第2加強(qiáng)部件7挾住。同樣的目的在第2加強(qiáng)部件7設(shè)置孔9，傳感部用襯底1的下面中央部附近配置的應(yīng)變軌跡，盡量使它在上述所挾的狀態(tài)下不受到干擾。而且孔9，在圖3所示的應(yīng)力傳感器的動(dòng)作狀態(tài)下，也有助于確保傳感部用襯底1的容許空間。進(jìn)而作為應(yīng)力傳感器的使用狀態(tài)，當(dāng)接線柱頂部(向Z軸方向給予的應(yīng)力)受擠壓的情況下，有助于確保容許傳感部用襯底1彎曲的空間。在這里按下接線柱頂部時(shí)應(yīng)力傳感器的使用狀態(tài)的例子，與把應(yīng)力傳感器使用在個(gè)人電腦指示裝置的情況，即所謂按鍵(click)操作是相對(duì)應(yīng)。
而且關(guān)于本發(fā)明的輸入裝置以及在此基礎(chǔ)上的良好構(gòu)成，如圖1所示構(gòu)成應(yīng)力傳感器部的襯底(傳感部用襯底1)和構(gòu)成控制部的襯底(控制部用襯底3)是用不同的襯底，上述加強(qiáng)部件同構(gòu)成控制部的襯底(控制部用襯底3)相連接很好。其理由是接線柱2上給予的應(yīng)力不能盡可能向控制部用襯底3傳播。假設(shè)直接將傳感部用襯底1和控制部用襯底3連接固定，上述的控制部11中裝入的電子產(chǎn)品、IC等的特性值就會(huì)偏離目的值，電子產(chǎn)品、IC等和控制部用襯底3有可能發(fā)生對(duì)電氣的連接部的損害。
而且如圖1所示，使用加強(qiáng)部件的本發(fā)明的輸入裝置，更適合于加強(qiáng)部件固定在電子機(jī)器上。其理由如上所述，因?yàn)檫@種構(gòu)成考慮到了應(yīng)力不會(huì)極力向控制部用襯底3傳播。
并且對(duì)于本發(fā)明的輸入裝置以及以其為基礎(chǔ)的構(gòu)成來(lái)說(shuō)，傳感器部10使用的應(yīng)變軌跡4是阻力元件12，各自的阻力元件12和直接連接的托梁調(diào)整阻力器14配置在襯底(傳感部用襯底1/控制部用襯底3)的非變形部，由于這樣的輸入裝置構(gòu)成，應(yīng)變軌跡4的阻力元件12可形成修剪溝并可調(diào)整各阻力元件12的阻力值，由于阻力元件12的變形(伸長(zhǎng)，收縮或壓縮，壓縮解除)，以該溝周邊有細(xì)微的點(diǎn)擊點(diǎn)為起點(diǎn)，阻力元件12就很容易被破壞。這樣，作為應(yīng)變軌跡的阻力元件12和串聯(lián)接觸的托梁調(diào)整阻力器14之間形成修剪溝，因此可以避免這種破壞。由于托梁調(diào)整阻力器14形成修剪溝(トリミング溝)，各個(gè)阻力元件12以及與這些串聯(lián)接續(xù)的托梁調(diào)整阻力器14和阻力值的和在一定的范圍內(nèi)調(diào)整。
圖4表示的是各個(gè)阻力元件和托梁調(diào)整阻力器14的連接狀態(tài)概要。如圖4所示，由阻力元件構(gòu)成橋式回路。構(gòu)成該橋式回路的各阻力元件必須在一定范圍內(nèi)分別進(jìn)行調(diào)整。因此對(duì)各個(gè)阻力元件12(R1～R4)和串聯(lián)連接的托梁調(diào)整阻力器(Rtrim 1～4)進(jìn)行阻力值的調(diào)整，使R1和Rtrim1，R2和Rtrim2，R3和Rtrim3，R4和Rtrim4的各種阻力值的和為定值。并且以該和為基準(zhǔn)由控制部11給接線柱2的應(yīng)力的大小和方向，可以進(jìn)行計(jì)算處理，解析等。
在這里把托梁調(diào)整阻力器14裝入控制部用襯底3上的做法是很好的。在傳感部用襯底1上裝入托梁調(diào)整阻力器14時(shí)，由于傳感器部10的操作傳感器部襯底1會(huì)彎曲，由于對(duì)托梁調(diào)整阻力器14也多少給有一些應(yīng)力，因此有時(shí)阻力值會(huì)不穩(wěn)定。相反，控制部用襯底3和傳感部用襯底1相比，即使通過(guò)傳感器10的操作也很難得到應(yīng)力，因此在其內(nèi)部裝入的托梁調(diào)整阻力器14的值是穩(wěn)定的。并且由于傳感部用襯底1和控制部用襯底3是同一襯底而實(shí)現(xiàn)一體化時(shí)，其優(yōu)點(diǎn)是能使裝入托梁調(diào)整阻力器14的操作，包含到向控制部11中裝入必要的電子部件的操作中。傳感部用襯底1和控制部用襯底3是不同的襯底的情況時(shí)，如果僅僅斷定傳感部10發(fā)生操作不良的情況時(shí)，其修改容易實(shí)現(xiàn)。即通過(guò)交換傳感器部10完成上述修改。
此外關(guān)于能夠解決上述課題的本發(fā)明輸入裝置的制造方法，其主要特征是具有在襯底面以及/或襯底內(nèi)層形成電氣配線的第1工序和，該襯底(傳感部用襯底1)面形成應(yīng)變軌跡的第2工序，和在該襯底(控制部用襯底3)面形成將應(yīng)變軌跡的特性值變換為指定的數(shù)據(jù)的控制部時(shí)，所必要的裝入控制部用電子部品的第3工序，以及能使通過(guò)給予應(yīng)力使應(yīng)變軌跡4特性值發(fā)生變化的接線柱2固定在該襯底面的第4工序，和必要時(shí)應(yīng)變軌跡的傳感部襯底和裝入了控制部用電子部件的控制部用襯底3實(shí)現(xiàn)一體化的第5工序，第1工序，第2工序，以及第3工序依次按這種順序?qū)嵤?；?工序是在第2工序結(jié)束后的某個(gè)階段實(shí)施，第5工序是在第1工序結(jié)束后的某個(gè)階段實(shí)施。
這里的襯底，包括由于傳感部襯底1和控制部用襯底3是同一個(gè)襯底而實(shí)現(xiàn)一體化，和因傳感部用襯底1和控制部用襯底3是不同的襯底，雙方的襯底通過(guò)連接部件的固定實(shí)現(xiàn)一體化這兩個(gè)方面。前者的情況在第5工序不需要，后者在第5工序是需要的。
通過(guò)這種制造方法得到的輸入裝置，因給予在襯底(傳感部用襯底1)一面配置的接線柱2以應(yīng)力的原因，使引起應(yīng)變軌跡4的特性值發(fā)生變化的應(yīng)力傳感器部10，和將該特性值的變化變換為和上述應(yīng)力的方向大小相當(dāng)?shù)臄?shù)值的控制部11，這兩者間經(jīng)常得到良好的匹配。
此外關(guān)于上述本發(fā)明輸入裝置的制造方法，其特征還有，它擁有在應(yīng)力傳感部用襯底1面以及/或該襯底內(nèi)層形成電氣配線的第11工序，和該襯底(傳感部用襯底1)面形成應(yīng)變軌跡的第12工序，將因給予應(yīng)力使應(yīng)變軌跡4的特性值發(fā)生變化的接線柱2固定在該襯底(傳感部用襯底1)面上的第13工序，以及以此順序?qū)嵤┒玫綉?yīng)力傳感器部過(guò)程，和此后確認(rèn)該應(yīng)力傳感器部10的操作情況的第14工序，和因上述給予應(yīng)力的原因而發(fā)生特性值變化，在將上述應(yīng)變軌跡4的該特性值變化變換為上述應(yīng)力方向和大小的數(shù)據(jù)的控制部用襯底3面上，形成裝入了控制部11所必要的電子部品的控制部11的第15工序，在第14工序僅僅將確認(rèn)為良品的應(yīng)力傳感器部和上述控制部連接的第16工序。
這里的襯底與傳感部用襯底1和控制部用襯底3是不同的襯底，雙方的襯底用連接部件固定實(shí)現(xiàn)一體化。通過(guò)第14工序，由于未被認(rèn)定為良品的應(yīng)力傳感器部10不提供給第16工序，所以就降低了整個(gè)輸入裝置的不良率。在此判斷是否是良品的標(biāo)準(zhǔn)是，從指定方向給予的指定大小的應(yīng)力時(shí)，能否向目的范圍內(nèi)輸出。而且包括在第16工序之前第15工序之后確認(rèn)控制部11的動(dòng)作的工序。不用說(shuō)，該工序只將被確認(rèn)為良品的控制部11提供給第16工序。因此上述不良率進(jìn)一步降低。在此應(yīng)力傳感器部10相比控制部11來(lái)說(shuō)，不被認(rèn)定為良品的情況比較多。其原因可以認(rèn)為是由于應(yīng)力傳感器部10包含可動(dòng)部件，而控制部11不包含可動(dòng)部件。
綜上所述，本發(fā)明特殊結(jié)構(gòu)的輸入裝置及其制造方法，其具有上述諸多的優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，并在同類產(chǎn)品及方法中未見(jiàn)有類似的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及方法公開(kāi)發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在產(chǎn)品結(jié)構(gòu)、方法或功能上皆有較大的改進(jìn)，在技術(shù)上有較大的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的效果，且較現(xiàn)有的輸入裝置具有增進(jìn)的多項(xiàng)功效，從而更加適于實(shí)用，而具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價(jià)值，誠(chéng)為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。
上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。
本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)及其方法由以下實(shí)施例及附圖詳細(xì)給出。


圖1是本發(fā)明的輸入裝置的組裝結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是和本發(fā)明相關(guān)的傳感器部10的重要部分的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本發(fā)明的傳感器部10的動(dòng)作情況示意圖。
圖4是本發(fā)明的輸入裝置的電氣信號(hào)輸入輸出的狀態(tài)示意圖。
圖5是本發(fā)明的傳感器部10的示意圖，其中(a)是側(cè)視圖，(b)俯視圖，(c)是仰視圖。
圖6本發(fā)明的傳感器部10的動(dòng)作確認(rèn)方法。
圖7是本發(fā)明的輸入裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中標(biāo)號(hào)1...傳感部用襯底 2...接線柱3...控制部用襯底4...應(yīng)變軌跡 5...固定孔6...第1加強(qiáng)部件7...第2加強(qiáng)部件8...孔，9...孔10...傳感器部22...控制部12...阻力元件 13...阻力體14...托梁調(diào)整片阻力體 15...導(dǎo)體 16...襯底孔17...接線柱底面的輪廓 18...接頭集合部 19...接頭具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的(名稱)其具體結(jié)構(gòu)、方法、制造方法、加工方法、步驟、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。
關(guān)于本發(fā)明實(shí)施形態(tài)，以下以適用本發(fā)明輸入裝置的個(gè)人電腦指示裝置為例進(jìn)行說(shuō)明。
首先，請(qǐng)參閱圖5所示，是傳感器部10的制造方法。在以玻璃纖維混入環(huán)氧樹(shù)脂為主要成分的厚度為0.8mm的積層板兩面上，配置厚度約18μm的作為導(dǎo)電層用的銅箔，準(zhǔn)備兩面銅涂層板。這個(gè)兩面鍍銅膜疊層板以外形為長(zhǎng)方形的傳感部用襯底1為1個(gè)單位，這些在縱橫多次連接的回路圖案(導(dǎo)體15)，并且最終的阻力元件13和托梁調(diào)整阻力器14形成如圖4所示的電氣連接狀態(tài)，在襯底3表面和里面制作布線圖。
該制作布線的第1步驟中，在貫穿上述兩面銅張積層板的表里的導(dǎo)電通路，進(jìn)行必要的開(kāi)孔加工。第2步驟中在上述開(kāi)孔加工的通過(guò)孔(through hole)內(nèi)壁形成導(dǎo)體，并為使表里的銅箔導(dǎo)通，依次實(shí)施催化無(wú)電解銅鍍金以及電解銅鍍金。這時(shí)襯底兩面的銅箔也因鍍金而附著上銅，并襯底兩面的銅的總厚度約為50μm.。第3步驟以后通過(guò)公認(rèn)的干膜保護(hù)膜用光刻法除去表面的導(dǎo)體層的一部分。作為剩余部分得到導(dǎo)體15。在這里圖5中從導(dǎo)體15末端到接頭集合部18省略了線路的圖示，但通過(guò)各阻力元件12(R1-4)以及托梁調(diào)整阻力器14(Rtrim1-4)，如圖4所示形成橋式電路的通路。并且接頭集合部18中，接頭(Vcc，GND，Yout，Xout)都存在一定的間隔。
并隨之得到的大型的襯底對(duì)于上述1單位的各個(gè)傳感部用襯底1，通過(guò)拔模加工如圖5所示，孔9固定孔5以及接頭集合部18形成缺角。上述1個(gè)單元的傳感部用襯底1所形成的4個(gè)固定孔5，在略正方形的頂點(diǎn)位置形成，該正方形的對(duì)角線的交點(diǎn)和其后配置的接線柱底面的輪廓17的中心部位大概一致。
接下來(lái)是通過(guò)將樹(shù)脂系列(炭精棒，樹(shù)脂(resin)系)的阻力體膏狀物進(jìn)行網(wǎng)板印刷，如圖5所示形成進(jìn)行加熱硬化成為阻力體13。為了進(jìn)一步保護(hù)阻力體13，將陶瓷系列樹(shù)脂膏狀物進(jìn)行網(wǎng)板印刷，隨后進(jìn)行硬化形成保護(hù)膜于是就得到阻力元件12。
接著通過(guò)串聯(lián)導(dǎo)體15和各個(gè)阻力元件12電氣連接的托架調(diào)整阻力器14，如如圖4所示實(shí)現(xiàn)和阻力元件12連接的狀態(tài)。而且，和通過(guò)大家都熟悉的安裝技術(shù)與電路技術(shù)安裝。而且托架調(diào)整片阻力體14如圖5所示，在和傳感部用襯底1配有阻力元件12的面相反的一面進(jìn)行了配置。
其后為了在指定范圍內(nèi)調(diào)整阻力元件12，和同各個(gè)阻力元件12串聯(lián)電氣連接的托架調(diào)整阻力器14的阻力值的和，對(duì)托架調(diào)整片阻力器14實(shí)施激光修正。構(gòu)成直接阻力元件的阻力體6未實(shí)施的原因是，考慮到通過(guò)對(duì)由樹(shù)脂形成的阻力體6，以及配有阻力體6并以樹(shù)脂為主要成分的傳感部用襯底實(shí)施修整，來(lái)防止阻力值的不穩(wěn)定性。這些樹(shù)脂在做激光修正等的超高溫的處理時(shí)，會(huì)發(fā)生不穩(wěn)定的情況。
而且如圖5所示，在各個(gè)以1為單位的傳感器部用襯底1上，形成了氧化鋁并且接線柱底面的輪廓17為正方形的接線柱2的其底面，與配有阻力元件12的傳感器部用襯底1的層面逆向連接，并且為使其底面的中心與各1單位的傳感部用襯底1的中心實(shí)質(zhì)上達(dá)到一致，而用環(huán)氧系列黏著劑固定。并且可以得到本發(fā)明的應(yīng)力傳感器的集合體。
接下來(lái)，為使大型的襯底成為各1單位的傳感部用襯底1，在大型襯底表面上沿著縱橫多數(shù)設(shè)定的分割用線路(可視的線路不可視的線路都可以)，用圓盤切割機(jī)切斷分割成為各個(gè)應(yīng)力傳感器部10。如本例在接線柱2分割前進(jìn)行固定并使其操作性更好。其理由是將各個(gè)應(yīng)力傳感器分割后的接線柱2，安裝到擁有各個(gè)應(yīng)力傳感器的傳感部用襯底1取出的操作，和對(duì)大型襯底操作相比其操作性，手工操作性都很不好，并且很繁雜。
該傳感器部10借助固定孔用后述的加強(qiáng)部件6加強(qiáng)部件7進(jìn)行加強(qiáng)和固定使用。這樣在固定狀態(tài)中，襯底孔16的外側(cè)襯底3邊緣部即使在給接線柱2應(yīng)力的情況下也形成幾乎不變形的非變形部，襯底孔16的內(nèi)側(cè)給接線柱5集中應(yīng)力時(shí)就會(huì)變形，成為使阻力元件8伸長(zhǎng)、收縮的變形部。該變形部全部領(lǐng)域是傳感部用襯底1面的(傳感器有效領(lǐng)域)。并且為把上述的托架調(diào)整片阻力器14配置在上述非變形部上，給予接線柱2應(yīng)力幾乎不受到其阻力值變化的影響。
其次對(duì)控制部11的制造法進(jìn)行說(shuō)明。首先對(duì)上述的傳感器部用襯底1實(shí)施的圖案裝飾對(duì)圖所示的形狀的控制部用襯底3也同樣試用。在控制部11如圖4所示的橋式電路的電壓附加接頭(Vcc)-(GND)之間附加指定的電壓，通過(guò)解析同圖左側(cè)的阻力元件12(R1，2)以及托架調(diào)整阻力器14(Rtrim1，2)的阻力值，要求從Y接頭(Yout)向Y軸方向構(gòu)成應(yīng)力傳感器的機(jī)能。進(jìn)一步通過(guò)分析同圖右側(cè)的阻力元件12(R3，4)以及托架調(diào)整阻力器14(Rtrim3，4)的阻力值，要求向X軸方向構(gòu)成應(yīng)力傳感器的機(jī)能。進(jìn)一步把接線柱頂部向下(Z軸方向)按壓的時(shí)候，阻力元件12(R1-4)的各個(gè)阻力值全部上升，這種狀態(tài)下要求同上述X軸或Y軸方向的應(yīng)力相區(qū)別，并可進(jìn)行檢測(cè)的機(jī)能。滿足這些要求的所有的控制IC和其它電子部件被裝入控制部用襯底3上，并經(jīng)過(guò)上述的逆流工序等得到控制部11。
下面如圖1所示，加工厚度1.5mm的鋁板材形成固定孔5，孔8以及其他切邊部得到第1個(gè)加強(qiáng)部件6。并且加工厚度為0.8mm的鐵板形成固定孔5以及深度為40-50μm的孔9，其后露出面用亞鉛鍍金，得到第2個(gè)加強(qiáng)部件7。
如圖1所示，使上述傳感器10上面和第1加強(qiáng)部件6接觸，并且下面接觸第2的加強(qiáng)部件，固定孔5用螺絲將這三者固定，來(lái)加強(qiáng)傳感部用襯底1。進(jìn)而第1個(gè)加強(qiáng)部件6上的其他的固定孔5和控制部用襯底3的固定孔5用螺絲連接并將兩者固定。通過(guò)這個(gè)過(guò)程，就能得到本發(fā)明的輸入裝置。
在此例中，在確定這些固定作業(yè)之前，首先就傳感部10進(jìn)行動(dòng)作確認(rèn)，僅限于對(duì)能夠被認(rèn)定為佳品的部分提供固定操作。下面邊參照?qǐng)D6，就判斷其是否是佳品的方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先在第1階段中，對(duì)為達(dá)到與使用時(shí)的固定狀態(tài)處于同樣狀態(tài)的應(yīng)力傳感部10進(jìn)行固定。并且把位于傳感部用的襯底1的背面的4個(gè)接頭電氣連接在檢查用臺(tái)座的接頭上。
接著，在第7階段中，測(cè)定在被應(yīng)力付與部仍處于應(yīng)力尚未被付與狀態(tài)的應(yīng)力傳感器1的輸出值(Fo)，判斷Fo是否處于作為目標(biāo)的所定范圍之內(nèi)。測(cè)定的結(jié)果如果不在所限定的范圍內(nèi)就判定為不合格。測(cè)定的結(jié)果如果所有的阻力元件11的輸出值(Fo)都在所定范圍的話就進(jìn)入到第2階段。
在第2階段，從第n的方向付與接線柱2應(yīng)力。初次向被應(yīng)力付與部2付與應(yīng)力時(shí)，上述的第n的方向就成為第1方向。在此例中，n＝1-4使得在接線柱2周邊付與應(yīng)力的角度90℃間隔中所配置的4個(gè)應(yīng)力付與裝置按順序運(yùn)作起來(lái)。n＝5使得進(jìn)行按下接線柱2頂面的應(yīng)力付與裝置運(yùn)作起來(lái)。
第3階段是在規(guī)定期間內(nèi)，對(duì)第2階段中已付與的應(yīng)力進(jìn)行規(guī)定應(yīng)力。在此例中上述的規(guī)定期間設(shè)定為1秒。其第一個(gè)理由是如果上述的規(guī)定時(shí)間設(shè)定為0.5秒的話，輸出值的測(cè)定值不規(guī)則的地方僅有一點(diǎn)兒。第2個(gè)理由是，即使把上述的規(guī)定時(shí)間設(shè)定為超過(guò)1秒的話，也跟設(shè)定為1秒時(shí)具有同樣的輸出值的安定性。為了在單位時(shí)間內(nèi)檢查較多的傳感部10，上述的規(guī)定時(shí)間較短的比較有利。基于上述理由，在此例中把前述規(guī)定時(shí)間設(shè)定為1秒。
第4階段是測(cè)定傳感部10的輸出值(Fn)的階段。這里Fn的n和第2階段的n是相對(duì)應(yīng)的數(shù)字。例如在第2階段中，從第1方向付與應(yīng)力時(shí)，傳感器部10的輸出值為F1。Fn的測(cè)定大致與F0相同。
第5階段是把所付與的應(yīng)力解除的階段。
第6階段是判斷上述輸出值(Fn)是否在規(guī)定范圍內(nèi)的階段。輸出值(Fn)在規(guī)定范圍以外的話就判斷為檢查不合格。到n＝5為止，從第2階段到第6階段進(jìn)行反復(fù)，當(dāng)所有的輸出值都在規(guī)定范圍內(nèi)時(shí)，則判定為檢查合格。
在此例中，傳感部用的襯底是玻璃纖維混入環(huán)氧樹(shù)脂，用氧化鋁等陶瓷材料進(jìn)行代替的時(shí)候，使用在縱橫方向預(yù)先形成了較多分割溝的大型的襯底更為理想。其理由是，要打開(kāi)該分割溝，即使不用盤形銑刀，用手施力的話就很容易進(jìn)行分割操作。
正如在此例的傳感部10中，根據(jù)對(duì)向下(Z方向)的應(yīng)力付與所付與的機(jī)能的多少，能達(dá)到多機(jī)能化。例如在使用如此例中所述的作為電腦用指示裝置的傳感器10時(shí)，就能夠分配所謂的按下鼠標(biāo)的信號(hào)。另外，例如在使用作為所謂的手機(jī)等小型攜帶機(jī)器用的多機(jī)能多方向開(kāi)關(guān)的傳感器10的情況下，在規(guī)定時(shí)間向下付與應(yīng)力時(shí)，也可與該攜帶機(jī)器的電源的開(kāi)通-關(guān)閉的命令相對(duì)應(yīng)。
托架調(diào)整阻力器14應(yīng)不應(yīng)該用這一問(wèn)題，應(yīng)根據(jù)構(gòu)成阻力元件12的各個(gè)部件的材料質(zhì)地、襯底3的材料質(zhì)地進(jìn)行判斷。例如，當(dāng)傳感部用的襯底1的材料質(zhì)地是陶瓷、抗體13的材料質(zhì)地是金屬釉的情況下，即使對(duì)構(gòu)成直接阻力元件12的阻力體13實(shí)施相對(duì)的激光修正，其后，像阻力值的不穩(wěn)定化這樣的不匹配的情況是可以忽視的。因此，這些情況即使不使用托架調(diào)整阻力器器14也可以。但是由于還有其他的原因存在，在有必要使用托架調(diào)整阻力器14的情況下，理所當(dāng)然還是應(yīng)該根據(jù)需要使用。
例如，在由玻璃纖維混入環(huán)氧類樹(shù)脂成形體構(gòu)成的襯底1上形成的，由碳系列導(dǎo)電材料和樹(shù)脂混合而成的配置阻力體13的構(gòu)成上，對(duì)該阻力體13直接進(jìn)行激光修正的情況下，把激光的輸出功率調(diào)整為適當(dāng)?shù)闹担M量不使構(gòu)成襯底1和阻力體13的樹(shù)脂材料受到過(guò)度的損傷，盡量不做損害阻力值穩(wěn)定(包含使用應(yīng)力傳感器時(shí)的安定)的事情。這樣的構(gòu)成可以省略在此例(圖5)中的托架調(diào)正阻力器14，在零件的件數(shù)以及減低制造工數(shù)方面是非常理想的。
本發(fā)明的其他實(shí)施的形態(tài)如圖7表示。傳感部用的襯底1的全部都與控制部用的襯底3重合，該重合部分由于被固定，是實(shí)現(xiàn)了一體化的輸入裝置的實(shí)例。在這里最適合被選用的固定部件材料是支持器和接觸劑等。另外，傳感部用的襯底1和控制部用的襯底3的材料質(zhì)地是混入了玻璃纖維的環(huán)氧樹(shù)脂等。這樣一種形態(tài)的輸入裝置，與圖1所示的輸入裝置相比較，其優(yōu)點(diǎn)是使得輸入裝置的厚度變薄了。另一方面，由于付與在接線柱2上的應(yīng)力容易傳播到傳感部用的襯底1以及控制部用的襯底3上，因此多多少少有不利之處。對(duì)于這些不利之處，通過(guò)給控制部用的襯底3下面貼上薄金屬板這樣的加固手段，使搭載該輸入裝置的電子機(jī)器的筐體與控制部用的襯底3的下面的大部分相接觸，依靠筐體來(lái)加固裝置全體等這樣的手段，應(yīng)該可以對(duì)付這些不利之處，一般不會(huì)有大的問(wèn)題。
在產(chǎn)業(yè)上利用的可能性在此發(fā)明中，可提供使應(yīng)力傳感器部和控制部?jī)烧呓?jīng)常得到良好匹配的輸入裝置。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的方法及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但是凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種輸入裝置，其特征在于以向被置于襯底的一個(gè)側(cè)面的接線柱的應(yīng)力付與為起因，使得應(yīng)變軌跡(歪みゲ-ジ)特性值產(chǎn)生變化的應(yīng)力傳感部和把這個(gè)特性值變化變換為與上述應(yīng)力方向和大小的數(shù)據(jù)的控制部形成一體化。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸入裝置，其特征在于該應(yīng)變軌跡是阻力元件。
3.一種輸入裝置，其特征在于在沿著以襯底面的傳感器有效領(lǐng)域的中心為交點(diǎn)的襯底面直接交合的兩直線上，阻力元件實(shí)質(zhì)上被分配到離交點(diǎn)等距離的4個(gè)位置上，使得上述的襯底面的傳感器有效領(lǐng)域的中心和接線柱的底面的中心實(shí)質(zhì)上取得一致，接線柱被固定或被一體化，向該接線柱附與應(yīng)力時(shí)，由于上述阻力元件的伸長(zhǎng)、收縮或壓縮、壓縮解除而使阻力值產(chǎn)生變化的應(yīng)力傳感器部和將該阻力值變化變換為上述應(yīng)力方向及大小的數(shù)據(jù)的控制部成為一體化。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一權(quán)利要求所述的輸入裝置，其特征在于構(gòu)成應(yīng)力傳感器部的襯底是由變形部和非變形部組成，在該變形部中被配置了應(yīng)變軌跡(含阻力元件)以及接線柱，該變形部未配置有控制部的構(gòu)成零件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任意一權(quán)利要求所述的輸入裝置，其特征在于由于構(gòu)成應(yīng)力傳感器部的襯底和構(gòu)成控制部的襯底是相同的襯底，從而實(shí)現(xiàn)了一體化。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任意一權(quán)利要求所述的輸入裝置，其特征在于構(gòu)成應(yīng)力傳感器的襯底和構(gòu)成控制部的襯底是不同的襯底，雙方的襯底借由接續(xù)零件被固定，從而形成一體化。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的輸入裝置，其特征在于接續(xù)部材料里包含焊錫，該焊錫承擔(dān)將應(yīng)力傳感部和控制部之間的電氣連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的輸入裝置，其特征在于構(gòu)成應(yīng)力傳感器部的襯底的一部分或全部和構(gòu)成控制部的襯底重疊，該重疊的部分被固定為一體化。
9.根據(jù)權(quán)利要求6至8中的任意一權(quán)利要求所述的輸入裝置，其特征在于借由構(gòu)成應(yīng)力傳感器的襯底剛度高的材料質(zhì)地形成的加強(qiáng)部件材料，襯底被加固。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的輸入裝置，其特征在于加強(qiáng)部件由2張以上的板材組成，構(gòu)成應(yīng)力傳感部的襯底接頭處用該板材夾住，從而被加固。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的輸入裝置，其特征在于構(gòu)成應(yīng)力傳感器的襯底和構(gòu)成控制部的襯底是不同的襯底，加固部件和構(gòu)成控制部的襯底被固定連接。
12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中的任意一權(quán)利要求所述的輸入裝置，其特征在于在電子機(jī)器上固定加固部件。
13.根據(jù)權(quán)利要求4所述的輸入裝置，其特征在于各個(gè)阻力件和被串聯(lián)連接的托架調(diào)整片阻力器被置于襯底的非變形部上。
14.根據(jù)權(quán)利要求2至13中的任意一權(quán)利要求所述的輸入裝置，其特征在于控制部上配置有各個(gè)阻力件和被直接連接的托架調(diào)整片阻力器。
15.一種輸入裝置的制造方法，其特征在于襯底的表面或在襯底的內(nèi)層形成電氣配線的第1工序，以及在該襯底面上形成應(yīng)變軌跡的第2工序，以及在該襯底面上，要形成把應(yīng)變軌跡的特性值變化變換為規(guī)定的數(shù)據(jù)的控制部所必要的搭載控制部用的電子部品的第3工序，以及以應(yīng)力附與為起因從而使應(yīng)變軌跡的特性值產(chǎn)生變化的接線柱固定在該襯底面的第4工序，以及根據(jù)需要，使形成了應(yīng)變軌跡的襯底和搭載了控制部用的電子部件的襯底形成一體化的第5工序，按照第1工序、第2工序、以及第3工序這種順序?qū)嵤?，?工序是在第2工序結(jié)束后的任意的階段實(shí)施，第5工序是在第1工序結(jié)束后的任意階段實(shí)施為特征的.
16.一種輸入裝置的制造方法，其特征在于應(yīng)力傳感器用的襯底面以及/或在該襯底面內(nèi)層中形成電氣配線的第11工序和在該襯底面形成應(yīng)變軌跡的第12工序，以及以應(yīng)力附與為起因，從而使應(yīng)變軌跡的特性值產(chǎn)生變化的接線柱固定在該襯底面上的第13工序，按這個(gè)順序?qū)嵤┑脑捑涂梢缘玫綉?yīng)力傳感部的過(guò)程，和此后確認(rèn)該應(yīng)力傳感部的動(dòng)作的第14工序，以及在上述的以應(yīng)力付與為起因而使其特性值產(chǎn)生變化的上述應(yīng)變軌跡的這個(gè)特性值變化，變換為上述應(yīng)力的方向和大小的數(shù)據(jù)的控制部用的襯底面上，能獲得搭載著在形成控制部所必要的控制部用的電子部品的控制部的第15工序，僅僅把在第14工序中被認(rèn)定為佳品的應(yīng)力傳感器部連接在上述控制部的第16工序。
全文摘要
本發(fā)明的主要目的是，提供一個(gè)能使應(yīng)力傳感部(10)和控制部(11)得到良好的匹配的輸入裝置。因此，通過(guò)給予在襯底(用于傳感部的襯底(1))的一方配置的接線柱(post)(2)一個(gè)應(yīng)力，從而使讓應(yīng)變軌跡(4)的特性值發(fā)生變化的應(yīng)力傳感部(10)，以及將該特性值的變化變換為和上述應(yīng)力的方向和大小相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)的控制部(11)實(shí)現(xiàn)一體化。應(yīng)變軌跡(4)中例如使用電阻元件(12)等，并將它安插到用于傳感部的襯底(1)上。并且控制部(11)在控制部用襯底(3)上安裝設(shè)有必須的IC、電子部件。
文檔編號(hào)G06F3/0338GK1630847SQ0281891
公開(kāi)日2005年6月22日 申請(qǐng)日期2002年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月27日
發(fā)明者矢島宏, 大場(chǎng)悅生, 唐澤文明, 犬飼厚臣 申請(qǐng)人:義發(fā)科技股份有限公司