集成電路的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及例如用于磁平衡式電流傳感器等的集成電路。
【背景技術(shù)】
[0002] 磁平衡式電流傳感器使用因被測定電流引起的感應(yīng)磁場對該被測定電流進行測 定（參照例如專利文獻1)。磁平衡式電流傳感器一般具備被稱為匯流條的一次導(dǎo)體及對在 該一次導(dǎo)體中流動的被檢測電流進行檢測的集成電路。為了高精度地測定被測定電流，必 須高精度地將一次導(dǎo)體相對于集成電路進行定位并設(shè)置。
[0003] 專利文獻1 :日本特開2013-047610號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 另外，用于磁平衡式電流傳感器的集成電路優(yōu)選的是基于磁特性對廢品進行判 另IJ。但是，在未設(shè)置一次導(dǎo)體的狀態(tài)下，由于無法對該集成電路賦予所期望的外部磁場，因 此無法檢查該集成電路的磁特性。因此，在組裝為產(chǎn)品之后，對集成電路的磁特性進行檢 查，但當(dāng)在此時發(fā)現(xiàn)廢品時，存在裝入到該廢品的一次導(dǎo)體白白浪費的問題。
[0005] 本發(fā)明鑒于該情況而作出，將提供能夠在未設(shè)置一次導(dǎo)體的狀態(tài)下（例如在從晶 片切下之前的狀態(tài)下）檢查磁特性的集成電路作為解決課題之一。
[0006] 為了解決上述課題，本發(fā)明的一形態(tài)的集成電路用于對在一次導(dǎo)體中流動的被測 定電流進行測定的磁平衡式電流傳感器，上述集成電路的特征在于，具備：磁檢測電橋電 路，當(dāng)磁場發(fā)生作用時，產(chǎn)生與該磁場對應(yīng)的檢測電壓；電感線圈，當(dāng)電流流過時，產(chǎn)生與該 電流對應(yīng)的磁場；測定電路，在由上述被測定電流產(chǎn)生的磁場所作用的上述磁檢測電橋電 路中產(chǎn)生上述檢測電壓，由此對在上述電感線圈中流動的電流進行測定；檢查電路，使檢查 電流流入到上述電感線圈而產(chǎn)生檢查磁場，對在該檢查磁場所作用的上述磁檢測電橋電路 中產(chǎn)生的上述檢測電壓進行測定；及電路設(shè)定部，設(shè)定為連接上述磁檢測電橋電路與上述 測定電路的第一模式、或連接上述磁檢測電橋電路與上述檢查電路的第二模式。
[0007] 根據(jù)該形態(tài)，在使檢查電流流入到集成電路所具備的電感線圈而產(chǎn)生了檢查磁場 時，該集成電路對在該檢查磁場所作用的磁檢測電橋電路中產(chǎn)生的電壓（檢測電壓）進行 測定，并能夠基于該檢測電壓對該磁檢測電橋電路的磁特性進行檢查。
[0008] 以往，由于未設(shè)置一次導(dǎo)體的狀態(tài)的集成電路無法檢查磁特性，因此雖然檢查精 度較差，但通過對除磁特性以外的特性進行檢查而進行了廢品的判別。
[0009] 但是，根據(jù)本形態(tài)，即使是設(shè)置一次導(dǎo)體之前的狀態(tài)（例如從晶片切下之前的狀 態(tài)）的集成電路，也能夠?qū)δ軌蚋呔鹊嘏袆e廢品的磁特性進行檢查。
[0010] 本發(fā)明的另一形態(tài)的集成電路的特征在于，在上述形態(tài)的集成電路的基礎(chǔ)上，上 述電路設(shè)定部包含開關(guān)元件，上述開關(guān)元件將上述測定電路及上述檢查電路中的任一方與 上述磁檢測電橋電路連接。
[0011] 根據(jù)該形態(tài)，將該集成電路設(shè)定為第一模式或第二模式的電路設(shè)定部由開關(guān)元件 構(gòu)成。由此，僅對開關(guān)元件供給預(yù)定的控制信號，就能夠?qū)⒃摷呻娐吩O(shè)定為第一模式或第 二模式。
[0012] 本發(fā)明的另一形態(tài)的集成電路的特征在于，在上述形態(tài)的集成電路的基礎(chǔ)上，上 述測定電路具備：運算放大器，被輸入在上述磁檢測電橋電路中產(chǎn)生的上述檢測電壓；及 測定用電阻元件，連接于該運算放大器的輸出端子，將在上述電感線圈中流動的電流轉(zhuǎn)換 為電壓，上述電路設(shè)定部在上述第二模式下將上述測定電路中的上述運算放大器的輸出阻 抗設(shè)定為高阻抗。
[0013] 根據(jù)該形態(tài)，測定電路具備：運算放大器，被輸入在磁檢測電橋電路中產(chǎn)生的檢測 電壓；及測定用電阻元件，連接于該運算放大器的輸出端子，將在電感線圈中流動的電流轉(zhuǎn) 換為電壓。并且，電路設(shè)定部在第二模式中將測定電路的運算放大器的輸出阻抗設(shè)定為高 阻抗，由此使測定電路不連接于磁檢測電橋電路，而僅使檢查電路連接于磁檢測電橋電路。 即，根據(jù)本形態(tài)，僅將測定電路的運算放大器的輸出阻抗設(shè)定為高阻抗的控制信號供給到 運算放大器，就能夠?qū)⒃摷呻娐吩O(shè)定成第一模式或第二模式。
[0014] 本發(fā)明的另一形態(tài)的集成電路的特征在于，在上述形態(tài)的集成電路的基礎(chǔ)上，上 述測定電路與上述檢查電路是具備運算放大器、測定用電阻元件及檢查用電阻元件的單一 的電路，上述運算放大器被輸入在上述磁檢測電橋電路中產(chǎn)生的上述檢測電壓，上述測定 用電阻元件將在上述電感線圈中流動的電流轉(zhuǎn)換為電壓，上述檢查用電阻元件用于將向上 述運算放大器輸入的電壓以預(yù)定的放大率放大并從上述運算放大器輸出，上述電路設(shè)定部 包含開關(guān)元件，上述開關(guān)元件在上述第一模式下連接上述運算放大器中的輸出端子與上述 測定用電阻元件，并且，在上述第二模式下將上述檢查用電阻元件連接于上述運算放大器 的輸入端子與輸出端子之間。
[0015] 根據(jù)該形態(tài)，能夠?qū)y定電路與檢查電路設(shè)為單一的電路，因此實現(xiàn)了電路結(jié)構(gòu) 的進一步簡化。
【附圖說明】
[0016] 圖1是表不具備本發(fā)明的第一實施方式的集成電路的磁平衡式電流傳感器的一 結(jié)構(gòu)例的圖。
[0017] 圖2是表示本發(fā)明的第一實施方式的集成電路的一結(jié)構(gòu)例（普通模式時）的圖。
[0018] 圖3是表示本發(fā)明的第一實施方式的集成電路的一結(jié)構(gòu)例（檢查模式時）的圖。
[0019] 圖4是表示本發(fā)明的第二實施方式的集成電路的一結(jié)構(gòu)例（普通模式時）的圖。
[0020] 圖5是表示本發(fā)明的第二實施方式的集成電路的一結(jié)構(gòu)例（檢查模式時）的圖。
[0021] 圖6是表示本發(fā)明的第三實施方式的集成電路的一結(jié)構(gòu)例（普通模式時）的圖。
[0022] 圖7是表示本發(fā)明的第三實施方式的集成電路的一結(jié)構(gòu)例（檢查模式時）的圖。
【具體實施方式】
[0023] [第一實施方式]
[0024] 參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。圖1是表示具備本發(fā)明的第一實施方式 的集成電路的磁平衡式電流傳感器的一結(jié)構(gòu)例的圖。如該圖所示，磁平衡式電流傳感器1 具備例如被稱為IC(IntegratedCircuit:集成電路）芯片的集成電路10及被稱為匯流條 (BUSBAR)的一次導(dǎo)體50。
[0025] 集成電路10具備磁檢測電路13、測定/檢查電路15、電源端子Tl、檢查電流輸入 端子T2、輸出端子T3、第一控制信號輸入端子T4及接地端子T5。
[0026] 電源端子Tl是供電源電壓VDD輸入的端子。檢查電流輸入端子T2是供在檢查集 成電路10的磁特性時使用的檢查電流Itest輸入的端子。輸出端子T3是供與后述的差動 電壓Vsub對應(yīng)的電壓輸出的端子。第一控制信號輸入端子T4是供后述的第一控制信號 CTLl輸入的端子。接地端子T5是供向該集成電路10的各部供給的接地電位輸入的端子。
[0027] 另外，集成電路10的磁特性是指例如磁檢測電路13的磁特性。
[0028] 磁檢測電路13具備：連接于測定/檢查電路15的消除線圈（電感線圈）COILa、 COILb、COILc、COILd;連接（插入）于電源端子Tl與接地端子T5之間而構(gòu)成電橋電路的 磁阻元件GMRa、GMRb、GMRc、GMRcL
[0029] 磁阻元件GMRa、GMRb、GMRc、GMRd是根據(jù)作用于自身的磁場而使電氣特性（電阻） 變化的傳感器元件，用于檢測磁場。在本例中，作為磁阻元件GMRa、GMRb、GMRc、GMRd而使 用例如巨磁阻效果（GMR:GiantMagneto-ResistanceEffect)元件。
[0030] 另外，當(dāng)磁場發(fā)生作用時，由磁阻元件GMRa、GMRb、GMRc、GMRd構(gòu)成的電橋電路 (磁檢測電橋電路）在節(jié)點nl與節(jié)點n2之間產(chǎn)生對應(yīng)于該磁場的電壓（后述的差動電壓 Vsub)〇
[0031] 另外，例如如圖1所示，集成電路10俯視觀察時呈大致矩形，磁阻元件GMRa、GMRb 沿著集成電路10的一邊設(shè)置，并且磁阻元件GMRc、GMRd沿著與上述一邊相向的另一邊設(shè) 置。
[0032] 在此，磁阻元件GMRa、GMRb、GMRc、GMRd分別以如下方式連接。即，磁阻元件GMRa與 磁阻元件GMRd串聯(lián)連接，磁阻元件GMRb與磁阻元件GMRc串聯(lián)連接。另外，磁阻元件GMRa、 GMRd與磁阻元件GMRb、GMRc相對于電源端子Tl與接地端子T5而并聯(lián)連接（插入）。
[0033] 并且，一次導(dǎo)體50是供由該磁平衡式電流傳感器1測定的被測定電流Ib流動的 俯視大致"U"字形的導(dǎo)電體。在圖1所示的例子中，被測定電流Ib從一次導(dǎo)體50的正極 端1+向負(fù)極端I-流動。
[0034] 因此，被測定電流Ib在圖1所示的例子中，沿著一個方向在磁阻元件GMRa、b的左 側(cè)流動，并且沿著該一個方向的反方向在磁阻元件GMRc、d的