的，在所述工藝流程控制系統(tǒng)中，所述工藝機(jī)臺(tái)為爐管機(jī)臺(tái)。
[0030]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的工藝流程控制方法以及工藝流程控制系統(tǒng)具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0031]在本發(fā)明提供的工藝流程控制方法以及工藝流程控制系統(tǒng)中，所述批量處理模塊判斷所述待處理的產(chǎn)品晶圓組中是否含有需執(zhí)行特殊工藝流程的產(chǎn)品晶圓組，與現(xiàn)有技術(shù)相比，如果所述待處理的產(chǎn)品晶圓組中有需執(zhí)行特殊工藝流程的晶圓組，將所述公共檔控片的程式設(shè)置為所述特殊工藝流程中的所述工藝機(jī)臺(tái)的程式，使用所述公共檔控片工藝流程對(duì)所述待執(zhí)行晶圓組進(jìn)行批量處理，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化執(zhí)行特殊工藝流程，確保了集成電路生產(chǎn)制造過(guò)程的準(zhǔn)確性、安全性和高效率。
【附圖說(shuō)明】
[0032]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中工藝流程控制方法的流程圖；
[0033]圖2為本發(fā)明一實(shí)施例中工藝流程控制系統(tǒng)的示意圖；
[0034]圖3為本發(fā)明一實(shí)施例中廣品晶圓的廣品流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的工藝流程控制方法以及工藝流程控制系統(tǒng)進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0036]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0037]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0038]本發(fā)明的核心思想在于，提供一種工藝流程控制方法，包括以下步驟:
[0039]步驟一:判斷所述待處理的產(chǎn)品晶圓組中是否含有需執(zhí)行特殊工藝流程的產(chǎn)品晶圓組，如果沒(méi)有需執(zhí)行特殊工藝流程的晶圓組，則進(jìn)行步驟二 ；如果有需執(zhí)行特殊工藝流程的晶圓組，則進(jìn)行步驟三；
[0040]步驟二:按照正常工藝流程對(duì)所述待執(zhí)行晶圓組進(jìn)行批量處理；
[0041]步驟三:將所述公共檔控片的程式設(shè)置為所述特殊工藝流程中的所述工藝機(jī)臺(tái)的程式，使用所述公共檔控片工藝流程對(duì)所述待執(zhí)行晶圓組進(jìn)行批量處理。
[0042]進(jìn)一步，結(jié)合上述工藝流程控制方法，本發(fā)明還提供了一種工藝流程控制系統(tǒng)，包括:工藝流程存儲(chǔ)模塊、公共檔控片工藝流程設(shè)置模塊以及批量處理模塊，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化執(zhí)行特殊工藝流程。
[0043]以下結(jié)合圖1和圖2具體說(shuō)明本實(shí)施例中的工藝流程控制方法以及工藝流程控制系統(tǒng)。其中，圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中工藝流程控制方法的流程圖，圖2為本發(fā)明一實(shí)施例中工藝流程控制系統(tǒng)的示意圖。
[0044]在本實(shí)施例中，以爐管機(jī)臺(tái)對(duì)特殊工藝流程的批量處理為例，具體說(shuō)明本實(shí)施例中的工藝流程控制方法以及工藝流程控制系統(tǒng)。所述工藝流程控制系統(tǒng)用于對(duì)待處理的產(chǎn)品晶圓組在工藝機(jī)臺(tái)上進(jìn)行批量處理，包括工藝流程存儲(chǔ)模塊101、公共檔控片工藝流程設(shè)置模塊102以及批量處理模塊103，如圖2所示。所述工藝流程存儲(chǔ)模塊101存儲(chǔ)有預(yù)先設(shè)置的特殊工藝流程、正常工藝流程，所述公共檔控片工藝流程設(shè)置模塊102用于設(shè)置公共檔控片工藝流程，所述批量處理模塊103用于判斷所述待處理的產(chǎn)品晶圓組中是否含有需執(zhí)行特殊工藝流程的產(chǎn)品晶圓組。
[0045]在本實(shí)施例中，待處理的產(chǎn)品晶圓(product wafer)需要依次進(jìn)行三道工序:第一工序、第二工序以及第三工序，如圖3所示，其中，第二工序需要在爐管機(jī)臺(tái)進(jìn)行。其中，在本實(shí)施例中，在第二工序需要執(zhí)行特殊工藝流程。預(yù)先在第一工序和第二工序之間的流程(flow)中，建立一個(gè)hold，并在第二工序和第三工序之間的流程(flow)中，建立一個(gè)hold。
[0046]較佳的，在進(jìn)行步驟一前，對(duì)所述產(chǎn)品晶圓進(jìn)行工藝參數(shù)的設(shè)定。較佳的，在本發(fā)明的所述工藝流程控制系統(tǒng)中，還包括特殊工藝流程配置模塊11和特殊工藝流程執(zhí)行模塊12，所述特殊工藝流程配置模塊11用于設(shè)置所述待處理的產(chǎn)品晶圓在每一工序的工藝參數(shù)。所述工藝流程存儲(chǔ)模塊101存儲(chǔ)有預(yù)先設(shè)置的特殊工藝流程和正常工藝流程。工程師使用所述公共檔控片工藝流程設(shè)置模塊102用于設(shè)置公共檔控片工藝流程，所述公共檔控片工藝流程中具有用于批量處理的公共檔控片。
[0047]所述產(chǎn)品晶圓先進(jìn)行第一工序，第一工序完成后，被hold在第二工序之前。操作員根據(jù)工程師的要求，建立runcard。在本實(shí)施例中，所述特殊工藝流程執(zhí)行模塊12將所述待處理的產(chǎn)品晶圓從所述正常工藝流程變更到所述特殊工藝流程上。
[0048]在進(jìn)行第二工序時(shí)，首先，進(jìn)行步驟一，判斷所述待處理的產(chǎn)品晶圓組中是否含有需執(zhí)行特殊工藝流程的產(chǎn)品晶圓組，如圖1所示。
[0049]在本實(shí)施例中，所述批量處理模塊103對(duì)待處理的產(chǎn)品晶圓組進(jìn)行判斷，如果沒(méi)有需執(zhí)行特殊工藝流程的晶圓組，則進(jìn)行步驟二；如果有需執(zhí)行特殊工藝流程的晶圓組，則進(jìn)行步驟三。在本實(shí)施例中，由于第二工序中具有runcard，有需執(zhí)行特殊工藝流程的晶圓組，所以進(jìn)行步驟三。
[0050]在本實(shí)施例中，在進(jìn)行步驟三之前，還可以進(jìn)行所述特殊工藝流程的產(chǎn)品晶圓組中的是否具有正常的產(chǎn)品晶圓的判斷。所述批量處理模塊103判斷所述特殊工藝流程的產(chǎn)品晶圓組中的是否具有正常的產(chǎn)品晶圓，如果有正常的產(chǎn)品晶圓，則進(jìn)行步驟二 ；如果沒(méi)有正常的產(chǎn)品晶圓，則進(jìn)行步驟三。由于在本實(shí)施例中，通過(guò)所述待處理的產(chǎn)品晶圓組的屬性值來(lái)判斷所述特殊工藝流程的產(chǎn)品晶圓組中的是否具有正常的產(chǎn)品晶圓。但并不限于通過(guò)判斷所述待處理的產(chǎn)品晶圓組的屬性值是否相同的方式，來(lái)判斷所述特殊工藝流程的產(chǎn)品晶圓組中的是否具有正常的產(chǎn)品晶圓，只要可以判斷所述特殊工藝流程的產(chǎn)品晶圓組中的是否具有正常的產(chǎn)品晶圓，亦在本發(fā)明的思想范圍之內(nèi)。
[0051]假如，當(dāng)所述待處理的產(chǎn)品晶圓組的屬性值與正常工藝流程的產(chǎn)品的屬性值相同時(shí)，所述待處理的產(chǎn)品晶圓組按照正常工藝流程進(jìn)行批量處理。
[0052]假如，當(dāng)所述待處理的產(chǎn)品晶圓組的屬性值與正常工藝流程的產(chǎn)品的屬性值不相同時(shí)，所述待處理的產(chǎn)品晶圓組進(jìn)行步驟三，將所述公共檔控片的recipe設(shè)置為所述特殊工藝流程中的所述工藝機(jī)臺(tái)的程式，使用所述公共檔控片工藝流程對(duì)所述待執(zhí)行晶圓組進(jìn)行批量處理。具體的，把所述公共檔控片和所述待處理的產(chǎn)品晶圓組的晶圓放入爐管機(jī)臺(tái)，以進(jìn)行批量處理，使得所述公共檔控片的recipe和所述待處理的產(chǎn)品晶圓組的工藝recipe相同，從而使得每種工藝類(lèi)別只需要建立一個(gè)公共控檔片