技術(shù)編號：8380297
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工廠自動化，特別是涉及一種工藝流程控制方法以及工藝流程控制系統(tǒng)。背景技術(shù)半導(dǎo)體制造業(yè)是一個高科技行業(yè)，也是一個高投資的行業(yè)。半導(dǎo)體制造工廠為了實現(xiàn)其運營目標，提高生產(chǎn)力，其生產(chǎn)控制活動的自動化程度越來越高。自動化處理每一道工序?qū)呻娐飞a(chǎn)的良率和效率都起著至關(guān)重要的作用。因此在集成電路制造中使每一道工序都能自動化處理一直是各個企業(yè)竭盡全力追求的目標。在集成電路的生產(chǎn)制造中，每一片晶圓從原物料到最終成品都需要經(jīng)過成百乃至上千道工序。正常情況...
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