專利名稱：半導(dǎo)體設(shè)備氣體混合控制器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于控制器領(lǐng)域，具體涉及一種氣體混合控制器。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中，將某種或某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi)，以使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率，用來制造PN結(jié)，電阻，埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。通常將摻雜源與運(yùn)載氣體在源柜中混合，混合后氣流連續(xù)流入擴(kuò)散爐內(nèi)環(huán)繞晶片四周，在晶片表面沉積上化合物摻雜劑，進(jìn)而與硅反應(yīng)生成摻雜金屬。這就需要有一種對(duì)幾種氣體流量進(jìn)行集中控制的管理器。根據(jù)半導(dǎo)體或工藝要求不同，需要?dú)怏w種類、數(shù)量和混合比例也不同，因此就需要一種把各類氣體流量進(jìn)行檢測控制的控 制器。我國的半導(dǎo)體設(shè)備在近幾年發(fā)展很快，其控制系統(tǒng)也在不斷完善，但是總體上說對(duì)氣體的檢測和控制沒做獨(dú)立的開發(fā)研制，多數(shù)是根據(jù)實(shí)際需要，用分散的儀器和控制器來組建整個(gè)控制系統(tǒng)，或者采用簡潔但不是很規(guī)范方式來組建控制系統(tǒng)。目前，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，主要用工業(yè)控制機(jī)的模板或可編程控制器的模擬模板等來實(shí)現(xiàn)氣體混合監(jiān)控，對(duì)數(shù)字氣體流量計(jì)直接用上位機(jī)來監(jiān)控。這些方案都存在集散儀器多，編程復(fù)雜，成本高等缺點(diǎn)?，F(xiàn)在國內(nèi)實(shí)現(xiàn)氣體控制的方案基本有三種。如圖4、圖5、圖6所示。圖4是用PLC或其他控制機(jī)做控制器，對(duì)幾種流量進(jìn)行比例混合監(jiān)控，這種方案是針對(duì)模擬式流量計(jì)，在擴(kuò)散爐控制系統(tǒng)中電氣控制柜和氣體控制柜有幾米遠(yuǎn)的距離，控制機(jī)放在電氣控制柜里，質(zhì)量流量計(jì)放在氣體控制柜中，這樣模擬信號(hào)傳送要經(jīng)過幾米的距離，雖然加RC網(wǎng)路能消除一些干擾，但氣體信號(hào)還是有干擾和衰減的，勢(shì)必影響采集和控制精度；再，模擬信號(hào)輸入輸出需要配置相應(yīng)數(shù)量的A/D、D/A模塊，若路數(shù)多，則需要幾個(gè)模塊，且這些模塊都是PLC或者工業(yè)控制機(jī)模擬通道模塊，硬件成本很高。圖5是針對(duì)數(shù)字式氣體流量計(jì)，近幾年的氣體流量計(jì)設(shè)計(jì)上都帶有數(shù)字通訊功能，將幾個(gè)質(zhì)量流量計(jì)并聯(lián)后與其所需的控制器如PLC通訊，用RS485總線實(shí)現(xiàn)，電路就簡單多了。但是，用PLC實(shí)現(xiàn)通訊存在不好解決的問題一、PLC—般具有一個(gè)與上位機(jī)連接的RS232 口，一個(gè)與下位機(jī)相連的RS485接口，一般用此RS485接口與溫度控制儀表相連，而控制儀表的通訊協(xié)議與有些質(zhì)量流量計(jì)的協(xié)議不同，如日本理化FB400溫度儀表的通訊協(xié)議中數(shù)據(jù)位是8，而日本的HORIBA的SEC質(zhì)量流量計(jì)的通訊協(xié)議數(shù)據(jù)位是7，如果用此RS485 口，則在每次通訊時(shí)，針對(duì)不同儀器進(jìn)行不同協(xié)議的初始化處理，這樣容易造成數(shù)據(jù)混亂，通訊時(shí)間長，效率降低。如果用兩個(gè)RS485，則需要增加擴(kuò)展模塊，增加硬件和軟件成本；二、質(zhì)量流量計(jì)的通訊協(xié)議中上傳數(shù)據(jù)是隨著信號(hào)大小而變化的，用PLC實(shí)現(xiàn)難度較大，增加編程人員的難度；三、PLC既要和上位機(jī)通訊，又要和下位機(jī)控制儀表通訊，還要和質(zhì)量流量計(jì)通訊，同時(shí)還要對(duì)擴(kuò)散爐載片舟的行程和許多I/O進(jìn)行采集管理，這樣，PLC負(fù)擔(dān)太大，運(yùn)行效率低，難以保證系統(tǒng)精度和故障安全處理。所以這樣方案再實(shí)際運(yùn)行中都很少米用。圖6是為了彌補(bǔ)上述的缺陷，在工業(yè)控制機(jī)上增加一個(gè)RS485通訊口，直接和幾個(gè)數(shù)字式氣體流量計(jì)通訊，用上位機(jī)對(duì)質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行監(jiān)控。因?yàn)楣I(yè)控制機(jī)可以進(jìn)行面向?qū)ο蟮母呒?jí)編程，所以在編程方面較PLC簡單多。技術(shù)人員都喜歡采用此方法。但此方案缺點(diǎn)是一旦控制計(jì)算機(jī)系統(tǒng)出死機(jī)等故障，氣體的監(jiān)控就失敗，實(shí)驗(yàn)就受損失。采用此方案組建控制系統(tǒng)不是規(guī)范的現(xiàn)場總線控制系統(tǒng)，也不是規(guī)范的監(jiān)督控制系統(tǒng)，這樣就保證不了系統(tǒng)的安全可靠性。

實(shí)用新型內(nèi)容為了滿足新設(shè)備設(shè)計(jì)與舊設(shè)備的改造，實(shí)現(xiàn)模擬數(shù)字式通用，減輕PLC負(fù)擔(dān)，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場總線控制系統(tǒng)，提高控制系統(tǒng)可靠性，本實(shí)用新型提出一種新型半導(dǎo)體設(shè)備氣體混合控制器。本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案半導(dǎo)體設(shè)備氣體混合控制器，包括輸入部分、控制處理部分、輸出部分、RS485通訊端口和電源，輸入部分包括模擬信號(hào)米集模塊、氫氧比例輸入模塊和SIH4壓力輸入模塊，模擬信號(hào)采集模塊采用芯片TLC2543，一端與氣體質(zhì)量流量計(jì)相連，采集質(zhì)量流量計(jì)的模擬流量信號(hào)，完成A/D轉(zhuǎn)換，包括11個(gè)模擬輸入通道8路質(zhì)量流量計(jì)模擬輸入通道，I路零點(diǎn)校準(zhǔn)電路，I路滿量程校準(zhǔn)電路，I路SIH4壓力信號(hào)檢測電路；另一端與控制處理部分連接；控制部分采用STM8S單片機(jī)做主機(jī)，STM8S單片機(jī)通過從通訊口與上位機(jī)相連，輸出部分包括模擬通道輸出模塊、控制通道輸出模塊、氫氧比例保護(hù)輸出模塊和SIH4超壓輸出模塊，模擬通道輸出模塊采用芯片AD5668，控制通道輸出模塊采用三極管MJD122G，RS485通訊端口包括主通訊口和從通訊口，主通訊口與數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)相連，采集數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)的流量信號(hào)，從通訊口與上位機(jī)相連，所述電源采用隔離DC-DC模塊，電源經(jīng)過隔離DC-DC模塊轉(zhuǎn)換為5個(gè)回路氣體質(zhì)量流量計(jì)、模擬通道芯片、單片機(jī)系統(tǒng)、主通訊口和從通訊口所需電源?？刂破饔袃陕稲S485通訊端口，可分為主通訊口和從通訊口，與數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)通訊的是主通訊口，與上位機(jī)通訊的是從通訊口，為防止相互干擾，均采用光電隔離。該控制器存放了幾大廠家的協(xié)議程序，用戶使用時(shí)通過上位機(jī)選擇即可。模擬信號(hào)采集模塊選用TLC2543，該芯片是12位串行模擬轉(zhuǎn)換器，使用開關(guān)電容逐次逼近技術(shù)完成A/D轉(zhuǎn)換過程，有11個(gè)模擬輸入通道，轉(zhuǎn)換時(shí)間為10us，速度和精度都滿足要求，與單片機(jī)實(shí)現(xiàn)光電隔離。11路是這樣分配的8路用于質(zhì)量流量計(jì)的采集，I路用來零點(diǎn)校準(zhǔn)，I路用滿量程校準(zhǔn)，在每有個(gè)周期內(nèi)都進(jìn)行自動(dòng)零點(diǎn)和滿量程校準(zhǔn)，充分保證信號(hào)的精確度。剩下I路用在對(duì)外界信號(hào)檢測上，在有些半導(dǎo)體設(shè)備中需要用到四氫化硅(SIH4)氣體，如果SIH4泄放壓力大，泄漏的SIH4如沒自燃會(huì)非常危險(xiǎn)，所以要實(shí)時(shí)檢測，對(duì)故障做相應(yīng)的處理。SIH4壓力信號(hào)的檢測電路中選擇適當(dāng)?shù)姆€(wěn)壓管可有效得提高抗干擾能力，以防誤動(dòng)作。該信號(hào)的輸入可采用電壓和電流兩種方式。SIH4信號(hào)的門限值大約在
2.5左右。[0019]主通訊口與數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)的串行口相連，采集數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)的流量信號(hào)。該控制器不僅適用于氣體模擬質(zhì)量流量計(jì)，而且適用于數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)，可與8個(gè)質(zhì)量流量計(jì)相連，實(shí)現(xiàn)了模擬、數(shù)字通用，不僅滿足了新設(shè)備設(shè)計(jì)和舊設(shè)備的改造，而且極大地節(jié)省了費(fèi)用。該控制器核心采用ST系列的STM8S工業(yè)單片機(jī)做主機(jī)。該單片機(jī)抗干擾能力強(qiáng)，I/o接口具有多功能，多串行口，多中斷口，是該控制器的最佳選擇。單片機(jī)引腳上接面板的校準(zhǔn)開關(guān)，開關(guān)合上，系統(tǒng)即進(jìn)行a/d，d/a的自校準(zhǔn)。單片機(jī)和外界信號(hào)都實(shí)行光電隔離。輸出部分采用AD5668，輸出部分通過主通訊口與氣體質(zhì)量流量計(jì)相連，包括模擬通道輸出、控制通道輸出和氫氧比例保護(hù)輸出；模擬通道輸出輸出電路采用選用8通的16位的AD5668芯片，該芯片功能完善，準(zhǔn)確度高。該芯片有內(nèi)部有基準(zhǔn)，為了更加可靠我們用REF02芯片作為外部基礎(chǔ)。輸出形 式按進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)的輸出標(biāo)準(zhǔn)0-5V設(shè)計(jì)，同時(shí)增加了 4-20mA的輸出，以備和具體電流輸入信號(hào)的質(zhì)量流量計(jì)相連。控制通道輸出控制通道為8路，單片機(jī)通過光電隔離來控制三極管MJD122G的開關(guān)，MJD122G是互補(bǔ)硅功率達(dá)林頓晶體管，耐壓100V，輸出電流8A，可接DC100V以內(nèi)的氣體電磁閥。為了實(shí)現(xiàn)自鎖對(duì)氫氣、氧氣、氮?dú)饪刂戚敵鐾ǖ拦潭?，其他通道接什么氣體可自定義。保護(hù)輸出保護(hù)信號(hào)有兩路信號(hào)，一、為了充分保證氣體的安全，除了在軟件設(shè)定氫氧的比例外，在硬件上采取了圖3的設(shè)計(jì)方案。氧的信號(hào)經(jīng)過I. 8倍左右的放大和氫氣流量信號(hào)通過比較器進(jìn)行比較，在小于I. 8倍時(shí)，多路開關(guān)⑶4052的控制端口 BA的編碼為10，輸出信號(hào)通道為X2，Y2 ;如果氫大于I. 8倍氧，則使多路開關(guān)⑶4052的控制端口 BA編碼為00，此時(shí)多路開關(guān)把輸出轉(zhuǎn)換到X0、YO通道上，輸出為零，關(guān)閉氫氧輸出，起到保護(hù)作用。同時(shí)將信號(hào)給單片機(jī)的中斷口，單片機(jī)立即響應(yīng)向外部輸出信號(hào)，該信號(hào)可以接有關(guān)報(bào)警信號(hào)或音響。二、單片機(jī)檢測到SIH4超壓也立即向外輸出信號(hào)，實(shí)現(xiàn)相應(yīng)的保護(hù)。SIH4壓力和氫氧超壓保護(hù)輸出，如圖2、圖3所示。所述電源采用隔離DC-DC模塊，電源經(jīng)過隔離DC-DC模塊轉(zhuǎn)換為5個(gè)回路氣體質(zhì)量流量計(jì)、模擬通道芯片、單片機(jī)系統(tǒng)、主通訊口和從通訊口所需電源。采用外部直流24V供電，經(jīng)過隔離DC-DC模塊變?yōu)?個(gè)回路需要的電源1、選用30W左右的DC-DC模塊，將DC24V轉(zhuǎn)換為氣體質(zhì)量流量計(jì)需要的土 15V供1_8個(gè)質(zhì)量流量計(jì)。質(zhì)量流量計(jì)工作時(shí)電流一般為90mA左右，功率2. 5瓦左右，所以用30W的電源足以，質(zhì)量流量計(jì)的外殼是金屬，將模塊通過硅片與機(jī)殼充分接觸，將有效增加模塊散熱強(qiáng)度；2、夕卜部直流24V經(jīng)DC-DC轉(zhuǎn)換為+15V供模擬通道芯片，該模塊用2W功率即可，該+15V再經(jīng)過降壓芯片降為+5V供A/D、D/A等芯片使用，所需-5V可有ICL7660芯片獲得。該電源與質(zhì)量流量計(jì)的電源在控制器內(nèi)部不公地，之所以這樣設(shè)計(jì)，是因?yàn)橐苍S有些廠家質(zhì)量流量計(jì)的輸入輸出的地和電源不公地；3、外部直流24V經(jīng)DC-DC轉(zhuǎn)換為+5V供單片機(jī)系統(tǒng)使用，該模塊用2W功能即可；4、主從RS485通道兩電源各用DC-DC模塊獲得，輸入電源從供給單片機(jī)系統(tǒng)的電源獲取，這樣使得控制器與外界的充分隔離，提高了抗干擾能力，確保安全可靠。采用DC-DC模塊進(jìn)行電源變換，模塊密封性強(qiáng)，用利于在氣體環(huán)境下通電安全，而且保證了系統(tǒng)各地的充分隔離；控制器的客體采用金屬制作，散熱性強(qiáng)，整個(gè)電源設(shè)計(jì)達(dá)到本安級(jí)。優(yōu)選的，所述STM8S單片機(jī)外接FM25256鐵電存儲(chǔ)器和參數(shù)掉電存儲(chǔ)器EEPROM24C02。優(yōu)選的，所述STM8S單片機(jī)外接存儲(chǔ)器。優(yōu)選的，所述STM8S單片機(jī)外接FM25256鐵電存儲(chǔ)器和參數(shù)掉電存儲(chǔ)器EEPROM24C02。單片機(jī)外接FM25256鐵電存儲(chǔ)器作為實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)記錄，通過上位機(jī)可設(shè)置控制器實(shí)時(shí)記錄數(shù)據(jù)的時(shí)間間隔，實(shí)驗(yàn)結(jié)束后將記錄數(shù)據(jù)上傳到上位機(jī)上。用EEPROM 24C02作為參數(shù)掉電保存。優(yōu)選的，所述控制部分與質(zhì)量流量計(jì)、上位機(jī)、輸入部分和輸出部分光電隔離，保證信號(hào)的可靠性。本實(shí)用新型的有益效果是該控制器可適用于氣體模擬質(zhì)量流量計(jì)或數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)，可與8個(gè)質(zhì)量流量計(jì)相連，該控制器可根據(jù)上位機(jī)下達(dá)各氣體的控制規(guī)則和程序來監(jiān)控不同的質(zhì)量流量計(jì)的氣體流量，同時(shí)進(jìn)行互鎖和保護(hù)。設(shè)計(jì)SIH4泄放壓力檢測電路和輸出電路，采用穩(wěn)壓擊穿及光電隔離、電阻分壓及電容的濾波形式，保證信號(hào)的可靠性，以防誤動(dòng)作；實(shí)現(xiàn)氫氧比例軟硬件保護(hù)。采用STM8S單片機(jī)，實(shí)現(xiàn)高可靠，增加鐵電存儲(chǔ)器FM25256，可實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)過程氣體流量的記錄。采用DC-DC模塊進(jìn)行電源變換，模塊密封性強(qiáng)，用利于在氣體環(huán)境下通電安全，而且保證了系統(tǒng)各地的充分隔離。該控制器應(yīng)用場合廣泛，智能化高、功能強(qiáng)、成本低、精度高、安全可靠。

圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例的原理圖，圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中的SIH4壓力信號(hào)檢測電路，圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中的氫氧保護(hù)輸出電路，圖4至6為本實(shí)用新型背景技術(shù)的原理圖，圖7為本實(shí)用新型控制器的面板圖，圖中1、端子接線板，依次為DC+24V;DC0V;點(diǎn)火信號(hào)；C0M1; SIH4壓力；OUTlSIH4壓超壓；C0M2 ；0UT2 H/0比超；自定義I控制端；自定義2控制端；自定義3控制端；自定義4控制端；自定義5控制端；氮?dú)饪刂贫?；氧氣控制端；氫氣控制端?、PVC面板,3、
9、16、17、18、指示燈，4、接線端子與上位機(jī)通訊口，5、氮?dú)饬髁坑?jì)接口，6、氧氣流量計(jì)接口，
7、氫氣流量計(jì)接口，8、流量計(jì)通訊口，10、校準(zhǔn)開關(guān)，11、第四流量計(jì)接口，12、第五流量計(jì)接口，13、第六流量計(jì)接口，14、第七流量計(jì)接口，15、第八流量計(jì)接口。
具體實(shí)施方式
使用時(shí)，如圖7所示，將該控制器與質(zhì)量流量計(jì)的電氣接頭連接。該控制器把氫氣、氧氣和氮?dú)膺@三種氣體的質(zhì)量流量計(jì)接口和輸出位置一定，不能變，其他氣體接口通過上位機(jī)自定義。該控制器的點(diǎn)化信號(hào)與SIH4壓力信號(hào)的地與COMl相連。氫氧超壓、SIH4超壓信號(hào)是無源觸點(diǎn)，與外部報(bào)警或PLC等控制系統(tǒng)相連。氣體的控制輸出接相應(yīng)的電磁控制氣動(dòng)閥。通過上位機(jī)設(shè)置與上位機(jī)通訊的波特率，選擇質(zhì)量流量計(jì)的廠家，設(shè)置氫氣緩啟動(dòng)時(shí)間，設(shè)置氫氧比例(I. 8:1至2:1)，設(shè)定氣體的順序和限定值，設(shè)置氣體的存儲(chǔ)時(shí)間間隔。 模擬信號(hào)采集部分采用TLC2543，一端通過主通訊口與氣體質(zhì)量流量計(jì)相連，采集·模擬信號(hào)，完成A/D轉(zhuǎn)換，包括11個(gè)模擬輸入通道8路質(zhì)量流量計(jì)模擬輸入通道，I路零點(diǎn)校準(zhǔn)電路，I路滿量程校準(zhǔn)電路，I路SIH4壓力信號(hào)檢測電路。串行口采集模塊通過主通訊口與質(zhì)量流量計(jì)的串行口相連，采集質(zhì)量流量計(jì)的流量信號(hào)。TLC2543采集8路流量計(jì)輸入信號(hào)，進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換。STM8S對(duì)采集的信號(hào)進(jìn)行處理，單片機(jī)外接的FM25256鐵電存儲(chǔ)器對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)記錄。STM8S將信號(hào)輸出，從而啟動(dòng)相應(yīng)的電磁控制氣動(dòng)閥。SIH4壓力和氫氧超壓保護(hù)輸出如圖2和圖3所示，氧的信號(hào)經(jīng)過I. 8倍左右的放大和氫氣信號(hào)通過比較器進(jìn)行比較，在小于I. 8倍時(shí)，多路開關(guān)⑶4052的控制端口 BA的編碼為10，輸出信號(hào)通道為X2，Y2 ;如果氫大于I. 8倍氧，則使多路開關(guān)⑶4052的控制端口 BA編碼為00，此時(shí)多路開關(guān)把輸出轉(zhuǎn)換到Χ0、YO通道上，輸出為零，關(guān)閉氫氧輸出，起到保護(hù)作用。同時(shí)將信號(hào)給單片機(jī)的中斷口，單片機(jī)立即響應(yīng)向外輸出信號(hào)。單片機(jī)檢測到SIH4壓力超也向外輸出信號(hào)，實(shí)現(xiàn)相應(yīng)的保護(hù)。
權(quán)利要求1.半導(dǎo)體設(shè)備氣體混合控制器，其特征在于包括輸入部分、控制處理部分、輸出部分、RS485通訊端口和電源， 輸入部分包括模擬信號(hào)米集模塊、氫氧比例輸入模塊和SIH4壓力輸入模塊， 模擬信號(hào)采集模塊采用芯片TLC2543，一端與氣體質(zhì)量流量計(jì)相連，采集質(zhì)量流量計(jì)的模擬流量信號(hào)，完成A/D轉(zhuǎn)換，包括11個(gè)模擬輸入通道8路質(zhì)量流量計(jì)模擬輸入通道，I路零點(diǎn)校準(zhǔn)電路，I路滿量程校準(zhǔn)電路，I路SIH4壓力信號(hào)檢測電路；另一端與控制處理部分連接； 控制部分采用STM8S單片機(jī)做主機(jī)，STM8S單片機(jī)通過從通訊口與上位機(jī)相連， 輸出部分包括模擬通道輸出模塊、控制通道輸出模塊、氫氧比例保護(hù)輸出模塊和 SIH4超壓輸出模塊， 模擬通道輸出模塊采用芯片AD5668，控制通道輸出模塊采用三極管MJD122G， RS485通訊端口包括主通訊口和從通訊口，主通訊口與數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)相連，采集數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)的流量信號(hào)，從通訊口與上位機(jī)相連， 所述電源采用隔離DC-DC模塊，電源經(jīng)過隔離DC-DC模塊轉(zhuǎn)換為5個(gè)回路氣體質(zhì)量流量計(jì)、模擬通道芯片、單片機(jī)系統(tǒng)、主通訊口和從通訊口所需電源。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體設(shè)備氣體混合控制器，其特征在于所述STM8S單片機(jī)外接存儲(chǔ)器。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的半導(dǎo)體設(shè)備氣體混合控制器，其特征在于所述STM8S單片機(jī)外接FM25256鐵電存儲(chǔ)器和參數(shù)掉電存儲(chǔ)器EEPROM 24C02。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體設(shè)備氣體混合控制器，其特征在于所述控制部分與質(zhì)量流量計(jì)、上位機(jī)、輸入部分和輸出部分光電隔尚。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備氣體混合控制器，采用以下技術(shù)方案包括輸入部分、控制處理部分、輸出部分、RS485通訊端口和電源。輸入部分包括模擬信號(hào)采集模塊、氫氧比例輸入模塊和SIH4壓力輸入模塊，輸出部分包括模擬通道輸出模塊、控制通道輸出模塊、氫氧比例保護(hù)輸出模塊和SIH4超壓輸出模塊，一個(gè)RS485通訊端與數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)相連，另一個(gè)RS485通訊端口與上位機(jī)相連。電源采用隔離DC-DC模塊，電源經(jīng)過隔離DC-DC模塊轉(zhuǎn)換為5個(gè)回路氣體質(zhì)量流量計(jì)、模擬通道芯片、單片機(jī)系統(tǒng)、主通訊口和從通訊口所需電源。本實(shí)用新型控制器可根據(jù)上位機(jī)下達(dá)各氣體的控制規(guī)則和程序來監(jiān)控不同的質(zhì)量流量計(jì)的氣體流量，同時(shí)進(jìn)行互鎖和保護(hù)，可適用于氣體模擬質(zhì)量流量計(jì)或數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)，可與8個(gè)質(zhì)量流量計(jì)相連，特別適用于半導(dǎo)體具有氣體控制的設(shè)備，智能化高、功能強(qiáng)、成本低、精度高、安全可靠。
文檔編號(hào)G05D11/02GK202771275SQ20122043912
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月31日
發(fā)明者李聰, 李春梅, 張瑞芳, 黃明建, 代后兆, 張亞寧 申請(qǐng)人:濟(jì)南大學(xué)