技術編號：6269887
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于控制器領域，具體涉及一種氣體混合控制器。背景技術在半導體器件和集成電路制造中，將某種或某些雜質(zhì)摻入半導體材料內(nèi)，以使材料具有所需要的導電類型和一定的電阻率，用來制造PN結，電阻，埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。通常將摻雜源與運載氣體在源柜中混合，混合后氣流連續(xù)流入擴散爐內(nèi)環(huán)繞晶片四周，在晶片表面沉積上化合物摻雜劑，進而與硅反應生成摻雜金屬。這就需要有一種對幾種氣體流量進行集中控制的管理器。根據(jù)半導體或工藝要求不同，需要氣體種類...
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