專利名稱：一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法及裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及生產(chǎn)線設備控制的技術領域，特別是涉及一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法及一種生產(chǎn)線設備的計時控制裝置。
背景技術：
在目前生產(chǎn)的各個領域，為了滿足設備維修和保養(yǎng)的需要、縮短設備的停機時間， 操作人員必須準確方便地了解當前設備零部件的使用情況，從而便于備件貯備和安排生 產(chǎn)。為保證設備的使用率和正常的生產(chǎn)，對設備零部件的使用壽命進行監(jiān)控是十分重要的。由于設備零部件自身結構的不同，影響零部件使用壽命的因素也各不同。以半 導體刻蝕設備為例，影響其零部件使用壽命的因素主要有以下六種=Wafer Counter, Pin Counter, Time, SRF Hours, BRF Hours 禾口 TMP Hours。其中，Wafer Counter 用于統(tǒng)計 wafer (硅片)的總數(shù)；PinCoimter用于統(tǒng)計pin(針)的升降次數(shù)；Time是設備的使用時 間；SRFHours 用于表示源射頻(Source Radio Frequency, SRF)的啟輝時間；BRF Hours 用于表示下射頻(Bias Radio Frequency, BRF)的啟輝時間；TMP Hours用于表示分子泵 (Turbo Molecular Pump)正常工作的時間?？梢岳斫獾氖?，所述影響零部件使用壽命的因素實質(zhì)上就是與零部件壽命相關的 信息源，也就是說，不同零部件的使用壽命將會直接與某一種或某幾種信息源相關。例如， 對于典型的硅柵刻蝕工藝而言，當SRFHours達到預計壽命時，不同的石英件具有不同的 壽命，如石英窗(Quartzwindow)為2000RF小時，聚焦環(huán)(Focus ring)為300RF小時，即 石英窗和聚焦環(huán)的使用壽命與SRF Hours這個信息源相關；或如，波紋管(Bellow)與Pin Counter這個信息源相關。在實際中，信息源通常具有兩種狀態(tài)0N和0FF，這兩種狀態(tài)表 示影響零部件使用壽命的因素是否正在發(fā)揮作用。相應地，控制系統(tǒng)中一般會設定兩個容 差來衡量零部件的使用情況，軟容差(Soft Tolerance)和硬容差(Hard Tolerance) 0為對設備中不同零部件的壽命進行準確地記錄，在具體應用中，一般會在生產(chǎn)線 設備的控制系統(tǒng)中針對各個零部件設置計時器，以對相應零部件的使用壽命進行計時。具 體可以參考圖1所示的現(xiàn)有技術中一種生產(chǎn)線設備計時控制流程，包括如下步驟步驟101、在設備控制系統(tǒng)啟動后，從指定目錄文件中加載計時器信息；其中，所述計時器信息包括零部件的名稱、信息源、計時器功能是否開啟、計時器 當前值、軟容差和硬容差等信息。步驟102、啟動監(jiān)控累加線程；將獲取到的計時器信息分別賦值為程序中的變量，為計時器的累加做準備。步驟103、檢測信息源狀態(tài)，若為0N，則執(zhí)行步驟104 ；若為0FF，則執(zhí)行步驟105 ；步驟104、判斷計時器的計時功能是否開啟；若是，則執(zhí)行步驟106 ；若否，則執(zhí)行 步驟111 ；步驟105、保存當前計時器的信息至所述硬盤的指定目錄文件，并執(zhí)行步驟111 ；步驟106、計時器累加并更新計時器信息；
步驟107、判斷計時器是否超過軟容差，若是，則執(zhí)行步驟108 ；否則執(zhí)行步驟 109 ；步驟108、拋出PROBLEM報警，提示用戶零部件即將達到使用壽命。步驟109、判斷計時器是否超過硬容差，若是，則執(zhí)行步驟110 ；否則執(zhí)行步驟 111 ；步驟110、拋出ERROR報警，警告用戶零部件已經(jīng)達到使用壽命并應及時更換備 件；步驟111、延遲固定時間后，返回步驟103。這種現(xiàn)有的計時控制方法主要存在以下缺點1、在控制系統(tǒng)運行期間，啟動的監(jiān)控累加線程總是需要在延遲固定的時間內(nèi)循環(huán) 監(jiān)測信息源狀態(tài)的變化，并根據(jù)該變化來決定計數(shù)器是否累加和更新信息。這種輪詢機制 在一定程度上造成了系統(tǒng)資源的浪費，影響了系統(tǒng)性能；并且，采用這種延遲固定時間循 環(huán)監(jiān)測的方案也很難保證實際中計時功能整體執(zhí)行周期的精準性，從而影響計時器的準確 性。2、現(xiàn)有技術將計時器的累加更新和監(jiān)控都放到同一個線程中運行，并在設計時便 將計時器及關聯(lián)的信息源固化在系統(tǒng)中，增加了系統(tǒng)的耦合度、不便于系統(tǒng)的升級和維護。因此，目前需要本領域技術人員迫切解決的一個技術問題就是如何能夠創(chuàng)新地 提出一種生產(chǎn)線設備的計時控制機制，使得用戶可以自行地定制計時器及關聯(lián)的信息源， 同時保證計時周期的精準性，提高計時相關信息的準確性，并降低系統(tǒng)的耦合度，節(jié)約系統(tǒng) 資源，提高系統(tǒng)性能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法及裝置，使得 用戶可以自行地定制計時器及關聯(lián)的信息源，同時保證計時周期的精準性，提高計時相關 信息的準確性，并降低系統(tǒng)的耦合度，節(jié)約系統(tǒng)資源，提高系統(tǒng)性能。為了解決上述技術問題，本發(fā)明實施例公開了一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法， 包括讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信息；啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時器用于按照固定的時間間隔 產(chǎn)生計時周期控制信號；所述計時更新線程用于在計時周期內(nèi)依據(jù)當前的計時控制信息執(zhí) 行計時更新操作。優(yōu)選的，所述計時控制信息包括計時器信息及關聯(lián)的計時信息源信息、計時器的 計數(shù)值，以及報警閾值；所述計時更新操作包括獲得當前計時信息源的狀態(tài)，若為開啟，則通知訂閱該計時信息源的計時器；獲得所述計時器當前的功能狀態(tài)，若為開啟，則更新所述計時器的計數(shù)值；在所述更新的計時器計數(shù)值超出所述報警閾值時，輸出報警信息。優(yōu)選的，所述計時更新操作還包括若當前計時信息源的狀態(tài)為關閉，則判斷當次計時周期的時間是否到達；
若是，則等待下一次計時周期的觸發(fā)；若否，則繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。優(yōu)選的，所述計時更新操作還包括若所述計時器的功能狀態(tài)為關閉，則判斷當次計時周期的時間是否到達；若是，則等待下一次計時周期的觸發(fā)；若否，則繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。優(yōu)選的，所述計時更新操作還包括在所述更新的計時器計數(shù)值未超出所述報警閾值時，判斷當次計時周期的時間是 否到達；若是，則等待下一次計時周期的觸發(fā)；若否，則繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。優(yōu)選的，所述的方法，還包括啟動計時監(jiān)控線程，所述計時監(jiān)控線程用于執(zhí)行文件保存操作，所述文件保存操 作包括每隔一定時間保存所述計時信息文件。優(yōu)選的，所述文件保存操作還包括依據(jù)用戶對計時控制信息的修改操作，觸發(fā)對所述計時信息文件的即時保存。優(yōu)選的，所述計時更新線程和計時監(jiān)控線程并行執(zhí)行。優(yōu)選的，所述的方法，還包括啟動文件備份線程，觸發(fā)第二定時器，所述第二定時器具有設定的文件備份周期； 所述文件備份線程用于按照所述文件備份周期對所述計時信息文件進行備份。優(yōu)選的，所述計時更新線程、計時監(jiān)控線程和文件備份線程并行執(zhí)行。優(yōu)選的，所述計時信息文件依據(jù)其對應的零部件設置。優(yōu)選的，所述報警閾值包括硬容差和軟容差，所述報警信息包括第一報警信息和 第二報警信息；所述超出報警閾值時輸出報警信息的步驟包括判斷所述更新的計時器計數(shù)值是否超過軟容差，若是，則輸出第一報警信息；若否，則判斷所述更新的計時器計數(shù)值是否超過硬容差，若是，則輸出第二報警信 肩、o為解決上述技術問題，本發(fā)明實施例還公開了一種生產(chǎn)線設備的計時控制裝置， 包括文件讀取模塊，用于讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信 息；第一線程控制模塊，用于啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時器用 于按照固定的時間間隔產(chǎn)生計時周期控制信號；所述計時更新線程用于在計時周期內(nèi)依據(jù) 當前的計時控制信息執(zhí)行計時更新操作。優(yōu)選的，所述計時控制信息包括計時器信息及關聯(lián)的計時信息源信息、計時器的 計數(shù)值，以及報警閾值；所述第一線程控制模塊包括計時器通知子模塊，用于在當前計時信息源的狀態(tài)為開啟時，通知訂閱該計時信息源的計時器；計時器更新子模塊，用于在所述計時器當前的功能狀態(tài)為開啟時，更新所述計時 器的計數(shù)值；報警子模塊，用于在所述更新的計時器計數(shù)值超出所述報警閾值時，輸出報警信 肩、o優(yōu)選的，所述第一線程控制模塊還包括第一時間判斷子模塊，用于在當前計時信息源的狀態(tài)為關閉時，判斷當次計時周 期的時間是否到達；若是，則觸發(fā)第一等待子模塊；若否，則觸發(fā)第二等待子模塊；第一等待子模塊，用于等待下一次計時周期的觸發(fā)；第二等待子模塊，用于繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。優(yōu)選的，所述第一線程控制模塊還包括第二時間判斷子模塊，用于在所述計時器的功能狀態(tài)為關閉時，判斷當次計時周 期的時間是否到達；若是，則觸發(fā)第一等待子模塊；若否，則觸發(fā)第二等待子模塊；第一等待子模塊，用于等待下一次計時周期的觸發(fā)；第二等待子模塊，用于繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。優(yōu)選的，所述第一線程控制模塊還包括第三時間判斷子模塊，用于在所述更新的計時器計數(shù)值未超出所述報警閾值時， 判斷當次計時周期的時間是否到達；若是，則觸發(fā)第一等待子模塊；若否，則觸發(fā)第二等待 子模塊；第一等待子模塊，用于等待下一次計時周期的觸發(fā)；第二等待子模塊，用于繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。優(yōu)選的，所述的裝置，還包括第二線程控制模塊，用于啟動計時監(jiān)控線程，所述計時監(jiān)控線程用于執(zhí)行文件保 存操作，所述第二線程控制模塊包括定時保存子模塊，用于每隔一定時間保存所述計時信息文件。優(yōu)選的，所述第二線程控制模塊還包括即時保存子模塊，用于依據(jù)用戶對計時控制信息的修改操作，觸發(fā)對所述計時信 息文件的即時保存。優(yōu)選的，所述計時更新線程和計時監(jiān)控線程并行執(zhí)行。優(yōu)選的，所述的裝置，還包括第三線程控制模塊，用于啟動文件備份線程，觸發(fā)第二定時器，所述第二定時器具 有設定的文件備份周期；所述文件備份線程用于按照所述文件備份周期對所述計時信息文 件進行備份。優(yōu)選的，所述計時更新線程、計時監(jiān)控線程和文件備份線程并行執(zhí)行。優(yōu)選的，所述計時信息文件依據(jù)其對應的零部件設置。優(yōu)選的，所述生產(chǎn)線設備為等離子體刻蝕設備，所述計時器信息包括石英窗 Quartz windowr的計時器信息、內(nèi)襯Liner的計時器信息、噴嘴Nozzle的計時器信息和 /或調(diào)整支架GDP的計時器信息；所述計時器關聯(lián)的計時信息源信息為源射頻的啟輝時間 SRF Hours。
與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點1、本發(fā)明通過在開啟的計時更新線程中啟動一個定時器(第一定時器)，根據(jù)該 定時器產(chǎn)生的恒定間隔的中斷來有節(jié)奏地觸發(fā)和管理各個零部件的計時更新操作，不僅保 證了計時周期的精準性，提高了計時相關信息的準確性，還有效減少了現(xiàn)有的輪詢機制對 系統(tǒng)資源造成的浪費，降低了系統(tǒng)的耦合度；2、本發(fā)明通過開啟計時監(jiān)控線程，在該線程中執(zhí)行間隔一定時間對計時信息文件 進行保存的操作，不僅可以避免頻繁保存對系統(tǒng)造成的壓力，節(jié)省系統(tǒng)的資源，提高系統(tǒng)的 性能，還能有效避免多種異常情況對計時相關信息的破壞。優(yōu)選的是，所述計時監(jiān)控線程還 可以依據(jù)用戶修改計時控制信息的操作，如變更計時器與信息源的關聯(lián)關系、重置軟硬容 差值重置等操作，即時觸發(fā)計時信息文件的保存，從而進一步保證計時信息文件的準確性。3、本發(fā)明還通過開啟文件備份線程啟動一個定時器(第二定時器)，依據(jù)該定時 器所設定的備份周期，自動將計時信息文件進行備份，以規(guī)避在計時信息文件損壞時，計時 信息丟失的潛在風險，使得相關操作人員在文件損壞的情況下，仍然可以了解零部件使用 壽命的近況。4、本發(fā)明中計時更新線程和計時監(jiān)控線程；或者，計時更新線程、計時監(jiān)控線程和 文件備份線程可以隨生產(chǎn)線設備控制系統(tǒng)的啟動而開啟且并行執(zhí)行；并且，本發(fā)明中各個 零部件計時器與其信息源的關聯(lián)關系可以由相關操作人員根據(jù)實際生產(chǎn)需要自行定制，從 而進一步降低了系統(tǒng)的耦合度，便于系統(tǒng)的升級和維護。5、本發(fā)明中計時信息文件依據(jù)其對應的零部件設置，而不是如現(xiàn)有技術中對計時 信息的讀取和保存都在同一個文件上進行，從而更有利于保證計時信息的準確性。


圖1是一種半導體刻蝕設備硬件系統(tǒng)的結構示意圖；圖2是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法實施例1的步驟流程圖；圖3是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法實施例2的步驟流程圖；圖4是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法實施例3的步驟流程圖；圖5是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法實施例4的步驟流程圖；圖6是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制裝置實施例1的結構框圖；圖7是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制裝置實施例2的結構框圖；圖8是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制裝置實施例3的結構框圖。
具體實施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖和具體實 施方式對本發(fā)明作進一步詳細的說明。本發(fā)明可用于眾多通用或專用的計算系統(tǒng)環(huán)境或配置中。例如多處理器系統(tǒng)、服 務器、網(wǎng)絡PC、小型計算機、大型計算機、包括以上任何系統(tǒng)或設備的分布式計算環(huán)境等等。本發(fā)明可以在由計算機執(zhí)行的計算機可執(zhí)行指令的一般上下文中描述，例如程序 單元。一般地，程序單元包括執(zhí)行特定任務或實現(xiàn)特定抽象數(shù)據(jù)類型的例程、程序、對象、組 件、數(shù)據(jù)結構等等。也可以在分布式計算環(huán)境中實踐本發(fā)明，在這些分布式計算環(huán)境中，由通過通信網(wǎng)絡而被連接的遠程處理設備來執(zhí)行任務。在分布式計算環(huán)境中，程序單元可以 位于包括存儲設備在內(nèi)的本地和遠程計算機存儲介質(zhì)中。參考圖2，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法實施例1的步驟流程 圖，具體可以包括以下步驟步驟201、讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信息；步驟202、啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時器用于按照固定的 時間間隔產(chǎn)生計時周期控制信號；所述計時更新線程用于在計時周期內(nèi)依據(jù)當前的計時控 制信息執(zhí)行計時更新操作。對于生產(chǎn)線設備一般均配置有相應的控制系統(tǒng)以控制生產(chǎn)線設備的運行，為監(jiān)控 生產(chǎn)線設備中各個零部件的使用情況，通常會針對各個零部件配置計時器，各個計時器計 時的依據(jù)直接與一種或幾種信息源相關。在本發(fā)明實施例中，各個零部件計時器與其信息 源的關聯(lián)關系可以由相關操作人員根據(jù)實際生產(chǎn)需要自行定制，寫入計時信息文件中，而 無需在設計時固化在系統(tǒng)中，從而降低系統(tǒng)的耦合度，便于系統(tǒng)的升級和維護。為盡可能真實地反映零部件的使用壽命，在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，對于進 行計時控制所需的與計時器相關的信息(在本發(fā)明實施例中稱之為計時控制信息)，可以 依據(jù)其所對應的零部件，單獨保存在一份文件中(在本發(fā)明實施例中稱之為計時信息文 件)。而不是采用現(xiàn)有技術中將所有零部件的計時控制信息都在同一個文件中的方式，從而 降低文件頻繁讀寫帶來的出錯概率，以及，避免出現(xiàn)在文件異常損壞時，相關操作人員完全 無法獲知計時控制信息的情形。在具體實現(xiàn)中，隨著控制系統(tǒng)的啟動，會觸發(fā)生產(chǎn)線設備中相應零部件的計時信 息文件的讀取操作，在獲得計時信息文件中記錄的計時控制信息后，如零部件名稱、計時器 信息及其關聯(lián)的計時信息源信息、計時器的計數(shù)值、計時器的報警閾值等，啟動計時更新線 程，在該線程中設置有一個定時器(第一定時器)，該定時器用于按照固定的時間間隔產(chǎn)生 計時周期控制信號，在計時更新線程中，將在該定時器設定的一個計時周期內(nèi)完成一次計 時更新的操作?，F(xiàn)有技術中計時器累加更新的時間受到控制系統(tǒng)和硬件的影響，所以現(xiàn)有技術盡 管在設計中延遲固定時間，但計時器累加更新的時間和延遲的固定時間的總時間不固定， 即循環(huán)監(jiān)控的時間會產(chǎn)生變化，進而導致計時周期不夠精確。而本發(fā)明的計時周期由一個 獨立定時器來實現(xiàn)，通過這種定時器產(chǎn)生的恒定間隔的中斷，來有節(jié)奏地觸發(fā)和管理各個 零部件的計時更新操作，相對于現(xiàn)有技術中采用的延遲固定時間的輪詢機制而言，本發(fā)明 不僅保證了計時周期的精準性，提高了計時控制信息的準確性，還有效減少了輪詢機制對 系統(tǒng)資源造成的浪費，節(jié)約了系統(tǒng)資源，提高了系統(tǒng)性能，并降低了系統(tǒng)的耦合度。參考圖3，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法實施例2的步驟流程 圖，具體可以包括以下步驟步驟301、讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信息，所述計時 控制信息包括計時器信息及關聯(lián)的計時信息源信息、計時器的計數(shù)值，以及，作為報警閾 值的軟容差和硬容差；步驟302、啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時器用于按照固定的 時間間隔產(chǎn)生計時周期控制信號；
步驟303、獲得當前計時信息源的狀態(tài)，若為開啟(0N)，則執(zhí)行步驟304 ；若為關閉 (OFF)，則執(zhí)行步驟311 ；在實際中，計時信息源狀態(tài)用于表示影響零部件使用壽命的因素是否正在發(fā)揮作 用。因為在實際使用中，零部件不是時時處于使用中。通常，當零部件關閉或低于設定的衡 量值時，信息源狀態(tài)表示為OFF ；當零部件啟動或達到設定的衡量值時，信息源狀態(tài)表示為
ON0
步驟304、通知訂閱該計時信息源的計時器；步驟305、獲得所述計時器當前的功能狀態(tài)，若為開啟，則執(zhí)行步驟306 ；若為關 閉，則執(zhí)行步驟311 ；步驟306、更新所述計時器的計數(shù)值；例如，依據(jù)從文件中讀取的計時器計數(shù)值進行累加。步驟307、判斷所述更新的計時器計數(shù)值是否超過軟容差，若是，則執(zhí)行步驟308 ； 若否，則執(zhí)行步驟311 ；步驟308、輸出第一報警信息；在實際中，所述第一報警信息可以為PROBLEM報警信息，以提示用戶零部件即將 達到使用壽命。步驟309、判斷所述更新的計時器計數(shù)值是否超過硬容差，若是，則執(zhí)行步驟310 ； 若否，則執(zhí)行步驟311 ；步驟310、輸出第二報警信息；在實際中，所述第二報警信息可以為ERROR報警，警告用戶零部件已經(jīng)達到使用 壽命并應及時更換備件。此時，用戶可以使用備件將已達到使用壽命的零部件替換，重置計時器使其重新 開始計時；或者，可以選擇繼續(xù)使用已經(jīng)達到使用壽命的零部件，將計時器功能暫停，暫時 不再使用計時器的計時功能。步驟311、判斷當次計時周期的時間是否到達，若是，則執(zhí)行步驟312 ；若否，則返 回繼續(xù)等待至當次計時周期的時間到達。步驟312、等待下一次計時周期的觸發(fā)，然后返回至步驟303。在具體實現(xiàn)中，當生產(chǎn)線設備的控制系統(tǒng)啟動后，首先從指定的計時信息文件中 加載計時控制信息，在本實施例中，所述計時控制信息包括計時器信息及關聯(lián)的計時信息 源信息、計時器的計數(shù)值，以及作為報警閾值的軟容差和硬容差等，其中，計時器信息可以 包括計時器的功能狀態(tài)，計時信息源信息可以包括計時信息源的狀態(tài)。在實際中，所述計時 控制信息還可以進一步包括零部件的名稱等。然后，將讀取到的計時控制信息分別賦值為 程序中的變量。在這種情況下，所述計時器的功能狀態(tài)、計時信息源的狀態(tài)及計時器的計數(shù) 值在每次變化或更新時，會自動反映在相應的變量中，即上述信息并不需要系統(tǒng)每次讀取 才能獲得。在第一定時器的計時周期控制過程中，會根據(jù)當前信息源的狀態(tài)變量來決定是否 打開事件觸發(fā)器，即定時器的計時周期控制可以和計時信息源的狀態(tài)變量相結合，組成事 件觸發(fā)器，從而實現(xiàn)以事件(委托)的方式通知已經(jīng)訂閱信息來源的計時器。具體而言，如 果當前計時信息源的狀態(tài)為0N，則打開事件觸發(fā)器，通知所有已經(jīng)訂閱此信息來源的計時器，繼而在事件的回調(diào)函數(shù)中對這些計時器進行累加和信息的更新。如果當前計時信息源 的狀態(tài)為OFF，則不開啟事件觸發(fā)器，繼續(xù)等待下一次第一定時器的計時周期觸發(fā)信號。參考圖4，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法實施例3的步驟流程 圖，具體可以包括以下步驟步驟41、讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信息，所述計時控 制信息包括計時器信息及關聯(lián)的計時信息源信息、計時器的計數(shù)值，以及，報警閾值；步驟42a、啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時器用于按照固定的 時間間隔產(chǎn)生計時周期控制信號；所述計時更新線程用于在計時周期內(nèi)依據(jù)當前的計時控 制信息執(zhí)行計時更新操作，具體可以包括以下子步驟子步驟421、獲得當前計時信息源的狀態(tài)，若為開啟，則通知訂閱該計時信息源的 計時器；子步驟422、獲得所述計時器當前的功能狀態(tài)，若為開啟，則更新所述計時器的計 數(shù)值；子步驟423、在所述更新的計時器計數(shù)值超出所述報警閾值時，輸出報警信息。步驟42b、啟動計時監(jiān)控線程，所述計時監(jiān)控線程用于執(zhí)行文件保存操作，具體可 以包括以下子步驟子步驟424、每隔一定時間保存所述計時信息文件；子步驟425、依據(jù)用戶對計時控制信息的修改操作，觸發(fā)對所述計時信息文件的即 時保存。其中，所述計時更新線程和計時監(jiān)控線程并行執(zhí)行。本實施例調(diào)整了對于計時信息文件保存的時機，在實際中，計時監(jiān)控線程會每隔 一段時間對計時信息文件進行保存(定時保存)，從而避免頻繁保存對系統(tǒng)造成的壓力；并 且，計時監(jiān)控線程還可以監(jiān)測計時控制信息被用戶修改的情況，如修改計時器與信息來源 的關聯(lián)關系、軟硬容差值的重置等，一旦發(fā)現(xiàn)上述信息發(fā)生變化，則直接以事件的方式通知 系統(tǒng)進行計時信息文件的保存(即時保存)。從而進一步保證計時信息文件的準確性。參考圖5，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法實施例4的步驟流程 圖，具體可以包括以下步驟步驟51、讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信息，所述計時控 制信息包括計時器信息及關聯(lián)的計時信息源信息、計時器的計數(shù)值，以及，軟容差和硬容 差；步驟52a、啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時器用于按照固定的 時間間隔產(chǎn)生計時周期控制信號；所述計時更新線程用于在計時周期內(nèi)依據(jù)當前的計時控 制信息執(zhí)行計時更新操作；其中，所述計時更新操作可以包括子步驟al、獲得當前計時信息源的狀態(tài)，若為開啟(0N)，則執(zhí)行子步驟a2 ；若為關 閉(OFF)，則執(zhí)行子步驟a9;子步驟a2、通知訂閱該計時信息源的計時器；子步驟a3、獲得所述計時器當前的功能狀態(tài)，若為開啟，則執(zhí)行子步驟a4;若為關 閉，則執(zhí)行子步驟a9;
子步驟a4、更新所述計時器的計數(shù)值；子步驟a5、判斷所述更新的計時器計數(shù)值是否超過軟容差，若是，則執(zhí)行子步驟 a6 ；若否，則執(zhí)行子步驟a7;子步驟a6、輸出第一報警信息；子步驟a7、判斷所述更新的計時器計數(shù)值是否超過硬容差，若是，則執(zhí)行子步驟 a8 ；若否，則執(zhí)行子步驟a9;子步驟a8、輸出第二報警信息；子步驟a9、判斷當次計時周期的時間是否到達，若是，則執(zhí)行子步驟alO ；若否，則 返回繼續(xù)等待至當次計時周期的時間到達。子步驟alO、等待下一次計時周期的觸發(fā)，然后返回至子步驟al。步驟52b、啟動計時監(jiān)控線程，所述計時監(jiān)控線程用于執(zhí)行文件保存操作；其中，所述文件保存操作可以包括子步驟bl、每隔一定時間保存所述計時信息文件；子步驟b2、依據(jù)用戶對計時控制信息的修改操作，觸發(fā)對所述計時信息文件的即 時保存。步驟52c、啟動文件備份線程，觸發(fā)第二定時器，所述第二定時器具有設定的文件 備份周期；所述文件備份線程用于按照所述文件備份周期對所述計時信息文件進行備份。其中，所述計時更新線程、計時監(jiān)控線程和文件備份線程并行執(zhí)行。本實施例進一步增加了計時信息文件的備份功能，即通過啟動一個文件備份線 程，觸發(fā)一個第二定時器，實現(xiàn)每隔固定的備份周期，如1天，自動將計時信息文件進行備 份。以規(guī)避在計時信息文件損壞時，計時信息丟失的潛在風險，使得相關操作人員在文件損 壞的情況下，仍然可以了解零部件使用壽命的近況。為使本領域技術人員更好地理解本發(fā)明，以下提供一種本發(fā)明在半導體刻蝕設備 上的實際應用示例對于典型的硅柵刻蝕工藝而言，以典型的SRF Hours信息源為例，與此信息源相關 的零部件有石英窗(Quartz window)、內(nèi)襯(Liner)、噴嘴(Nozzle)和調(diào)整支架(OTP)的等。 而各零部件的使用壽命又各不相同。在實際應用中，對于各個零部件，即石英窗、內(nèi)襯、噴嘴 和調(diào)整支架用戶可以根據(jù)需要配置和定義對應的計時器。當設備控制軟件啟動時，各個計 時器的計時更新線程、計時監(jiān)控線程和文件備份線程都隨設備軟件的啟動而啟動，SRF則會 根據(jù)相應工藝的要求而打開。在計時更新線程啟動時，第一定時器觸發(fā)一次計時周期開始，在該次計時周期內(nèi)， 系統(tǒng)會根據(jù)SRF的開啟狀態(tài)通知相應各零部件的計時器，即石英窗、內(nèi)襯、噴嘴和調(diào)整支架 的計時器，然后根據(jù)計時器當前的功能狀態(tài)是否開啟來決定是否更新記錄各零部件壽命的 數(shù)據(jù)，并在更新的計時器計數(shù)值后即檢查計數(shù)值是否超過預置的報警閾值時，若超過報警 閾值則拋出報警信息。在實際中，設備軟件會為每個零部件的計時器配置一個計時信息文件，即在本例 中，會配置石英窗、內(nèi)襯、噴嘴和調(diào)整支架的計時信息文件，在啟動計時監(jiān)控線程時，基于預 設的時間間隔，就會自動保存所述計時信息文件。不同的生產(chǎn)線設備有不同的信息源，零部 件與信息源的關聯(lián)關系也不盡相同。
如果用戶對某個零部件的計時控制信息發(fā)起了修改，那么所述計時監(jiān)控線程還會 即時保存當前的計時信息文件。即在本例中，用戶修改閾值、改變計時器當前的功能狀態(tài)、 重新定義信息源的關聯(lián)關系如將聚焦環(huán)與SRF的關聯(lián)關系改為與BRF的關聯(lián)關系等情況。在文件備份線程啟動后，第二定時器會循環(huán)觸發(fā)文件備份周期的開始，以按照該 文件備份周期對所述計時信息文件進行備份。對于前述的各方法實施例，為了簡單描述，故將其都表述為一系列的動作組合，但 是本領域技術人員應該知悉，本發(fā)明并不受所描述的動作順序的限制，因為依據(jù)本發(fā)明，某 些步驟可以采用其他順序或者同時進行。其次，本領域技術人員也應該知悉，說明書中所描 述的實施例均屬于優(yōu)選實施例，所涉及的動作和單元并不一定是本發(fā)明所必須的。參考圖6，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制裝置實施例1的結構框圖， 具體可以包括以下模塊文件讀取模塊601，用于讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信 息；第一線程控制模塊602，用于啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時 器用于按照固定的時間間隔產(chǎn)生計時周期控制信號；所述計時更新線程用于在計時周期內(nèi) 依據(jù)當前的計時控制信息執(zhí)行計時更新操作。 在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述計時控制信息可以包括計時器信息及關聯(lián) 的計時信息源信息、計時器的計數(shù)值，以及，報警閾值；在這種情況下，所述第一線程控制模 塊可以包括以下子模塊計時器通知子模塊，用于在當前計時信息源的狀態(tài)為開啟時，通知訂閱該計時信 息源的計時器；計時器更新子模塊，用于在所述計時器當前的功能狀態(tài)為開啟時，更新所述計時 器的計數(shù)值；報警子模塊，用于在所述更新的計時器計數(shù)值超出所述報警閾值時，輸出報警信 肩、o更為優(yōu)選的是，所述第一線程控制模塊還可以包括以下子模塊第一時間判斷子模塊，用于在當前計時信息源的狀態(tài)為關閉時，判斷當次計時周 期的時間是否到達；若是，則觸發(fā)第一等待子模塊；若否，則觸發(fā)第二等待子模塊；第一等待子模塊，用于等待下一次計時周期的觸發(fā)；第二等待子模塊，用于繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。更為優(yōu)選的是，所述第一線程控制模塊還可以包括以下子模塊第二時間判斷子模塊，用于在所述計時器的功能狀態(tài)為關閉時，判斷當次計時周 期的時間是否到達；若是，則觸發(fā)第一等待子模塊；若否，則觸發(fā)第二等待子模塊；第一等待子模塊，用于等待下一次計時周期的觸發(fā)；第二等待子模塊，用于繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。更為優(yōu)選的是，所述第一線程控制模塊還可以包括以下子模塊第三時間判斷子模塊，用于在所述更新的計時器計數(shù)值未超出所述報警閾值時， 判斷當次計時周期的時間是否到達；若是，則觸發(fā)第一等待子模塊；若否，則觸發(fā)第二等待 子模塊；
第一等待子模塊，用于等待下一次計時周期的觸發(fā)；第二等待子模塊，用于繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。參考圖7，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制裝置實施例2的結構框圖，具體可以包括以下模塊文件讀取模塊701，用于讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信 息；第一線程控制模塊702，用于啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時 器用于按照固定的時間間隔產(chǎn)生計時周期控制信號；所述計時更新線程用于在計時周期內(nèi) 依據(jù)當前的計時控制信息執(zhí)行計時更新操作。第二線程控制模塊703，用于啟動計時監(jiān)控線程，所述計時監(jiān)控線程用于執(zhí)行文件 保存操作，所述第二線程控制模塊可以包括定時保存子模塊，用于每隔一定時間保存所述計時信息文件。在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述第二線程控制模塊還可以包括即時保存子模塊，用于依據(jù)用戶對計時控制信息的修改操作，觸發(fā)對所述計時信 息文件的即時保存。在本實施例中，所述計時更新線程和計時監(jiān)控線程并行執(zhí)行。參考圖8，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設備的計時控制裝置實施例3的結構框圖， 具體可以包括以下模塊文件讀取模塊801，用于讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信 息；第一線程控制模塊802，用于啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時 器用于按照固定的時間間隔產(chǎn)生計時周期控制信號；所述計時更新線程用于在計時周期內(nèi) 依據(jù)當前的計時控制信息執(zhí)行計時更新操作。第二線程控制模塊803，用于啟動計時監(jiān)控線程，所述計時監(jiān)控線程用于執(zhí)行文件 保存操作。第三線程控制模塊804，用于啟動文件備份線程，觸發(fā)第二定時器，所述第二定時 器具有設定的文件備份周期；所述文件備份線程用于按照所述文件備份周期對所述計時信 息文件進行備份。在本實施例中，所述計時更新線程、計時監(jiān)控線程和文件備份線程并行執(zhí)行。
在本發(fā)明實施例中，所述計時信息文件可以依據(jù)其對應的零部件設置。由于本發(fā)明的裝置實施例基本相應于前述方法實施例，故上述裝置實施例中的描 述未詳盡之處，可以參見前述方法實施例中的相關說明，在此就不贅述了。本說明書中的各個實施例均采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與 其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即可。最后，還需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關系術語僅僅用來將 一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作 之間存在任何這種實際的關系或者順序。以上對本發(fā)明所提供的一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法及一種生產(chǎn)線設備的計 時控制裝置進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本發(fā)明的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時，對于本領域的 一般技術人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實施方式
及應用范圍上均會有改變之處，綜上所 述，本說明書內(nèi)容不應理解為對本發(fā)明的限制。
權利要求
一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法，其特征在于，包括讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信息；啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時器用于按照固定的時間間隔產(chǎn)生計時周期控制信號；所述計時更新線程用于在計時周期內(nèi)依據(jù)當前的計時控制信息執(zhí)行計時更新操作。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述計時控制信息包括計時器信息及關聯(lián) 的計時信息源信息、計時器的計數(shù)值，以及報警閾值；所述計時更新操作包括獲得當前計時信息源的狀態(tài)，若為開啟，則通知訂閱該計時信息源的計時器； 獲得所述計時器當前的功能狀態(tài)，若為開啟，則更新所述計時器的計數(shù)值； 在所述更新的計時器計數(shù)值超出所述報警閾值時，輸出報警信息。
3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述計時更新操作還包括 若當前計時信息源的狀態(tài)為關閉，則判斷當次計時周期的時間是否到達；若是，則等待下一次計時周期的觸發(fā)；若否，則繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。
4.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述計時更新操作還包括 若所述計時器的功能狀態(tài)為關閉，則判斷當次計時周期的時間是否到達；若是，則等待下一次計時周期的觸發(fā)；若否，則繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。
5.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述計時更新操作還包括在所述更新的計時器計數(shù)值未超出所述報警閾值時，判斷當次計時周期的時間是否到達；若是，則等待下一次計時周期的觸發(fā)；若否，則繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。
6.如權利要求1、2、3、4或5所述的方法，其特征在于，還包括啟動計時監(jiān)控線程，所述計時監(jiān)控線程用于執(zhí)行文件保存操作，所述文件保存操作包括每隔一定時間保存所述計時信息文件。
7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述文件保存操作還包括依據(jù)用戶對計時控制信息的修改操作，觸發(fā)對所述計時信息文件的即時保存。
8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述計時更新線程和計時監(jiān)控線程并行執(zhí)行。
9.如權利要求6所述的方法，其特征在于，還包括啟動文件備份線程，觸發(fā)第二定時器，所述第二定時器具有設定的文件備份周期；所述 文件備份線程用于按照所述文件備份周期對所述計時信息文件進行備份。
10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，所述計時更新線程、計時監(jiān)控線程和文件 備份線程并行執(zhí)行。
11.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述計時信息文件依據(jù)其對應的零部件設置。
12.如權利要求2或5所述的方法，其特征在于，所述報警閾值包括硬容差和軟容差，所 述報警信息包括第一報警信息和第二報警信息；所述超出報警閾值時輸出報警信息的步驟 包括判斷所述更新的計時器計數(shù)值是否超過軟容差，若是，則輸出第一報警信息； 若否，則判斷所述更新的計時器計數(shù)值是否超過硬容差，若是，則輸出第二報警信息。
13.—種生產(chǎn)線設備的計時控制裝置，其特征在于，包括文件讀取模塊，用于讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信息； 第一線程控制模塊，用于啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時器用于按 照固定的時間間隔產(chǎn)生計時周期控制信號；所述計時更新線程用于在計時周期內(nèi)依據(jù)當前 的計時控制信息執(zhí)行計時更新操作。
14.如權利要求13所述的裝置，其特征在于，所述計時控制信息包括計時器信息及關 聯(lián)的計時信息源信息、計時器的計數(shù)值，以及報警閾值；所述第一線程控制模塊包括計時器通知子模塊，用于在當前計時信息源的狀態(tài)為開啟時，通知訂閱該計時信息源 的計時器；計時器更新子模塊，用于在所述計時器當前的功能狀態(tài)為開啟時，更新所述計時器的 計數(shù)值；報警子模塊，用于在所述更新的計時器計數(shù)值超出所述報警閾值時，輸出報警信息。
15.如權利要求14所述的裝置，其特征在于，所述第一線程控制模塊還包括第一時間判斷子模塊，用于在當前計時信息源的狀態(tài)為關閉時，判斷當次計時周期的 時間是否到達；若是，則觸發(fā)第一等待子模塊；若否，則觸發(fā)第二等待子模塊； 第一等待子模塊，用于等待下一次計時周期的觸發(fā)； 第二等待子模塊，用于繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。
16.如權利要求14所述的裝置，其特征在于，所述第一線程控制模塊還包括第二時間判斷子模塊，用于在所述計時器的功能狀態(tài)為關閉時，判斷當次計時周期的 時間是否到達；若是，則觸發(fā)第一等待子模塊；若否，則觸發(fā)第二等待子模塊； 第一等待子模塊，用于等待下一次計時周期的觸發(fā)； 第二等待子模塊，用于繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。
17.如權利要求14所述的裝置，其特征在于，所述第一線程控制模塊還包括第三時間判斷子模塊，用于在所述更新的計時器計數(shù)值未超出所述報警閾值時，判斷 當次計時周期的時間是否到達；若是，則觸發(fā)第一等待子模塊；若否，則觸發(fā)第二等待子模 塊；第一等待子模塊，用于等待下一次計時周期的觸發(fā)； 第二等待子模塊，用于繼續(xù)等待當次計時周期的時間到達。
18.如權利要求13、14、15、16或17所述的裝置，其特征在于，還包括第二線程控制模塊，用于啟動計時監(jiān)控線程，所述計時監(jiān)控線程用于執(zhí)行文件保存操 作，所述第二線程控制模塊包括定時保存子模塊，用于每隔一定時間保存所述計時信息文件。
19.如權利要求18所述的裝置，其特征在于，所述第二線程控制模塊還包括即時保存子模塊，用于依據(jù)用戶對計時控制信息的修改操作，觸發(fā)對所述計時信息文 件的即時保存。
20.如權利要求19所述的裝置，其特征在于，所述計時更新線程和計時監(jiān)控線程并行執(zhí)行。
21.如權利要求18所述的裝置，其特征在于，還包括第三線程控制模塊，用于啟動文件備份線程，觸發(fā)第二定時器，所述第二定時器具有設 定的文件備份周期；所述文件備份線程用于按照所述文件備份周期對所述計時信息文件進 行備份。
22.如權利要求21所述的裝置，其特征在于，所述計時更新線程、計時監(jiān)控線程和文件 備份線程并行執(zhí)行。
23.如權利要求13所述的裝置，其特征在于，所述計時信息文件依據(jù)其對應的零部件設置。
24.如權利要求14所述的裝置，其特征在于，所述生產(chǎn)線設備為等離子體刻蝕設備，所 述計時器信息包括石英窗Quartz windowr的計時器信息、內(nèi)襯Liner的計時器信息、噴嘴 Nozzle的計時器信息和/或調(diào)整支架GDP的計時器信息；所述計時器關聯(lián)的計時信息源信 息為源射頻的啟輝時間SRF Hours。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種生產(chǎn)線設備的計時控制方法，包括讀取計時信息文件，所述計時信息文件記錄有計時控制信息；啟動計時更新線程，觸發(fā)第一定時器，所述第一定時器用于按照固定的時間間隔產(chǎn)生計時周期控制信號；所述計時更新線程用于在計時周期內(nèi)依據(jù)當前的計時控制信息執(zhí)行計時更新操作。本發(fā)明可以使得用戶可以自行地定制計時器及關聯(lián)的信息源，同時保證計時周期的精準性，提高計時相關信息的準確性，并降低系統(tǒng)的耦合度，節(jié)約系統(tǒng)資源，提高系統(tǒng)性能。
文檔編號G05B19/418GK101866171SQ20101016130
公開日2010年10月20日 申請日期2010年4月28日 優(yōu)先權日2010年4月28日
發(fā)明者高建強 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司