專利名稱：伺服電動機控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于對機床等具備的伺服電動機的動作進行控制的伺服 電動機控制裝置(以下簡稱為控制裝置)。
背景技術(shù)：
在對伺服電動機進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動并可滑動地具有與滾珠絲杠等進給軸 連接的工作臺等的普通機床中， 一邊使伺服電動機進行正轉(zhuǎn)/反轉(zhuǎn)一邊進 行定位，因此在進給軸等彈性變形部上會產(chǎn)生稱作松動的彈性變形誤差。所以，在控制裝置中具有用于修正該誤差的修正部。此處，根據(jù)圖6和 圖7對現(xiàn)有的控制裝置(例如，專利文獻l)進行說明。圖6是示出機床 的說明圖，圖7是現(xiàn)有的控制裝置61的結(jié)構(gòu)框圖。機床在床身71上固定一對托架72、 72，并在托架72、 72之間架設(shè) 滾珠絲杠73。并且，在與滾珠絲杠73旋合的螺母74上安裝有工作臺75, 通過伺服電動機76使?jié)L珠絲杠73旋轉(zhuǎn)，從而使工作臺75向左右方向滑 動。另外，滾珠絲杠73經(jīng)由未圖示的軸承被樞軸支撐在托架72上。另一方面，控制裝置61用于對伺服電動機76的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動進行控制， 并由以下部分組裝而成使所輸入的NC位置指令與來自設(shè)在伺服電動 機76上的位置檢測器62的位置反饋信號之間的偏差成為零的位置環(huán)； 和使用對位置反饋信號進行微分而得到的速度反饋信號的速度環(huán)，基于 這兩個環(huán)來控制伺服電動機76的扭矩指令值。另外，在控制裝置61中 具有用于檢測伺服電動機76的旋轉(zhuǎn)方向的正反的正反檢測部63，并且具 有扭矩修正部64，該扭矩修正部64用于在該正反檢測部63中檢測到伺 服電動機76反轉(zhuǎn)的情況下修正扭矩指令值。在上述這種控制裝置61中預(yù)先進行試運轉(zhuǎn)，將反轉(zhuǎn)時的扭矩指令值 的最大值(圖8 (a)中的TjA)與最小值(圖8 (a)中的TjB)之差(AT)除以2的值作為修正基準(zhǔn)扭矩，并與進給速度等對應(yīng)地存儲在工作臺中，在實際加工時，在通過正反檢測部63檢測到伺服電動機76的反轉(zhuǎn)時，進行這樣的控制根據(jù)此時的進給速度等讀出相對應(yīng)的修正基準(zhǔn)扭矩來修正扭矩指令值。另外，圖8 (a)是表示在試運轉(zhuǎn)時扭矩指令信號 的變化的圖。專利文獻1:日本特開平10-63325號公報在上述這種控制裝置中，如圖8 (a)所示，根據(jù)反轉(zhuǎn)后最終收斂的 扭矩指令值進行修正，如圖8 (b)所示，采取伴隨反轉(zhuǎn)使轉(zhuǎn)矩呈階梯形 地變化來推定彈性變形誤差并實施修正。但是，實際上，在反轉(zhuǎn)以后扭 矩并不呈階梯形地反轉(zhuǎn)，而是逐漸增加反轉(zhuǎn)方向的扭矩，從而收斂成為最終的扭矩值。因此，在現(xiàn)有的控制裝置中，在從伺服電動機反轉(zhuǎn)之后 到扭矩值收斂為預(yù)定的值這期間產(chǎn)生推定誤差，進而導(dǎo)致定位精度降低。 另外，在使伺服電動機反轉(zhuǎn)的情況下，由于還存在不作用在滾珠絲 杠等彈性變形部上的扭矩(例如滾珠絲杠的軸承部中的旋轉(zhuǎn)阻力等)，所 以優(yōu)選將這種不作用在彈性變形部上的扭矩等也考慮進來對彈性變形誤 差進行推定。發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠更加準(zhǔn)確地推定彈性變形誤 差來實現(xiàn)定位精度進一步提高的控制裝置。為了達到上述目的，本發(fā)明中第一方面所述的發(fā)明是一種伺服電動 機控制裝置，其根據(jù)伺服電動機的扭矩指令值對經(jīng)由彈性體與上述伺服 電動機連接的移動體的位置進行修正，其特征在于，該伺服電動機控制 裝置包括用于檢測上述伺服電動機的旋轉(zhuǎn)方向的旋轉(zhuǎn)方向檢測部；用 于運算上述伺服電動機的旋轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)角度運算部；用于運算上述伺 服電動機側(cè)的旋轉(zhuǎn)阻力的旋轉(zhuǎn)阻力運算部；以及用于運算彈性體的變形 誤差量的彈性變形誤差量運算部，在上述旋轉(zhuǎn)方向檢測部中檢測到上述 伺服電動機的反轉(zhuǎn)時，利用上述旋轉(zhuǎn)阻力運算部，根據(jù)反轉(zhuǎn)以后的上述 伺服電動機的旋轉(zhuǎn)角度來運算旋轉(zhuǎn)阻力，并根據(jù)算出的旋轉(zhuǎn)阻力和伺服電動機的扭矩指令值在上述彈性變形誤差量運算部中計算彈性變形誤差 量，并對上述移動體的位置進行修正。第二方面的發(fā)明的特征在于，在第一方面的發(fā)明的基礎(chǔ)上，旋轉(zhuǎn)阻力運算部根據(jù)下面的公式運算旋轉(zhuǎn)阻力。另外，式中的TA^是最終收斂成的旋轉(zhuǎn)阻力(常數(shù))，卻。表示進行旋轉(zhuǎn)阻力成為零的反轉(zhuǎn)以后的旋轉(zhuǎn)角度(常數(shù))。另外，朋是在旋轉(zhuǎn)角度 運算部中算出的旋轉(zhuǎn)角度。朋 T寸T — T (朋—朋0)TBrg=2.TAmp.^,_TAmp或TBrg=TAmP (5^ + 3^) 第三方面的發(fā)明的特征在于，在第一方面的發(fā)明的基礎(chǔ)上，該伺服電動機控制裝置包括用符號表示伺服電動機旋轉(zhuǎn)方向的旋轉(zhuǎn)方向運算 部；以及用于存儲在反轉(zhuǎn)時的旋轉(zhuǎn)阻力的反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力存儲部，在旋 轉(zhuǎn)方向檢測部中檢測到上述伺服電動機的反轉(zhuǎn)時，暫時將此時的旋轉(zhuǎn)阻 力存儲于上述反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力存儲部中，并通過旋轉(zhuǎn)阻力運算部基于反 轉(zhuǎn)以后的上述伺服電動機的旋轉(zhuǎn)角度、上述伺服電動機的旋轉(zhuǎn)方向以及 存儲在上述反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力存儲部中的旋轉(zhuǎn)阻力來運算旋轉(zhuǎn)阻力。第四方面的發(fā)明的特征在于，在第三方面的發(fā)明的基礎(chǔ)上，旋轉(zhuǎn)阻 力運算部根據(jù)下面的公式運算旋轉(zhuǎn)阻力。另外，式中的sign(句是在旋轉(zhuǎn)方向運算部中算出的函數(shù)值，Trev^是存儲在反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力存儲部中的旋轉(zhuǎn)阻力。. 朋<formula>formula see original document page 6</formula>根據(jù)本發(fā)明，由于將不作用在滾珠絲杠等彈性變形部上的扭矩(滾 珠絲杠側(cè)的旋轉(zhuǎn)阻力)也考慮進來對彈性變形誤差量進行計算，所以能 夠比以往更加準(zhǔn)確地推定彈性變形誤差量，從而能夠提高移動體的定位 精度。另外，在伺服電動機反轉(zhuǎn)時，由于根據(jù)反轉(zhuǎn)以后的伺服電動機的旋 轉(zhuǎn)角度來運算旋轉(zhuǎn)阻力，因此與通過采取在伺服電動機反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力 呈階梯形地進行反轉(zhuǎn)來進行扭矩修正的現(xiàn)有控制裝置進行比較，能夠更加準(zhǔn)確地計算彈性變形誤差量S，從而能夠?qū)崿F(xiàn)定位精度的進一步提高。 另外，根據(jù)第三和第四方面的發(fā)明，由于在伺服電動機反轉(zhuǎn)時基于 反轉(zhuǎn)以后的伺服電動機的旋轉(zhuǎn)角度、伺服電動機的旋轉(zhuǎn)方向以及存儲在 反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力存儲部中的旋轉(zhuǎn)阻力來運算旋轉(zhuǎn)阻力，因此在伺服電動 機一旦反轉(zhuǎn)就立刻再次反轉(zhuǎn)等情況下，能夠更加準(zhǔn)確地推定彈性變形誤 差量5，從而能夠?qū)崿F(xiàn)定位精度的進一步提高。


圖1是表示具備本發(fā)明的控制裝置的機床的說明圖。圖2是表示對機床中的伺服電動機6的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動進行控制的控制裝置的結(jié)構(gòu)框圖。圖3是將圖1所示的機床模型化的說明圖。圖4是表示旋轉(zhuǎn)阻力的變化的曲線圖。圖5是表示旋轉(zhuǎn)阻力的變化的曲線圖。圖6是表示現(xiàn)有的機床的說明圖。圖7是表示現(xiàn)有的控制裝置的結(jié)構(gòu)框圖。圖8是表示現(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)阻力的變化的曲線圖。標(biāo)號說明3:滾珠絲杠；6:伺服電動機；12:位置檢測器；13:微分器；14: 位置控制部；15:速度控制部；16:扭矩/電流變換部；21:彈性變形誤 差量運算部；31:反轉(zhuǎn)距離運算部；32:旋轉(zhuǎn)方向運算部；33:反轉(zhuǎn)時 旋轉(zhuǎn)阻力存儲部；34:旋轉(zhuǎn)方向檢測部；35:旋轉(zhuǎn)阻力運算部；36:旋 轉(zhuǎn)體加減速扭矩運算部。
具體實施方式
下面，以附圖為基礎(chǔ)對本發(fā)明的一個實施方式的控制裝置進行說明。 圖1是表示具備本發(fā)明的控制裝置的機床的說明圖。在機床的床身1上立設(shè)有一對托架2、 2，在該托架2、 2上經(jīng)由未 圖示的軸承等樞軸支撐有作為彈性變形部的滾珠絲杠(彈性體)3。另外，經(jīng)由與滾珠絲杠3旋合的螺母4安裝有工作臺(移動體)5，通過驅(qū)動伺 服電動機6旋轉(zhuǎn)能夠使工作臺5向圖1中的左右方向滑動。圖2是表示對上述機床中的伺服電動機6的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動進行控制的控 制裝置的結(jié)構(gòu)框圖。在控制裝置中組裝有使從未圖示的NC裝置中輸入的NC位置指令 與來自設(shè)在伺服電動機6上的位置檢測器12的位置反饋信號之間的偏差 成為零的位置環(huán)(loop)。另外，在位置環(huán)的內(nèi)側(cè)組裝有通過速度控制部 15對利用微分器13使位置反饋信號進行微分而得到的速度反饋信號和來 自位置控制部14的輸出信號進行比較的速度環(huán)。另外，來自速度控制部 15的輸出在扭矩/電流變換部16中被變換成扭矩指令，并經(jīng)由電流控制 部17向伺服電動機6輸出。另一方面，在控制裝置中組裝有根據(jù)由扭矩/電流變換部16輸出的 扭矩指令的反饋信號以及來自位置檢測器12的位置反饋信號來推定彈性 變形誤差量5的扭矩環(huán)(torque loop),從而通過彈性變形誤差量運算部(以下稱為運算部)21來計算滾珠絲杠3的彈性變形誤差量5。另外， 標(biāo)號31是根據(jù)來自位置檢測器12的反饋信號對反轉(zhuǎn)以后的旋轉(zhuǎn)角度朋進行運算的反轉(zhuǎn)距離運算部(旋轉(zhuǎn)角度運算部)，標(biāo)號32是根據(jù)來自位 置檢測部12的反饋信號來運算旋轉(zhuǎn)方向sign(々)的旋轉(zhuǎn)方向運算部，標(biāo)號 33是用于存儲反轉(zhuǎn)時的旋轉(zhuǎn)阻力T^^的反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力存儲部，標(biāo)號 34是用于檢測伺服電動機6反轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向檢測部。另外，標(biāo)號35是用 于運算軸承等的旋轉(zhuǎn)阻力T^(或者TRR)的旋轉(zhuǎn)阻力運算部，36是根據(jù)NC位置指令來運算用于使電動機或滾珠絲杠等工作臺以外的物體加速所需的加減速扭矩TACC的旋轉(zhuǎn)體加減速扭矩運算部。并且，在上述這種控制裝置中，在根據(jù)由各環(huán)反饋來的信號來修正扭矩指令而準(zhǔn)確地推定出作用在彈性體上的力并修正向位置控制部14輸入的位置指令值的同時，控制伺服電動機6的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。這里，接下來對計算彈性變形誤差量S的扭矩環(huán)進行詳細說明。 首先，在計算(推定)彈性變形誤差量S時，利用圖3所示的模型來考慮圖1所示的機床。另外，在圖3所示的模型中，伺服電動機6的位置、慣量、軸承的摩擦力等都用直線軸表示。關(guān)于作用在彈性變形部(滾珠絲杠3)上的力F，通過將樞軸支撐滾珠絲杠3的TAC軸承和電動機軸承等的摩擦力F^即未有助于彈性變形的旋轉(zhuǎn)阻力考慮進來，能夠得到下面所示的力的等式(1)。<formula>formula see original document page 9</formula>另外，設(shè)彈性變形誤差量為5，由于F=KBS'5 (Kss是滾珠絲杠3 的彈性系數(shù))，所以能夠用下面的式(2)表示彈性變形誤差量5。Ff — T 々 一f &一 — rmotor motor' motor Brg (2)另外，如下式(3) (5)所示，通過使用滾珠絲杠3的間距P， 能夠?qū)⑸厦娴氖?1)中的各參數(shù)轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)系。 F =!T (3)<formula>formula see original document page 9</formula>因此，將上面的式(3) (5)代入式(2)中，從而最終能夠用下 面的式(6)表示彈性變形誤差量S。<formula>formula see original document page 9</formula>由上面的式(6)可知，在推定彈性變形誤差量5時，需要求得伺服 電動機6側(cè)的旋轉(zhuǎn)阻力TBrg(FBrg)。而且，特別是關(guān)于伺服電動機6反轉(zhuǎn) 時的T&g，發(fā)明者的實驗結(jié)果是，旋轉(zhuǎn)阻力的符號并不是與旋轉(zhuǎn)的反轉(zhuǎn)同時地發(fā)生反轉(zhuǎn)，而是根據(jù)反轉(zhuǎn)以后的旋轉(zhuǎn)角度卵，得到沿著圖4所示的 曲線向恒定的旋轉(zhuǎn)阻力T^p收斂。該曲線能夠用下面的式(7)或(8) 來表達。因此，在旋轉(zhuǎn)阻力運算部35中根據(jù)式(7)、 (8)計算旋轉(zhuǎn)阻力 TBrg。另外，式(7)、 (8)中的卻。是旋轉(zhuǎn)阻力成為零的反轉(zhuǎn)以后的旋轉(zhuǎn)角度。朋Tb^2'T—'(卻+朋。)-T— (7) (朋-鄰o)Brg— A:np (朋+朋。) (8) 然而，從旋轉(zhuǎn)阻力收斂成大致一定值狀態(tài)開始的反轉(zhuǎn)能夠通過上式(7)、 (8)計算出來，但是在直到旋轉(zhuǎn)阻力收斂成一定值為止這期間伺 服電動機6再次反轉(zhuǎn)的情況(即， 一旦反轉(zhuǎn)立刻再次進行反轉(zhuǎn)的情況) 下，旋轉(zhuǎn)阻力T&g是沿著例如圖5所示的曲線，因此，通過使用下面的 式(9)進行運算能夠更加準(zhǔn)確地推定旋轉(zhuǎn)阻力TBrg。TBrg =.TAmp. (=:Q) + Treverse (9)其中，l丁Br」HT—l時，TBrg=^"0).TAmp (10) 上面的式(9)中的T^^e是反轉(zhuǎn)時的旋轉(zhuǎn)阻力，當(dāng)旋轉(zhuǎn)方向檢測部34檢測到反轉(zhuǎn)時，反轉(zhuǎn)時的旋轉(zhuǎn)阻力IVevew被存儲到反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力存儲部33中，用于通過式(9)計算旋轉(zhuǎn)阻力TBrg。另外，sign的是僅用加 減符號來表示旋轉(zhuǎn)方向的函數(shù)，通過在旋轉(zhuǎn)方向運算部32中運算得到。 另外，在像接觸密封等那樣存在只與旋轉(zhuǎn)方向有關(guān)(即，與旋轉(zhuǎn)距離無 關(guān))的旋轉(zhuǎn)阻力的情況下，預(yù)先將旋轉(zhuǎn)阻力作為參數(shù)存儲到旋轉(zhuǎn)阻力運 算部35中，并能夠通過下面的式(11)運算旋轉(zhuǎn)阻力T肌。TrR Ag+一0^).Tfric (11)如上述那樣，在旋轉(zhuǎn)阻力運算部35中運算旋轉(zhuǎn)阻力TBrg或T肌，并 輸入運算部21中。并且，根據(jù)NC位置指令通過旋轉(zhuǎn)體加減速扭矩運算部36運算在使用上面的式(6)計算彈性變形誤差5時所需的Im。t。r ^m。t。r，并輸入到運算部21中。另外，設(shè)加減速扭矩TAccH喊。,》'motor。并且， 在計算旋轉(zhuǎn)阻力時，關(guān)于使用式(7)、 (8)或者式(9)中的哪一個，可以在加工前根據(jù)加工方式預(yù)先進行設(shè)定，也可以在旋轉(zhuǎn)角度朋為預(yù)定值以下的情況下選擇式(9)。并且，在運算部21中根據(jù)輸入的旋轉(zhuǎn)阻力TBrg或TRR、加減速扭矩TAo:以及扭矩指令值Tm。^來計算彈性變形誤差量S，并向位置控制部14 進行反饋，從而將考慮了基于彈性變形的位置誤差的扭矩指令輸入到伺服電動機6中。根據(jù)執(zhí)行以上這種修正的控制裝置，由于將不作用在滾珠絲杠3等 彈性變形部上的扭矩(伺服電動機6側(cè)的旋轉(zhuǎn)阻力)也考慮進來對彈性變形誤差量5進行計算，因此能夠比以往更加準(zhǔn)確地推定彈性變形誤差 量5，從而能夠提高工作臺5等的定位精度。另外，利用基于圖4所示的曲線的式(7)或式(8)來計算伺服電 動機側(cè)的旋轉(zhuǎn)阻力TWg，因此與采取在伺服電動機6反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力呈階 梯形地進行反轉(zhuǎn)來進行扭矩修正的現(xiàn)有控制裝置進行比較，本發(fā)明能夠 更加準(zhǔn)確地計算彈性變形誤差量S，從而能夠?qū)崿F(xiàn)定位精度的進一步提 咼°另外，在伺服電動機6—旦反轉(zhuǎn)就立刻再次反轉(zhuǎn)的情況下，通過根 據(jù)式(9)(或者式(ll))計算旋轉(zhuǎn)阻力T&g (或Trr)，從而能夠更加準(zhǔn) 確地推定彈性變形誤差量S，能夠?qū)崿F(xiàn)定位精度的進一步提高。另外，本發(fā)明的控制裝置的結(jié)構(gòu)不只適用于上述實施方式記載的具 有使用滾珠絲杠的進給軸的機床，也能夠適用于具有將直接傳動式旋轉(zhuǎn) 軸作為彈性變形部的機床等。
權(quán)利要求
1、一種伺服電動機控制裝置，該伺服電動機控制裝置根據(jù)伺服電動機的扭矩指令值對經(jīng)由彈性體與上述伺服電動機連接的移動體的位置進行修正，其特征在于，上述伺服電動機控制裝置包括用于檢測上述伺服電動機的旋轉(zhuǎn)方向的旋轉(zhuǎn)方向檢測部；用于運算上述伺服電動機的旋轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)角度運算部；用于運算上述伺服電動機側(cè)的旋轉(zhuǎn)阻力的旋轉(zhuǎn)阻力運算部；以及用于運算彈性體的變形誤差量的彈性變形誤差量運算部，在上述旋轉(zhuǎn)方向檢測部中檢測到上述伺服電動機的反轉(zhuǎn)時，利用上述旋轉(zhuǎn)阻力運算部，根據(jù)反轉(zhuǎn)以后的上述伺服電動機的旋轉(zhuǎn)角度來運算旋轉(zhuǎn)阻力，并根據(jù)算出的旋轉(zhuǎn)阻力和伺服電動機的扭矩指令值在上述彈性變形誤差量運算部中計算彈性變形誤差量，并對上述移動體的位置進行修正。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的伺服電動機控制裝置，其特征在于， 旋轉(zhuǎn)阻力運算部根據(jù)下面的公式運算旋轉(zhuǎn)阻力，t —2.t " t或t =tBrg—AmP朋+朋。AmP"^ AmP (50 + 5^)式中的T^是旋轉(zhuǎn)阻力，T^p是最終收斂成的旋轉(zhuǎn)阻力，朋是反轉(zhuǎn)以后的旋轉(zhuǎn)角度，卻。是進行旋轉(zhuǎn)阻力成為零的反轉(zhuǎn)以后的旋轉(zhuǎn)角度。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的伺服電動機控制裝置，其特征在于，上述伺服電動機控制裝置包括用符號表示伺服電動機旋轉(zhuǎn)方向的旋轉(zhuǎn)方向運算部；以及用于存儲 在反轉(zhuǎn)時的旋轉(zhuǎn)阻力的反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力存儲部，在旋轉(zhuǎn)方向檢測部中檢測到上述伺服電動機的反轉(zhuǎn)時，暫時將此時 的旋轉(zhuǎn)阻力存儲于上述反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力存儲部中，并通過旋轉(zhuǎn)阻力運算 部基于反轉(zhuǎn)以后的上述伺服電動機的旋轉(zhuǎn)角度、上述伺服電動機的旋轉(zhuǎn) 方向以及存儲在上述反轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)阻力存儲部中的旋轉(zhuǎn)阻力來運算旋轉(zhuǎn)阻 力。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的伺服電動機控制裝置，其特征在于，旋轉(zhuǎn)阻力運算部根據(jù)下面的公式運算旋轉(zhuǎn)阻力，式中的sign(g)是僅用加減符號來表示旋轉(zhuǎn)方向的函數(shù)，T^^是反轉(zhuǎn)時的旋轉(zhuǎn)阻力，<5《TBrg = .2 TAmp.肌朋+ Treverse其中，當(dāng)|;|>|乙。|時，TBre"fg"(^T,AmpBrg — 。S5"Vv乂 丄Amp
全文摘要
本發(fā)明提供能更加準(zhǔn)確地推定彈性變形誤差從而實現(xiàn)定位精度進一步提高的控制裝置。該控制裝置包括用于檢測伺服電動機(6)的旋轉(zhuǎn)方向的旋轉(zhuǎn)方向檢測部(34)；用于運算伺服電動機(6)的旋轉(zhuǎn)角度的反轉(zhuǎn)距離運算部(31)；用于運算伺服電動機(6)側(cè)的旋轉(zhuǎn)阻力的旋轉(zhuǎn)阻力運算部(35)；和用于運算滾珠絲杠(3)的變形誤差量的彈性變形誤差量運算部(21)，在旋轉(zhuǎn)方向檢測部(34)中檢測到伺服電動機(6)的反轉(zhuǎn)時，利用旋轉(zhuǎn)阻力運算部(35)根據(jù)反轉(zhuǎn)以后的伺服電動機(6)的旋轉(zhuǎn)角度(δθ)運算旋轉(zhuǎn)阻力，根據(jù)算出的旋轉(zhuǎn)阻力在彈性變形誤差量運算部(21)中計算彈性變形誤差量(δ)，從而修正向位置控制部(14)輸入的位置指令值。
文檔編號G05B19/404GK101256403SQ200810082219
公開日2008年9月3日 申請日期2008年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月26日
發(fā)明者則久孝志 申請人:大隈株式會社