一種用于掃描電子顯微鏡ebsd測試的樣品臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及電子顯微鏡背散射電子衍射測試技術領域，尤其涉及一種用于掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺。本實用新型提供一種用于掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺，該樣品臺為一體式結構，包括斜臺和階梯式底座，斜臺與階梯式底座連接的斜臺切面與階梯型底座成70°夾角，該斜臺切面與階梯型底座的交線同進樣方向呈夾角，以保證樣品測試面面向EBSD探頭。本實用新型簡單可靠，一體結構牢固耐用，簡化電鏡放樣流程，可測量大樣品或一次測量多個樣品，可顯著提高EBSD測樣的效率。
【專利說明】
一種用于掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺
技術領域
[0001]本實用新型涉及電子顯微鏡配件技術領域，尤其涉及一種用于日立冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡做EBSD測試的樣品臺。
【背景技術】
[0002]對于掃描電鏡背散射電子衍射(縮寫EBSD)測試的樣品臺，為了得到較強的信號，相對于入射電子束，樣品需要傾斜70°，最簡單的做法是做一個傾斜70°的小臺，把樣品固定到小臺上，然后再粘接到電鏡樣品臺底座上，但是這很難保證定位的精確性，也很難保證粘接的牢固程度。也有很多專利針對以上缺點提出了改進，它們要么過于復雜，要么調節(jié)過于繁瑣，要么不適于日立冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡的樣品臺。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]針對現(xiàn)有技術中存在的缺陷或不足，本實用新型所要解決的技術問題是:提供一種用于日立冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺，該樣品臺簡單可靠，不需要電鏡的傾斜和旋轉調整，可測量大樣品或一次測量多個樣品，使用于日立冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡(S4700，S4800，Su8000系列等)的EBSD專用樣品臺。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取的技術方案為提供一種用于日立冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺，該樣品臺為一體式結構，包括斜臺和階梯式底座，便于固定測試樣品并簡化操作流程。位于所述斜臺上的斜臺切面與階梯型底座成70°夾角，以保證EBSD接受信號的強度。該斜臺切面與階梯式底座的交線同進樣方向呈夾角，以保證樣品測試面面向EBSD探頭。
[0005]作為本實用新型的進一步改進，所述階梯式底座下部設有螺孔，該螺孔與電鏡的進樣桿連接。
[0006]作為本實用新型的進一步改進，所述階梯式底座的兩側為皆有階梯，其上部短于下部，其上部兩側為半圓形，其下部為方形。
[0007]作為本實用新型的進一步改進，所述斜臺的平面投影小于所述階梯式底座的投影，以便于樣品在電鏡的測試范圍內(nèi)。
[0008]作為本實用新型的進一步改進，所述斜臺的切面與階梯型底座的交線過階梯式底座投影圓的圓點，以保證能放厚度較大的樣品，同時保證斜臺切面的面積較大可以多放樣品O
[0009]作為本實用新型的進一步改進，所述樣品臺采用鋁材質制成，以便于加工且降低成本。
[0010]本實用新型的有益效果是:本實用新型簡單可靠，樣品臺本身易于加工，一體結構牢固耐用，大大簡化電鏡放樣流程，可測量大樣品或一次測量多個樣品，可提高測樣的效率，使用于日立冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡(S4700，S4800，Su8000系列等)的EBSD專用樣品臺ο
【附圖說明】
[ΟΟ??]圖1是本實用新型的結構不意圖；
[0012]圖2是本實用新型底部的不意圖；
[0013]其中數(shù)字表示:1、斜臺；2、階梯式底座;3、斜臺切面;4、螺孔。
【具體實施方式】
[0014]下面結合【附圖說明】及【具體實施方式】對本實用新型進一步說明。
[0015]如圖1、圖2所示，本實用新型提供一種用于掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺，該樣品臺為一體式結構，包括斜臺I和階梯式底座2，該斜臺I上部為梯形，下部為五邊形，斜臺I與階梯式底座2連接的斜臺切面3與階梯型底座成70°夾角，以保證EBSD接受信號的強度，該斜臺切面3與階梯型底座的交線同進樣方向的夾角取決于EBSD探頭所處位置，以保證樣品測試面面向EBSD探頭，本例中為55°角。
[0016]如圖1所示，該階梯式底座2下部設有螺孔4，該螺孔4與電鏡的進樣桿連接。
[0017]如圖1所示，該階梯式底座2的兩側為皆有階梯，其上部短于下部，其上部兩側為半圓形，其下部為方形。
[0018]如圖1所示，為了保證樣品都在電鏡的測試范圍內(nèi)，斜臺平面投影(陰影處)應該小于階梯式底座的投影(圓形區(qū)域)，以便于樣品在電鏡的測試范圍內(nèi)。
[0019]如圖1所示，斜臺切面與階梯型底座的交線過階梯式底座投影圓的圓點，以保證能放厚度較大的樣品，同時保證斜臺切面的面積較大可以多放樣品。
[0020]如圖1所示，所述樣品臺采用鋁材質制成。
[0021]本實用新型為一整體，斜臺切面與階梯型底座成70°，斜臺切面直接朝向EBSD探頭，無需調整，上下截面平行試樣直接粘接到樣品臺的傾斜面上然后放入電鏡進行EBSD表征即可。因為傾斜面面積很大除了可以放較大樣品外，還可以排列很多樣品，可以一并放入電鏡，從而提高了測樣的效率。
[0022]實例I錫焊球(Imm直徑)，冷鑲嵌后拋光，鑲嵌樣品長lcm，寬5mm，高8mm，上下截面平行，將四個試樣兩兩并排放在EBSD專用樣品臺上，做EBSD分析。
[0023]實例2 IF鋼片(長5mm，寬3mm，厚1mm)，上下截面平行，可以將12個樣品按三排排列放到EBSD專用樣品臺上，做EBSD分析。
[0024]實例3鎂合金薄片(長lcm，寬2mm)，冷鑲嵌后拋光，鑲嵌樣品直徑為2cm，高lcm，上下截面平行，將四個試樣兩兩并排放在EBSD專用樣品臺上，做EBSD分析。
[0025]適用于大樣品，也可以一次測量多個尺寸較小的樣品。本實用新型樣品臺裝置簡單實用，高效可靠。
[0026]以上內(nèi)容是結合具體的優(yōu)選實施方式對本實用新型所作的進一步詳細說明，不能認定本實用新型的具體實施只局限于這些說明。對于本實用新型所屬技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應當視為屬于本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種用于掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺，其特征在于:該樣品臺為一體式結構，包括斜臺和階梯式底座，位于所述斜臺上的斜臺切面與階梯型底座成70°夾角，該斜臺切面與階梯型底座的交線同進樣方向呈夾角。2.根據(jù)權利要求1所述的用于掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺，其特征在于:所述階梯式底座下部設有螺孔，該螺孔與電鏡的進樣桿連接。3.根據(jù)權利要求2所述的用于掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺，其特征在于:所述階梯式底座的兩側為皆有階梯，其上部短于下部，其上部兩側為半圓形，其下部為方形。4.根據(jù)權利要求1所述的用于掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺，其特征在于:所述斜臺的平面投影小于所述階梯式底座的投影。5.根據(jù)權利要求4所述的用于掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺，其特征在于:所述斜臺的切面與所述階梯型底座的交線過階梯式底座投影圓的圓點。6.根據(jù)權利要求1所述的用于掃描電子顯微鏡EBSD測試的樣品臺，其特征在于:所述樣品臺采用鋁材質制成。
【文檔編號】G01Q30/02GK205484413SQ201620054539
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年1月20日
【發(fā)明人】高尚, 繆亞美, 王穎
【申請人】哈爾濱工業(yè)大學深圳研究生院