專(zhuān)利名稱(chēng)：樣品分析裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及樣品分析裝置，該樣品分析裝置利用通過(guò)對(duì)樣品 照射光，并對(duì)透射過(guò)所述樣品的透射光進(jìn)行分光得到的吸收光譜，來(lái)分析樣品中的成分濃度。
背景技術(shù)：
如專(zhuān)利文獻(xiàn)1所示，作為所述的樣品分析裝置，將來(lái)自例如鹵素?zé)舻裙庠吹墓馔ㄟ^(guò)聚光透鏡進(jìn)行聚光后向樣品池照射，并對(duì)通過(guò)所述樣品池后的透射光通過(guò)衍射光柵進(jìn)行分光后，再通過(guò)多通道檢測(cè)器檢測(cè)后計(jì)算出吸收光譜，來(lái)分析樣品的成分濃度。在利用所述樣品分析裝置測(cè)定樣品的吸光度的情況下，吸光度的大小在吸光度為 1(透射率10%) 吸光度為2 (透射率1%)左右時(shí)最適于測(cè)定。這是因?yàn)槲舛仍?以上，則透射光的光量變小，受到測(cè)定系統(tǒng)的噪聲影響，從而難以進(jìn)行精度良好的濃度測(cè)定， 而另一方面，吸光度在1以下時(shí)，因所含成分濃度的變化造成的吸光度的變化減小，也難以進(jìn)行精度良好的濃度測(cè)定。例如，在樣品池的池長(zhǎng)(cell length)(池內(nèi)部的光路長(zhǎng))為Imm的情況下，設(shè)想一種樣品，該樣品在波長(zhǎng)范圍A的照射光下的吸光度為0. 1，在波長(zhǎng)范圍B的照射光下的吸光度為1.0。因?yàn)闃悠返奈舛扰c樣品濃度和光路長(zhǎng)成正比(朗伯比爾定律)，在樣品池的光路長(zhǎng)為IOmm的情況下，在波長(zhǎng)范圍A的照射光下的吸光度為1，在波長(zhǎng)范圍B的照射光下的吸光度為10。在該情況下，對(duì)于以往的樣品分析裝置，使用光路長(zhǎng)IOmm的樣品池在波長(zhǎng)范圍A的照射光下進(jìn)行測(cè)定，或者使用光路長(zhǎng)Imm的樣品池在波長(zhǎng)范圍B的照射光下進(jìn)行測(cè)定。在測(cè)定多成分樣品等復(fù)雜的樣品的情況下，吸收光譜的波長(zhǎng)范圍越寬，通常越能夠提高測(cè)定濃度的精度，因此可以考慮進(jìn)行使用光路長(zhǎng)IOmm的樣品池在波長(zhǎng)范圍A的照射光下的測(cè)定以及使用光路長(zhǎng)Imm的樣品池在波長(zhǎng)范圍B的照射光下的測(cè)定這雙方的測(cè)定。 具體而言，在將分光器設(shè)計(jì)為可以對(duì)包含波長(zhǎng)范圍A和波長(zhǎng)范圍B的寬范圍的波長(zhǎng)范圍進(jìn)行測(cè)定的基礎(chǔ)上，通過(guò)機(jī)械式的移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)具有兩個(gè)光路長(zhǎng)的樣品池。但是，由于在所述方法中切換樣品池需要花費(fèi)時(shí)間，所以存在為了計(jì)算出濃度需要耗費(fèi)時(shí)間的問(wèn)題。此外，因?yàn)樾枰谳^寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)定，所以在使用多通道檢測(cè)器的情況下，檢測(cè)器每1通道的波長(zhǎng)范圍變寬，波長(zhǎng)分辨率變差。此外，雖然可以考慮在每個(gè)對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)范圍設(shè)置樣品池和檢測(cè)器的結(jié)構(gòu)，但會(huì)造成零件個(gè)數(shù)增加，存在導(dǎo)致成本增加的問(wèn)題。另外，如專(zhuān)利文獻(xiàn)2所示，也有可以通過(guò)一個(gè)陣列器件(光檢測(cè)器)檢測(cè)出兩個(gè)波長(zhǎng)范圍的光的裝置。具體而言，對(duì)應(yīng)各波長(zhǎng)范圍分別設(shè)置不同的入射口，并且以使針對(duì)各波長(zhǎng)范圍的中心波長(zhǎng)在分散元件的衍射角相同的方式設(shè)定所述入射口。但是，所述裝置絲毫未考慮所述的光路長(zhǎng)與照射光的波長(zhǎng)的關(guān)系，只不過(guò)是在確保期望的波長(zhǎng)分辨率的同時(shí)擴(kuò)大測(cè)定波長(zhǎng)范圍的裝置。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本專(zhuān)利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2002-82050號(hào)
專(zhuān)利文獻(xiàn)2 日本專(zhuān)利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平8-254464號(hào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了一舉解決所述問(wèn)題而做出的發(fā)明，本發(fā)明的主要目的是可以盡可能地減少零件個(gè)數(shù)，并且可以對(duì)吸收率(透射率)不同的兩個(gè)以上的波長(zhǎng)范圍的吸收光譜以適合各個(gè)波長(zhǎng)范圍的池長(zhǎng)進(jìn)行測(cè)定，從而可以得到高精度的測(cè)定結(jié)果。S卩，本發(fā)明的樣品分析裝置，其特征在于，利用通過(guò)對(duì)樣品照射光而得到的吸收光譜來(lái)分析樣品的成分濃度，所述樣品分析裝置包括樣品池部，構(gòu)成具有相互不同池長(zhǎng)的多個(gè)池空間；光源部，向各所述池空間照射相互不同波長(zhǎng)范圍的光；多個(gè)準(zhǔn)直鏡，與各所述池空間的每一個(gè)對(duì)應(yīng)設(shè)置，使透射過(guò)所述池空間的透射光成為平行光；衍射光柵，對(duì)通過(guò)所述準(zhǔn)直鏡成為了平行光的反射光進(jìn)行分光；聚光鏡，對(duì)通過(guò)所述衍射光柵分光后的光進(jìn)行聚光；以及光檢測(cè)器，對(duì)通過(guò)所述聚光鏡聚集后的光進(jìn)行檢測(cè)，其中，以使從各準(zhǔn)直鏡朝向所述衍射光柵的反射光的入射角度相互不同的方式設(shè)置所述多個(gè)準(zhǔn)直鏡。按照所述的樣品分析裝置，由于向池長(zhǎng)不同的多個(gè)池空間照射不同波長(zhǎng)范圍的光，所以通過(guò)對(duì)吸光度(吸收率)不同的兩個(gè)以上的波長(zhǎng)范圍的樣品的吸收光譜以適合各個(gè)波長(zhǎng)范圍的光路長(zhǎng)進(jìn)行測(cè)定，可以得到高精度的測(cè)定結(jié)果。此外，共用衍射光柵、聚光鏡和光檢測(cè)器，因此可以盡量減少零件個(gè)數(shù)。另外，對(duì)應(yīng)每個(gè)池空間設(shè)置有準(zhǔn)直鏡，所以通過(guò)調(diào)節(jié)準(zhǔn)直鏡的位置，可以改變通過(guò)光檢測(cè)器檢測(cè)的波長(zhǎng)范圍，可以容易地檢測(cè)符合測(cè)定對(duì)象的波長(zhǎng)范圍。特別是為了使用樣品的吸收大的波長(zhǎng)范圍和樣品的吸收小的波長(zhǎng)范圍雙方來(lái)測(cè)定樣品的吸光度，從而高精度地測(cè)定樣品濃度，本發(fā)明還提供一種樣品分析裝置，利用通過(guò)對(duì)樣品照射光而得到的吸收光譜來(lái)分析樣品的成分濃度，所述樣品分析裝置包括樣品池部，具有收容樣品的第一池空間以及池長(zhǎng)比所述第一池空間短的第二池空間；第一光源，對(duì)所述第一池空間照射樣品的吸收小的波長(zhǎng)范圍的光；第二光源，對(duì)所述第二池空間照射樣品的吸收大的波長(zhǎng)范圍的光；第一準(zhǔn)直鏡，與所述第一池空間對(duì)應(yīng)設(shè)置，使來(lái)自所述第一池空間的透射光成為平行光；第二準(zhǔn)直鏡，與所述第二池空間對(duì)應(yīng)設(shè)置，使來(lái)自所述第二池空間的透射光成為平行光；衍射光柵，對(duì)通過(guò)所述第一準(zhǔn)直鏡和所述第二準(zhǔn)直鏡成為了平行光的反射光進(jìn)行分光；聚光鏡，對(duì)通過(guò)所述衍射光柵分光后的光進(jìn)行聚光；以及光檢測(cè)器， 對(duì)通過(guò)所述聚光鏡聚集后的光進(jìn)行檢測(cè)，其中，使從所述第一準(zhǔn)直鏡朝向所述衍射光柵的反射光的入射角度與從所述第二準(zhǔn)直鏡朝向所述衍射光柵的反射光的入射角度相互不同。 為了利用一個(gè)樣品池部簡(jiǎn)單地構(gòu)成第一池空間和第二池空間，并且削減零件個(gè)數(shù)，優(yōu)選的是，所述樣品池部形成為斷面大體為長(zhǎng)方形的具有透光性的筒狀，由在長(zhǎng)邊方向上相對(duì)的側(cè)壁構(gòu)成所述第一池空間，由在短邊方向上相對(duì)的側(cè)壁構(gòu)成所述第二池空間。另外，優(yōu)選的是，代替所述第一光源和所述第二光源，使用光學(xué)透鏡將來(lái)自一個(gè)光源的光分成兩個(gè)光束，并向所述第一池空間和所述第二池空間照射各光束。按照如上所述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明，可以盡可能地減少零件個(gè)數(shù)，并且可以對(duì)吸收率 (透射率)不同的兩個(gè)以上的波長(zhǎng)范圍的吸收光譜以適合各個(gè)波長(zhǎng)范圍的池長(zhǎng)進(jìn)行測(cè)定， 從而可以得到高精度的測(cè)定結(jié)果。


圖1是示意表示本實(shí)施方式的樣品分析裝置的結(jié)構(gòu)圖。圖2是表示針對(duì)衍射光柵的反射光的入射角度和衍射角度的示意圖。圖3是示意表示變形實(shí)施方式的樣品分析裝置的結(jié)構(gòu)圖。

圖4是表示樣品池部的變形例的圖。圖5是示意表示變形實(shí)施方式的樣品分析裝置的結(jié)構(gòu)圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明100…樣品分析裝置2…樣品池部Sl…第一池空間S2…第二池空間31…第一光源32…第二光源61…第一準(zhǔn)直鏡62…第二準(zhǔn)直鏡7…衍射光柵9…聚光鏡10…光檢測(cè)器α 1，α 2…入射角度
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的樣品分析裝置100進(jìn)行說(shuō)明。另外，圖1是示意表示本實(shí)施方式樣品分析裝置100的結(jié)構(gòu)圖，圖2是針對(duì)衍射光柵7的反射光的入射角度α 1、α 2 和衍射角度β的示意圖。<1.裝置結(jié)構(gòu)>如圖1所示，本實(shí)施方式的樣品分析裝置100包括樣品池部2，用來(lái)收容樣品；第一光源31和第二光源32，向所述樣品池部2照射規(guī)定波長(zhǎng)范圍的光；第一準(zhǔn)直鏡61和第二準(zhǔn)直鏡62，使透射過(guò)樣品池部2的透射光成為平行光；衍射光柵7，對(duì)通過(guò)所述第一準(zhǔn)直鏡61、第二準(zhǔn)直鏡62成為了平行光的反射光進(jìn)行分光；聚光鏡9，對(duì)通過(guò)所述衍射光柵7分光后的衍射光進(jìn)行聚光；以及光檢測(cè)器10，對(duì)通過(guò)所述聚光鏡9聚集后的光進(jìn)行檢測(cè)。樣品池部2具有收容樣品的第一池空間Sl以及池長(zhǎng)(光路長(zhǎng))與所述第一池空間Sl不同的第二池空間S2。在本實(shí)施方式中，樣品分析裝置100包括第一樣品池21，構(gòu)成第一池空間Sl ；以及第二樣品池22，構(gòu)成第二池空間S2。更具體而言，第二池空間S2的池長(zhǎng)比第一池空間Sl的池長(zhǎng)短。即，第一樣品池21的內(nèi)壁面間的距離(池長(zhǎng))W1和第二樣品池22的內(nèi)壁面間的距離(池長(zhǎng))W2的關(guān)系為W1 > W2。第一光源31是例如鹵素?zé)舻冗B續(xù)光譜光源，第一光源31與第一池空間Sl (第一樣品池21)對(duì)應(yīng)設(shè)置，對(duì)收容在第一池空間Sl內(nèi)的樣品照射光。此外，第一光源31照射收容在第一池空間Sl內(nèi)的樣品的吸收小的波長(zhǎng)范圍的光。從第一光源31射出的光，通過(guò)聚光透鏡41被聚集并向第一池空間Sl照射。
第二光源32是例如鹵素?zé)舻冗B續(xù)光譜光源，第二光源32與第二池空間S2(第二樣品池22)對(duì)應(yīng)設(shè)置，對(duì)收容在第二池空間S2內(nèi)的樣品照射光。此外，第二光源32照射收容在第二池空間S2內(nèi)的樣品的吸收大的波長(zhǎng)范圍的光。從第二光源32射出的光，通過(guò)聚光透鏡42被聚集并向第二池空間S2照射。在此，從第一光源31射出的光的波長(zhǎng)范圍與從第二光源32射出的光的波長(zhǎng)范圍不同。此外，所謂波長(zhǎng)范圍不同是指相互的波長(zhǎng)范圍不重疊的不同的波長(zhǎng)范圍，此外也指波長(zhǎng)范圍部分重疊的不同的波長(zhǎng)范圍， 此外還指一方的波長(zhǎng)范圍包含另一方的波長(zhǎng)范圍的不同的波長(zhǎng)范圍。在第一光源31和第一樣品池21之間以及第二光源32和第二樣品池22之間，設(shè)置有切換機(jī)構(gòu)5，該切換機(jī)構(gòu)5用于進(jìn)行切換使得僅使來(lái)自第一光源31的光或來(lái)自第二光源32的光中的一方選擇性地向第一樣品池21或第二樣品池22照射。使用機(jī)械快門(mén)等構(gòu)成所述切換機(jī)構(gòu)5，并通過(guò)未圖示的控制部控制所述切換機(jī)構(gòu)5。第一準(zhǔn)直鏡61是與第一池空間Sl (第一樣品池21)對(duì)應(yīng)設(shè)置的凹面鏡，將通過(guò)第一池空間Sl后的來(lái)自第一光源31的光(透射光)反射成平行光。第二準(zhǔn)直鏡62是與第二池空間S2 (第二樣品池22)對(duì)應(yīng)設(shè)置的凹面鏡，將通過(guò)第二池空間S2后的來(lái)自第二光源32的光(透射光)反射成平行光。衍射光柵7將通過(guò)第一準(zhǔn)直鏡61和第二準(zhǔn)直鏡62作為平行光被反射的反射光按照波長(zhǎng)進(jìn)行分光。在所述結(jié)構(gòu)中，進(jìn)一步將多個(gè)第一準(zhǔn)直鏡61、第二準(zhǔn)直鏡62設(shè)置為使得由第一準(zhǔn)直鏡61、第二準(zhǔn)直鏡62反射的射向衍射光柵7的反射光的入射角度相互不同。S卩，如圖2所示，使從第一準(zhǔn)直鏡61朝向衍射光柵7的反射光的入射角度α 1與從第二準(zhǔn)直鏡62朝向衍射光柵7的反射光的入射角度α2相互不同。更詳細(xì)而言，使入射角度α >入射角度α 2。此外，使從第一準(zhǔn)直鏡61入射的反射光的衍射角度β與從第二準(zhǔn)直鏡62入射的反射光的衍射角度β大體相同。另外，在第一樣品池21與第一準(zhǔn)直鏡61之間以及第二樣品池22與第二準(zhǔn)直鏡62 之間，設(shè)置有用于消除雜散光的狹縫81、82。具體而言，在透射光的焦點(diǎn)位置附近，以僅使在該焦點(diǎn)位置聚集的透射光通過(guò)的方式設(shè)置狹縫81、82。聚光鏡9由凹面鏡構(gòu)成，聚光鏡9用于將通過(guò)衍射光柵7分光后的大體全部的光聚集到光檢測(cè)器10的光檢測(cè)面上。光檢測(cè)器10是多通道檢測(cè)器，對(duì)由作為凹面鏡的聚光鏡9反射、聚集的光在每個(gè)波長(zhǎng)進(jìn)行檢測(cè)。另外，光檢測(cè)器10與計(jì)算部13連接，由所述光檢測(cè)器10得到的光強(qiáng)度信號(hào)經(jīng)過(guò)放大器11、AD轉(zhuǎn)換器12輸入到計(jì)算部13 (由CPU等構(gòu)成)。所述計(jì)算部13將所述光強(qiáng)度信號(hào)轉(zhuǎn)換為吸收光譜，并且根據(jù)所述吸收光譜計(jì)算出樣品的多成分的濃度值。此外， 計(jì)算部13上連接有顯示部14，顯示部14用于顯示通過(guò)所述計(jì)算部13求出的多成分的濃度值。<2.本實(shí)施方式的效果>按照如上所述構(gòu)成的本實(shí)施方式的樣品分析裝置100，由于向池長(zhǎng)不同的多個(gè)池空間照射不同波長(zhǎng)范圍的光，所以通過(guò)對(duì)吸光度(吸收率)不同的兩個(gè)以上的波長(zhǎng)范圍的樣品的吸收光譜以分別適合各個(gè)波長(zhǎng)范圍的光路長(zhǎng)進(jìn)行測(cè)定，可以得到高精度的測(cè)定結(jié)果。具體而言，向光路長(zhǎng)小的第一池空間照射樣品的吸收小的波長(zhǎng)范圍的光，向光路長(zhǎng)大的第二池空間照射樣品的吸收大的波長(zhǎng)范圍的光，因此可以高精度地測(cè)定樣品的成分濃度。 此外，因?yàn)楣灿醚苌涔鈻?、聚光鏡9和光檢測(cè)器10，所以能夠盡可能地減少零件個(gè)數(shù)。另夕卜，由于與每個(gè)第一池空間Si、第二池空間S2分別對(duì)應(yīng)設(shè)置第一準(zhǔn)直鏡61、第二準(zhǔn)直鏡62， 所以通過(guò)調(diào)節(jié)第一準(zhǔn)直鏡61、第二準(zhǔn)直鏡62的位置，可以改變由光檢測(cè)器10檢測(cè)的波長(zhǎng)范圍，可以容易地對(duì)符合測(cè)定對(duì)象的波長(zhǎng)范圍進(jìn)行檢測(cè)。<3.其他的變形實(shí)施方式>
此外，本發(fā)明不限于所述實(shí)施方式。例如，所述實(shí)施方式的樣品池部2是分別單獨(dú)設(shè)置兩個(gè)種類(lèi)的樣品池從而構(gòu)成兩個(gè)種類(lèi)的池空間，另外如圖3所示，樣品池部2也可以形成為斷面大體為長(zhǎng)方形的具有透光性的筒狀，由在長(zhǎng)邊方向上相對(duì)的側(cè)壁構(gòu)成第一池空間Si，并且由在短邊方向上相對(duì)的側(cè)壁構(gòu)成第二池空間S2。此時(shí)設(shè)置為使第一光源31向短邊方向的側(cè)壁照射光，并且使第二光源32向長(zhǎng)邊方向的側(cè)壁照射光。由此，通過(guò)一個(gè)樣品池就可以構(gòu)成第一池空間Sl和第二池空間S2，所以可以使裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單并可以減少零件個(gè)數(shù)。如圖4所示，在樣品池部2由一個(gè)樣品池構(gòu)成的情況下，也可以由具有寬幅部和窄幅部的樣品池來(lái)構(gòu)成第一池空間Sl和第二池空間S2。另外，在所述實(shí)施方式中，通過(guò)設(shè)置第一光源和第二光源來(lái)構(gòu)成光源部，此外，如圖5所示，也可以設(shè)置一個(gè)光源3作為光源部，使用光學(xué)透鏡(圖5中的準(zhǔn)直透鏡40和聚光透鏡41、42)將來(lái)自所述光源3的光分成兩個(gè)光束部，并對(duì)第一池空間Sl和第二池空間 S2照射各光束。此外，也可以適當(dāng)組合所述實(shí)施方式及變形實(shí)施方式的一部分或全部，不言而喻， 本發(fā)明不限于所述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變形。工業(yè)實(shí)用性按照本發(fā)明，可以盡可能地減少零件個(gè)數(shù)，并且可以對(duì)吸收率(透射率)不同的兩個(gè)以上波長(zhǎng)范圍的吸收光譜以適合各個(gè)波長(zhǎng)范圍的池長(zhǎng)進(jìn)行測(cè)定，從而可以得到高精度的測(cè)定結(jié)果。
權(quán)利要求
1.一種樣品分析裝置，利用通過(guò)對(duì)樣品照射光而得到的吸收光譜來(lái)分析樣品的成分濃度，所述樣品分析裝置的特征在于包括樣品池部，構(gòu)成具有相互不同池長(zhǎng)的多個(gè)池空間； 光源部，向各所述池空間照射相互不同波長(zhǎng)范圍的光；多個(gè)準(zhǔn)直鏡，與各所述池空間的每一個(gè)對(duì)應(yīng)設(shè)置，使透射過(guò)所述池空間的透射光成為平行光；衍射光柵，對(duì)通過(guò)所述準(zhǔn)直鏡成為了平行光的反射光進(jìn)行分光； 聚光鏡，對(duì)通過(guò)所述衍射光柵分光后的光進(jìn)行聚光；以及光檢測(cè)器，對(duì)通過(guò)所述聚光鏡聚集后的光進(jìn)行檢測(cè)，其中，以使從各準(zhǔn)直鏡朝向所述衍射光柵的反射光的入射角度相互不同的方式設(shè)置所述多個(gè)準(zhǔn)直鏡。
2.一種樣品分析裝置，利用通過(guò)對(duì)樣品照射光而得到的吸收光譜來(lái)分析樣品的成分濃度，所述樣品分析裝置的特征在于包括樣品池部，具有收容樣品的第一池空間以及池長(zhǎng)比所述第一池空間短的第二池空間； 第一光源，對(duì)所述第一池空間照射樣品的吸收小的波長(zhǎng)范圍的光； 第二光源，對(duì)所述第二池空間照射樣品的吸收大的波長(zhǎng)范圍的光； 第一準(zhǔn)直鏡，與所述第一池空間對(duì)應(yīng)設(shè)置，使來(lái)自所述第一池空間的透射光成為平行光；第二準(zhǔn)直鏡，與所述第二池空間對(duì)應(yīng)設(shè)置，使來(lái)自所述第二池空間的透射光成為平行光；衍射光柵，對(duì)通過(guò)所述第一準(zhǔn)直鏡和所述第二準(zhǔn)直鏡成為了平行光的反射光進(jìn)行分光；聚光鏡，對(duì)通過(guò)所述衍射光柵分光后的光進(jìn)行聚光；以及光檢測(cè)器，對(duì)通過(guò)所述聚光鏡聚集后的光進(jìn)行檢測(cè)，其中，使從所述第一準(zhǔn)直鏡朝向所述衍射光柵的反射光的入射角度與從所述第二準(zhǔn)直鏡朝向所述衍射光柵的反射光的入射角度相互不同。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的樣品分析裝置，其特征在于，所述樣品池部形成為斷面大體為長(zhǎng)方形的具有透光性的筒狀，由在長(zhǎng)邊方向上相對(duì)的側(cè)壁構(gòu)成所述第一池空間，由在短邊方向上相對(duì)的側(cè)壁構(gòu)成所述第二池空間。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的樣品分析裝置，其特征在于，代替所述第一光源和所述第二光源，使用光學(xué)透鏡將來(lái)自一個(gè)光源的光分成兩個(gè)光束，并向所述第一池空間和所述第二池空間照射各光束。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以得到高精度的測(cè)定結(jié)果的樣品分析裝置，該樣品分析裝置包括樣品池部(2)，構(gòu)成多個(gè)池空間(S1)、(S2)；光源部(31)、(32)，向各池空間(S1)、(S2)照射相互不同波長(zhǎng)范圍的光；多個(gè)準(zhǔn)直鏡(61)、(62)，與各池空間(S1)、(S2)的每一個(gè)對(duì)應(yīng)設(shè)置，使透射過(guò)池空間(S1)、(S2)的透射光成為平行光；衍射光柵(7)，對(duì)通過(guò)準(zhǔn)直鏡(61)、(62)成為了平行光的反射光進(jìn)行分光；聚光鏡(9)，對(duì)通過(guò)衍射光柵(7)分光后的光進(jìn)行聚光；以及光檢測(cè)器(10)，對(duì)通過(guò)聚光鏡(9)聚集后的光進(jìn)行檢測(cè)。
文檔編號(hào)G01J3/18GK102308199SQ20108000647
公開(kāi)日2012年1月4日 申請(qǐng)日期2010年1月7日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月18日
發(fā)明者橫山一成 申請(qǐng)人:株式會(huì)社堀場(chǎng)制作所