一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種測試裝置，尤其涉及一種采用ECV法測試晶體硅太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置。
【背景技術】
[0002]對于晶體硅太陽能電池的設計和制造而言，電池中載流子濃度、摻雜厚度以及雜質分布都是必須嚴格控制的參數(shù)，且各種載流子濃度的誤差必須控制在20%以內，這就要求對載流子的濃度及分布有更精確可靠的測量。
[0003]電化學C-V是當前測量半導體載流子濃度分布的非常重要的方法。在硅半導體中ECV的應用也越來越廣泛，逐漸成為光伏行業(yè)電池技術研宄和發(fā)展的必要工具之一。ECV測量是利用合適的電解液既可以作為肖特基接觸的電極測量C-V特性，又可以進行電化學腐蝕，因此可以層層剝離測量電激活雜質的濃度分布，剖面深度不受反向擊穿的限制，并可以測量pn結。針對于此，已有采用不同電阻率硅片進行實驗，得到了擴散后不同擴散方阻的硅片，并對擴散硅片的表面濃度和結深進行了研宄。但是，上述ECV測試方法的測試裝置一般都是采用玻璃裝置作為反應罐，反應罐中的酸性腐蝕液會對測試裝置產生破壞，因此，本項目中的測試裝置可以有效的解決問題。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術的缺陷，提供一種適用于ECV法測試的太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，其采用聚四氟乙烯作為測試反應罐可以有效防止酸溶液對反應罐的腐蝕。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出如下技術方案:一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，包括測試反應罐，固定機構及測試機構，其中所述測試反應罐表層并行設有加樣孔及反應孔，所述反應孔內安裝有鹽橋，所述鹽橋上端圓孔內塞有帶孔橡皮塞，所述帶孔橡皮塞內插有鉬絲電極；
[0006]所述固定機構包括安裝在所述測試反應罐兩側以夾持測試反應罐的左夾板及右夾板，穿插在所述左夾板和右夾板四個角上的連接固定桿及安裝在所述連接固定桿兩側用于緊固的緊固螺栓及六角螺母，且所述右夾板中心具有穿透的測試孔。
[0007]所述測試機構包括安裝在左夾板內側的鉑網電極，設于所述左夾板上端面的參比電極，安裝在右夾板外側的U型固定架，壓片及調節(jié)螺桿，其中所述鉑網電極與所述參比電極之間通過內置在左夾板內的鉑絲連接，所述U型固定架橫向面內側具有緊固環(huán)，所述壓片安裝在調節(jié)螺桿的端部正對所述測試孔，另一端具有旋轉把手，通過旋轉把手調節(jié)所述調節(jié)螺桿使得壓片向測試孔壓緊，并通過緊固環(huán)進行緊固。
[0008]所述測試反應罐為中空圓柱形結構。
[0009]所述左夾板和右夾板相對面的側面中間設有測試槽，所述測試孔位于所述右夾板的測試槽中心，所述鉑網電極安裝在所述左夾板的測試槽內。
[0010]所述左夾板和右夾板相對面上設有環(huán)形固定槽，便于測試反應罐插入固定，且所述環(huán)形固定槽位于測試槽外部。
[0011]所述壓片與測試孔之間還包括O型密封圈。
[0012]所述鉑網電極，鹽橋末端及測試孔位于同一直線上。
[0013]所述測試反應罐，壓片，鹽橋均采用聚四氟乙烯材料制成。
[0014]所述左夾板內壁還裝有液位傳感器，所述左夾板外壁裝有報警燈，所述液位傳感器通過連接線連接報警燈。
[0015]所述液位傳感器位于測試槽上方及環(huán)形固定槽下方。
[0016]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型所揭示的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，測試摻雜濃度的數(shù)據(jù)更精準、質量更牢固、操作方便，且?guī)в幸好孀詣痈兄b置，可實現(xiàn)加入液體量的精確把握，減少了人力、物力。
【附圖說明】
[0017]圖1是本實用新型所揭示的測試裝置的結構示意圖；
[0018]圖2是本實用新型所揭示的測試裝置的側面剖視圖；
[0019]圖3是本實用新型所揭示的測試反應罐的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0020]下面將結合本實用新型的附圖，對本實用新型實施例的技術方案進行清楚、完整的描述。
[0021]如圖1~3所示，本實用新型所揭示的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，具體包括測試反應罐1，固定機構及測試機構。
[0022]具體說來，所述測試反應罐I為中空圓柱形結構，其表層設有加樣孔9及反應孔10，所述反應孔10內安裝有鹽橋11，所述鹽橋11上端圓孔內塞有帶孔橡皮塞12，所述帶孔橡皮塞12內插有鉑絲電極13。
[0023]所述固定機構包括左夾板2，右夾板3，連接固定桿4及緊固螺栓5，所述左夾板2和右夾板3相對面的側面設有內凹的環(huán)形固定槽6及測試槽7，且所述測試槽7位于環(huán)形固定槽6中間，所述右夾板3的測試槽7中心還設有穿透的測試孔8，所述左夾板2和右夾板3安裝在所述測試反應罐I的兩端，且使得所述測試反應罐I插在所述環(huán)形固定槽6內固定，并通過四根連接固定桿4分別穿過所述右夾板3及左夾板2的四個角進行夾緊，所述連接固定桿4兩端均設有螺紋，一端通過緊固螺栓5進行左夾板2側緊固，另一端通過六角螺母進行右夾板3側緊固。
[0024]所述左夾板2內側還安裝有液位傳感器23，且所述液位傳感器23位于測試槽7上方及環(huán)形固定槽6下方，用于探測測試反應罐I內電解液的液位，所述左夾板2外側安裝有報警燈24，所述報警燈24連接液位傳感器23，一旦液位達液位傳感器的位置，報警燈24亮起，以告知使用者已經達到預定液位。
[0025]所述測試機構包括鉑網電極14，參比電極15，U型固定架16，壓片17，調節(jié)螺桿18，其中所述鉑網電極14安裝在左夾板2的測試槽7內，所述參比電極15安裝在所述左夾板2的上端面，所述鉑網電極14和參比電極15之間通過內置在左夾板2內的鉑絲19連接，所述U型固定架16安裝在右夾板3外側，其橫向面內側具有緊固環(huán)20，所述緊固環(huán)20內壁具有螺紋，所述壓片17正對所述測試孔8，其安裝在調節(jié)螺桿18的端部，且所述調節(jié)螺桿18表面具有螺紋，且另一端具有旋轉把手21，通過旋轉把手21調節(jié)所述調節(jié)螺桿18使得壓片17向測試孔8壓緊，并通過緊固環(huán)20進行緊固，所述壓片17與測試孔8之間加入O型密封圈22，所述鉑網電極14，鹽橋11末端及測試孔8位于同一直線上。
[0026]所述測試反應罐1，壓片17，鹽橋11均采用聚四氟乙烯材料制成。
[0027]本實用新型所揭示的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，其工作原理為:在測試裝置中加入電解液，用電解液來形成勢皇并同時去除已電解的材料，通過測試裝置重復腐蝕-測量循環(huán)就能得到測量曲線，然后運用莫特-肖特基方程方程，對腐蝕電流進行積分就可以連續(xù)得到腐蝕深度。
[0028]本實用新型的技術內容及技術特征已揭示如上，然而熟悉本領域的技術人員仍可能基于本實用新型的教示及揭示而作種種不背離本實用新型精神的替換及修飾，因此，本實用新型保護范圍應不限于實施例所揭示的內容，而應包括各種不背離本實用新型的替換及修飾，并為本專利申請權利要求所涵蓋。
【主權項】
1.一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，其特征在于:包括測試反應罐，固定機構及測試機構，其中所述測試反應罐表層并行設有加樣孔及反應孔，所述反應孔內安裝有鹽橋，所述鹽橋上端圓孔內塞有帶孔橡皮塞，所述帶孔橡皮塞內插有鉑絲電極； 所述固定機構包括安裝在所述測試反應罐兩側以夾持測試反應罐的左夾板及右夾板，穿插在所述左夾板和右夾板四個角上的連接固定桿及安裝在所述連接固定桿兩側用于緊固的緊固螺栓及六角螺母，且所述右夾板中心具有穿透的測試孔； 所述測試機構包括安裝在左夾板內側的鉑網電極，設于所述左夾板上端面的參比電極，安裝在右夾板外側的U型固定架，壓片及調節(jié)螺桿，其中所述鉑網電極與所述參比電極之間通過內置在左夾板內的鉑絲連接，所述U型固定架橫向面內側具有緊固環(huán)，所述壓片安裝在調節(jié)螺桿的端部正對所述測試孔，另一端具有旋轉把手，通過旋轉把手調節(jié)所述調節(jié)螺桿使得壓片向測試孔壓緊，并通過緊固環(huán)進行緊固。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，其特征在于:所述測試反應罐為中空圓柱形結構。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，其特征在于:所述左夾板和右夾板相對面的側面中間設有測試槽，所述測試孔位于所述右夾板的測試槽中心，所述鉑網電極安裝在所述左夾板的測試槽內。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，其特征在于:所述左夾板和右夾板相對面上設有環(huán)形固定槽，便于測試反應罐插入固定，且所述環(huán)形固定槽位于測試槽外部。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，其特征在于:所述壓片與測試孔之間還包括O型密封圈。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，其特征在于:所述鉑網電極，鹽橋末端及測試孔位于同一直線上。
7.根據(jù)權利要求1所述的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，其特征在于:所述測試反應罐，壓片，鹽橋均采用聚四氟乙烯材料制成。
8.根據(jù)權利要求4所述的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，其特征在于:所述左夾板內壁還裝有液位傳感器，所述左夾板外壁裝有報警燈，所述液位傳感器通過連接線連接報警燈。
9.根據(jù)權利要求8所述的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，其特征在于:所述液位傳感器位于測試槽上方及環(huán)形固定槽下方。
【專利摘要】本實用新型公開了一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，包括測試反應罐，固定機構及測試機構，其中所述測試反應罐表層并行設有加樣孔及反應孔，所述反應孔內安裝有鹽橋，所述鹽橋上端圓孔內塞有帶孔橡皮塞，所述帶孔橡皮塞內插有鉑絲電極。本實用新型所揭示的一種太陽能電池鋁背場材料摻雜濃度的測試裝置，測試摻雜濃度的數(shù)據(jù)更精準、質量更牢固、操作方便，且?guī)в幸好孀詣痈兄b置，可實現(xiàn)加入液體量的精確把握，減少了人力、物力。
【IPC分類】G01N27-26
【公開號】CN204422471
【申請?zhí)枴緾N201520078855
【發(fā)明人】朱鵬
【申請人】南通天盛新能源科技有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請日】2015年2月4日