一種x射線熒光探測裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種X射線熒光探測裝置，其特征在于，所述裝置包括支架，設(shè)置在支架上的X射線發(fā)生系統(tǒng)、X射線接收系統(tǒng)和平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，以及信息分析與控制系統(tǒng)。其中，所述X射線接收系統(tǒng)與X射線發(fā)生系統(tǒng)相對設(shè)置，用于接收經(jīng)X射線發(fā)生系統(tǒng)發(fā)出的X射線照射后待測樣品產(chǎn)生的X熒光；所述平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，包括平移機(jī)構(gòu)和轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述平移機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述X射線接收系統(tǒng)和/或所述X射線發(fā)生系統(tǒng)在水平方向平移；所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)X射線接收系統(tǒng)沿垂直于水平方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。本發(fā)明提供的X射線熒光探測裝置，可以滿足各種形態(tài)樣品的測試并極大地提高了測試結(jié)果的準(zhǔn)確度。
【專利說明】
一種X射線熒光探測裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及探測裝置領(lǐng)域，具體而言，涉及一種X射線熒光探測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著X射線熒光技術(shù)的不斷完善，帶動(dòng)X射線熒光光譜儀設(shè)備的發(fā)展。作為一種快速、準(zhǔn)確、經(jīng)濟(jì)、無損的物質(zhì)元素組成分析方法，已被廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、建材、礦勘、石油、化工、電氣、生物、醫(yī)療、刑偵、考古、奢侈品鑒定等諸多領(lǐng)域。樣品探測裝置是X射線熒光光譜儀中的重要部件?，F(xiàn)有技術(shù)中的探測裝置，其樣品倉采用一體式固定平面結(jié)構(gòu)測試面板和固定不可調(diào)的定位系統(tǒng)進(jìn)行檢測，對待測樣品表觀形貌要求較高，僅適用于平面形態(tài)的待測樣品。而對于特殊非平面型的待測樣品，測試時(shí)不平整的待檢底面區(qū)域極易將水平面定位薄膜壓變形，甚至將樣品盤/板壓離對中位置，而且難以檢測到凹進(jìn)去的區(qū)域，從而導(dǎo)致測試結(jié)果不準(zhǔn)確。所以為滿足各種形態(tài)樣品的測試結(jié)果準(zhǔn)確度要求，需要對現(xiàn)有的X射線熒光光譜儀的樣品倉定位系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)，提出功能結(jié)構(gòu)更合理、使用更方便、檢測結(jié)果更精確的樣品倉X射線接收系統(tǒng)可調(diào)節(jié)裝置，實(shí)現(xiàn)定位系統(tǒng)可調(diào)節(jié)功能，能夠通過調(diào)節(jié)X射線接收系統(tǒng)的水平位移和旋轉(zhuǎn)角度來提高樣品待測面高度，并保證接收到的X射線強(qiáng)度最高，從而不僅能適用于平面型樣品，也能適用于非平面型樣品的檢測，并通過信息分析系統(tǒng)和控制系統(tǒng)達(dá)到精準(zhǔn)定位，保證檢測結(jié)果的準(zhǔn)確度。
[0003]有鑒于此，特提出本發(fā)明。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的第一目的在于提供一種X射線熒光探測裝置，所述的X射線熒光探測裝置能能適用于平面型樣品，也能適用于非平面型樣品的檢測并采用信息分析和控制系統(tǒng)和控制電機(jī)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位，保證了檢測結(jié)果的高準(zhǔn)確度。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的上述目的，特采用以下技術(shù)方案:
[0006]本發(fā)明涉及一種X射線熒光探測裝置，其特征在于，所述裝置包括支架，設(shè)置在支架上的X射線發(fā)生系統(tǒng)、X射線接收系統(tǒng)和平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，以及信息分析與控制系統(tǒng)，其中，
[0007]所述X射線接收系統(tǒng)與X射線發(fā)生系統(tǒng)相對設(shè)置，用于接收經(jīng)X射線發(fā)生系統(tǒng)發(fā)出的X射線照射后待測樣品產(chǎn)生的X熒光；
[0008]所述平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，包括平移機(jī)構(gòu)和轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述平移機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述X射線接收系統(tǒng)和/或所述X射線發(fā)生系統(tǒng)在水平方向平移;所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)X射線接收系統(tǒng)和/或X射線發(fā)生系統(tǒng)沿垂直于水平方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0009]優(yōu)選地，所述平移機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述支架上的一對滑軌、設(shè)置在所述滑軌上的第一組滑塊和平移控制電機(jī);所述X射線發(fā)生系統(tǒng)的兩端分別固定在第一組滑塊上，所述平移控制電機(jī)控制第一組滑塊進(jìn)而帶動(dòng)所述X射線發(fā)生系統(tǒng)沿所述滑軌平移。
[0010]優(yōu)選地，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)的一端設(shè)有第一轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)。
[0011]優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括X射線接收系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述X射線接收系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在支架上的橫軸和第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)固定在所述橫軸的一端以控制橫軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述X射線接收系統(tǒng)設(shè)置在橫軸上。
[0012]優(yōu)選地，所述X射線接收系統(tǒng)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫軸和第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)固定在所述橫軸的一端以控制橫軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述X射線接收系統(tǒng)設(shè)置在橫軸上，所述滑軌上設(shè)置有第二組滑塊，所述橫軸的兩端設(shè)置在所述第二組滑塊上。
[0013]優(yōu)選地，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)包括X射線發(fā)射源、設(shè)置在所述X射線發(fā)射源上方的準(zhǔn)直器和準(zhǔn)直器控制電機(jī)，所述準(zhǔn)直器控制電機(jī)用于控制所述準(zhǔn)直器移動(dòng)至所述X射線發(fā)射源的正上方。
[0014]優(yōu)選地，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)還包括1-5個(gè)濾光片、濾光片調(diào)節(jié)器和光源控制電機(jī)，所述濾光片并列地設(shè)置在濾光片調(diào)節(jié)器上，所述光源控制電機(jī)用于控制所述濾光片調(diào)節(jié)器在所述X射線發(fā)射源的上方移動(dòng)。
[0015]優(yōu)選地，所述濾光片調(diào)節(jié)器上設(shè)置有激光發(fā)射源(2)，所述濾光片調(diào)節(jié)器可以帶動(dòng)所述激光發(fā)射源(2)移動(dòng)至所述X射線發(fā)射源的正上方。
[0016]優(yōu)選地，所述X射線接收系統(tǒng)上設(shè)置有感光傳感器、傳感器控制電機(jī)和感光傳感器移動(dòng)導(dǎo)軌，所述傳感器控制電機(jī)用于控制所述感光傳感器沿所述感光傳感器移動(dòng)導(dǎo)軌水平移動(dòng)至所述X射線接收系統(tǒng)的接收孔正上方位置。
[0017]優(yōu)選地，所述信息分析與控制系統(tǒng)與所述平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)連接，并控制平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0018]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果為:
[0019]I)本發(fā)明提供的X射線熒光探測裝置，通過平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)帶動(dòng)X射線接收系統(tǒng)或X射線發(fā)生系統(tǒng)在水平方向平移，或沿垂直于水平方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)，避免了待測樣品測試時(shí)不平整的待檢底面區(qū)域極易將水平面定位薄膜壓變形，甚至將樣品盤壓離對中位置，而且難以檢測到凹進(jìn)去的區(qū)域從而導(dǎo)致測試結(jié)果不準(zhǔn)確的問題，可以滿足各種形態(tài)樣品的測試并極大地提高了測試結(jié)果的準(zhǔn)確度；
[0020]2)本發(fā)明采用激光發(fā)射源(2)、感光傳感器、信息分析和控制系統(tǒng)和控制電機(jī)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位，保證了檢測結(jié)果的高準(zhǔn)確度；
[0021]3)本發(fā)明功能結(jié)構(gòu)更合理、使用更方便、檢測結(jié)果更精確。
【附圖說明】
[0022]為了更清楚地說明本發(fā)明【具體實(shí)施方式】或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對【具體實(shí)施方式】或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施方式，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0023]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2是圖1的局部放大圖；
[°°25]圖3是本發(fā)明的原理示意圖。
[0026]附圖標(biāo)記:
[0027]1-X射線發(fā)生系統(tǒng)、2-激光發(fā)射源、3-光源控制電機(jī)、4-滑塊、5_導(dǎo)軌、6-橫軸、7_傳感器控制電機(jī)、8-傳感器移動(dòng)導(dǎo)軌、9-X射線接收系統(tǒng)、10-感光傳感器、11-支架、12-平移控制電機(jī)、13-旋轉(zhuǎn)控制電機(jī)、14-濾光片調(diào)節(jié)器、15-X射線發(fā)射源、16-準(zhǔn)直器、17-準(zhǔn)直器控制電機(jī)、18-信息接收和控制系統(tǒng)、19-待測面。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0029]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。其中，術(shù)語“第一位置”和“第二位置”為兩個(gè)不同的位置。
[0030]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接;可以是機(jī)械連接，也可以是電連接;可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0031 ]本發(fā)明的一個(gè)方面涉及一種X射線熒光探測裝置，所述裝置包括支架(II)，設(shè)置在支架(11)上的X射線發(fā)生系統(tǒng)(1)、X射線接收系統(tǒng)(9)和平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，以及信息分析與控制系統(tǒng)，其中，所述X射線接收系統(tǒng)(9)與X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)相對設(shè)置，用于接收經(jīng)X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)發(fā)出的X射線照射后待測樣品產(chǎn)生的X熒光；
[0032]所述平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，包括平移機(jī)構(gòu)和轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述平移機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述X射線接收系統(tǒng)(9)和/或所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)在水平方向平移;所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)X射線接收系統(tǒng)(9)沿垂直于水平方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0033]本發(fā)明的裝置，由于設(shè)置有平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)和/或所述X射線接收系統(tǒng)(9)可以在其帶動(dòng)下實(shí)現(xiàn)水平位置上的移動(dòng)和軸向的旋轉(zhuǎn)，如此設(shè)計(jì)可以使得本發(fā)明的裝置不僅限于檢測外觀形貌較為規(guī)則的平面形態(tài)的待測品，還可以用以檢測特殊的非平面型的待測品。此外，本發(fā)明中的信息分析與控制系統(tǒng)不僅可以用于信息的收集和分析，還可以反作用于平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，指導(dǎo)其運(yùn)轉(zhuǎn)，以使得X射線接收系統(tǒng)(9)能夠接收到信號最強(qiáng)的X射線，從而提尚檢測的精確度。
[0034]在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)和所述X射線接收系統(tǒng)(9)分別與第一平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)和第二平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)連接，其分別帶動(dòng)所述X射線接收系統(tǒng)(9)和所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)在水平位置上移動(dòng)并可沿垂直于水平方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0035]進(jìn)一步地，所述平移機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述支架(II)上的一對滑軌、設(shè)置在所述滑軌上的第一組滑塊和設(shè)置在所述第一組滑塊上的平移控制電機(jī)(12);所述X射線發(fā)生系統(tǒng)
(I)的兩端分別固定在第一組滑塊上，所述平移控制電機(jī)(12)控制第一組滑塊進(jìn)而帶動(dòng)所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)沿所述滑軌平移。
[0036]本發(fā)明中，所述X射線接收系統(tǒng)(9)和X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)相對設(shè)置，所述滑軌設(shè)置在所述X射線接收系統(tǒng)(9)以及和X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)的兩側(cè)，X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)的兩端分別固定在第一組滑塊上，通過平移控制電機(jī)(12)控制X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)沿滑軌在靠近或遠(yuǎn)離所述X射線接收系統(tǒng)(9)的方向上平移，從而調(diào)整最佳的檢測位置，提高檢測的準(zhǔn)確度。
[0037]進(jìn)一步地，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)的一端設(shè)有第一轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)。
[0038]在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，所述第一平移控制電機(jī)(12)設(shè)置在第一組滑塊上，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)的一端固定在第一轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)上，通過第一轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)帶動(dòng)其在沿垂直于水平方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0039]本發(fā)明通過平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)帶動(dòng)所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)進(jìn)行水平位移和/或旋轉(zhuǎn)角度，以提高樣品待測面高度，并保證接收到的X射線強(qiáng)度最高，從而不僅能適用于平面型樣品，也能適用于非平面型樣品的檢測，保證檢測結(jié)果的準(zhǔn)確度。
[0040]在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，所述第一滑塊上設(shè)置有凸臺，所述凸臺上設(shè)置有鉚接固定組件，所述X射線發(fā)射系統(tǒng)與所述凸臺鉚接并固定在所述滑塊上，所述滑塊可通過平移控制電機(jī)(12)供能，帶動(dòng)X射線發(fā)射系統(tǒng)沿所述滑軌在水平位置上滑動(dòng)平移。
[0041]所述X射線接收系統(tǒng)(9)通過以上設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)水平位置上的滑動(dòng)，在優(yōu)選的實(shí)施方式中，其還可以軸向旋轉(zhuǎn)，因此其適用的范圍更加廣泛。
[0042]轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)可以控制X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)沿軸向轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0043]進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括X射線接收系統(tǒng)(9)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述X射線接收系統(tǒng)(9)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在支架(II)上的橫軸(6)和第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)固定在所述橫軸(6)的一端以控制橫軸(6)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述X射線接收系統(tǒng)(9)設(shè)置在橫軸(6)上。
[0044]在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括鉚接固定組件和設(shè)置在橫軸
(6)兩端的鉚接凸起，所述橫軸(6)與所述鉚接固定組件連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)固定在橫軸(6)的一段并且可以提供動(dòng)力控制橫軸(6)的轉(zhuǎn)動(dòng)，X射線接收系統(tǒng)(9)不可拆卸地固定在橫軸(6)上，優(yōu)選地，所述X射線接收系統(tǒng)(9)與橫軸(6)呈一體式設(shè)計(jì)。
[0045]在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括卡接固定組件和設(shè)置在橫軸
(6)兩端的卡接突起，所述卡接固定組件是具有向內(nèi)凹陷的卡接槽的凸臺，所述卡接突起與所述卡接槽連接并可沿軸向轉(zhuǎn)動(dòng)，橫軸(6)的一端與轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)可以提供動(dòng)力控制恒重的轉(zhuǎn)動(dòng)，X射線系統(tǒng)被不可拆卸地固定在橫軸(6)上，優(yōu)選地，所述X射線接收系統(tǒng)(9)與橫軸(6)呈一體式設(shè)計(jì)。
[0046]所述X射線接收系統(tǒng)(9)固定在橫軸(6)上與X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)對向設(shè)置，因此X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)射出的X射線可以準(zhǔn)確地被X射線接收系統(tǒng)(9)接收，而X射線接收系統(tǒng)(9)能夠通過橫軸(6)實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)有助于接收到信號最強(qiáng)的X射線，從而提高測定精確度。
[0047]進(jìn)一步地，所述X射線接收系統(tǒng)(9)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫軸(6)和第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)固定在所述橫軸(6)的一端以控制橫軸(6)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述X射線接收系統(tǒng)(9)設(shè)置在橫軸(6)上，所述滑軌上設(shè)置有第二組滑塊，所述橫軸(6)的兩端設(shè)置在所述第二組滑塊上。
[0048]在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，所述第二組滑塊上分別設(shè)有凸臺，所述凸臺上設(shè)有圓柱狀內(nèi)陷卡接槽，所述橫軸(6)的兩端上設(shè)有卡接凸起并與所述凸臺卡接，所述橫軸
(6)的一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)控制電機(jī)(13)，所述旋轉(zhuǎn)控制電機(jī)(13)可以控制所述橫軸(6)旋轉(zhuǎn)，所述滑塊上設(shè)有平移移動(dòng)電機(jī)，所述平移移動(dòng)電機(jī)可以控制所述滑塊帶動(dòng)橫軸(6)沿滑軌平移。
[0049]在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，所述第二組滑塊上分別設(shè)有凸臺，所述凸臺上設(shè)有鉚接槽，所述橫軸(6)的兩端上設(shè)有鉚接組件并與所述凸臺鉚接，所述橫軸(6)的一端設(shè)有旋轉(zhuǎn)控制電機(jī)(13)，所述旋轉(zhuǎn)控制電機(jī)(13)可以控制所述橫軸(6)旋轉(zhuǎn)，所述滑塊上設(shè)有平移移動(dòng)電機(jī)，所述平移移動(dòng)電機(jī)可以控制所述滑塊帶動(dòng)橫軸(6)沿滑軌平移。
[0050]通過以上設(shè)計(jì)，X射線接收系統(tǒng)(9)可以在軸向旋轉(zhuǎn)并可以沿滑軌平移，因此可以更準(zhǔn)確地定位以獲得最佳的檢測精確度。
[0051]進(jìn)一步地，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)包括X射線發(fā)射源(15)、設(shè)置在所述X射線發(fā)射源(15)上方的準(zhǔn)直器(16)和準(zhǔn)直器(16)控制電機(jī)，所述準(zhǔn)直器(16)控制電機(jī)用于控制所述準(zhǔn)直器(16)移動(dòng)至所述X射線發(fā)射源(15)的正上方。
[0052]在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)上設(shè)有準(zhǔn)直器(16)滑軌，所述準(zhǔn)直器(16)可以沿所述滑軌滑動(dòng)至X射線發(fā)射源(15)的正上方。檢測應(yīng)用中，由信息接收和控制系統(tǒng)(18)控制準(zhǔn)直器(16)滑動(dòng)電機(jī)使準(zhǔn)直器(16)精確地沿所述準(zhǔn)直器(16)滑軌移動(dòng)到X射線發(fā)射源(15)的正上方。
[0053]在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，所述準(zhǔn)直器(16)上設(shè)置有4個(gè)不同的孔，所述孔可根據(jù)需求精確地由準(zhǔn)直器(16)帶動(dòng)而滑動(dòng)至X射線發(fā)射源(15)的正上方。
[0054]進(jìn)一步地，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)還包括1-5個(gè)濾光片、濾光片調(diào)節(jié)器(14)和光源控制電機(jī)(3)，所述濾光片被并列地設(shè)置在濾光片調(diào)節(jié)器(14)上，所述光源控制電機(jī)(3)用于控制所述濾光片調(diào)節(jié)器(14)在所述X射線發(fā)射源(15)的上方移動(dòng)。
[0055]在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，所述濾光片調(diào)節(jié)器(14)上設(shè)有4個(gè)濾光片，所述濾光片并列設(shè)置，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)(I)上還設(shè)有調(diào)節(jié)器滑軌。檢測應(yīng)用中，由信息接收和控制系統(tǒng)(18)控制所述光源控制電機(jī)(3)使濾光片調(diào)節(jié)器(14)沿調(diào)節(jié)器滑軌滑動(dòng)，可根據(jù)需求使得滑軌上設(shè)置的某一所需濾光片滑動(dòng)至X射線發(fā)射源(15)的正上方。
[0056]進(jìn)一步地，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，所述濾光片調(diào)節(jié)器(14)上設(shè)有I個(gè)濾光片;在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式中，所述濾光片調(diào)節(jié)器(14)上設(shè)有5個(gè)濾光片。
[0057]使用過程中，濾光片調(diào)節(jié)器(14)帶動(dòng)所需濾光片滑動(dòng)至X射線發(fā)射源(15)的正上方，后準(zhǔn)直器(16)沿準(zhǔn)直器(16)滑軌滑動(dòng)至X射線發(fā)射源(15)和所選用的濾光片的正上方，X射線發(fā)射源(15)射出所需的X射線。
[0058]進(jìn)一步地，所述濾光片調(diào)節(jié)器(14)上設(shè)置有激光發(fā)射源(2)，所述濾光片調(diào)節(jié)器
(14)可以帶動(dòng)所述激光發(fā)射源(2)移動(dòng)至所述X射線發(fā)射源(15)的正上方。
[0059]應(yīng)用中，信息接收和控制系統(tǒng)(18)啟動(dòng)光源控制電機(jī)(3)帶動(dòng)濾光片調(diào)節(jié)器(14)滑動(dòng)，使所述激光發(fā)射源(2)移動(dòng)到X射線發(fā)射源(15)的正上方，精確定位后，啟動(dòng)激光發(fā)射源(2)沿固定角度發(fā)射激光。
[0060]使用激光發(fā)射源(2)發(fā)射激光的目的在于精確定位并尋找X射線接收系統(tǒng)(9)的最佳水平位置和角度。
[0061]進(jìn)一步地，所述X射線接收系統(tǒng)(9)上設(shè)置有感光傳感器(10)、傳感器控制電機(jī)(7)和感光傳感器(10)移動(dòng)導(dǎo)軌(8)，所述傳感器控制電機(jī)(7)用于控制所述感光傳感器(10)沿所述感光傳感器(10)移動(dòng)導(dǎo)軌(8)水平移動(dòng)至所述X射線接收系統(tǒng)(9)的接收孔正上方位置。
[0062]應(yīng)用中，信息接收和控制系統(tǒng)(18)啟動(dòng)傳感器控制電機(jī)(7)，使感光傳感器(10)沿傳感器移動(dòng)導(dǎo)軌(8)移動(dòng)到X射線接收系統(tǒng)(9)的接收孔正上方位置。后信息接收和控制系統(tǒng)(18)啟動(dòng)平移控制電機(jī)(12)，平移控制電機(jī)(I2)帶動(dòng)X射線接收系統(tǒng)(9)沿導(dǎo)軌在水平方向上移動(dòng)，直到感光傳感器(10)接收到激光信號，然后迅速通過信號線傳輸?shù)叫畔⑾到y(tǒng)和控制系統(tǒng)，使控制系統(tǒng)立即控制平移控制電機(jī)(12)停止運(yùn)行，由于光電信號傳輸?shù)某焖俣瓤蓪?shí)現(xiàn)X射線接收系統(tǒng)(9)在水平方向上的精準(zhǔn)定位。X射線接收系統(tǒng)(9)在水平方向上精準(zhǔn)定位后，啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)控制電機(jī)(13)，旋轉(zhuǎn)控制電機(jī)(13)帶動(dòng)橫軸(6)上的X射線接收系統(tǒng)
(9)旋轉(zhuǎn)，不斷調(diào)整激光接收角度，直到感光傳感器(10)接收到最強(qiáng)的激光信號，然后迅速通過信號線傳輸?shù)叫畔⑾到y(tǒng)和控制系統(tǒng)，使控制系統(tǒng)立即控制旋轉(zhuǎn)控制電機(jī)(13)停止運(yùn)行，由于光電信號傳輸?shù)某焖俣瓤蓪?shí)現(xiàn)X射線接收角度的精準(zhǔn)定位。
[0063]通過以上設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)X射線接收系統(tǒng)(9)的完整精確定位，保證X射線發(fā)射系統(tǒng)可以接收到最強(qiáng)信號的X射線并從而提高檢測精度。
[0064]進(jìn)一步地，所述信息分析與控制系統(tǒng)與所述平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)連接，并控制平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0065]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，通過精準(zhǔn)定位調(diào)節(jié)，X射線接收系統(tǒng)(9)可以接收到最強(qiáng)的X射線，得到的檢測數(shù)據(jù)更精確，而且通過激光輔助定位調(diào)節(jié)滿足了對于不平整待測面凹進(jìn)區(qū)域的檢測需求，使其不僅能適用于平面型樣品，也能適用于非平面型樣品的檢測，達(dá)到了功能結(jié)構(gòu)更合理、使用更方便、檢測結(jié)果更精確的設(shè)備改進(jìn)目的。
[0066]最后應(yīng)說明的是:以上各實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制;盡管參照前述各實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種X射線熒光探測裝置，其特征在于，所述裝置包括支架，設(shè)置在支架上的X射線發(fā)生系統(tǒng)、X射線接收系統(tǒng)和平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，以及信息分析與控制系統(tǒng)，其中， 所述X射線接收系統(tǒng)與X射線發(fā)生系統(tǒng)相對設(shè)置，用于接收經(jīng)X射線發(fā)生系統(tǒng)發(fā)出的X射線照射后待測樣品產(chǎn)生的X熒光； 所述平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，包括平移機(jī)構(gòu)和轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述平移機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述X射線接收系統(tǒng)和/或所述X射線發(fā)生系統(tǒng)在水平方向平移;所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)X射線接收系統(tǒng)沿垂直于水平方向的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述平移機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述支架上的一對滑軌、設(shè)置在所述滑軌上的第一組滑塊和平移控制電機(jī);所述X射線發(fā)生系統(tǒng)的兩端分別固定在第一組滑塊上，所述平移控制電機(jī)控制第一組滑塊進(jìn)而帶動(dòng)所述X射線發(fā)生系統(tǒng)沿所述滑軌平移。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)的一端設(shè)有第一轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括X射線接收系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述X射線接收系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在支架上的橫軸和第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)固定在所述橫軸的一端以控制橫軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述X射線接收系統(tǒng)設(shè)置在橫軸上。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述X射線接收系統(tǒng)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫軸和第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)，所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)控制電機(jī)固定在所述橫軸的一端以控制橫軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述X射線接收系統(tǒng)設(shè)置在橫軸上，所述滑軌上設(shè)置有第二組滑塊，所述橫軸的兩端設(shè)置在所述第二組滑塊上。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)包括X射線發(fā)射源、設(shè)置在所述X射線發(fā)射源上方的準(zhǔn)直器和準(zhǔn)直器控制電機(jī)，所述準(zhǔn)直器控制電機(jī)用于控制所述準(zhǔn)直器移動(dòng)至所述X射線發(fā)射源的正上方。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述X射線發(fā)生系統(tǒng)還包括1-5個(gè)濾光片、濾光片調(diào)節(jié)器和光源控制電機(jī)，所述濾光片被并列地設(shè)置在濾光片調(diào)節(jié)器上，所述光源控制電機(jī)用于控制所述濾光片調(diào)節(jié)器在所述X射線發(fā)射源的上方移動(dòng)。8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述濾光片調(diào)節(jié)器上設(shè)置有激光發(fā)射源，所述濾光片調(diào)節(jié)器可以帶動(dòng)所述激光發(fā)射源移動(dòng)至所述X射線發(fā)射源的正上方。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述X射線接收系統(tǒng)上設(shè)置有感光傳感器、傳感器控制電機(jī)和感光傳感器移動(dòng)導(dǎo)軌，所述傳感器控制電機(jī)用于控制所述感光傳感器沿所述感光傳感器移動(dòng)導(dǎo)軌水平移動(dòng)至所述X射線接收系統(tǒng)的接收孔正上方位置。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述信息分析與控制系統(tǒng)與所述平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)連接，并控制平移轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)。
【文檔編號】G01N23/223GK105891246SQ201610465363
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年6月23日
【發(fā)明人】丁嬌嬌, 母海亮, 王雅西
【申請人】北京至恒盛技術(shù)服務(wù)有限公司, 北京至一恒盛技術(shù)服務(wù)有限公司