以是限制適用波長范圍的帶通濾波器。參照圖3?8并由以上所述的制造工序來制得光譜傳感器I。
[0073]在本實施方式的光譜傳感器I中，連通光透過區(qū)域11的周圍區(qū)域Rl的內(nèi)側(cè)和周圍區(qū)域Rl的外側(cè)的開口部Al，A2被設(shè)置于墊片4A，4B。為此，即使是將被電連接于光檢測器3的電極焊墊2b配置于由光透過區(qū)域11的周圍區(qū)域的墊片4A，4B圍起來的區(qū)域的內(nèi)側(cè)的情況，能夠以經(jīng)由墊片4A，4B的開口部Al的形式設(shè)置用于電連接該電極焊墊2b和其他元件的引線
8。由此，就能夠確保對于光檢測器3的電連接。因此，在從法布里-珀羅干涉濾光片10中的光的透過方向來看的情況下，沒有必要將被電連接于光檢測器3的電極焊墊2b配置于法布里-珀羅干涉濾光片10的外側(cè)。因此，就能夠?qū)⒐庾V傳感器I的大小做到與法布里-珀羅干涉濾光片1的大小基本相同等。因此，就能夠?qū)庾V傳感器I實行小型化。
[0074]另外，墊片4A，4B具有開口部Al,Al。由此，被密閉的空間不會由法布里-珀羅干涉濾光片10和墊片4A以及芯片鍵合樹脂5來進(jìn)行形成。因此，在光譜傳感器I制造過程的熱固化芯片鍵合樹脂5的時候被法布里-珀羅干涉濾光片10、墊片4以及芯片鍵合樹脂5圍起來的空氣發(fā)生熱膨脹而使芯片鍵合樹脂5破裂的情況變得不存在。由此，法布里-珀羅干涉濾光片10的定位發(fā)生偏移而使光學(xué)特性降低的情況能夠抑制。再有，作為光檢測器3例如在使用具有溫差電堆(thermopile)等膜結(jié)構(gòu)的元件的情況下，能夠防止光檢測器3的膜結(jié)構(gòu)由于空氣的熱膨脹而發(fā)生破損。
[0075]另外，將被電連接于光檢測器3的電極焊墊2b配置于光透過區(qū)域11的周圍區(qū)域Rl內(nèi)的由墊片4A，4B圍起來的區(qū)域的內(nèi)側(cè)。為此，能夠以經(jīng)由墊片4A，4B的開口部Al的形式設(shè)置用于電連接該電極焊墊2b和其他元件的配線。由此，就能夠確保對于光檢測器3的電連接。因此，與將電極焊墊2b配置于由墊片4A，4B圍起來的區(qū)域之外的情況相比較，用于配置電極焊墊2b的空間變得不再需要。因此，就能夠?qū)庾V傳感器I實行小型化。
[0076]另外，法布里-珀羅干涉濾光片10具有端子12，13。墊片4A，4B在從法布里-珀羅干涉濾光片10中的光的透過方向來看的情況下是被配置于對應(yīng)于法布里-珀羅干涉濾光片10的端子12，13的位置。為此，在光譜傳感器I制造過程的引線鍵合工序中，法布里-珀羅干涉濾光片10的端子12，13由被設(shè)置于對應(yīng)于端子12，13的位置的墊片4A，4B而被支撐。因此，能夠提尚引線鍵合性。
[0077]另外，法布里-珀羅干涉濾光片10具有光透過區(qū)域11。墊片4A，4B在從法布里-珀羅干涉濾光片10中的光的透過方向來看的情況下與法布里-珀羅干涉濾光片10的光透過區(qū)域11分開。因此，因為墊片4A，4B與光透過區(qū)域11分開所以在制造光譜傳感器I的時候即使是在芯片鍵合樹脂5溢出的情況下也能夠抑制芯片鍵合樹脂5滲透侵入到光透過區(qū)域11。假如即使是芯片鍵合樹脂5被過度涂布的情況，那么多余的芯片鍵合樹脂5變得會向墊片4A，4B的下側(cè)順延流動。由此，就能夠防止芯片鍵合樹脂5順延流動到光透過區(qū)域11。
[0078]另外，如圖7(B)所示墊片4A的外側(cè)面與法布里-珀羅干涉濾光片10的外側(cè)面相比較相對只有一點點位于外側(cè)。因此，因為形成了芯片鍵合樹脂5的樹脂圓角(fillet)所以能夠確實地實現(xiàn)粘結(jié)。
[0079][變形例]
[0080]還有，關(guān)于參照圖4(B)來進(jìn)行說明的墊片4的配置以及參照5(A)來進(jìn)行說明的芯片鍵合樹脂5的配置，能夠?qū)嵭懈鞣N各樣的變形。例如，如圖9所示分別在矩形配線基板2的4個頂點的近旁配置柱狀墊片4C。然后，也可以分別在4根墊片4C的上表面將芯片鍵合樹脂5涂布成點狀。
[0081]另外，如圖10(A)所示將U字狀的墊片4D固定于配線基板2上。然后，也可以遍布該U字狀的墊片4D的上面的大致全長來涂布芯片鍵合樹脂5。
[0082]另外，如圖10(B)所示將L字型的墊片4E固定于配線基板2的4個頂點當(dāng)中位于配線基板2的對角線上的2個頂點。然后，也可以遍布該墊片4E的上表面來涂布芯片鍵合樹脂5。
[0083]另外，在以上所述的實施方式中如圖2所示光透過區(qū)域11當(dāng)作為是比開口50a窄的區(qū)域而作了說明。但是，本發(fā)明并不限定于像這樣的方式。在將寬度預(yù)先被縮小的光作為入射光來進(jìn)行導(dǎo)入的情況下，如圖2所示光透過區(qū)域11成為比開口50a來得窄。然而，例如在將比開口 50a寬廣的光作為入射光來進(jìn)行導(dǎo)入的情況下，開口 50a劃定光透過區(qū)域11。本發(fā)明也能夠適用于像這樣的方式。
[0084]產(chǎn)業(yè)上的利用可能性
[0085]根據(jù)本發(fā)明的一個方式所涉及的光檢測裝置，能夠進(jìn)行小型化。
[0086]符號說明
[0087]1.光譜傳感器(光檢測裝置)
[0088]2.配線基板
[0089]2A.主面
[0090]2b.電極焊墊(鍵合焊墊)
[0091]3.光檢測器
[0092]4，4A?4E.墊片(支撐構(gòu)件)
[0093]10.法布里-珀羅干涉濾光片
[0094]11.光透過區(qū)域
[0095]12，13.端子(鍵合焊墊)
[0096]Al.開口部
[0097]Rl.光透過區(qū)域11的周圍區(qū)域
【主權(quán)項】
1.一種光檢測裝置，其特征在于: 具備: 配線基板，具有主面； 光檢測器，被配置于所述配線基板的所述主面上并且與所述配線基板電連接； 支撐構(gòu)件，在所述配線基板的所述主面上被配置于所述光檢測器的周圍； 法布里-珀羅干涉濾光片，具有光透過區(qū)域并且經(jīng)由所述支撐構(gòu)件被配置于所述配線基板的所述主面上； 所述支撐構(gòu)件在所述光透過區(qū)域的周圍區(qū)域支撐所述法布里-珀羅干涉濾光片， 在從所述光透過區(qū)域中的光的透過方向看的情況下，所述支撐構(gòu)件具有連通所述周圍區(qū)域的內(nèi)側(cè)和所述周圍區(qū)域的外側(cè)的開口部。2.如權(quán)利要求1所述的光檢測裝置，其特征在于: 進(jìn)一步具備引線連接部，其連接于相對于所述光檢測器或者所述法布里-珀羅干涉濾光片被電連接的引線的一端并且相對于所述光檢測器或者所述法布里-珀羅干涉濾光片輸入或者輸出電信號， 所述引線連接部的上表面被配置于低于所述法布里-珀羅干涉濾光片的上表面的位置。3.如權(quán)利要求2所述的光檢測裝置，其特征在于: 所述引線連接部的上表面被配置于低于所述支撐構(gòu)件的上表面的位置。4.如權(quán)利要求2或者3所述的光檢測裝置，其特征在于: 所述引線連接部包含被電連接于所述光檢測器的第I引線連接部和被電連接于所述法布里-珀羅干涉濾光片的第2引線連接部， 所述第I引線連接部與所述法布里-珀羅干涉濾光片的距離成為最短的第I方向，相對于所述第2引線連接部與所述法布里-珀羅干涉濾光片的距離成為最短的第2方向交叉。5.如權(quán)利要求1?4中任意一項所述的光檢測裝置，其特征在于: 被電連接于所述光檢測器的鍵合焊墊的至少一部分被配置于所述周圍區(qū)域內(nèi)。6.如權(quán)利要求1?5中任意一項所述的光檢測裝置，其特征在于: 所述法布里-珀羅干涉濾光片具有鍵合焊墊，在從所述透過方向看的情況下，所述支撐構(gòu)件被配置于對應(yīng)于所述法布里-珀羅干涉濾光片的鍵合焊墊的位置。7.如權(quán)利要求1?6中任意一項所述的光檢測裝置，其特征在于: 在從所述透過方向看的情況下，所述支撐構(gòu)件與所述法布里-珀羅干涉濾光片的所述光透過區(qū)域分開。
【專利摘要】本發(fā)明所涉及的光譜傳感器(1)的特征在于：具備：配線基板(2)，具有主面；光檢測器(3)，被配置于配線基板(2)的主面(2A)上并且與配線基板(2)相電連接；墊片(4)，在配線基板的主面(2A)上被配置于光檢測器(3)的周圍；法布里-珀羅干涉濾光片(10)，具有光透過區(qū)域(11)并且通過墊片(4)被配置于配線基板(2)的主面(2A)上；墊片(4)在光透過區(qū)域(11)的周圍區(qū)域(R1)支撐法布里-珀羅干涉濾光片(10)，墊片(4)在從光透過區(qū)域(11)中的光的透過方向看的情況下具有連通周圍區(qū)域(R1)的內(nèi)側(cè)和周圍區(qū)域(R1)的外側(cè)的開口部(A1)。
【IPC分類】G01J3/26
【公開號】CN105705920
【申請?zhí)枴緾N201480059055
【發(fā)明人】柴山勝己, 笠原隆, 廣瀬真樹, 川合敏光
【申請人】浜松光子學(xué)株式會社
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2014年10月31日
【公告號】WO2015064750A1