40a上設(shè)置溝槽28。溝槽28是以圍繞端子12的形式以環(huán)狀進(jìn)行延展。溝槽28的底面到達(dá)犧牲層16。溝槽28將端子12與第3電極19電絕緣。溝槽28內(nèi)的區(qū)域既可以是絕緣材料也可以是空隙。
[0057]在基板14的光出射側(cè)的表面14b上按反射防止層51、第3層疊體52、中間層53以及第4層疊體54這個(gè)順序進(jìn)行層疊。反射防止層51以及中間層53分別具有與反射防止層15以及犧牲層16相同的結(jié)構(gòu)。第3層疊體52以及第4層疊體54分別將基板14作為基準(zhǔn)而具有與第I層疊體30以及第2層疊體40相對(duì)稱(chēng)的層疊結(jié)構(gòu)。由這些反射防止層51、第3層疊體52、中間層53以及第4層疊體54構(gòu)成了應(yīng)力調(diào)整層50。應(yīng)力調(diào)整層50被配置于基板14的光出射側(cè)并且具有抑制基板14發(fā)生翹曲的功能。在應(yīng)力調(diào)整層50上以包含光透過(guò)區(qū)域11的形式設(shè)置開(kāi)口 50a。在應(yīng)力調(diào)整層50的光出射側(cè)的表面50b上形成遮光層29。遮光層29由鋁等構(gòu)成，并且具有能夠?qū)y(cè)定光實(shí)行遮光的功能。
[0058]在以以上所述形式進(jìn)行構(gòu)成的法布里-珀羅干涉濾光片10中，如果通過(guò)端子12，13將電壓施加于第I電極17與第3電極19之間的話，則對(duì)應(yīng)于該電壓的靜電力將會(huì)產(chǎn)生于第I電極17與第3電極19之間。第2反射鏡41由該靜電力而以被吸引到在基板14上固定的第I反射鏡31側(cè)的形式被驅(qū)動(dòng)。由該驅(qū)動(dòng)來(lái)調(diào)整第I反射鏡31與第2反射鏡41的距離。透過(guò)法布里-珀羅干涉濾光片1的光的波長(zhǎng)依存于光透過(guò)區(qū)域11中的第I反射鏡31與第2反射鏡41的距離。因此，通過(guò)調(diào)整施加于第I電極17與第3電極19之間的電壓，從而就能夠適宜選擇進(jìn)行透過(guò)的光的波長(zhǎng)。此時(shí)，第2電極18成為與被電連接的第3電極19相同電位。因此，第2電極18作為用于在光透過(guò)區(qū)域11平坦地保持第I反射鏡31以及第2反射鏡41的補(bǔ)償電極而起作用。
[0059][光譜傳感器的制造工序]
[0060]接著，參照附圖3?8并就本實(shí)施方式所涉及的光譜傳感器的制造工序作如下說(shuō)明。圖3?5以及圖8是為了表示制造工序的平面圖。圖6是對(duì)應(yīng)于圖5(B)的側(cè)面圖。圖7是圖5(B)中的VI1-VII線截面圖以及其一部分的放大圖。如圖3(A)所示，首先準(zhǔn)備基座6?；?例如是TO-CAN基座?；?具備具有導(dǎo)電性的引線銷(xiāo)針6b貫通于圓盤(pán)狀基底6a的結(jié)構(gòu)。
[0061]接著，如圖3(B)所示將配線基板2配置于基座6的基底6a之上。然后，用樹(shù)脂將配線基板2粘結(jié)于基底6a。在配線基板2之上配置安裝部2a、多個(gè)電極焊墊2b(鍵合焊墊bondingpad)、安裝部2c。安裝部2a是用于固定光檢測(cè)器3的部位。安裝部2c是用于配置熱敏電阻7的部位。安裝部2a，2c由配線2d而與各個(gè)分別的電極焊墊2b相電連接。還有，在圖3(B)中配線基板2是作為具有正方形平面形狀的配線基板來(lái)進(jìn)行表示的，但是并限定于此，例如如圖11所示配線基板2B也可以具有在與光檢測(cè)器3相連接的引線銷(xiāo)針6b與法布里-珀羅干涉濾光片10的距離成為最短的方向上為長(zhǎng)邊的長(zhǎng)方形平面形狀。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，引線銷(xiāo)針6b與被配置于配線基板2的上表面的光檢測(cè)器3等元件的電連接將會(huì)變得容易。
[0062]接著，如圖4(A)所示在配線基板2的安裝部2a上配置光檢測(cè)器3。另外，在配線基板2的安裝部2c上配置熱敏電阻7。另外，在配線基板2上以互相平行地進(jìn)行延伸的形式配置2根棒狀構(gòu)件即墊片4A，4B。墊片4在從法布里-珀羅干涉濾光片10的光透過(guò)區(qū)域11中的光的透過(guò)方向(垂直于紙面的方向)來(lái)看的情況下是以具有2個(gè)開(kāi)口部Al ,Al的形式進(jìn)行設(shè)置的。開(kāi)口部Al ,Al連通光透過(guò)區(qū)域11的周?chē)鷧^(qū)域Rl的內(nèi)側(cè)和周?chē)鷧^(qū)域Rl的外側(cè)。被電連接于安裝有光檢測(cè)器3的安裝部2a的電極焊墊2b在配線基板2的主面2A上是被配置于光透過(guò)區(qū)域11的周?chē)鷧^(qū)域Rl內(nèi)。
[0063]2根墊片4A，4B在從法布里-珀羅干涉濾光片10的光透過(guò)區(qū)域11中的光的透過(guò)方向來(lái)看的情況下是被配置于光透過(guò)區(qū)域11的周?chē)鷧^(qū)域。即，墊片4A，4B在從光透過(guò)區(qū)域11中的光的透過(guò)方向來(lái)看的情況下是與光透過(guò)區(qū)域11分開(kāi)而進(jìn)行配置的。還有，關(guān)于熱敏電阻7可以進(jìn)彳丁省略。
[0064]接著，如圖4(B)所示使用引線(Wire)S并由引線鍵合來(lái)電連接光檢測(cè)器3、熱敏電阻7、電極焊墊2b_l，2b_2、基座6的引線銷(xiāo)針6b_l(第I引線連接部)。引線8的材質(zhì)例如為金(Au) ο
[0065]在此，被電連接于光檢測(cè)器3的電極焊墊2b在配線基板2的主面2A上是被配置于光透過(guò)區(qū)域11的周?chē)鷧^(qū)域Rl內(nèi)。另外，在被電連接于光檢測(cè)器3的電極焊墊2b上進(jìn)行連接的引線8經(jīng)由被形成于墊片4A，4B之間的開(kāi)口部Al被連接于基座6的引線銷(xiāo)針6b。另外，被載置于配線基板2的上表面的光檢測(cè)器3和被連接于熱敏電阻7的引線8經(jīng)由被形成于墊片4A，4B之間的開(kāi)口部Al被連接于基座6的引線銷(xiāo)針6b_l。
[0066]接著，如圖5(A)所示將芯片鍵合樹(shù)脂5涂布于墊片4。在此，芯片鍵合樹(shù)脂5在從光透過(guò)區(qū)域11中的光的透過(guò)方向來(lái)看的情況下是以具有連通光透過(guò)區(qū)域11的周?chē)鷧^(qū)域的內(nèi)側(cè)和該周?chē)鷧^(qū)域的外側(cè)的開(kāi)口部的形式進(jìn)行設(shè)置的。在此，所謂芯片鍵合樹(shù)脂5具有開(kāi)口部是指芯片鍵合樹(shù)脂5成為有斷開(kāi)處的環(huán)狀，并且包含與先前關(guān)于墊片4進(jìn)行例示的情況相同的形狀。具體地來(lái)說(shuō)芯片鍵合樹(shù)脂5在從法布里-珀羅干涉濾光片10的光透過(guò)區(qū)域11中的光的透過(guò)方向來(lái)看的情況下是以只被配置于法布里-珀羅干涉濾光片10的兩側(cè)的形式被涂布。在為圖5(A)所表示的例子的情況下，芯片鍵合樹(shù)脂5是遍布于墊片4A，4B的上面大致全長(zhǎng)來(lái)進(jìn)行涂布的。
[0067]接著，如圖5(B)所示將法布里-珀羅干涉濾光片10配置于墊片4之上。由此，法布里-珀羅干涉濾光片10通過(guò)芯片鍵合樹(shù)脂5被固定于墊片4之上(與光檢測(cè)器3之上分開(kāi)配置法布里-珀羅干涉濾光片10)。此時(shí)，在對(duì)應(yīng)于端子12，13的位置上配置墊片4。該端子12，13作為法布里-珀羅干涉濾光片10的鍵合焊墊而起作用。再有，由引線8將法布里-珀羅干涉濾光片10的端子12，13電連接于基座6的引線銷(xiāo)針6b_2(第2引線連接部)。引線8的材質(zhì)例如為金(Au)。
[0068]在此，法布里-珀羅干涉濾光片10與引線銷(xiāo)針6b_2的連接方向(被連接于法布里-珀羅干涉濾光片10的引線銷(xiāo)針6b_2與法布里-珀羅干涉濾光片10的距離成為最短的第2方向)同光檢測(cè)器3與引線銷(xiāo)針6b_l的連接方向(被連接于光檢測(cè)器3的引線銷(xiāo)針6b與法布里-珀羅干涉濾光片10的距離成為最短的第I方向)相交叉。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠防止引線8的配置發(fā)生復(fù)雜化并且能夠提高引線鍵合的操作性。
[0069]將對(duì)應(yīng)于圖5(B)的側(cè)面圖表示于圖6。法布里-珀羅干涉濾光片10與墊片4A，4B之間是由芯片鍵合樹(shù)脂5來(lái)進(jìn)行粘結(jié)的。
[0070]再有，將圖5中的VI1-VII線截面圖表示于圖7(A)。將相當(dāng)于由圖7(A)中的橢圓EB進(jìn)行圍繞的部分的放大圖表示于圖7(B)。
[0071]墊片4A以及4B與法布里-珀羅干涉濾光片10的光透過(guò)區(qū)域11分開(kāi)。另外，墊片4A，4B位于對(duì)應(yīng)于法布里-珀羅干涉濾光片10的端子12，13的位置。具體地來(lái)說(shuō)墊片4A，4B位于端子12，13正下方。法布里-珀羅干涉濾光片10以墊片4A，4B的上表面與法布里-珀羅干涉濾光片10的遮光層29進(jìn)行接觸的形式被粘結(jié)于墊片4A，4B的上表面。再有，如圖7(B)所示墊片4A的外側(cè)面4Aa與法布里-珀羅干涉濾光片10的外側(cè)面1a相比較相對(duì)只有一點(diǎn)點(diǎn)位于外偵U。在I個(gè)實(shí)施方式中，如圖7(A)所示沿著光的透過(guò)方向的配線基板2的厚度為0.3mm，墊片4B的高度為0.4mm，法布里-珀羅干涉濾光片10的厚度為0.6mm。另外，引線銷(xiāo)針6b從基底6a的上表面突出的部分的高度為0.5mm。即，引線銷(xiāo)針6b的上表面6c是處于比法布里-珀羅干涉濾光片10的上表面1b來(lái)得低的位置。另外，引線銷(xiāo)針6b的上表面6c是處于比墊片4A，4B的上表面4Ab，4Bb來(lái)得低的位置。由此，變得容易實(shí)行從法布里-珀羅干涉濾光片10或者從光檢測(cè)器3到引線銷(xiāo)針6b的引線的連接。
[0072]將連續(xù)于圖5(B)的工序表示于圖8。如圖8所示在基座6的基底6a之上安裝由金屬構(gòu)成的帽子9。由該帽子9的安裝就能夠封閉法布里-珀羅干涉濾光片10以及光檢測(cè)器3等。帽子9為大致圓柱狀，在其上表面具備圓形的透過(guò)窗9a。透過(guò)窗9a也可以是使用了對(duì)應(yīng)于光譜傳感器I適用波長(zhǎng)范圍的材料的透過(guò)窗。作為該材料可以列舉玻璃或硅、鍺等。另外，透過(guò)窗9a也可以是附有反射防止膜的窗或者也可