檢查裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]日本國特開2000-199780號公報公開了這樣的檢查裝置:通過使上部單元下降并使上部單元的探頭與印刷基板的上表面接觸，同時，使下部單元上升并使下部單元的探頭與印刷基板的下表面接觸，來進(jìn)行印刷基板的檢查。
[0003]在進(jìn)行基板的檢查的檢查裝置中，在將基板設(shè)置于移動部的情況下，由于移動部能夠移動，因此，在按壓部將基板按壓至移動部時，存在基板和按壓部發(fā)生位置偏移的情況。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于，在將基板設(shè)置于能夠移動的移動部上的結(jié)構(gòu)中，與在按壓部將基板按壓至移動部時移動部移動自如的情況相比，能夠抑制在按壓部將基板按壓至移動部時的按壓部與基板之間的位置偏移。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的第I方案，提供一種檢查裝置，該檢查裝置具備:移動部，其能夠在檢查基板的檢查位置與裝卸該基板的裝卸位置之間移動；按壓部，其從處于該檢查位置的該移動部的上側(cè)下降至下降位置，將該基板按壓至該移動部；定位部，其在該按壓部將該基板按壓至該移動部時將該移動部至少在該移動部的移動方向上相對于該按壓部定位；下降部，其在所述移動部處于所述檢查位置的狀態(tài)下相對于處于所述下降位置的按壓部獨立地從所述檢查位置的上側(cè)下降，并且該下降部具有第I接觸部，該第I接觸部與配置在所述基板的上表面上的第I被接觸部電接觸；以及上升部，其在所述移動部處于所述檢查位置的狀態(tài)下相對于處于所述下降位置的按壓部獨立地從所述檢查位置的下側(cè)上升，并且該上升部具有第2接觸部，該第2接觸部與配置在所述基板的下表面上的第2被接觸部電接觸。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的第2方案，所述檢查裝置具備:第I下降機(jī)構(gòu)，其使所述按壓部下降至所述下降位置；上升機(jī)構(gòu)，其在所述按壓部下降至所述下降位置后使所述上升部上升而使所述第2接觸部與所述第2被接觸部電接觸；以及第2下降機(jī)構(gòu)，其在所述第2接觸部與所述第2被接觸部接觸的狀態(tài)下使所述下降部下降而使所述第I接觸部與所述第I被接觸部電接觸。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的第3方案，所述檢查裝置具備定位部件，所述定位部件設(shè)置于所述下降部和所述上升部中的一方，所述第2下降機(jī)構(gòu)使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述下降部和所述上升部中的另一方，相對于所述下降部對所述上升部進(jìn)行定位。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的第4方案，所述檢查裝置具備定位部件，所述定位部件設(shè)置于所述下降部，所述第2下降機(jī)構(gòu)使所述下降部下降而使所述定位部件被插入所述基板中，相對于所述基板對所述下降部進(jìn)行定位。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的第5方案，所述檢查裝置具備定位部件，所述檢查裝置具備定位部件，所述定位部件設(shè)置于所述上升部，所述上升機(jī)構(gòu)使所述上升部上升而使所述定位部件被插入所述基板中，相對于所述基板對所述上升部進(jìn)行定位。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的第6方案，所述檢查裝置具備支承體，該支承體支承所述移動部、所述下降部以及所述上升部，所述移動部、所述下降部以及所述上升部朝向與面對所述檢查位置的所述裝卸位置相反的一側(cè)相對于所述支承體裝卸。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的第7方案，所述檢查裝置具備檢測部，所述檢測部配置于所述裝卸位置的下側(cè)，對所述基板相對于所述移動部的翹起進(jìn)行檢測。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的第8方案，所述檢查裝置具備移動機(jī)構(gòu)，在所述基板相對于所述移動部的翹起處于允許范圍內(nèi)的情況下，該移動機(jī)構(gòu)使所述移動部向所述檢查位置移動。
[0013]根據(jù)所述第I方案，在將基板設(shè)置于能夠移動的移動部這樣的結(jié)構(gòu)中，與在按壓部將基板按壓至移動部時移動部移動自如的情況相比，能夠抑制在按壓部將基板按壓至移動部時的按壓部和基板之間的位置偏移。另外，在按壓部將基板按壓在移動部上后，能夠使第1、第2接觸部與配置于基板的上表面和下表面上的第1、第2被接觸部電接觸。
[0014]根據(jù)所述第2方案，與下述這樣的結(jié)構(gòu)相比:在使下降部的第I接觸部與配置于基板的上表面上的第I被接觸部電接觸后再使上升部的第2接觸部與配置于基板的下表面上的第2被接觸部電接觸，能夠在進(jìn)行檢查的過程中抑制向下的載荷比向上的載荷偏頗地對基板起作用。
[0015]根據(jù)所述第3方案，與在第2下降機(jī)構(gòu)使下降部下降時上升部相對于下降部移動自如的結(jié)構(gòu)相比，能夠抑制上升部的第2接觸部與基板的第2被接觸部之間的位置偏移和下降部的第I接觸部與基板的第I被接觸部之間的位置偏移。
[0016]根據(jù)所述第4方案，與在第2下降機(jī)構(gòu)使下降部下降時下降部相對于基板移動自如的結(jié)構(gòu)相比，能夠抑制下降部的第I接觸部與基板的第I被接觸部之間的位置偏移。
[0017]根據(jù)所述第5方案，與在上升機(jī)構(gòu)使上升部上升時上升部相對于基板移動自如的結(jié)構(gòu)相比，能夠抑制上升部的第2接觸部與基板的第2被接觸部之間的位置偏移。
[0018]根據(jù)所述第6方案，能夠?qū)⑾鄬τ谝苿硬垦b卸基板的作業(yè)空間與相對于支承體裝卸移動部、下降部以及上升部的作業(yè)空間分離。
[0019]根據(jù)所述第7方案，在移動部移動至檢查位置之前，能夠檢測設(shè)置于移動部上的基板的翹起。
[0020]根據(jù)所述第8方案，在設(shè)置于移動部上的基板的翹起處于允許范圍的狀態(tài)下，能夠使移動部自動移動至檢查位置。
【附圖說明】
[0021]圖1是示出本實施方式的檢查裝置的結(jié)構(gòu)的后視圖。
[0022]圖2是將圖1所示的檢查裝置的一部分放大示出的放大圖。
[0023]圖3是示出本實施方式的檢查裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0024]圖4是示出在圖1所示的檢查裝置中上夾具下降至下降位置的狀態(tài)的后視圖。
[0025]圖5是將圖4所示的檢查裝置的一部分放大示出的放大圖。
[0026]圖6是示出在圖4所示的檢查裝置中下夾具上升后的狀態(tài)的后視圖。
[0027]圖7是將圖6所示的檢查裝置的一部分放大示出的放大圖。
[0028]圖8是示出在圖6所示的檢查裝置中上夾具的檢查部下降后的狀態(tài)的后視圖。
[0029]圖9是將圖8所示的檢查裝置的一部分放大示出的放大圖。
【具體實施方式】
[0030]以下，基于附圖對本發(fā)明的實施方式的一個示例進(jìn)行說明。
[0031](檢查裝置10的結(jié)構(gòu))
[0032]首先，對檢查裝置10的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖1是示出本實施方式的檢查裝置10的結(jié)構(gòu)的后視圖。并且，在以下的說明中所使用的裝置前方、裝置后方、裝置右方、裝置左方、裝置上方、裝置下方與圖中所示的箭頭方向(前、后、右、左、上、下)對應(yīng)。另外，圖中的在“ O ”中記載有“ X ”的符號表示從紙面的近前朝向里側(cè)的箭頭。圖中的在“〇”中記載有“.”的符號表示著從紙面的里側(cè)朝向近前的箭頭。
[0033]在本實施方式中，在檢查裝置10中，以進(jìn)行將印刷基板200設(shè)置于后述的設(shè)置板74上的設(shè)置作業(yè)的作業(yè)員所訪問的一側(cè)作為裝置前方，以裝置前方的相反側(cè)作為裝置后方。此外，朝向裝置前方將右側(cè)作為裝置右方，朝向裝置前方將左側(cè)作為裝置左方。并且，這些方向是為了說明的方便而確定的方向，裝置的方向并不限定于這些方向。另外，在以下的說明中，有時將裝置前方、裝置后方、裝置右方、裝置左方、裝置上方、裝置下方分別僅稱作前方、后方、右方、左方、上方、下方。
[0034]如圖1所示，檢查裝置10是對作為基板的一個示例的印刷基板200 (電路基板)進(jìn)行電氣檢查的裝置。作為電氣檢查，例如存在在線檢查、功能檢查等。具體而言，檢查裝置10具備:主體框架20 ;設(shè)置(載置)有印刷基板200的設(shè)置體70 ;檢測傳感器170 (參照圖3);作為檢測部的一個示例的檢測傳感器172 (參照圖3);下移動體80;下夾具90;以及作為上升機(jī)構(gòu)的一個示例的氣缸180。此外，檢查裝置10具備:第I上移動體30 ;作為第I下降機(jī)構(gòu)的一個示例的氣缸130 ;第2上移動體40 ;作為第2下降機(jī)構(gòu)的一個示例的一對氣缸140 ;以及上夾具50。
[0035](主體框架20)
[0036]如圖1所示，主體框架20具有:上板22;下板24;以及4個支柱26 (在圖1中僅圖示了 2個)。上板22由配置于裝置上方的矩形狀的板(板狀部件)構(gòu)成。下板24由配置于裝置下方的矩形狀的板(板狀部件)構(gòu)成。各支柱26沿上下方向延伸，將上板22和下板24在各自的四角連結(jié)在一起。
[0037]另外，在上板22上形成有貫穿孔22A，該貫穿孔22A供氣缸130的后述的活塞桿130B通過。具體而言，貫穿孔22