軸方向。
[0032]圖1所示的陀螺儀傳感器10將在振動(dòng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)體12上形成的如下部分作為主要的基本結(jié)構(gòu):第I質(zhì)量部40，其具有第I檢測(cè)部，該第I檢測(cè)部對(duì)在平面視圖中與第I軸垂直的第2軸的繞軸移位進(jìn)行檢測(cè)(Y軸旋轉(zhuǎn)檢測(cè))，并且對(duì)分別與第I軸和第2軸垂直的第3軸的繞軸移位進(jìn)行檢測(cè)(Z軸旋轉(zhuǎn)檢測(cè))；第2質(zhì)量部20，其具有對(duì)第I軸的繞軸移位進(jìn)行檢測(cè)(X軸旋轉(zhuǎn)檢測(cè))的第2檢測(cè)部；第3質(zhì)量部60，其在第I軸方向上與第I質(zhì)量部40相對(duì)，并且具有第I檢測(cè)部；第4質(zhì)量部30，其在第2軸方向上與第2質(zhì)量部20相對(duì)，并且具有第2檢測(cè)部；驅(qū)動(dòng)部70，其具有在第I軸方向上驅(qū)動(dòng)第I質(zhì)量部40的第I驅(qū)動(dòng)部和使第3質(zhì)量部60在與第I質(zhì)量部40相反的第I軸方向上振動(dòng)的第2驅(qū)動(dòng)部；4個(gè)力轉(zhuǎn)換部80，其連接第I質(zhì)量部?第4質(zhì)量部的相鄰的質(zhì)量部彼此；錨部90，其固定力轉(zhuǎn)換部80 ;以及驅(qū)動(dòng)彈簧部。另外，移位例如包含基于旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的移位。
[0033]作為基板的振動(dòng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)體12以硅為主要材料而構(gòu)成，通過在硅基板(硅晶片)上使用薄膜形成技術(shù)(例如外延生長(zhǎng)技術(shù)、化學(xué)氣相生長(zhǎng)技術(shù)等沉積技術(shù))或各種加工技術(shù)(例如干蝕刻、濕蝕刻等蝕刻技術(shù))加工成期望的外形形狀，所述各部形成為一體。或者，也可以在對(duì)硅基板和玻璃基板進(jìn)行貼合后，僅將硅基板加工成期望的外形形狀，從而形成所述各部。振動(dòng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)體12的主要材料為硅，由此，能夠?qū)崿F(xiàn)優(yōu)良的振動(dòng)特性，并且能夠發(fā)揮優(yōu)良的耐久性。并且，能夠應(yīng)用硅半導(dǎo)體器件制作中使用的精密加工技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)陀螺儀傳感器10的小型化。
[0034]首先，說明對(duì)繞第I軸(X軸)作用的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的部分。
[0035]如圖1所示，設(shè)于第2質(zhì)量部20的能夠?qū)@X軸作用的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的第2檢測(cè)部22具有第2框體24和移位板26a、26b。
[0036]第2框體24在內(nèi)側(cè)具有空洞部25，在以Z軸為法線的平面視圖中為大致矩形的框體。第2框體24使在以Z軸為法線的平面視圖中與Y軸交叉的側(cè)面與驅(qū)動(dòng)彈簧部32連接。
[0037]在第2框體24的空洞部25中設(shè)置一對(duì)移位板26a、26b。移位板26a、26b利用旋轉(zhuǎn)軸27a、27b連結(jié)在第2框體24的與Y軸方向平行的側(cè)面。旋轉(zhuǎn)軸27a、27b形成在從各移位板26a、26b的重心偏移的位置。旋轉(zhuǎn)軸27a、27b均以旋轉(zhuǎn)方向沿著Y軸方向的方式設(shè)置。旋轉(zhuǎn)軸27a、27b在施加了移位時(shí)，繞該軸扭轉(zhuǎn)變形，使移位板26a、26b在Z軸方向上旋轉(zhuǎn)。并且，移位板26a、26b被安裝成，以基于重力(Z軸方向的移位)的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸27a、27b為相互相反的方向的方式旋轉(zhuǎn)。換言之，旋轉(zhuǎn)軸27a、27b從移位板26a、26b的重心偏移的方向與旋轉(zhuǎn)軸27a、27b從移位板26a、26b的重心偏移的方向是相互相反的方向。在與移位板26a、26b相對(duì)的部位，隔開規(guī)定間隔設(shè)置下部電極(未圖示)。
[0038]第4質(zhì)量部30采用與第2質(zhì)量部20相同的結(jié)構(gòu)，具有能夠?qū)@X軸(第I軸)作用的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的第2檢測(cè)部22。第2質(zhì)量部20和第4質(zhì)量部30被安裝成在Y軸上相對(duì)。在第2質(zhì)量部20和第4質(zhì)量部30的外側(cè)形成驅(qū)動(dòng)彈簧部32。驅(qū)動(dòng)彈簧部32連結(jié)第2框體24和固定部28。驅(qū)動(dòng)彈簧部32由一對(duì)驅(qū)動(dòng)彈簧部32a、32b構(gòu)成，各驅(qū)動(dòng)彈簧部32a、32b呈在X軸方向上往返且在Y軸方向上延伸的形狀。并且，在以Z軸為法線的XY平面視圖中，驅(qū)動(dòng)彈簧部32a、32b相對(duì)于與振動(dòng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)體12的中心C相交的X軸對(duì)稱地設(shè)置。通過使各驅(qū)動(dòng)彈簧部32a、32b為這種形狀，能夠抑制第2質(zhì)量部20和第4質(zhì)量部30向X軸方向和Z軸方向變形，并且能夠使其在Y軸方向上順暢地伸縮。
[0039]接著，說明對(duì)繞第2軸(Y軸)和繞第3軸(Z軸)作用的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的部分。具體而言，說明設(shè)于第I質(zhì)量部40的能夠?qū)@Y軸或/和繞Z軸作用的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的第I檢測(cè)部42。
[0040]首先，能夠?qū)@Y軸作用的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的第I檢測(cè)部42a如圖1所示，在第I框體44的空洞部45a設(shè)置一對(duì)移位板46a、46b。移位板46a、46b利用旋轉(zhuǎn)軸47a、47b連結(jié)在第I框體44的與X軸方向平行的側(cè)面。旋轉(zhuǎn)軸47a、47b形成在從各移位板46a、46b的重心偏移的位置。旋轉(zhuǎn)軸47a、47b均以旋轉(zhuǎn)方向沿著X軸方向的方式設(shè)置。旋轉(zhuǎn)軸47a、47b在施加了移位時(shí)，繞該軸扭轉(zhuǎn)變形，使移位板46a、46b在Z軸方向上旋轉(zhuǎn)。并且，移位板46a、46b被安裝成，以基于重力(Z軸方向的移位)的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸47a、47b為相互相反的方向的方式旋轉(zhuǎn)。換言之，旋轉(zhuǎn)軸47a、47b從移位板46a、46b的重心偏移的方向與旋轉(zhuǎn)軸47a、47b從移位板46a、46b的重心偏移的方向是相互相反的方向。在與移位板46a、46b相對(duì)的部位，隔開規(guī)定間隔設(shè)置下部電極(未圖示)。
[0041]能夠?qū)@Z軸作用的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的第I檢測(cè)部42b如圖1所示，在第I框體44內(nèi)設(shè)置有內(nèi)框部50、彈簧部52以及檢測(cè)部57。
[0042]內(nèi)框部50設(shè)于第I框體44的空洞部45b，外周由第I框體44包圍。內(nèi)框部50在以Z軸為法線的平面視圖中為大致矩形的框體，使與Y軸交叉的側(cè)面經(jīng)由彈簧部52與第I框體44連接。
[0043]彈簧部52由第I彈簧部54和第2彈簧部56構(gòu)成。第I彈簧部54由一對(duì)第I彈簧部54a、54b構(gòu)成，各第I彈簧部54a、54b呈在X軸方向上往返且在Y軸方向上延伸的形狀。并且，在以Z軸為法線的平面視圖中，第I彈簧部54a、54b相對(duì)于與第I框體44的中心D相交的X軸對(duì)稱地設(shè)置。通過使各第I彈簧部54a、54b為這種形狀，能夠抑制第I彈簧部54向X軸方向和Z軸方向變形，并且能夠使其在檢測(cè)方向即Y軸方向上順暢地伸縮。并且，相對(duì)于與第I檢測(cè)部42b的中心D相交的Y軸，第2彈簧部56的結(jié)構(gòu)與第I彈簧部54對(duì)稱地設(shè)置，第2彈簧部56由一對(duì)第2彈簧部56a、56b構(gòu)成。通過使各第2彈簧部56a、56b為這種形狀，能夠抑制第2彈簧部56向X軸方向和Z軸方向變形，并且能夠使其在檢測(cè)方向即Y軸方向上順暢地伸縮。
[0044]檢測(cè)部57由可動(dòng)電極58和固定電極59構(gòu)成?？蓜?dòng)電極58沿著作為驅(qū)動(dòng)方向的X軸方向使兩端與內(nèi)框部50連接，以相鄰的電極彼此隔開規(guī)定間隔的方式設(shè)置多個(gè)。固定電極59在可動(dòng)電極58之間的間隙中沿著作為驅(qū)動(dòng)方向的X軸方向設(shè)置，固定在下部基板(未圖示)的錨上。這種可動(dòng)電極58和固定電極59形成為交替配置的梳齒狀。上述結(jié)構(gòu)的檢測(cè)部57通過未圖示的電源對(duì)電極施加電壓，由此，在各可動(dòng)電極58與各固定電極59之間產(chǎn)生靜電力。當(dāng)內(nèi)框部50在Y軸方向上移位時(shí)，可動(dòng)電極58接近或遠(yuǎn)離固定電極59，由此，靜電電容變化。能夠檢測(cè)該靜電電容的變化從而求出Y軸方向的移位量。
[0045]第3質(zhì)量部60采用與第I質(zhì)量部40相同的結(jié)構(gòu)，具有能夠?qū)@Y軸或/和繞Z軸作用的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)的第I檢測(cè)部42。第I質(zhì)量部40和第3質(zhì)量部60被安裝成在X軸上相對(duì)。在第I質(zhì)量部40和第3質(zhì)量部60的外側(cè)設(shè)置驅(qū)動(dòng)彈簧部64、66。驅(qū)動(dòng)彈簧部64、66連結(jié)第I框體44和固定部62。驅(qū)動(dòng)彈簧部64由一對(duì)驅(qū)動(dòng)彈簧部64a、64b構(gòu)成，各驅(qū)動(dòng)彈簧部64a、64b呈在Y軸方向上往返且在X軸方向上延伸的形狀。并且，在以Z軸為法線的平面視圖中，驅(qū)動(dòng)彈簧部64a、64b相對(duì)于與