專利名稱：振動(dòng)陀螺元件、振動(dòng)陀螺元件的支撐結(jié)構(gòu)以及陀螺傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于檢測(cè)角速度的振動(dòng)陀螺元件、振動(dòng)陀螺元件的支撐結(jié)構(gòu)以及陀螺傳感器。
背景技術(shù)：
近年來，在攝像裝置的手抖動(dòng)校正、和使用GPS衛(wèi)星信號(hào)的車輛等的移動(dòng)體導(dǎo)航系統(tǒng)的姿勢(shì)控制中，多使用將振動(dòng)陀螺元件收納在容器中的陀螺傳感器。
作為振動(dòng)陀螺元件，例如公知有將從中央基部延伸出來的檢測(cè)振動(dòng)系統(tǒng)和大致T字型的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)配置為相對(duì)于中央基部左右對(duì)稱的所謂的雙T型振動(dòng)陀螺元件(專利文獻(xiàn)1，參照?qǐng)D1)。
日本特開2001-12955號(hào)公報(bào)(圖1)在這種雙T型振動(dòng)陀螺元件中，存在如下的問題，即因驅(qū)動(dòng)振動(dòng)泄漏到基部而給從基部延伸的檢測(cè)振動(dòng)系統(tǒng)帶來微小的振動(dòng)，即使在不施加角速度的狀態(tài)下，也會(huì)將由該振動(dòng)引起的變形作為角速度而檢測(cè)出來。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是為了解決上述課題而提出的，其目的在于提供一種在振動(dòng)陀螺元件中抑制泄漏到基部的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)而防止角速度的誤檢測(cè)的振動(dòng)陀螺元件、振動(dòng)陀螺元件的支撐結(jié)構(gòu)以及陀螺傳感器。
為了解決上述課題，本發(fā)明的振動(dòng)陀螺元件的特征在于，在同一平面上具有基部；從所述基部以直線狀向兩側(cè)延伸的1對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂；從所述基部沿著與所述檢測(cè)用振動(dòng)臂正交的方向向兩側(cè)延伸的1對(duì)連接臂；從所述各連接臂的前端部(tip portion)與該前端部正交地向兩側(cè)延伸的各1對(duì)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂；從所述基部延伸的4根梁；以及與所述各梁的前端連接的支撐部，所述各梁從所述基部先向與所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的延伸方向大致正交的方向延伸。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過從基部向與驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂所延伸的方向大致正交的方向延伸的梁，可以抑制泄漏的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，并且可以防止角速度的誤檢測(cè)。
本發(fā)明的振動(dòng)陀螺元件優(yōu)選的是，所述梁和所述支撐部設(shè)置在相對(duì)于振動(dòng)陀螺元件的重心旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的位置上。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以確保振動(dòng)陀螺元件的平衡，并且可以保持穩(wěn)定的姿勢(shì)。
本發(fā)明的振動(dòng)陀螺元件的支撐結(jié)構(gòu)的特征在于，具有所述的振動(dòng)陀螺元件；載置所述振動(dòng)陀螺元件的支撐臺(tái)；以及用于固定所述振動(dòng)陀螺元件的所述支撐部和支撐臺(tái)的固定部件。
根據(jù)該支撐結(jié)構(gòu)，可以抑制泄漏的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，并且可以防止角速度的誤檢測(cè)。
在本發(fā)明的振動(dòng)陀螺元件的支撐結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選的是，所述固定部件是具有彈性的材料。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于固定部件具有彈性，所以能夠緩和來自外部的振動(dòng)或沖擊，并且可以穩(wěn)定地保持振動(dòng)陀螺元件的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)和檢測(cè)振動(dòng)。并且，對(duì)于泄露到支撐部上的微小振動(dòng)，固定部件作為緩沖材料來發(fā)揮作用，從而可以降低對(duì)驅(qū)動(dòng)振動(dòng)和檢測(cè)振動(dòng)的影響。
另外，本發(fā)明的陀螺傳感器的特征在于，具有所述的振動(dòng)陀螺元件；載置所述振動(dòng)陀螺元件的支撐臺(tái)；用于固定所述振動(dòng)陀螺元件的所述支撐部和支撐臺(tái)的固定部件；用于使所述振動(dòng)陀螺元件驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電路；以及檢測(cè)在向所述振動(dòng)陀螺元件施加角速度時(shí)所述振動(dòng)陀螺元件中產(chǎn)生的檢測(cè)振動(dòng)的檢測(cè)電路。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以通過搭載有抑制泄露到基部上的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)并防止角速度的誤檢測(cè)的振動(dòng)陀螺元件的陀螺傳感器，其特性優(yōu)良。


圖1是表示本實(shí)施方式的振動(dòng)陀螺元件的概略平面圖。
圖2是說明振動(dòng)陀螺元件的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)狀態(tài)的示意平面圖。
圖3是說明振動(dòng)陀螺元件的檢測(cè)振動(dòng)狀態(tài)的示意平面圖。
圖4是表示陀螺傳感器的概略截面圖。
圖5是表示振動(dòng)陀螺元件的變型例的概略平面圖。
圖6是表示振動(dòng)陀螺元件的變型例的概略平面圖。
圖7是表示振動(dòng)陀螺元件的變型例的概略平面圖。
圖8是表示振動(dòng)陀螺元件的變型例的概略平面圖。
圖9是表示振動(dòng)陀螺元件的變型例的概略平面圖。
符號(hào)說明1、2、3、4、5、6振動(dòng)陀螺元件；10基部；11a、11b檢測(cè)用振動(dòng)臂；13a、13b連接臂14a、14b驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂；15a、15b驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂；20a、20b、21a、21b梁；22a、22b、23a、23b支撐部；80陀螺傳感器；82支撐臺(tái)；83固定部件；84包含驅(qū)動(dòng)電路和檢測(cè)電路的IC；G重心具體實(shí)施方式
以下，參照附圖對(duì)將本發(fā)明具體化的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
(實(shí)施方式)圖1是表示本實(shí)施方式的振動(dòng)陀螺元件的概略平面圖。
振動(dòng)陀螺元件1由作為壓電材料的水晶(crystal)構(gòu)成。水晶具有被稱為電軸的X軸、被稱為機(jī)械軸的Y軸以及被稱為光學(xué)軸的Z軸。并且，振動(dòng)陀螺元件1在XY平面內(nèi)形成，且在Z軸方向上具有預(yù)定的厚度。
振動(dòng)陀螺元件1具有從基部10向圖中上下兩側(cè)呈直線狀延伸的1對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b；從基部10沿著與該檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b正交的方向向圖中左右兩側(cè)延伸的1對(duì)連接臂13a、13b；以及從各連接臂13a、13b的前端部與檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b平行地向圖中上下兩側(cè)延伸的左右各1對(duì)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b。
另外，檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b表面形成有檢測(cè)電極(未圖示)，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b表面形成有驅(qū)動(dòng)電極(未圖示)。這樣，由檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b構(gòu)成檢測(cè)角速度的檢測(cè)振動(dòng)系統(tǒng)，由連接臂13a、13b和驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b構(gòu)成驅(qū)動(dòng)振動(dòng)陀螺元件的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)。
另外，在檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b的各個(gè)前端部形成有附重部(weightportion)12a、12b，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b的各個(gè)前端部形成有附重部16a、16b、17a、17b。由此，可以實(shí)現(xiàn)振動(dòng)陀螺元件的小型化并可提高角速度的檢測(cè)靈敏度。另外，此處，檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b是分別包含附重部12a、12b在內(nèi)的名稱，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b是分別包含附重部16a、16b、17a、17b在內(nèi)的名稱。
另外，形成有從基部10先沿著與該驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b大致正交的方向向圖中左右兩側(cè)延伸、在中途與該驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b平行地延伸的L字狀的梁20a、20b、21a、21b，梁20a、20b、21a、21b的前端分別與支撐部22a、22b、23a、23b連接。
并且，通過支撐粘接該支撐部22a、22b、23a、23b，實(shí)現(xiàn)了振動(dòng)陀螺元件1的支撐。
另外，該梁20a、20b、21a、21b和支撐部22a、22b、23a、23b配置在相對(duì)于振動(dòng)陀螺元件1的重心G旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的位置上。
接著，對(duì)振動(dòng)陀螺元件1的動(dòng)作進(jìn)行說明。
圖2和圖3是說明振動(dòng)陀螺元件1的動(dòng)作的示意平面圖。圖2示出了驅(qū)動(dòng)振動(dòng)狀態(tài)，圖3示出了施加角速度的狀態(tài)下的檢測(cè)振動(dòng)狀態(tài)。另外，在圖2和圖3中，為了簡(jiǎn)單表現(xiàn)振動(dòng)形式，用線表示各振動(dòng)臂和各梁。
在圖2中，說明振動(dòng)陀螺元件1的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)狀態(tài)。振動(dòng)陀螺元件1在不施加角速度的狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b在箭頭E所示的方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)。該彎曲振動(dòng)以預(yù)定的頻率反復(fù)進(jìn)行實(shí)線所示的振動(dòng)狀態(tài)和雙點(diǎn)劃線所示的振動(dòng)狀態(tài)。此時(shí)，如箭頭F所示的力作用于基部10。即，隨著驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b的彎曲振動(dòng)，向基部10施加了用于交替地施加拉伸力和壓縮力的振動(dòng)。該振動(dòng)與驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b的彎曲振動(dòng)相比是微小的振動(dòng)。
該微小的振動(dòng)在左右驅(qū)動(dòng)振動(dòng)平衡被破壞的情況下，用于使基部10旋轉(zhuǎn)，并使檢測(cè)振動(dòng)臂11a、11b微小地振動(dòng)。但是通過從基部10先沿著與驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b正交的方向延伸的梁20a、20b、21a、21b抑制了基部10的振動(dòng)。因此，檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b不會(huì)振動(dòng)。
接著，在進(jìn)行該驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的狀態(tài)下，當(dāng)向振動(dòng)陀螺元件1施加繞Z軸方向的角速度ω時(shí)，進(jìn)行圖3所示的振動(dòng)。首先，如圖3(a)所示，箭頭B方向的科里奧利力(Coriolis Force)作用于構(gòu)成驅(qū)動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b和連接臂13a、13b上。另外，同時(shí)，檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b響應(yīng)箭頭B的科里奧利力而在箭頭C方向上產(chǎn)生變形。然后，如圖3(b)所示，返回到箭頭B′方向的力作用于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b和連接臂13a、13b上。同時(shí)，檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b響應(yīng)箭頭B′方向的力而在箭頭C′方向上產(chǎn)生變形。通過反復(fù)交替進(jìn)行該動(dòng)作，激發(fā)了新的振動(dòng)。
另外，箭頭B、B′方向的振動(dòng)是相對(duì)于重心G的圓周方向上的振動(dòng)。并且，通過由在檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b上形成的檢測(cè)電極檢測(cè)由振動(dòng)而產(chǎn)生的壓電材料的變形來求出角速度。
另外，在該檢測(cè)振動(dòng)狀態(tài)下，在基部10的周緣部彎有梁20a、20b、21a、21b而沿著箭頭D、D′的方向，在相對(duì)于重心G的圓周方向上振動(dòng)。這是因?yàn)闄z測(cè)振動(dòng)不僅是驅(qū)動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)和檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b之間的平衡振動(dòng)，而且還是包含基部10在內(nèi)的平衡振動(dòng)。
該箭頭D、D′所示的基部10的周緣部的振動(dòng)振幅與箭頭B、B′所示的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)的振動(dòng)振幅、或者箭頭C、C′所示的檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b的振動(dòng)振幅相比是微小的，但是例如在固定了基部10的情況下，由于該固定而抑制了基部10的周緣部的振動(dòng)，也抑制了檢測(cè)振動(dòng)。由此，固定基部10可以降低角速度的檢測(cè)靈敏度。
然后，使用圖4，對(duì)振動(dòng)陀螺元件的支撐結(jié)構(gòu)和陀螺傳感器進(jìn)行說明。圖4是表示陀螺傳感器的概略剖面圖，將振動(dòng)陀螺元件1作為沿著圖1的A-A截線的截面來表示。
陀螺傳感器80具有振動(dòng)陀螺元件1、IC 84、收容器81、以及蓋體86。在由陶瓷等形成的收容器81的底面配置有IC 84，其通過Au等的線85與在收容器81上形成的布線(未圖示)電連接。在IC 84中包含了用于使振動(dòng)陀螺元件1驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電路、以及檢測(cè)施加角速度時(shí)在振動(dòng)陀螺元件1中產(chǎn)生的檢測(cè)振動(dòng)的檢測(cè)電路。振動(dòng)陀螺元件1通過導(dǎo)電性粘合劑等的固定部件83，粘接支撐在收容器81中形成的支撐臺(tái)82和振動(dòng)陀螺元件1的支撐部22a、22b、23a、23b。另外，在支撐臺(tái)82表面形成有布線(未圖示)，通過固定部件83實(shí)現(xiàn)了振動(dòng)陀螺元件1的電極和布線之間的導(dǎo)通。該固定部件83最好是具有彈性的材料。作為具有彈性的固定部件83，已知有以硅為基材的導(dǎo)電性粘合劑等。并且，在收容器81的上部將收容器81內(nèi)保持為真空氛圍、并利用蓋體86進(jìn)行密封。
如上所述，本實(shí)施方式的振動(dòng)陀螺元件1和振動(dòng)陀螺元件1的支撐結(jié)構(gòu)通過從基部10先向與驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b的延伸方向大致正交的方向延伸的梁20a、20b、21a、21b，可以抑制所泄漏的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，并且可以防止角速度的誤檢測(cè)。
另外，在檢測(cè)振動(dòng)中，從基部10延伸的梁20a、20b、21a、21b由于由水晶形成，因此具有彈性，不會(huì)抑制基部10的周緣部的振動(dòng)，也不會(huì)降低角速度的檢測(cè)靈敏度。
另外，由于梁20a、20b、21a、21b和支撐部22a、22b、23a、23b相對(duì)于振動(dòng)陀螺元件1的重心G設(shè)置在旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的位置上，因此，可以確保振動(dòng)陀螺元件1的平衡，可以保持穩(wěn)定的姿勢(shì)，并可獲得良好的特性。
另外，在振動(dòng)陀螺元件1的支撐結(jié)構(gòu)中，由于固定部件83由具有彈性的材料構(gòu)成，因此，能夠緩和來自外部的振動(dòng)和沖擊，可以穩(wěn)定地保持驅(qū)動(dòng)振動(dòng)和檢測(cè)振動(dòng)。并且，對(duì)于泄漏到支撐部22a、22b、23a、23b上的微小振動(dòng)，固定部件83作為緩沖材料而發(fā)揮作用，從而可以降低對(duì)驅(qū)動(dòng)振動(dòng)和檢測(cè)振動(dòng)的影響。
另外，搭載了由上述支撐結(jié)構(gòu)支撐的振動(dòng)陀螺元件1的陀螺傳感器80可通過搭載防止角速度誤檢測(cè)的振動(dòng)陀螺元件1而提供特性優(yōu)良的陀螺傳感器80。
(振動(dòng)陀螺元件的變型例)圖5至圖9是表示振動(dòng)陀螺元件的變型例的概略平面圖。在這些變型例中，特征在于圖1所示的梁和支撐部的形狀上，對(duì)于與圖1相同的結(jié)構(gòu)部件，標(biāo)以相同的標(biāo)號(hào)，并省略說明。
在圖5中，在振動(dòng)陀螺元件2上設(shè)置有從基部10的4個(gè)角部先向大致與各驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b正交的方向延伸的、大致呈S字狀的梁30a、30b、31a、31b。梁30a、30b、31a、31b的前端分別與支撐部32a、32b、33a、33b連接。
并且，振動(dòng)陀螺元件2使用與上述實(shí)施方式相同的支撐結(jié)構(gòu)，通過導(dǎo)電性粘合劑等固定部件將支撐部32a、32b、33a、33b粘接支撐在支撐臺(tái)上。
接著，在圖6中，在振動(dòng)陀螺元件3上設(shè)置有從基部10的4個(gè)角部沿著與該驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b大致正交的方向向圖中左右兩側(cè)延伸、在中途與該驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b大致平行地延伸的L字狀的梁40a、40b、41a、41b。梁40a、40b的前端均與支撐部42連接，梁41a、41b均與支撐部43連接。
并且，振動(dòng)陀螺元件3使用與上述實(shí)施方式相同的支撐結(jié)構(gòu)，通過導(dǎo)電性粘合劑等的固定部件將支撐部42、43粘接支撐在支撐臺(tái)上。
圖7是更短地形成圖6中的檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b時(shí)的變型例。在圖7中，在振動(dòng)陀螺元件4上設(shè)置有從基部10的4個(gè)角部沿著與該驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b大致正交的方向向圖中左右兩側(cè)延伸、并且在中途與該驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b大致平行地延伸的L字狀的梁50a、50b、51a、51b。梁50a、50b的前端與支撐部52連接，梁51a、51b與支撐部53連接。
該1對(duì)支撐部52、53在各檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b的延伸方向上配置在檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b的外側(cè)、并且在驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b之間。
并且，振動(dòng)陀螺元件4使用與上述實(shí)施方式相同的支撐結(jié)構(gòu)，通過導(dǎo)電性粘合劑等的固定部件將支撐部52、53粘接支撐在支撐臺(tái)上。
在圖8中，在振動(dòng)陀螺元件5上設(shè)置有從基部10的4個(gè)角部沿著與該驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b大致正交的方向向圖中左右兩側(cè)延伸、并且在中途與該驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b平行地延伸的L字狀的梁60a、60b、61a、61b。梁60a、60b、61a、61b分別與支撐部62a、62b、62c、62d連接。另外，支撐部62a、62b、62c、62d與框部62連接，該框部62形成為包圍基部10、檢測(cè)用振動(dòng)臂11a、11b、以及驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)部14a、14b、15a、15b。
并且，振動(dòng)陀螺元件5使用與上述實(shí)施方式相同的支撐結(jié)構(gòu)，通過導(dǎo)電性粘合劑等的固定部件來至少將支撐部62a、62b、62c、62d或框部62粘接支撐在支撐臺(tái)上。
圖9是未在圖1所說明的振動(dòng)陀螺元件1中設(shè)置附重部12a、12b、16a、16b、17a、17b的形式。
在圖9中，在振動(dòng)陀螺元件6上設(shè)置有從基部10的4個(gè)角部沿著與該驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b大致正交的方向向圖中左右兩側(cè)延伸、并且在中途與該驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂14a、14b、15a、15b平行地延伸的L字狀的梁70a、70b、71a、71b。梁70a、70b、71a、71b分別與支撐部72a、72b、73a、73b連接。
并且，振動(dòng)陀螺元件6使用與上述實(shí)施方式相同的支撐結(jié)構(gòu)，通過導(dǎo)電性粘合劑等的固定部件將支撐部72a、72b、73a、73b粘接支撐在支撐臺(tái)上。
在以上的振動(dòng)陀螺元件的變型例中，也通過從基部10先向驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂以大致正交的方向延伸的梁，可以抑制所泄漏的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，并且可以防止角速度的誤檢測(cè)。
另外，作為振動(dòng)陀螺元件的材料的水晶具有固有的彈性，但是可以通過適當(dāng)改變從基部10延伸的梁的長度和形狀，調(diào)整梁的彈性。由此，可以調(diào)整對(duì)傳到基部10上的振動(dòng)的抑制，可以獲得穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)和檢測(cè)振動(dòng)。
這樣，在振動(dòng)陀螺元件的變型例中，也具有與在本實(shí)施方式中說明的實(shí)施例相同的作用，可以獲得同樣的效果。
另外，本實(shí)施方式的振動(dòng)陀螺元件可以通過使用了光刻技術(shù)的蝕刻加工形成為一體，另外，可以由1枚水晶晶片形成多個(gè)振動(dòng)陀螺元件。
另外，在本實(shí)施方式中，從基部與驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂大致正交地延伸、并且從中途與驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂平行地設(shè)置了梁，但是，也可以構(gòu)成為從該中途不與驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂平行而帶有某角度地設(shè)置梁，使得具有作為梁的彈性。
另外，作為振動(dòng)陀螺元件的材料，也可以利用作為其它壓電材料的鉭酸鋰(LiTaO3)或鈮酸鋰(lithium niobate，LiNbO5)等。另外，不僅可以使用壓電材料來實(shí)施，也可以使用以鎳鉻恒彈性鋼材料為代表的恒彈性材料來實(shí)施。
權(quán)利要求
1.一種振動(dòng)陀螺元件，其特征在于，在同一平面上具有基部；從所述基部以直線狀向兩側(cè)延伸的1對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂；從所述基部沿著與所述檢測(cè)用振動(dòng)臂正交的方向向兩側(cè)延伸的1對(duì)連接臂；從所述各連接臂的前端部與其正交地向兩側(cè)延伸的各1對(duì)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂；從所述基部延伸的4根梁；以及與所述各梁的前端連接的支撐部，所述各梁從所述基部先向與所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的延伸方向大致正交的方向延伸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)陀螺元件，其特征在于，所述梁和所述支撐部設(shè)置在相對(duì)于振動(dòng)陀螺元件的重心旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的位置上。
3.一種振動(dòng)陀螺元件的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，具有權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)陀螺元件；載置所述振動(dòng)陀螺元件的支撐臺(tái)；以及用于固定所述振動(dòng)陀螺元件的所述支撐部和支撐臺(tái)的固定部件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振動(dòng)陀螺元件的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述固定部件是具有彈性的材料。
5.一種陀螺傳感器，其特征在于，具有權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)陀螺元件；載置所述振動(dòng)陀螺元件的支撐臺(tái)；用于固定所述振動(dòng)陀螺元件的所述支撐部和支撐臺(tái)的固定部件；用于使所述振動(dòng)陀螺元件驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電路；以及檢測(cè)在向所述振動(dòng)陀螺元件施加角速度時(shí)在所述振動(dòng)陀螺元件中產(chǎn)生的檢測(cè)振動(dòng)的檢測(cè)電路。
全文摘要
本發(fā)明提供了抑制泄漏到基部上的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)、并且防止角速度的誤檢測(cè)的振動(dòng)陀螺元件、振動(dòng)陀螺元件的支撐結(jié)構(gòu)以及陀螺傳感器。在同一平面上具有基部(10)；從基部(10)開始以直線狀向兩側(cè)延伸的1對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂(11a、11b)；從基部(10)開始沿著與檢測(cè)用振動(dòng)臂(11a、11b)垂直的方向向兩側(cè)延伸的1對(duì)連接臂(13a、13b)；從各連接臂(13a、13b)的末端部開始與其垂直地向兩側(cè)延伸的各1對(duì)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂(14a、14b、15a、15b)；從基部(10)開始延伸的4根梁(20a、20b、21a、21b)；以及與各梁(20a、20b、21a、21b)的末端連接的支撐部(22a、22b、23a、23b)，各梁(20a、20b、21a、21b)從基部(10)先向與所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂(14a、14b、15a、15b)的延伸方向大致正交的方向延伸。
文檔編號(hào)G01P9/04GK1811338SQ20061000204
公開日2006年8月2日 申請(qǐng)日期2006年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月24日
發(fā)明者小倉誠一郎 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社