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陀螺儀傳感器和電子設備的制造方法技術資料下載

技術編號:9248085

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近年來,在汽車導航系統(tǒng)和攝像機的抖動校正等的姿勢控制中,大量使用檢測角速度的陀螺儀傳感器。在這種陀螺儀傳感器中,存在如下的傳感器在各軸具有能夠檢測繞著相互垂直的X軸、Y軸、Z軸的角速度的檢測元件。專利文獻I所公開的陀螺儀傳感器是檢測相對于相互垂直的第I?第3檢測軸的角速度的多軸角速度傳感器,具有檢測相對于第I檢測軸的角速度的第I振動型角速度傳感器元件、檢測相對于第2檢測軸的角速度的第2振動型角速度傳感器元件、檢測相對于第3檢測軸的角速度的第3振動型角速度傳...
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