專利名稱：半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)包括半導(dǎo)體集成電路(以下稱作IC)在內(nèi)的各種半導(dǎo)體器件。特別是涉及半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置中的用于傳輸各種半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置。本發(fā)明涉及把半導(dǎo)體器件傳輸?shù)綔y(cè)試位置和使其與在測(cè)試位置上安裝的檢測(cè)插座相接觸的X-Y傳輸裝置和Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的控制。當(dāng)X-Y傳輸裝置設(shè)計(jì)成能在水平平面中使器件沿左右(X軸)方向移動(dòng)、并沿往復(fù)或前后(Y軸)方向移動(dòng)時(shí)，X-Y傳輸裝置也叫做水平傳輸裝置。Z軸驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)計(jì)成使器件沿垂直方向移動(dòng)。
眾所周知，用于檢測(cè)包括半導(dǎo)體集成電路(IC)在內(nèi)的各種半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置(通常叫做IC測(cè)試儀)通常采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置(通常叫做近距離機(jī)械手)，把待檢測(cè)的半導(dǎo)體器件(通常叫做DUT)傳輸?shù)綑z測(cè)位置并使其與設(shè)置在檢測(cè)位置上的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的器件檢測(cè)插座呈電氣以及物理接觸。當(dāng)檢測(cè)完成之后，把已檢測(cè)過(guò)的半導(dǎo)體器件從檢測(cè)位置移到規(guī)定位置。以下將以IC作為半導(dǎo)體器件的典型實(shí)例來(lái)清楚說(shuō)明本發(fā)明。
現(xiàn)以廣泛使用對(duì)待測(cè)IC的各種封裝構(gòu)形或結(jié)構(gòu)均適用的各種半導(dǎo)體傳輸和操作裝置(以下稱作近距離機(jī)械手)。當(dāng)待測(cè)試的IC封裝具有從四個(gè)方向伸出的引出端結(jié)構(gòu)，如表面貼裝型四方形扁平封裝(QFP)或具有幾乎從元件側(cè)邊的整個(gè)表面(封裝的底表面)引出的引出端(電極)結(jié)構(gòu)，如PGA(針柵陣列)封裝或BGA(球柵陣列)封裝時(shí)，為操作包封在這些封裝結(jié)構(gòu)中的IC而設(shè)計(jì)的近距離機(jī)械手上設(shè)置了帶有一至四個(gè)裝載頭的X-Y傳輸裝置，所述裝載頭例如是真空拾取頭；以及用于使X-Y傳輸裝置上的裝載頭上下垂直移動(dòng)的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置；把裝載頭排列成使之能一次抓取一至四個(gè)待測(cè)IC。隨后，X-Y傳輸裝置使裝載頭水平移動(dòng)到設(shè)置在檢測(cè)位置中的檢測(cè)插座上方的預(yù)定位置，在此由Z軸驅(qū)動(dòng)裝置使此裝載頭下移到檢測(cè)插座，使待測(cè)IC與相應(yīng)的檢測(cè)插座之間具有良好的電氣和物理接觸，以進(jìn)行有效檢測(cè)。
圖4展示出上述的常規(guī)近距離機(jī)械手的一個(gè)實(shí)例的總體結(jié)構(gòu)。該X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置17，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18以及一個(gè)X-Y驅(qū)動(dòng)頭16，X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18可使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16在水平面中分別沿X軸和Y軸方向移動(dòng)。本例中的真空拾取頭11形式的裝載頭通過(guò)支承件19安裝到X-Y驅(qū)動(dòng)頭16上。為了使圖示簡(jiǎn)潔，圖4中只畫(huà)了一個(gè)真空拾取頭，而通常情況下是設(shè)置有四個(gè)相同的真空拾取頭。應(yīng)指出的是，由于圖4是側(cè)視圖，X軸方向會(huì)出現(xiàn)穿過(guò)圖4平面的往復(fù)移動(dòng)，而在正視圖中則應(yīng)是左右方向移動(dòng)，正如從
圖1的平面圖中看到的。同時(shí)Y軸方向在圖4中會(huì)出現(xiàn)左右方向的，在正視圖中應(yīng)是穿過(guò)附圖平面的往復(fù)方向的移動(dòng)，正如從圖1的平面圖所看到的。
支承件19有基本上呈水平的延伸臂19A，其外端由Z軸導(dǎo)軌12垂直滑動(dòng)支承，Z軸軌12順序固定到X-Y驅(qū)動(dòng)頭16上。在圖4中，Z軸方向是垂直于X軸和Y軸方向的垂直方向。在支承件19的前端(下端)安裝有真空拾取頭11。因此認(rèn)為，當(dāng)Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15使支承件19向下朝檢測(cè)插座14移動(dòng)時(shí)，真空拾取頭11會(huì)隨著支承件19同時(shí)下降。Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15將在下面說(shuō)明。會(huì)發(fā)現(xiàn)，圖4所示待測(cè)IC 10會(huì)被真空拾取頭11吸引。
拉伸彈簧13在支承件19的伸出臂19A與固定到X-Y驅(qū)動(dòng)頭16頂部的水平過(guò)頂臂之間延伸，使支承件19朝上推動(dòng)，因而使真空拾取頭11離開(kāi)檢測(cè)插頭14而彈回到原位。
Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15位于檢測(cè)插座14上方與支承件19的頂面軸向相對(duì)設(shè)置。本例中的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15包括固定到角支撐20的水平腿上具有向下延伸的活塞桿15R的氣缸15A，Z軸導(dǎo)軌15B，連接到活塞桿15R下端的推壓桿15C，以及其一端固定在推壓桿15C上端附近而另一端可固定在Z軸導(dǎo)軌15B上因而可沿垂直方向滑動(dòng)的可移動(dòng)臂15D。
按上述結(jié)構(gòu)，隨著氣缸15A的起動(dòng)，其活塞桿15R朝下延伸，推壓桿15C前端與其上載有真空拾取頭11的支承件19的頂端對(duì)接并給支承件19加壓。因此，支承件19下降，使附在支承件19前端的真空拾取頭11下降，使IC 10受到真空吸引而與檢測(cè)插座14接觸。應(yīng)指出的是，在圖4中，推壓桿15C前端與支承件19頂端之間的間隔，以及待測(cè)IC 10與檢測(cè)插座14之間的間隔均被放大示出，以便更清楚地展示出各種構(gòu)件。實(shí)際上，當(dāng)活塞桿15R的伸出超過(guò)其長(zhǎng)度的一半時(shí)，推壓桿15C的前端與支承件19的頂端對(duì)接，同時(shí)，待測(cè)IC 10處于更低的位置，且明顯地更加接近于檢測(cè)插座14。
將X軸驅(qū)動(dòng)裝置17設(shè)計(jì)成可在水平面中沿X軸方向(即垂直于附圖平面的，圖4所示往復(fù)方向)移動(dòng)的X-Y驅(qū)動(dòng)頭16的形式。本例中，該裝置包括帶有與X-Y驅(qū)動(dòng)頭16螺旋連接的滾珠螺紋部分的滾珠絲杠17T。和用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿17T的諸如伺服馬達(dá)等的驅(qū)動(dòng)源(未示出)。滾珠螺紋部分包括螺旋槽和放在螺旋槽內(nèi)的滾珠，螺旋槽形成于滾珠絲桿側(cè)邊上的外螺紋與驅(qū)動(dòng)頭16側(cè)邊上的內(nèi)螺紋之間。滾珠絲桿17T旋轉(zhuǎn)使與其螺紋連接的X-Y驅(qū)動(dòng)頭16沿往復(fù)方向，也即圖4所示沿X軸方向，移動(dòng)。
同樣地，把Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18設(shè)計(jì)成使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16在水平平面中沿Y軸方向(如圖4所示的左右方向)移動(dòng)，在本例中，包括有與X-Y驅(qū)動(dòng)頭16螺旋連接的滾珠螺旋部分18N的滾珠絲杠18T和用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠18T的諸如伺服馬達(dá)等的驅(qū)動(dòng)源(未示出)。滾珠螺旋部分18N有固定到滾珠絲桿17T的自由端(前端)的可旋轉(zhuǎn)軸承軸頸。通過(guò)滾珠絲桿18T旋轉(zhuǎn)可使與其螺旋連接的滾珠螺旋部分18N沿Y軸方向移動(dòng)。滾珠螺紋部分18N與可滑動(dòng)地支承滾珠絲桿17T的Y軸導(dǎo)軌(未示出)同步移動(dòng)將使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16沿Y軸方向移動(dòng)，以確定沿Y軸方向的位置。
因此，可理解，用支承件19連接到X-Y驅(qū)動(dòng)頭16的真空拾取頭經(jīng)X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置17和18分別沿X和Y方向移動(dòng)，因此，真空拾取頭11會(huì)處于由X和Y坐標(biāo)確定的檢測(cè)插座14上面的預(yù)定位置上，真空拾取頭11向下移動(dòng)到插座之中。在測(cè)試中，被真空拾取頭抓住的IC 10應(yīng)與檢測(cè)插座14保持良好接觸。
檢測(cè)插座14安裝到工藝上稱作操作板的絕緣板21上，使插座14的接頭14A與絕緣板21中形成的印刷電路電接觸。而印刷電路依次與半導(dǎo)體器件測(cè)試裝置的測(cè)試頭23電連接。當(dāng)檢測(cè)插座14位于近距離機(jī)械手的測(cè)試位置時(shí)，絕緣板21連接到該測(cè)試頭23上。
在檢測(cè)插座14周圍環(huán)繞有一對(duì)接塊24，本例中，對(duì)接塊24是矩形框架。這里，采取使真空拾取頭11的下端面與對(duì)接塊24的頂表面和用于調(diào)整Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15行程的墊片27的頂表面27A對(duì)接的方法，來(lái)承受因拾取頭下降而產(chǎn)生的任何沖擊，因而在不對(duì)檢測(cè)插座14產(chǎn)生任何沖擊的情況下使IC 10與檢測(cè)插座14接觸。此外，對(duì)接塊24有一對(duì)朝上伸出的定位銷25。眾所周知，通過(guò)選擇墊片厚度，可把墊片27設(shè)計(jì)為可用于調(diào)節(jié)待測(cè)IC 10與檢測(cè)插座1 4間的接觸力，但這并不是必須的。
可以看到，真空拾取頭11上形成有與一對(duì)與定位銷25相對(duì)準(zhǔn)的定位孔26，因此，當(dāng)真空拾取頭11下降時(shí)，定位孔26與相應(yīng)的定位銷25相配，因而使真空拾取頭11與檢測(cè)插座14精確地對(duì)準(zhǔn)，以確保待測(cè)IC 10的引出端與檢測(cè)插座14的相應(yīng)接頭14A之間的電氣和機(jī)械接觸。
當(dāng)待測(cè)IC的類型變成引出端數(shù)不同的另一種IC時(shí)，必須改換與其相適應(yīng)的檢測(cè)插座14。到此為止，為了適應(yīng)各種IC的測(cè)試，一種方法是，必須用大量的，其上裝有檢測(cè)插座14的各種絕緣板21以適應(yīng)各種的IC，因此，需要根據(jù)待測(cè)IC的類型，把一種類型的絕緣板整個(gè)換成另一種絕緣板。另一種方式是，只替換安裝在絕緣板21上的檢測(cè)插座14。
無(wú)論用其中那一種方式，當(dāng)待測(cè)IC類型改變時(shí)，均會(huì)出現(xiàn)檢測(cè)插座14的X，Y坐標(biāo)位置對(duì)不準(zhǔn)的情況，盡管是輕微的對(duì)不準(zhǔn)。X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18中存儲(chǔ)有根據(jù)X，Y坐標(biāo)的檢測(cè)插座14的位置，因此，它們會(huì)驅(qū)動(dòng)X-Y驅(qū)動(dòng)頭16從真空拾取頭11拾取待測(cè)IC的位置移動(dòng)到檢測(cè)插頭14上方的所記憶的X，Y坐標(biāo)位置，并把待測(cè)IC 10傳輸?shù)綑z測(cè)插座14上預(yù)定的位置上。
當(dāng)X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18停止操作時(shí)，待測(cè)IC 10停在檢測(cè)插座14上的預(yù)定位置上，Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15起動(dòng)，降低真空拾取頭11。因此會(huì)發(fā)現(xiàn)，既使檢測(cè)插座14的位置稍微對(duì)不準(zhǔn)，也會(huì)出現(xiàn)待測(cè)IC 10與檢測(cè)插座14之間接觸不良的問(wèn)題。
而且，更換檢測(cè)插座14時(shí)，必須改變存儲(chǔ)在X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18中的檢測(cè)插座14的位置信息，而存入新的位置信息。
為此，一種方法是，更換檢測(cè)插座14時(shí)，按稱做教學(xué)模式的模式修改存儲(chǔ)在X-Y傳輸裝置中，即X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18中的檢測(cè)插座14的位移位置信息。按該教學(xué)模式，當(dāng)X-Y傳輸裝置使真空拾取頭11位于相應(yīng)的檢測(cè)插座14上的預(yù)定位置之后，操作者手動(dòng)降低真空拾取頭11，把真空拾取頭11的定位孔26套到對(duì)接塊24的定位銷25上。該操作中，驅(qū)動(dòng)X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(未示出)停止工作，用一個(gè)小的力將X-Y驅(qū)動(dòng)頭16沿X-Y方向手動(dòng)移動(dòng)。具體地說(shuō)，如上所述，由于X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18通過(guò)滾珠絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)而驅(qū)動(dòng)X-Y驅(qū)動(dòng)頭16，以旋轉(zhuǎn)方式驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)停止工作，因而允許滾珠絲桿自由旋轉(zhuǎn)，由此，可用一個(gè)小的力使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16稍稍移動(dòng)。
按該方式，可以進(jìn)行手工對(duì)準(zhǔn)，其中，用手工使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16降低，使定位孔26與定位銷25相配。一旦用手工把X-Y驅(qū)動(dòng)頭16重新對(duì)準(zhǔn)新檢測(cè)插座14的位置，X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18中就存儲(chǔ)有新的位置信息。在所示實(shí)例中，X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18的滾珠絲杠中設(shè)置有諸如安裝成隨滾珠絲桿同步旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)型編碼器的位置信息信號(hào)發(fā)生器。因此，隨著X-Y驅(qū)動(dòng)頭16的移動(dòng)，這些位置信息信號(hào)發(fā)生器將產(chǎn)生其數(shù)量與X-Y驅(qū)動(dòng)頭16從X、Y坐標(biāo)的原始位置移動(dòng)的距離相應(yīng)的多個(gè)脈沖。因此，可按脈沖數(shù)量在X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18中存儲(chǔ)位置信息。
按該方式，更換檢測(cè)插座14時(shí)，已經(jīng)存于X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置17和18中的位置信息可隨新檢測(cè)插座的位置信息而按教學(xué)模式改變。
但是，由于用人工進(jìn)行真空拾取頭11的定位孔26與對(duì)接塊24的定位銷25的相配操作，因此X-Y驅(qū)動(dòng)頭16上下移動(dòng)的位置會(huì)因操作者技能的不同而產(chǎn)生差異。因此在某些實(shí)例中，可以用具有定位孔26與定位銷25之間配合的偏差的新檢測(cè)插座的位置信息代替已存儲(chǔ)于X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18中的位置信息。在尺寸上，由于要使定位銷25與定位孔26完全配合或一個(gè)套在另一個(gè)上非常合適而沒(méi)有間隙非常困難，因此，通常采取將一個(gè)套在另一個(gè)上的配合方式，并且彼此之間存在空隙。而且，如果配合上有偏差，當(dāng)開(kāi)始進(jìn)行IC測(cè)試后，定位孔26與定位銷25之間重復(fù)出現(xiàn)多次的配合和分離，會(huì)因其間產(chǎn)生摩擦而使定位孔26和定銷25磨損，因而造成不能執(zhí)行定位功能的嚴(yán)重問(wèn)題。
圖5展示出常規(guī)近距離機(jī)械手的另一實(shí)例的一般結(jié)構(gòu)。圖5所示近距離機(jī)械手與圖4所示近距離機(jī)械手基本相同，只是圖5所示Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)與圖4所示Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)不同。而且，在圖5所示結(jié)構(gòu)中與圖4相同的零部件用與圖4相同的參考數(shù)字指示，而且不再說(shuō)明。
圖5所示近距離機(jī)械手中，X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置17，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18，和X-Y驅(qū)動(dòng)頭16，X-Y驅(qū)動(dòng)頭16由X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置17和18驅(qū)動(dòng)而在水平平面中分別沿往復(fù)方向(X軸)和左右方向(Y軸)移動(dòng)，(圖5也是側(cè)視圖)。本例中，按真空拾取頭11形式的裝載頭用支承件19安裝到X-Y驅(qū)動(dòng)頭16上。
Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15與檢測(cè)插座14上面的支承件19的頂部軸向相對(duì)設(shè)置。本例中的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15包括固定到角支承件51的水平腿上的，并具有向下伸出的活塞桿15R的氣缸15A；Z軸導(dǎo)軌52；連到活塞桿15R的由Z軸導(dǎo)軌52支承以使其沿導(dǎo)軌52沿垂直方向滑動(dòng)的，可移動(dòng)的，大致是U形的框架53；固定到U型框架53頂上的馬達(dá)54；由U形框架53承載的滾珠絲桿55平行于Z軸延伸，并驅(qū)進(jìn)地連接到馬達(dá)54的旋軸輸出軸上；水平臂56，它的一端有與滾珠絲桿55螺紋連接的可移動(dòng)部分56A，而另一端有沿Z軸導(dǎo)軌15B滑動(dòng)的滑動(dòng)部分56B；和固定在水平臂56的兩相對(duì)端之間的中間點(diǎn)的下表面的推壓桿15C。馬達(dá)54起動(dòng)，使安裝到支承件19上的真空拾取頭11下降到檢測(cè)插座14附近的預(yù)定位置，氣缸15A起動(dòng)，從真空拾取頭11從由馬達(dá)54壓下的位置再向下移動(dòng)預(yù)定距離。
更具體地說(shuō)，本例中，馬達(dá)54旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿55，滾珠絲桿55經(jīng)水平臂56使對(duì)其上載有真空拾取頭11的支承件19加壓的推壓桿15C沿Z軸方向開(kāi)始向下移動(dòng)預(yù)定距離，在真空拾取頭11處于墊片27和對(duì)接塊24附近而尚未與其接觸之前停止移動(dòng)。之后，氣缸15A起動(dòng)，使框架53和臂56從停止位置再向下移動(dòng)預(yù)定距離，使真空拾取頭11與墊片27對(duì)接，以由墊片27的厚度確定的力將待測(cè)IC 10推向檢測(cè)插座14。從圖5中看出，拉伸彈簧58在框架53的頂與固定到角支承件51頂上的角臂57之間伸開(kāi)，使框架53沿Z軸方向向上正常地彈性移動(dòng)。
圖5所示的現(xiàn)有技術(shù)實(shí)例中，氣缸15A起動(dòng)，以使真空拾取頭同墊片27和對(duì)接塊24的表面對(duì)接，這樣就可用對(duì)接塊24和墊片27的厚度來(lái)調(diào)節(jié)待測(cè)IC 10對(duì)檢測(cè)插座14的接觸力。特別是，應(yīng)預(yù)備下各種厚度的墊片27以便無(wú)論何時(shí)檢測(cè)插座14被改變，都可以用具有適當(dāng)厚度的墊片替換原先用的墊片27，以把待測(cè)IC 10與新檢測(cè)插座14的接觸力調(diào)節(jié)到適當(dāng)?shù)拇笮 ?br>
換句話說(shuō)，把對(duì)檢測(cè)插座14的接觸力按暫時(shí)狀態(tài)設(shè)定，檢測(cè)IC。實(shí)際上，如果測(cè)試結(jié)果的次品率百分比很高，它很可能是接觸力不合適造成的，則應(yīng)調(diào)節(jié)接觸力，以減小次品比率。因此認(rèn)為調(diào)節(jié)接觸力需要花費(fèi)大量的勞動(dòng)和時(shí)間，給操作者增加一些麻煩的工作。
另一缺點(diǎn)是，由于依靠氣缸15A來(lái)獲得待測(cè)IC 10對(duì)檢測(cè)插頭14的接觸力，所以接觸力會(huì)隨給氣缸供給氣動(dòng)壓力的壓縮空氣源的壓力變化而產(chǎn)生類似的變化。
還可以想象，可把一對(duì)氣缸組合作為Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15使用，以代替馬達(dá)54與氣缸15A的組合，但在二者之中任一情況下，均不能消除因氣源壓力變化而造成接觸力變化所帶來(lái)的麻煩。
本發(fā)明的目的是，提供能克服上述現(xiàn)有技術(shù)中存在缺陷的半導(dǎo)體器件的傳輸和處理裝置。
本發(fā)明的另一目的是，提供一種設(shè)有Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的半導(dǎo)體器件傳輸和處理裝置，首先，它能確定測(cè)試中抓住器件用的裝載頭的向下行程，易于設(shè)定器件對(duì)檢測(cè)插座的接觸力，還能獲得恒定的接觸力。
根據(jù)本發(fā)明第1方面，提供一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體檢測(cè)裝置，它包括抓住半導(dǎo)器件的承載頭，使所述承載頭在水平面中沿X-Y方向移動(dòng)用的X-Y傳輸裝置，所述X-Y傳輸裝置包括X-Y驅(qū)動(dòng)裝置，和使所述承載頭下降用的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，用所述X-Y傳輸裝置把承載頭移到所示測(cè)試插座上方的位置，以使由所述承載頭抓緊的半導(dǎo)體器件與測(cè)試插座接觸，所述半導(dǎo)體測(cè)試裝置的結(jié)構(gòu)可將由所述承載頭抓住的半導(dǎo)體器件向所述測(cè)試插座定向，起動(dòng)分別設(shè)置在所述承載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的導(dǎo)向裝置，使半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座彼此精確接觸，所述檢測(cè)裝置的特征是，控制裝置包括使所述承載頭按自然狀態(tài)沿X-Y方向移動(dòng)的所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)定裝置，其中，所述X-Y可用手工自由移動(dòng)；只驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的裝置，使所述承載頭下降并使設(shè)置在所述承載頭和所述檢測(cè)插座上的所述第1和第2協(xié)同動(dòng)作的導(dǎo)向裝置相嚙合，并使所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置保持自然狀態(tài)；第1和第2導(dǎo)向裝置之間的嚙合校正裝置，使這些導(dǎo)向裝置彼此軸向?qū)?zhǔn)；存儲(chǔ)裝置，其中存儲(chǔ)有所述檢測(cè)插座的位置校正信息，用于控制所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置。
根據(jù)本發(fā)明第2方面，提供一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，它包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，用于使所述裝載頭在水平面中沿X-Y方向移動(dòng)的X-Y傳輸裝置，所述X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，和用于降低承載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，用所述X-Y傳輸裝置將所述裝載頭傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方，以便將由裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)可將由所述檢測(cè)插座的裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件導(dǎo)向檢測(cè)插座。起動(dòng)分別設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的定向裝置，使所述半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座精確地相互接觸，所述檢測(cè)裝置的特征是，控制裝置包括用于設(shè)定所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)定裝置，使所述裝載頭按自然狀態(tài)并沿X-Y方向移動(dòng)，其中所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置可用手動(dòng)使其自由移動(dòng)；只驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的裝置，使所述裝載頭下降，使設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插頭上的第1第2協(xié)同動(dòng)作的導(dǎo)向裝置彼此嚙合，并使所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置保持自然狀態(tài)；所述第1和第2定向裝置之間的嚙合校正裝置，使這些定向裝置彼此軸向?qū)?zhǔn)；和存儲(chǔ)裝置，其中存儲(chǔ)有所述檢測(cè)插座的位置校正信息，用于控制所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置。
根據(jù)本發(fā)明第3方面，提供一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，它包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，X-Y傳輸裝置，用于使裝載頭在水平面中沿X-Y方向移動(dòng)，所述X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置、和用于降低所述裝載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，用所述X-Y傳輸裝置把所述裝載頭傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方的位置，使由所述裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)使由裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件被導(dǎo)向檢測(cè)插座，起動(dòng)設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的導(dǎo)向裝置，使所述半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座彼此精確地接觸，所述檢測(cè)裝置的特征是，所述控制裝置包括設(shè)定所述X驅(qū)動(dòng)裝置和所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置用的設(shè)定裝置，使所述裝載頭按自然狀態(tài)沿X-Y方向移動(dòng)，其中，所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置可手動(dòng)自由移動(dòng)；只驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)裝置，降低所述裝載頭，使分別設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的導(dǎo)向裝置相互嚙合，并使所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置保持自然狀態(tài)，所述第1和第2定向裝置之間的嚙合校正裝置，使這些定向裝置彼此軸向?qū)?zhǔn)；存儲(chǔ)裝置，用于存儲(chǔ)所述檢測(cè)插座的位置校正信息，用于控制所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置。
根據(jù)本發(fā)明第4方面，提供一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，它包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，X-Y傳輸裝置使所述裝載頭在水平面中沿X-Y方向移動(dòng)，所述X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，和用于降低所述裝載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置。以便由所述X-Y傳輸裝置把所述裝載頭傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方位置，并使由所述裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與檢測(cè)插座相接觸，所述半導(dǎo)體檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)可使由裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件被導(dǎo)向檢測(cè)插座，起動(dòng)分別設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的導(dǎo)向裝置，使所述半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座相互精確接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的特征是，驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)源，包括脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；所述半導(dǎo)體檢測(cè)裝置包括控制裝置，用供給所述脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的多個(gè)脈沖確定Z軸驅(qū)動(dòng)裝置在Z軸方向的行程。
根據(jù)本發(fā)明第5方面，提供一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，它包括用于夾住半導(dǎo)體器件的裝載頭，X-Y傳輸裝置，使所述裝載頭在水平面中沿X-Y方向移動(dòng)，所述X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，和用于降低所述裝載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，當(dāng)用X-Y傳輸裝置把所述裝載頭傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上面的位置時(shí)，使由所述裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)頭接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)可使由裝載頭抓住的IC器件被導(dǎo)向檢測(cè)插座，起動(dòng)分別設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的定向裝置，使所述半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)裝置相互精確接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的特征是，驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)源包括脈驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置包括控制裝置，它包括設(shè)定X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)定裝置，使所述裝載頭按自然狀態(tài)沿X-Y方向移動(dòng)，其中，所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置能以手動(dòng)自由移動(dòng)；僅用于驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的裝置用以降低所述裝載頭，使分別設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作導(dǎo)向裝置相互嚙合，并使所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置保持在自然狀態(tài)；以及利用給所述脈沖馬達(dá)傳送多個(gè)脈沖來(lái)確定所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置在Z軸方向的行程的裝置。
根據(jù)本發(fā)明第6方面，提供一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，它包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，X-Y傳輸裝置，使所述裝載頭在水平面中沿X-Y方向移動(dòng)，所述X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，和用于降低所述裝載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，當(dāng)用所述X-Y傳輸裝置把所述裝載頭傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方的位置時(shí)，使由所述裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)使被裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件被導(dǎo)向檢測(cè)插座，起動(dòng)分別設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的導(dǎo)向裝置，使所述半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座相互精確地接觸，所述半導(dǎo)體檢測(cè)裝置的特征是，驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)源包括脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置包括控制裝置，控制裝置包括設(shè)定X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)定裝置，使所述裝載頭按自然狀態(tài)沿X-Y方向移動(dòng)，其中，所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置可用手動(dòng)自由移動(dòng)；僅用于驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)裝置，用于降低所述裝載頭，以使分別設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的定向裝置相互嚙合，并使所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置保持自然狀態(tài)；所述第1和第2導(dǎo)向裝置之間的嚙合校正裝置，使這些定向裝置相互軸向?qū)?zhǔn)；存儲(chǔ)裝置，其中存儲(chǔ)有所述檢測(cè)插座的位置校正信息，用于分別控制所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置；以及通過(guò)給所述脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)施加多個(gè)脈沖來(lái)確定Z軸驅(qū)動(dòng)裝置在Z軸方向行程的裝置。
優(yōu)選實(shí)施例中，用馬達(dá)驅(qū)動(dòng)所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置或所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，而用氣缸裝置驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置或所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置適于設(shè)置成自然狀態(tài)，其中，當(dāng)所述馬達(dá)處于非激勵(lì)態(tài)時(shí)，可用手動(dòng)使其自由移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明第7方面，提供采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，X-Y傳輸裝置，用于使所述裝載頭在水平面中沿X-Y方向移動(dòng)，和用于降低所述裝載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，當(dāng)用所述X-Y傳輸裝置把所述裝載頭傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方的位置時(shí)，使由所述裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的特征是，驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)源包括脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置包括控制裝置，用于通過(guò)給所述脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)加多個(gè)脈沖來(lái)確定所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置在Z軸方向的行程。
在第2優(yōu)選實(shí)施例中，所述控制裝置包括存儲(chǔ)裝置，當(dāng)給所述脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)加多個(gè)脈沖時(shí)，用所述X-Y傳輸裝置把所述裝載頭傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方的位置，之后，用Z軸驅(qū)動(dòng)裝置使所述裝載頭從插座上方的位置向下移動(dòng)一個(gè)距離，并對(duì)著所述對(duì)接塊使其對(duì)接。
根據(jù)本發(fā)明，用新的檢測(cè)插座的位置信息手動(dòng)地更新存儲(chǔ)在X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置中的位置存儲(chǔ)裝置中的位置信息，在修正了位置信息之后，只Z軸驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行多次自動(dòng)操作。Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的自動(dòng)操作使定位銷與定位孔以自然狀態(tài)穩(wěn)定嚙合，其中，定位銷與定位孔軸向?qū)?zhǔn)，而不受因人工操作中操作者的個(gè)人技術(shù)不同而造成的影響。當(dāng)Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的自動(dòng)操作起作用時(shí)使用這種布置方式，位置信息被寫(xiě)入并存儲(chǔ)在X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置的各個(gè)位置存儲(chǔ)裝置中。
按本發(fā)明的方式，可以清除手工操作中因個(gè)人技能差異造成的變化，并隨著定位銷與定位孔按其自然狀態(tài)的嚙合存儲(chǔ)X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置的位置信息。因此可以看到，既使在進(jìn)行大量測(cè)試之后，在本發(fā)明所提供的IC測(cè)試裝置中，也不會(huì)產(chǎn)生因定位銷和定位孔磨損而發(fā)生位錯(cuò)變形之類的缺陷。
圖1是接本發(fā)明的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的第1實(shí)施例的示意圖；圖2是按本發(fā)明的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的第2實(shí)施例中用的常規(guī)半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的實(shí)例的總體結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，局部剖面圖；圖3是圖2所示第2實(shí)施例中所用控制電路圖的方框圖；圖4是半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置中用的常規(guī)半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的實(shí)例的總體結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；圖5是半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置中用的常規(guī)半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的另一實(shí)例的總體結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
圖1是按本發(fā)明的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的第1實(shí)施例的示意圖，和近距離機(jī)械手的總體結(jié)構(gòu)頂平面圖。由于該近距離機(jī)械手的結(jié)構(gòu)與圖4所示近距離機(jī)械手的結(jié)構(gòu)一致，因此，與圖4所示相同的零部件用相同的參考數(shù)字表示。
X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置17，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18，X-Y驅(qū)動(dòng)頭16適合于分別用X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置17和18在水平平面中沿X軸和Y軸方向移動(dòng)。本例中，真空拾取頭11形式的裝載頭用支承件19安裝在X-Y驅(qū)動(dòng)頭16上，見(jiàn)圖4。同時(shí)，為簡(jiǎn)化起見(jiàn)圖1中暫時(shí)只展示出一個(gè)真空拾取頭，而通常設(shè)置有4個(gè)相同的真空拾取頭。
X軸驅(qū)動(dòng)裝置17用于使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16在水平平面中沿X軸方向移動(dòng)，(在圖1所示中沿左右方向移動(dòng))，在本例中，X軸驅(qū)動(dòng)裝置17包括滾珠絲桿17T，它有滾珠螺紋部分，用于連接X(jué)-Y驅(qū)動(dòng)頭16和諸如伺服馬達(dá)之類的驅(qū)動(dòng)源17A，以便旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿17T。同樣，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18用于使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16在水平平面中沿Y軸方向移動(dòng)，(如圖1所示的垂直方向)，本例中，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18包括滾珠絲桿18T，它有滾珠絲桿部分18N和諸如伺服馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)源18A，以便旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿18T。滾珠螺紋部分18N有將其固定到X軸驅(qū)動(dòng)裝置17的滾珠絲桿17T的自由端的可旋轉(zhuǎn)的軸承頸。
如上所述，滾珠絲桿17T的自由端可旋轉(zhuǎn)地樞軸連接在固定到滾珠螺紋部分18N的軸承中，而滾珠絲桿17T的連到驅(qū)動(dòng)源17A的另一端可旋轉(zhuǎn)地樞軸連接在軸承17D中，軸承17D依次支承在Y軸導(dǎo)向裝置28上，用于滑動(dòng)。按該布置方式，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18的滾珠絲桿18T的轉(zhuǎn)動(dòng)將使?jié)L珠螺紋部分18N沿Y軸方向移動(dòng)，它將使X軸驅(qū)動(dòng)裝置17的滾珠絲桿17T沿Y軸方向移動(dòng)，由此，使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16沿Y軸方向定位。
X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18的驅(qū)動(dòng)源17A和18B分別設(shè)置有諸如旋轉(zhuǎn)型編碼器的位置信息信號(hào)發(fā)生器。這些位置信息信號(hào)發(fā)生器17B和18B分別與X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18連接以便旋轉(zhuǎn)，因此，這些信號(hào)發(fā)生器將產(chǎn)生脈沖，所述的約10個(gè)脈沖的相位與作為X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)器17和18的構(gòu)件的滾珠絲桿17T和18T的旋轉(zhuǎn)方向?qū)?yīng)，滾珠絲桿每轉(zhuǎn)一圈，確定安裝在X-Y驅(qū)動(dòng)頭16上的真空拾取頭11的X-Y坐標(biāo)位置。
從位置信息信號(hào)發(fā)生器17B，18B輸出的脈沖被輸入給控制器30，在此計(jì)算所產(chǎn)生的脈沖數(shù)量并根據(jù)相應(yīng)于滾珠絲桿的旋轉(zhuǎn)方向相位的脈沖加或減地計(jì)算脈沖之和，由此在X軸位置存儲(chǔ)裝置33A和Y軸位置存儲(chǔ)裝置33B中存X，Y坐標(biāo)位置。用點(diǎn)P表示X，Y坐標(biāo)的原點(diǎn)，它能控制與該原點(diǎn)相關(guān)的利用由位置信息信號(hào)發(fā)生器17B，18B產(chǎn)生的脈沖并由X-Y驅(qū)動(dòng)裝置覆蓋的X-Y傳輸區(qū)“A”內(nèi)的全部位置。
計(jì)數(shù)控制器30可以包括公知的作為微處理器的微型計(jì)算機(jī)。微型計(jì)算機(jī)包括中心處理單元(CPU)31，存儲(chǔ)特殊程序的只讀存儲(chǔ)器(ROM)32等，可寫(xiě)可讀的隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)33，用于暫時(shí)存儲(chǔ)位置信息等，及輸入件34，輸出件35等。
RAM 33包括X軸位置存儲(chǔ)裝置33A，Y軸位置存儲(chǔ)裝置33B，教學(xué)模式執(zhí)行件33C，存儲(chǔ)程序的Z軸自動(dòng)操作裝置33D，它只對(duì)Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的自動(dòng)化操作有效，這是本發(fā)明的又一特征。
CPU 31按寫(xiě)入ROM 32中的程序工作，例如，驅(qū)動(dòng)真空拾取頭11，真空吸住原點(diǎn)P附近的待測(cè)IC，并將真空吸住的IC傳輸?shù)綑z測(cè)插座14，進(jìn)行測(cè)試。
應(yīng)指出的是，如果已更換檢測(cè)插座14，用事先存儲(chǔ)在X軸位置存儲(chǔ)裝置33A和Y軸位置存儲(chǔ)裝置33B中的位置信息，把真空拾取頭11移到檢測(cè)插座14的位置。這種狀態(tài)下，起動(dòng)教學(xué)模式執(zhí)行裝置33C，執(zhí)行教學(xué)模式。
教學(xué)模式中，驅(qū)動(dòng)源17A和18A不起動(dòng)，并被控制在非激勵(lì)狀態(tài)中，由此，真空拾取頭11變成可沿X-Y方向手工自由移動(dòng)。這就允許操作者可預(yù)先用手動(dòng)移動(dòng)真空拾取頭11，使其與檢測(cè)插座14的位置大致對(duì)準(zhǔn)，激勵(lì)圖4所示的定位銷25可以插入定位孔26中。
手動(dòng)操作使真空拾取頭11的位置與檢測(cè)插座14的位置對(duì)準(zhǔn)，X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18的X，Y位置分別存儲(chǔ)在X軸位置存儲(chǔ)裝置33A和Y軸位置存儲(chǔ)裝置33B中。例如用設(shè)置在輸入件34中的存儲(chǔ)指令開(kāi)關(guān)36暫時(shí)打開(kāi)而執(zhí)行該存儲(chǔ)操作。
一旦大致確定了真空拾取頭11的位置，Z軸自動(dòng)操作裝置33D起動(dòng)，使Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15自動(dòng)動(dòng)作。特別是，驅(qū)動(dòng)圖4所示氣缸15A，并用氣缸15A的驅(qū)動(dòng)功率移動(dòng)真空拾取頭11。應(yīng)指出的是，當(dāng)用氣缸15A使真空拾取頭11向下移動(dòng)時(shí)，Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15對(duì)著真空拾取頭11相對(duì)于X-Y方向提供無(wú)偏置力。而且，真空拾取頭11可按定位銷25和定位孔26之間的嚙合沿X-Y方向稍稍移動(dòng)，因此，當(dāng)定位銷25放入定位孔26中時(shí)，它將置于最小阻力的位置。將會(huì)發(fā)現(xiàn)，當(dāng)停止Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15的自動(dòng)操作時(shí)，通過(guò)校正定位銷25與定位孔26之間的嚙合，可使真空拾取頭11在X-Y方向稍微移動(dòng)，而且，校正過(guò)的適當(dāng)位置信息可分別存儲(chǔ)在X軸和Y軸位置存儲(chǔ)裝置33A，33B中。
根據(jù)上述的第1優(yōu)選實(shí)施例，在確定真空拾取頭11在X-Y方向中的停止位置(它對(duì)著檢測(cè)插座14)時(shí)，Z軸驅(qū)動(dòng)裝置由自動(dòng)操作驅(qū)動(dòng)，使定位銷25與定位孔26相配，以便真空拾取頭11定位，而只有Z軸方向的力作用在真空拾取頭11上。這就允許定位銷25與定位孔26之間以自然狀態(tài)穩(wěn)定地嚙合。從而保證，不在定位孔26與定位銷25之間有偏移滑動(dòng)的狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。從而可防止定位銷25與定位孔26變形，以確保其能在一個(gè)更長(zhǎng)的時(shí)間周期中穩(wěn)定工作。
此外，位置上沒(méi)有一點(diǎn)偏移的真空拾取頭11，在使用檢測(cè)插座14進(jìn)行測(cè)試的條件下能精確接觸IC。因此把接觸不良的機(jī)會(huì)減到最小。它有助于提供高可靠性的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置。
在上述第1實(shí)施例中，教學(xué)模式中X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18的X、Y位置分別存儲(chǔ)在X軸位置存儲(chǔ)裝置33A和Y軸位置存儲(chǔ)裝置33B中。但是，通過(guò)只在X軸位置存儲(chǔ)裝置33A中存貯用于控制X軸驅(qū)動(dòng)裝置17的檢測(cè)插座的位置信息，或只在Y軸位置存儲(chǔ)裝置33B中存貯用于控制Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18的檢測(cè)插座的位置信息，也能獲得與第1實(shí)施例相同的功能效果。另一方面，可設(shè)置公共存儲(chǔ)裝置取代X軸位置存儲(chǔ)裝置33A和Y軸位置存儲(chǔ)裝置33B，控制X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18用的檢測(cè)插座的位置信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中。
圖2是本發(fā)明的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的第2實(shí)施例中用的近距離機(jī)械手的另一實(shí)施例的總體結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。由于該近距離機(jī)械手的結(jié)構(gòu)與圖5所示近距離機(jī)械手的結(jié)構(gòu)一致，所以與圖5中相同的零部件用相同的參考數(shù)字指示，而且除非特別要求否則對(duì)這些零部件不再重復(fù)說(shuō)明。
X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置17，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18，用X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置17和18使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16在水平平面中分別沿X軸和Y軸方向移動(dòng)。本例中采用真空拾取頭11形式的裝載頭用支承件19安裝到X-Y驅(qū)動(dòng)頭16上。圖2中只畫(huà)出一個(gè)真空拾取頭的簡(jiǎn)化說(shuō)明，通常設(shè)置有4個(gè)相同的真空拾取頭。
X軸驅(qū)動(dòng)裝置17用于使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16在水平平面中沿X軸方向移動(dòng)，如圖2所示的往復(fù)方向移動(dòng)。本例中，它包括滾珠絲桿17T，其上有與X-Y驅(qū)動(dòng)頭16螺紋連接滾珠螺紋部分(沒(méi)畫(huà))，和如伺服馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)源(沒(méi)畫(huà))，用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿17T。同樣，還有Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18，用于使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16在水平平面中沿Y軸方向移動(dòng)，(如圖2所示的左右方向移動(dòng))。本例中，它包括，帶有滾珠螺紋部分18N的滾珠絲桿18T，和如伺服馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)源(沒(méi)畫(huà))，用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿18T。滾珠螺紋部分18N固定到X軸驅(qū)動(dòng)裝置17的滾珠絲桿17T的自由端的旋轉(zhuǎn)式軸承樞軸。
如上所述，X軸驅(qū)動(dòng)裝置17的滾珠絲桿17T的固定到Y(jié)軸驅(qū)動(dòng)裝置18的滾珠螺旋部分18N的軸承中的自由端是可旋轉(zhuǎn)的樞軸連接，而滾珠絲桿17T的連到驅(qū)動(dòng)源17A的另一端可旋轉(zhuǎn)地樞軸連接到軸承上(沒(méi)畫(huà))，軸承支承在Y軸導(dǎo)軌28上，用于滑動(dòng)。利用這種布置方式，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18的滾珠絲桿18T的旋轉(zhuǎn)使?jié)L珠螺紋部分18N沿Y軸方向移動(dòng)，以使X軸驅(qū)動(dòng)裝置17的滾珠絲桿17T沿Y軸方向移動(dòng)，使X-Y驅(qū)動(dòng)頭16沿Y軸方向定位。
第2實(shí)施例中，諸如脈沖馬達(dá)或伺服馬達(dá)的脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)用Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54的脈沖數(shù)確定旋轉(zhuǎn)數(shù)，Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54是構(gòu)成Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15的構(gòu)件之一。
用作Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54的脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，可用脈沖數(shù)控制真空拾取頭11從Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15起動(dòng)的位置到其停止的規(guī)定的下降位置的移動(dòng)距離。當(dāng)替換檢測(cè)插座14時(shí)，通過(guò)簡(jiǎn)單地替換新的對(duì)接塊24，可設(shè)定Z軸驅(qū)動(dòng)裝置沿Z軸的下移距離，以防止檢測(cè)插座14被損壞，起動(dòng)Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54，使真空拾取頭11與新的對(duì)接塊24對(duì)接，之后，把供給Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54從其起始到其停止的脈沖數(shù)存儲(chǔ)在適當(dāng)?shù)拇鎯?chǔ)裝置中。一但設(shè)定沿Z軸移動(dòng)的距離或移動(dòng)量，就不必替換對(duì)接塊24，但是，不用對(duì)接塊也可以進(jìn)行隨后的操作，因?yàn)?，?dāng)真空拾取頭11達(dá)到由對(duì)接塊的高度預(yù)先確定的位置時(shí)，Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54可以無(wú)誤地停止。
圖3展示出用于Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54的驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)的實(shí)例。本例中，總體以40表示的Z軸驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)包括一微機(jī)，眾所周知，微機(jī)包括中央處理單元CPU 41，存儲(chǔ)特殊程序的只讀存儲(chǔ)器(ROM)42，及暫時(shí)儲(chǔ)存輸入數(shù)據(jù)的可寫(xiě)和可讀隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)43，以及輸入口44，輸出口45，及輸入裝置46等。
在本發(fā)明第2實(shí)施例中，RAM 43具有向下行程存儲(chǔ)裝置43A，它適合于存儲(chǔ)供給Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54從起動(dòng)到真空拾取頭11與對(duì)接塊24接觸所需的脈沖數(shù)。換言之，真空拾取頭11的向下行程(即向下移動(dòng)量)存儲(chǔ)在向下沖程存儲(chǔ)裝置43A中。當(dāng)Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15起動(dòng)時(shí)，利用真空拾取頭11的向下行程存儲(chǔ)裝置的內(nèi)容，降低真空拾取頭11，并使真空拾取頭11與對(duì)接塊24或墊圈27對(duì)接，即使沒(méi)達(dá)到存儲(chǔ)的向下行程，Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54也會(huì)停止。在該點(diǎn)，用操作輸入裝置46上的返回鍵R，可使在真空拾取頭11向下移動(dòng)中提供給Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54的脈沖數(shù)(計(jì)數(shù)的脈沖總數(shù))存入向下行程存儲(chǔ)裝置43A中。而且，也可把真空拾取頭11的新的向下行程存入其中。
如果需要，也可以經(jīng)輸出元件45在顯示裝置47上顯示出向下行程存儲(chǔ)裝置43A中存儲(chǔ)的脈沖數(shù)。
而且，可用輸入裝置46輸入相當(dāng)于規(guī)定脈沖數(shù)的數(shù)值，把已存在向下行程存儲(chǔ)裝置43A中的向下行程校正到任何規(guī)定值。而且，如果用上述方式以一固定的行程來(lái)進(jìn)行某些IC的測(cè)試，會(huì)導(dǎo)致相當(dāng)高的報(bào)廢率。之后，可以使用與更換墊圈27使沿Z軸的行程變化效果相同的方法，經(jīng)輸入件46輸入數(shù)值改變存儲(chǔ)在向下行程存儲(chǔ)裝置43A脈沖數(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)行程改變。關(guān)于這一點(diǎn)，應(yīng)指出，在用墊圈27校準(zhǔn)的情況下，用替換墊圈可使向下壓的行程以0.05mm的節(jié)距調(diào)節(jié)，用脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)可以0.01mm精密節(jié)距設(shè)定向下的行程，由此具有較高精度的優(yōu)點(diǎn)。
按上述第2實(shí)施例，由于能用供給Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54的脈沖數(shù)來(lái)設(shè)定真空拾取頭11向下移動(dòng)的距離，因此，可使真空拾取頭11首先下降到與新對(duì)接塊24對(duì)接位置并由此來(lái)設(shè)定Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15的向下移動(dòng)距離，由此可確定真空拾取頭11的最低位置，之后，簡(jiǎn)單計(jì)算供給把真空拾取頭11降到其最低位置所需的馬達(dá)54的脈沖數(shù)。因此，能容易地設(shè)定沿Z軸所需的移動(dòng)量，即向下移動(dòng)量。
此外，還發(fā)現(xiàn)，當(dāng)真空拾取頭11下降并停在其最低位置時(shí)由于Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)54保持在不驅(qū)動(dòng)狀態(tài)，因此，對(duì)檢測(cè)插座14的接觸壓力保持恒定。從而使IC在測(cè)試時(shí)與檢測(cè)插座之間有恒定接觸壓力。
而且，如果某些IC檢測(cè)出現(xiàn)高的不合格百分比，與圖5所示的需改變墊圈27的厚度的現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明第2實(shí)施例不必更換墊圈27，但需要調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)脈沖數(shù)量，可很容易地精確調(diào)節(jié)所述接觸壓力。
上述的第1實(shí)施例中，如果在近距離機(jī)械手中采用與圖2所示Z軸驅(qū)動(dòng)裝置相同結(jié)構(gòu)的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，即，用可用脈沖數(shù)確定旋轉(zhuǎn)量的脈沖馬達(dá)或步進(jìn)電機(jī)替代第1實(shí)施例的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15的氣缸15A，操作的教學(xué)模式對(duì)第1實(shí)施例的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15也有效。
按該教學(xué)模式，如已參照第2實(shí)施例說(shuō)明過(guò)的，當(dāng)更換檢測(cè)插座14時(shí)，可通過(guò)替換新的對(duì)接塊而簡(jiǎn)單地設(shè)定Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15沿Z軸的向下移動(dòng)距離，以防止檢測(cè)插座14被損壞。起動(dòng)Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，使真空拾取頭11與新的對(duì)接塊對(duì)接，之后，把供給Z軸驅(qū)動(dòng)馬達(dá)從開(kāi)始到停止的脈沖數(shù)存入適當(dāng)?shù)拇鎯?chǔ)裝置中。
該教學(xué)模式可與定位銷25與定位孔26之間嚙合校正操作同時(shí)進(jìn)行，因此，這些定位銷25和定位孔相互軸向?qū)?zhǔn)。當(dāng)執(zhí)行關(guān)于Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15的教學(xué)模式時(shí)，最好是X軸驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18保持在自然狀態(tài)，在該狀態(tài)下這些驅(qū)動(dòng)裝置可手動(dòng)自由移動(dòng)。
上面已說(shuō)明了本發(fā)明用于IC測(cè)試件的情況，此外，本發(fā)明也能用于除IC之外的各種半導(dǎo)體器件的測(cè)試中，并能獲得與上述效果相同的功能效果。
權(quán)利要求
1.一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，用于使所述裝載頭在水平平面中沿X-Y方向移動(dòng)的X-Y傳輸裝置，所述X-Y傳輸裝置包括X-Y驅(qū)動(dòng)裝置和用于降低所述裝載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，當(dāng)所述裝載頭用所述X-Y傳輸裝置傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方的位置時(shí)，使被所述裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與檢測(cè)插座接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置被配置為對(duì)由所述裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件朝向檢測(cè)插座定向，以便用設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的定向裝置使半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座精確地接觸。所述檢測(cè)裝置的特征在于控制裝置其中包括用于設(shè)定使所述裝載頭以自然狀態(tài)沿X-Y方向移動(dòng)的所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)定裝置，其中，所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置可手動(dòng)自由移動(dòng)；只驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的裝置，用于降低所述承載頭，以使設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2定向裝置相互嚙合，同時(shí)使所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置保持在自然狀態(tài)中；所述第1和第2定向裝置之間的嚙合校正裝置，以便這些裝置能相互軸向?qū)?zhǔn)；和存儲(chǔ)裝置，用于把控制X-Y驅(qū)動(dòng)裝置的所述檢測(cè)插座的校正位置信息存儲(chǔ)于其中。
2.按權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，其中，所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，所述存儲(chǔ)裝置包括X軸位置存儲(chǔ)裝置，其中存入相對(duì)于X軸的所述檢測(cè)插座的位置校正信息，和Y軸位置存儲(chǔ)裝置，其中存入相對(duì)于Y軸的所述檢測(cè)插座的位置校正信息。
3.按權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件存儲(chǔ)裝置，其中，所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，所述存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)相對(duì)于X軸和Y軸的所述檢測(cè)插座的位置校正信息。
4.一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，使所述裝載頭在水平平面中沿X-Y方向移動(dòng)的X-Y傳輸裝置，所述X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置和用于降低所述裝載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，當(dāng)用所述X-Y傳輸裝置將所述裝載頭傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方的位置時(shí)，使被所述裝載頭抓住半導(dǎo)體器件與檢測(cè)插座接觸，將所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置配置成使由被裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件朝檢測(cè)插座定向，以便通過(guò)設(shè)置于所述裝載頭和控制插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的定向裝置相互嚙合，使半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座相互精確接觸，所述檢測(cè)裝置的特征在于控制裝置，其中包括用于設(shè)定使所述裝載頭以自然狀態(tài)沿X-Y方向移動(dòng)的所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)定裝置，其中，可以手動(dòng)自由移動(dòng)所述X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置；只驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的裝置，使所述裝載頭降低，以使設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的定向裝置相互嚙合，同時(shí)使所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置保持自然狀態(tài)；第1和第2定向裝置之間的嚙合校正裝置，使這些定向裝置彼此軸向?qū)?zhǔn)；和存儲(chǔ)裝置，用于把所述檢測(cè)插座的位置校正信號(hào)存入其中，以控制所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置。
5.一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，用于使所述裝載頭在水平平面中沿X-Y方向移動(dòng)的X-Y傳輸裝置，所述X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，和用于降低所述裝載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，當(dāng)用所述X-Y傳輸裝置把所述裝載頭傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方的位置上時(shí)，使被所述裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與檢測(cè)插座接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置配置成，使被裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件朝檢測(cè)插座定向，通過(guò)設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2定向裝置相互嚙合，使半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座相互精確接觸，所述檢測(cè)裝置的特征在于控制裝置，其中包括用于設(shè)定使所述裝載頭以自然狀態(tài)沿X-Y方向移動(dòng)的X軸驅(qū)動(dòng)裝置和所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)定裝置，其中，可用手動(dòng)使X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置自由移動(dòng)；只驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的裝置，用以降低所述裝載頭，以使分別設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的定向裝置相互嚙合，而使所述X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置保持自然狀態(tài)；所述第1和第2定向裝置之間的嚙合校正裝置，可使這些定向裝置相互軸向?qū)?zhǔn)；和存儲(chǔ)裝置，用于把所述檢測(cè)插座的位置校正信息存于其中，以控制所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置。
6.一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，使所述裝載頭在水平平面中沿X-Y方向移動(dòng)的X-Y傳輸裝置，所述X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，和用于降低所述裝載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，當(dāng)所述裝載頭被所述X-Y傳輸裝置傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方的位置時(shí)，使被所述裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與檢測(cè)插座接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置配置成使被裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件朝著檢測(cè)插座定向，通過(guò)設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的定向裝置相互嚙合，使半導(dǎo)體器件與檢測(cè)插座相互精確接觸；所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的特征在于用于驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)源包括脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；和所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置包括控制裝置，其用于根據(jù)供給所述脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的脈沖數(shù)確定所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置在Z軸方向的行程。
7.一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，使所述裝載頭在水平平面中沿X-Y方向移動(dòng)的X-Y傳輸裝置，所述X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，和用于降低所述裝載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，當(dāng)所述裝載頭被X-Y傳輸裝置傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方的位置時(shí)，被裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置配置成使裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件朝著檢測(cè)插座定向，通過(guò)使設(shè)置在所述裝載頭和檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的定向裝置相互嚙合，使半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座相互精確接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的特征在于驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)源包括脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；和所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置包括控制裝置，它包括用于設(shè)定使所述裝載頭以自然狀態(tài)沿X-Y方向移動(dòng)的所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)定裝置，其中，可手動(dòng)使所述X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置自由移動(dòng)；只驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的裝置，以降低所述裝載頭，以便設(shè)置在所述裝載頭和檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的定向裝置相互嚙合，同時(shí)使所述X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置保持自然狀態(tài)；和用供給所述脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的脈沖數(shù)確定Z軸驅(qū)動(dòng)裝置在Z軸方向的行程的裝置。
8.采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，使所述裝載頭在水平平面中沿X-Y方向移動(dòng)的X-Y傳輸裝置，所述X-Y傳輸裝置包括X軸驅(qū)動(dòng)裝置，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置和用于降低所述裝載頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，當(dāng)所述裝載頭被所述X-Y傳輸裝置傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方的位置時(shí)，使由所述裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與檢測(cè)插座接觸，所述半導(dǎo)體檢測(cè)插座配置成使被裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件朝著所述檢測(cè)插座定向，使設(shè)置在所述裝載頭和檢測(cè)插座上的第1和第2定向裝置相互嚙合，以使半導(dǎo)體器件與所述檢測(cè)插座相互精確接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的特征在于驅(qū)動(dòng)所述Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)源包括脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置包括控制裝置，它包括用于設(shè)定使所述裝載頭以自然狀態(tài)沿X-Y方向移動(dòng)的所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和所述Y軸驅(qū)動(dòng)裝置的設(shè)定裝置，其中，可手動(dòng)使所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置自由移動(dòng)；只驅(qū)動(dòng)Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的裝置，用于降低裝載頭，使分別設(shè)置在所述裝載頭和所述檢測(cè)插座上的第1和第2協(xié)同動(dòng)作的定向裝置相互嚙合，同時(shí)使所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置保持自然狀態(tài)；使所述第1和第2定向裝置之間嚙合的校正裝置，以便使這些定向裝置彼此軸向?qū)?zhǔn)；和存儲(chǔ)裝置，用于把所述檢測(cè)插座的位置校正信息存于其中，用于分別控制所述的X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置；和用供給所述脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的脈沖數(shù)確定Z軸驅(qū)動(dòng)裝置在Z軸方向行程的裝置。
9.按權(quán)利要求1的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，其中，所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置用馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，Z軸驅(qū)動(dòng)裝置用氣缸驅(qū)動(dòng)，所述X-Y驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)定在自然狀態(tài)，其中，當(dāng)所述馬達(dá)處于非工作狀態(tài)時(shí)，X-Y驅(qū)動(dòng)裝置可用手動(dòng)自由移動(dòng)。
10.按權(quán)利要求4至8中任一權(quán)利要求的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，其中，所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置分別用馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，并設(shè)定在自然狀態(tài)，其中，當(dāng)所述馬達(dá)處于非工作狀態(tài)時(shí)，可用手動(dòng)使其自由移動(dòng)。
11.按權(quán)利要求4和5中任一權(quán)利要求的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，其中，用馬達(dá)分別驅(qū)動(dòng)所述X軸驅(qū)動(dòng)裝置和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，用氣缸驅(qū)動(dòng)Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，把X軸和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)定在自然狀態(tài)，當(dāng)所述馬達(dá)進(jìn)入不工作狀態(tài)時(shí)，可用手動(dòng)使它們自由移動(dòng)。
12.一種采用半導(dǎo)體器件傳輸和操作裝置的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，包括用于抓住半導(dǎo)體器件的裝載頭，使所述裝載頭在水平平面中沿X-Y方向移動(dòng)的X-Y傳輸裝置，和用于降低所述裝載頭Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，當(dāng)所述裝載頭被所述X-Y傳輸裝置傳輸?shù)剿鰴z測(cè)插座上方的位置時(shí)，使由所述裝載頭抓住的半導(dǎo)體器件與檢測(cè)插頭相互接觸，所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置的特征在于驅(qū)動(dòng)Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)源，包括脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；所述半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置包括控制裝置，用供給所述脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的脈沖數(shù)確定Z軸驅(qū)動(dòng)裝置在Z軸方向的行程。
13.按權(quán)利要求12的半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置，其中，所述控制裝置包括存儲(chǔ)裝置，根據(jù)供給所述脈沖驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的脈沖數(shù)確定下移距離；該下移距離為裝載頭從所述檢測(cè)插座上方的位置移動(dòng)，被X-Y傳輸裝置傳輸?shù)揭惠^低位置，之后，用Z軸驅(qū)動(dòng)裝置使其下降，而與所述對(duì)接塊對(duì)接。
全文摘要
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體器件檢測(cè)裝置,當(dāng)更換檢測(cè)插座14時(shí),可把新檢測(cè)插座的位置精確地存于X－Y傳輸裝置中。設(shè)置控制器30,將其配置為使之能把X－Y傳輸裝置的X驅(qū)動(dòng)裝置17和Y軸驅(qū)動(dòng)裝置18設(shè)定于自然狀態(tài)中,其中X驅(qū)動(dòng)裝置和Y驅(qū)動(dòng)裝置17,18能手動(dòng)自由移動(dòng),X－Y傳輸裝置可使抓住IC的真空拾取頭11在測(cè)試時(shí)沿X－Y方向移動(dòng);只驅(qū)動(dòng)用于降低真空拾取頭的Z軸驅(qū)動(dòng)裝置15,使真空拾取頭的定位孔26與新檢測(cè)插座的定位銷相嚙合,同時(shí)使X－Y驅(qū)動(dòng)裝置保持在自然狀態(tài);校正定位孔26與定位銷之間的嚙合間隙,從而使其軸向?qū)?zhǔn);并將新檢測(cè)插座的位置校正信息存入X和Y驅(qū)動(dòng)裝置17和18中。
文檔編號(hào)G01B5/008GK1192042SQ9712976
公開(kāi)日1998年9月2日 申請(qǐng)日期1997年12月26日 優(yōu)先權(quán)日1996年12月26日
發(fā)明者古田勝信, 后藤敏雄 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試