本技術(shù)涉及高低溫測(cè)試裝置，具體為一種隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，元器件的測(cè)試工作，特別是三溫測(cè)試（低溫、常溫、高溫，元器件在這三個(gè)溫度下進(jìn)行功能測(cè)試）也倍受關(guān)注。目前通常的三溫測(cè)試方式主要有兩種，一種是箱外測(cè)試法，即是把元器件單獨(dú)放置在高、低溫測(cè)試箱中，分別保溫一定時(shí)間后取出查看測(cè)試結(jié)果。另一種是箱內(nèi)測(cè)試法，即是一個(gè)測(cè)試箱同時(shí)擁有高低溫，把即要測(cè)試的元器件及測(cè)試板放在一臺(tái)設(shè)備中完成測(cè)試。兩種測(cè)試均有不足之處，第一種在被測(cè)試的元器件從箱內(nèi)取出后，會(huì)有一個(gè)溫度回升的情況存在。第二種如果將首先在對(duì)元器件進(jìn)行測(cè)試時(shí)，由于整個(gè)測(cè)試板置于低溫環(huán)境，如果測(cè)試板有其他輔助元器件，可能存在輔助元器件的失效導(dǎo)致器件測(cè)試失效，鑒于此，針對(duì)上述問(wèn)題深入研究，遂有本案產(chǎn)生。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置，解決了現(xiàn)有的背景技術(shù)問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置，包括支撐座以及隧道殼體，所述隧道殼體裝配在支撐座上，所述隧道殼體的截面為半長(zhǎng)圓形結(jié)構(gòu)，所述隧道殼體中心開設(shè)有檢測(cè)槽，所述檢測(cè)槽外呈環(huán)形陣列布置有若干插裝槽，若干所述插裝槽內(nèi)插裝有若干換熱板；

3、所述隧道殼體內(nèi)設(shè)置有支撐軸，所述支撐軸與隧道殼體之間以若干連接板連接分隔呈對(duì)應(yīng)若干插裝槽的若干腔室，所述連接板的兩側(cè)開設(shè)有一對(duì)滑動(dòng)槽，所述測(cè)試支撐板的內(nèi)端連接有封堵限位板；

4、所述支撐軸上對(duì)應(yīng)若干插裝槽設(shè)置有若干滑動(dòng)軌道，所述滑動(dòng)軌道上裝配有測(cè)試支撐板，所述測(cè)試支撐板的端部設(shè)置有密封板，所述隧道殼體的端部設(shè)置有若干限位槽，所述密封板封閉在限位槽上；

5、所述隧道殼體外部對(duì)應(yīng)若干插裝槽設(shè)置有若干溫度調(diào)節(jié)槽，所述溫度調(diào)節(jié)槽上設(shè)置有溫度控制器與換熱板貼和。

6、優(yōu)選的，所述密封板為缺弧環(huán)形板塊，所述密封板外部設(shè)置有密封環(huán)。

7、優(yōu)選的，若干所述連接板為矩形結(jié)構(gòu)的板塊，所述支撐軸為截面為正多邊形結(jié)構(gòu)的柱形結(jié)構(gòu)板塊。

8、優(yōu)選的，所述換熱板為矩形結(jié)構(gòu)的板塊且一側(cè)呈單向線性陣列布置有若干加強(qiáng)導(dǎo)熱板。

9、優(yōu)選的，所述插裝槽上設(shè)置有若干加強(qiáng)換熱槽與若干加強(qiáng)導(dǎo)熱板對(duì)應(yīng)。

10、優(yōu)選的，所述隧道殼體的端部對(duì)應(yīng)若干腔室設(shè)置有若干插孔，若干所述插孔內(nèi)插裝有若干溫度檢測(cè)器。

11、有益效果

12、本實(shí)用新型提供了一種隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置。具備以下有益效果：該隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置，在隧道殼體上設(shè)置的支撐軸上設(shè)置有環(huán)形陣列排布的若干連接板，行成若干獨(dú)立的腔室，通過(guò)若干換熱板對(duì)獨(dú)立腔室內(nèi)進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，將隧道殼體內(nèi)分為多個(gè)溫區(qū)，可以分別對(duì)不同工件進(jìn)行高低溫測(cè)試，同時(shí)采用雙端密封結(jié)構(gòu)，可以在更換工件時(shí)，起到避免熱量和冷量散失。

技術(shù)特征：

1.一種隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置，包括支撐座(1)以及隧道殼體(2)，所述隧道殼體(2)裝配在支撐座(1)上，所述隧道殼體(2)的截面為半長(zhǎng)圓形結(jié)構(gòu)，所述隧道殼體(2)中心開設(shè)有檢測(cè)槽，所述檢測(cè)槽外呈環(huán)形陣列布置有若干插裝槽(3)，其特征在于，若干所述插裝槽(3)內(nèi)插裝有若干換熱板(4)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置，其特征在于，所述密封板(10)為缺弧環(huán)形板塊，所述密封板(10)外部設(shè)置有密封環(huán)(12)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置，其特征在于，若干所述連接板(6)為矩形結(jié)構(gòu)的板塊，所述支撐軸(5)為截面為正多邊形結(jié)構(gòu)的柱形結(jié)構(gòu)板塊。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置，其特征在于，所述換熱板(4)為矩形結(jié)構(gòu)的板塊且一側(cè)呈單向線性陣列布置有若干加強(qiáng)導(dǎo)熱板(13)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置，其特征在于，所述插裝槽(3)上設(shè)置有若干加強(qiáng)換熱槽與若干加強(qiáng)導(dǎo)熱板(13)對(duì)應(yīng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置，其特征在于，所述隧道殼體(2)的端部對(duì)應(yīng)若干腔室設(shè)置有若干插孔，若干所述插孔內(nèi)插裝有若干溫度檢測(cè)器(14)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置，包括支撐座以及隧道殼體，所述隧道殼體裝配在支撐座上，所述隧道殼體的截面為半長(zhǎng)圓形結(jié)構(gòu)，所述隧道殼體中心開設(shè)有檢測(cè)槽，所述檢測(cè)槽外呈環(huán)形陣列布置有若干插裝槽，若干所述插裝槽內(nèi)插裝有若干換熱板；本技術(shù)涉及高低溫測(cè)試裝置技術(shù)領(lǐng)域，該隧道式多溫區(qū)高低溫測(cè)試裝置，在隧道殼體上設(shè)置的支撐軸上設(shè)置有環(huán)形陣列排布的若干連接板，行成若干獨(dú)立的腔室，通過(guò)若干換熱板對(duì)獨(dú)立腔室內(nèi)進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，將隧道殼體內(nèi)分為多個(gè)溫區(qū)，可以分別對(duì)不同工件進(jìn)行高低溫測(cè)試，同時(shí)采用雙端密封結(jié)構(gòu)，可以在更換工件時(shí)，起到避免熱量和冷量散失。

技術(shù)研發(fā)人員：何振新,楊志剛,譚瑋,楊必旺,高鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：遼寧超粵激光科技集團(tuán)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240115
技術(shù)公布日：2024/12/30