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一種多晶硅棒空間傾角激光測量裝置的制作方法

文檔序號:11704885閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種多晶硅棒空間傾角激光測量裝置,包括底部豎直鉸接于擺動機(jī)構(gòu)上部的支架,固定設(shè)置于支架上部且與鉸接部旋轉(zhuǎn)中心的垂直線水平對稱的激光測距儀Ⅰ、激光測距儀Ⅱ,固定設(shè)置于支架下部且與激光測距儀Ⅰ或激光測距儀Ⅱ中心連線與過鉸接部旋轉(zhuǎn)中心垂直線平行的激光測距儀Ⅲ,擺動機(jī)構(gòu)與移動機(jī)構(gòu)固定連接,移動機(jī)構(gòu)設(shè)置于底座并沿支架的擺動方向相對底座水平移動,激光測距儀Ⅰ、激光測距儀Ⅱ及激光測距儀Ⅲ與控制裝置電連接,控制裝置用于將激光測距儀Ⅰ、激光測距儀Ⅱ和激光測距儀Ⅲ的測量信號轉(zhuǎn)化為多晶硅棒空間傾角值并輸出。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)、測量速度快且精度高、成本低的特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員:白榮林;徐靈通;嚴(yán)曜暉;曲宴良;顧國寶;張斌;阮紅坤;李鴻祥;楊文濤;寧涓;張軍;張平;宋奎
受保護(hù)的技術(shù)使用者:昆明冶研新材料股份有限公司;云南眾誠士德柔性自動化設(shè)備有限公司
文檔號碼:201720010873
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.05
技術(shù)公布日:2017.07.18

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