技術領域

本發(fā)明涉及檢測技術領域，特別涉及一種OLED平面顯示行業(yè)大尺寸超精密全自動坐標量測設備。

背景技術：

測量技術是一門具有自身專業(yè)體系、涵蓋多種學科、理論性和實踐性都非常強的前沿科學。而熟知測量技術方面的基本知識，則是掌握測量技能，獨立完成對機械產品幾何參數(shù)測量的基礎。

現(xiàn)有的OLED平面顯示行業(yè)大尺寸超精密全自動坐標量測設備存在以下弊端：

1）測量速度慢。我們在機械，電氣，光學以及圖像處理算法方面都有創(chuàng)新，提升了測量速度。

2）人機互動差，我們根據(jù)新興的OLED平面顯示行業(yè)對大尺寸超精密全自動坐標量測設備的需求，進行了軟件和人機互動方便的創(chuàng)新，使設備更好的為OLED生產人員接受和操作。

3）穩(wěn)定性差。我們根據(jù)現(xiàn)有的OLED平面顯示行業(yè)大尺寸超精密全自動坐標量測設備穩(wěn)定性差的問題，在機械和電氣以及軟件方面進行了創(chuàng)新。

技術實現(xiàn)要素：

為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種OLED平面顯示行業(yè)大尺寸超精密全自動坐標量測設備。

本發(fā)明為了解決其技術問題所采用的技術方案是：一種OLED平面顯示行業(yè)大尺寸超精密全自動坐標量測設備，其包括以下組成部分：

裝置本體，用于產品尺寸檢測；

空氣干燥機，控制供給裝置的空氣溫度和濕度，并凈化空氣；

控制箱，收納各種電氣零件和控制零件，以及照明裝置；

控制臺，設備的控制部分，有PC本體、控制面板、控制盒以及觸摸顯示屏組成；

桌面控制器，控制裝置本體的X、Y、Z軸運動；

所述裝置本體由基板平臺、鏡頭單元、X軸驅動單元、X軸空氣滑塊、Y軸驅動單元、Y軸驅動滑塊組成，所述基板平臺安裝在機架上，其上方設置鏡頭單元，所述鏡頭單元通過X軸驅動單元、X軸空氣滑塊、Y軸驅動單元、Y軸驅動滑塊在基板平臺的上方實現(xiàn)X與Y軸方向的精準位置移動調整。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述基板平臺采用若干玻璃基板平鋪拼接而成，并通過固定螺絲固定在機架上，基板平臺上安裝了吸真空用的空氣管道以及固定玻璃基板用的噴吸入口。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述基板平臺的底部安裝有用于減輕外部震動對基板臺面影響的空氣減震臺。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述的鏡頭單元由高倍鏡頭、中倍鏡頭、低倍鏡頭、大視野鏡頭、review鏡頭以及照明鏡頭依次組合后安裝在Z軸的驅動結構上。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述裝置本體的外側設有裝置保護防塵罩，裝置保護防塵罩內設置溫度傳感器及預過濾裝置。

本發(fā)明的有益效果是： 本發(fā)明的超精密全自動坐標量測設備具有以下優(yōu)點：

1）具有和以往裝置相同的大小，但是檢測范圍擴大至2200*2500mm；

2）具有超精密的運動精度和再現(xiàn)性，實現(xiàn)無發(fā)熱和磨損的長期穩(wěn)定性；

3）通過鏡頭單元進行高速對焦，并可通過圖像處理功能，降低灰塵等外界因素造成的測定錯誤；

4）搭載空氣減震臺，吸收外部的振動及沖擊，提高測定精度；

5）通過手動測定的測定位置、光量調整、圖像處理的設定，實現(xiàn)自動進行的高精度測量。

附圖說明

圖1為本發(fā)明整體結構示意圖；

圖2為本發(fā)明裝置本體結構示意圖；

圖3為本發(fā)明基板平臺結構示意圖；

圖4為本發(fā)明裝置本體的外部結構示意圖；

圖中標示：1-裝置本體；2-空氣干燥機；3-控制箱；4-控制臺；5-桌面控制器；6-保護防塵罩；7-溫度傳感器；8-預過濾裝置；11-基板平臺；12-鏡頭單元；13- X軸驅動單元；14- X軸空氣滑塊；15- Y軸驅動單元；16- Y軸驅動滑塊；17-機架；18-空氣減震臺；21-玻璃基板；22-固定螺絲；23-空氣管道；24-噴吸入口；25-頂針機構。

具體實施方式

為了加深對本發(fā)明的理解，下面將結合實施例和附圖對本發(fā)明作進一步詳述，該實施例僅用于解釋本發(fā)明，并不構成對本發(fā)明保護范圍的限定。

圖1-4示出了本發(fā)明一種OLED平面顯示行業(yè)大尺寸超精密全自動坐標量測設備的一種實施方式，其包括以下組成部分：

裝置本體1，用于產品尺寸檢測；

空氣干燥機2，控制供給裝置的空氣溫度和濕度，并凈化空氣；

控制箱3，收納各種電氣零件和控制零件，以及照明裝置；

控制臺4，設備的控制部分，有PC本體、控制面板、控制盒以及觸摸顯示屏組成；

桌面控制器5，控制裝置本體的X、Y、Z軸運動；

所述裝置本體由基板平臺11、鏡頭單元12、X軸驅動單元13、X軸空氣滑塊14、Y軸驅動單元15、Y軸驅動滑塊16組成，所述基板平臺11安裝在機架17上，其上方設置鏡頭單元12，所述鏡頭單元12通過X軸驅動單元13、X軸空氣滑塊14、Y軸驅動單元15、Y軸驅動滑塊16在基板平臺11的上方實現(xiàn)X與Y軸方向的精準位置移動調整。

所述基板平臺11采用若干玻璃基板21平鋪拼接而成，并通過固定螺絲22固定在機架17上，基板平臺11上安裝了吸真空用的空氣管道23以及固定玻璃基板用的噴吸入口24,用于吸附玻璃基板并固定，且安裝了用于控制基板平臺11垂直升降的頂針機構25。

所述基板平臺11的底部安裝有用于減輕外部震動對基板臺面影響的空氣減震臺18。

所述的鏡頭單元12由高倍鏡頭、中倍鏡頭、低倍鏡頭、大視野鏡頭、rview鏡頭以及照明鏡頭依次組合后安裝在Z軸的驅動結構上。

所述裝置本體1的外側設有裝置保護防塵罩6，裝置保護防塵罩6內設置溫度傳感器7及預過濾裝置8。