技術特征：

技術總結(jié)
本發(fā)明提供一種能夠減少滯后現(xiàn)象的壓力傳感器、該壓力傳感器的制造方法、具備該壓力傳感器的可靠性較高的高度計、電子設備以及移動體。壓力傳感器(1)具有：SOI基板(21)，其具有第一硅層(211)、配置在第一硅層的一側(cè)的第二硅層(213)、和配置在第一硅層(211)與第二硅層(213)之間的氧化硅層(213)；凹部(26)，其在SOI基板(21)的第一硅層(211)側(cè)的面上開放，在俯視觀察SOI基板(21)時，SOI基板(21)的與凹部(26)重疊的部分成為通過受壓而進行彎曲變形的隔膜(25)，第二硅層(213)在凹部(26)的底面上露出。

技術研發(fā)人員：四谷真一
受保護的技術使用者：精工愛普生株式會社
技術研發(fā)日：2017.02.22
技術公布日：2017.09.05