技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于多點(diǎn)掃描顯微的設(shè)備和方法。該設(shè)備具有：多色光源；分束設(shè)備；第一光學(xué)裝置，用于提供照射光路，照射光路用于將單獨(dú)的照射子光束分別引導(dǎo)并且聚焦到待檢驗(yàn)的樣本上或樣本中的光斑中；掃描單元；檢測單元，用于檢測在用單獨(dú)的照射子光束輻照之后，檢測子光束中的被樣本輻射的檢測光；第二光學(xué)裝置，用于提供將檢測子光束引導(dǎo)到檢測單元的檢測光路；控制和評價單元，用于控制掃描單元并且用于評價檢測單元檢測的檢測光。所述設(shè)備的特征在于，在照射子光束中的至少兩個照射子光束的照射光路中，存在用于獨(dú)立地設(shè)定相應(yīng)照射子光束的光譜組成的可控光束操縱裝置，并且控制和評價單元被設(shè)計(jì)成控制光束操縱裝置。

技術(shù)研發(fā)人員：蒂莫·安胡特;丹尼爾·施韋特;托比亞斯·考夫霍爾德;布克哈德·羅舍爾;斯特凡·威廉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.10
技術(shù)公布日：2017.08.18