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壓力傳感器的制作方法

文檔序號(hào):11587675閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的目的在于提供一種壓力傳感器,其為將壓力檢測(cè)元件通過(guò)粘接劑而固定于支撐部件的壓力傳感器,能夠減小因溫度變化而引起的壓力檢測(cè)元件的變形,實(shí)現(xiàn)精度的提高及溫度響應(yīng)性的改善。本發(fā)明的壓力傳感器(100)的特征在于,具備:對(duì)流體的壓力進(jìn)行檢測(cè)的壓力檢測(cè)元件(126);支撐壓力檢測(cè)元件(126)的支撐部件(325);以及粘接固定壓力檢測(cè)元件(126)與支撐部件(325)的粘接劑,在由粘接劑構(gòu)成的粘接劑層(325A)的面上設(shè)置作為與支撐部件(325)的一部分配合的多個(gè)凹凸部的熱應(yīng)力減小構(gòu)造(325Aa)。

技術(shù)研發(fā)人員:瀧本和哉
受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會(huì)社鷺宮制作所
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.25
技術(shù)公布日:2017.08.08
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